JP2020027073A - X線分析装置および計数率の補正方法 - Google Patents
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Abstract
Description
前に、すなわち、X線が検出可能な状態に戻る前に、次のX線が入射することになる。これにより、電離可能な検出ガスが少なくなり、同じエネルギーのX線が入射してもパルス信号の幅および波高が小さくなってしまう。
試料から放出されたX線を検出して、段差の高さがX線のエネルギーに相当する信号を出力するX線検出器と、
前記X線検出器の出力信号を、第1パルス信号に変換するパルス生成部と、
パルス幅を設定するパルス幅設定部と、
前記第1パルス信号を、前記パルス幅設定部で設定された前記パルス幅に変換して第2パルス信号とするパルス幅変換部と、
前記第2パルス信号を、前記第2パルス信号の波高で弁別する波高弁別部と、
弁別された前記第2パルス信号の計数率を求める計数部と、
前記計数部で求められた前記計数率を補正する補正処理部と、
を含み、
前記補正処理部は、前記パルス幅設定部で設定された前記パルス幅に基づいて、前記計数率を補正する。
試料から放出されたX線を検出して、段差の高さがX線のエネルギーに相当する信号を出力するX線検出器を備えたX線分析装置におけるX線の計数率の補正方法であって、
前記X線検出器の出力信号を、第1パルス信号に変換する工程と、
パルス幅を設定する工程と、
前記第1パルス信号を、設定された前記パルス幅に変換して第2パルス信号とする工程と、
前記第2パルス信号を、前記第2パルス信号の波高で弁別する工程と、
弁別された前記第2パルス信号の計数率を求める工程と、
前記計数率を補正する工程と、
を含み、
前記計数率を補正する工程では、前記パルス幅を設定する工程で設定された前記パルス幅に基づいて、前記計数率を補正する。
まず、本実施形態に係るX線分析装置について、図面を参照しながら説明する。ここでは、X線分析装置が、電子プローブマイクロアナライザー(EPMA)である場合について説明する。
、試料Sから放出された特性X線を検出して、段差の高さがX線のエネルギーに相当する信号を出力する。
次に、X線分析装置100の動作について説明する。
分信号SG4となり、パルス生成回路34に送られる。微分信号SG4は、パルス生成回路34において、パルス信号SG6に変換される。パルス信号SG6の波高は、検出されたX線のエネルギーに対応している。パルス信号SG6のパルス幅は、パルス幅変換回路38において、パルス幅設定回路36で設定されたパルス幅(設定パルス幅TH)に変換される。
X線分析装置100は、例えば、以下の特徴を有する。
なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。
例えば、X線分析装置100において、波長分散型X線分光器16は、複数の分光素子16aを有していてもよい。例えば、結晶面間隔が互いに異なる複数の分光結晶の各々を、分光素子16aとして用いてもよい。これにより、広い波長範囲のX線を検出することができる。
例えば、第1変形例で説明したように、X線分析装置100において、波長分散型X線分光器16は、複数の分光素子16aを有していてもよい。さらに、波長分散型X線分光器16は、複数のX線検出器16b(比例計数管)を有していてもよい。
ースを有している。制御装置60から組み合わせの情報が入力されると、パルス幅設定回路36は、当該データベースを検索して、組み合わせに応じたパルス幅を設定する。
例えば、X線分析装置100では、X線検出器16bが比例計数管を含んで構成されている場合について説明したが、X線検出器16bは、半導体検出器などの検出器を含んで構成されていてもよい。
Claims (6)
- 試料から放出されたX線を検出して、段差の高さがX線のエネルギーに相当する信号を出力するX線検出器と、
前記X線検出器の出力信号を、第1パルス信号に変換するパルス生成部と、
パルス幅を設定するパルス幅設定部と、
前記第1パルス信号を、前記パルス幅設定部で設定された前記パルス幅に変換して第2パルス信号とするパルス幅変換部と、
前記第2パルス信号を、前記第2パルス信号の波高で弁別する波高弁別部と、
弁別された前記第2パルス信号の計数率を求める計数部と、
前記計数部で求められた前記計数率を補正する補正処理部と、
を含み、
前記補正処理部は、前記パルス幅設定部で設定された前記パルス幅に基づいて、前記計数率を補正する、X線分析装置。 - 請求項1において、
前記X線検出器は、比例計数管を含む、X線分析装置。 - 請求項1または2において、
X線を分光する複数の分光素子を含み、
前記パルス幅設定部は、前記分光素子の種類に応じて、前記パルス幅を設定する、X線分析装置。 - 請求項1または2において、
X線を分光する複数の分光素子を含み、
前記X線検出器は、複数設けられ、
前記パルス幅設定部は、前記分光素子と前記X線検出器の組み合わせに応じて、前記パルス幅を設定する、X線分析装置。 - 請求項1ないし4のいずれか1項において、
前記補正処理部は、前記パルス幅設定部で設定された前記パルス幅に対応する時間をデッドタイムとして、前記計数部で求められた前記計数率を補正する、X線分析装置。 - 試料から放出されたX線を検出して、段差の高さがX線のエネルギーに相当する信号を出力するX線検出器を備えたX線分析装置におけるX線の計数率の補正方法であって、
前記X線検出器の出力信号を、第1パルス信号に変換する工程と、
パルス幅を設定する工程と、
前記第1パルス信号を、設定された前記パルス幅に変換して第2パルス信号とする工程と、
前記第2パルス信号を、前記第2パルス信号の波高で弁別する工程と、
弁別された前記第2パルス信号の計数率を求める工程と、
前記第2パルス信号の計数率を補正する工程と、
を含み、
前記第2パルス信号の計数率を補正する工程では、前記パルス幅を設定する工程で設定された前記パルス幅に基づいて、前記計数率を補正する、計数率の補正方法。
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