JP6002890B2 - X線分析装置 - Google Patents
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Description
8A,8B 検出器
9A,9B 高速AD変換器
10A,10B 計数手段
11A,11B パルス波高値安定器
12A,12B 入力パルス乗算器
13A,13B 第1補正手段
14A,14B 第2補正手段
15A,15B ゲイン加算器
16A,16B フィードバック制御停止手段
A 期待波高値
FWHM ターゲットピークの半値幅
Lw 低波高閾値
Uw 第1高波高閾値
Ui 第2高波高閾値
Claims (4)
- 入射されたX線のエネルギーに応じた波高のパルスを前記X線の強度に応じた数だけ発生させる検出器と、
その検出器で発生したパルスをデジタル化する高速AD変換器と、
その高速AD変換器からのパルスについて、分析目的のX線のエネルギースペクトルにおけるピークであるターゲットピークの波高値を安定化させるパルス波高値安定器と、
そのパルス波高値安定器からのパルスについて、設定された波高範囲における計数率を求める計数手段とを備えるX線分析装置であって、
前記パルス波高値安定器が、
入力された前記高速AD変換器からのパルスに入力されたゲインを乗じて出力する入力パルス乗算器と、
本測定前の予備測定で前記入力パルス乗算器からのパルスについて計数率の総計を求め、求めた計数率の総計に基づいて、前記ターゲットピークの波高値を推定し、その推定したターゲットピークの波高値を所定の期待波高値に一致させるためのゲインである第1ゲインを出力する第1補正手段と、
前記入力パルス乗算器からのパルスに基づいて、前記期待波高値を含む所定のエネルギー範囲で前記ターゲットピークの波高値を検出するとともに、その検出したターゲットピークの波高値を前記期待波高値に一致させるために前記第1ゲインに加えるべきゲインである第2ゲインをリアルタイムにフィードバック制御で出力する第2補正手段と、
入力された前記第1ゲインおよび前記第2ゲインを加算してゲインとして前記入力パルス乗算器に出力するゲイン加算器と、
前記ターゲットピークに対する妨害線の有無を判断し、妨害線有りと判断した場合には、前記第2補正手段による第2ゲインの出力を停止させることにより、前記入力パルス乗算器に入力されるゲインを前記第1ゲインのみからなる一定値に設定するフィードバック制御停止手段とを有する、X線分析装置。 - 請求項1に記載のX線分析装置において、
前記第2補正手段において、
前記所定のエネルギー範囲が、前記期待波高値よりも前記ターゲットピークの半値幅の1/2〜2倍だけ低い波高値である低波高閾値から、前記期待波高値よりも高い波高値である第1高波高閾値までの範囲であって、分析目的のX線のエネルギースペクトルについて、前記低波高閾値から前記期待波高値までの範囲における計数率の合計と、前記期待波高値から前記第1高波高閾値までの範囲における計数率の合計とが同等になるように、前記低波高閾値および前記第1高波高閾値が設定されており、
前記入力パルス乗算器からのパルスについて、前記低波高閾値から前記第1高波高閾値までの範囲において波高値を指数平滑法により平均化した平均波高値を前記ターゲットピークの波高値として検出し、
前記フィードバック制御停止手段において、
前記低波高閾値および前記期待波高値の2倍以上の波高値である第2高波高閾値が設定されており、
前記予備測定で、前記入力パルス乗算器からのパルスについて、前記低波高閾値から前記第2高波高閾値までの範囲において波高値を指数平滑法により平均化した平均波高値と、前記第2補正手段において検出した前記ターゲットピークの波高値との差が、所定の値を超えていると、妨害線有りと判断する、X線分析装置。 - 請求項1に記載のX線分析装置において、
前記フィードバック制御停止手段が、前記予備測定で、前記第1ゲインおよび前記第2ゲインを加算した値が所定の範囲を外れていると、妨害線有りと判断するX線分析装置。 - 請求項1から3のいずれか一項に記載のX線分析装置において、
前記フィードバック制御停止手段が、前記予備測定により妨害線有りと判断した後、前記第1補正手段で求めた計数率の総計に応じた所定の待機時間が経過してから、前記入力パルス乗算器に入力されるゲインを前記第1ゲインのみからなる一定値に設定しての本測定を開始するX線分析装置。
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