JP5796556B2 - 蛍光x線分析装置 - Google Patents
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ピーキングタイムが決まると、A/D変換器31の処理速度から上記所定点数が決まる。例えば、ピーキングタイムが4.8μs、A/D変換器31の処理速度が20MHz(50ns)である場合、上記点数は96点(4,800ns/50ns)になる。
ところが、上述したように、後部平均値と前部平均値の差のとり得る値は0.4896eVの倍数となっているので、10eVのエネルギー幅ごとに集計したヒストグラムを作成すると、図4(b)に示すようにカウント数に不均一性が生じてしまう。これは、図5に示すように、ヒストグラムにおいて、10eVのエネルギー幅に含まれる0.4896eVの倍数の値が20個になる箇所と21個になる箇所に分かれてしまう(10eV/0.4896eV=20.43)ためである。
前記A/D変換器により変換されたデジタル信号値に乱数を重畳させて信号処理部に出力する乱数重畳部
を備えることを特徴とする。
前記乱数には、発生確率が均一な一様乱数のほか、発生確率が正規分布に従う乱数(正規乱数)等、種々の乱数を用いることができる。
そこで、前記乱数は、前記ヒストグラムの各エネルギー帯でのカウント数の不均一性が軽減される所定の幅で発生する乱数とすることが望ましい。前記所定の発生幅は、乱数の発生幅を変化させて図6のようなX線スペクトルが発生するか否かを確認することにより決定することができる。
本実施例の蛍光X線分析装置の構成を図7に示す。図1と同じ構成要素については同一の符号を付し、説明を省略する。本実施例の蛍光X線分析装置は、A/D変換器31とマルチチャンネルアナライザ32との間に乱数重畳部34及びスムージングフィルタ35を有する点で、従来の蛍光X線分析装置と異なる。上述した従来の蛍光X線分析装置の例と同じく、A/D変換器31により変換されたデジタル信号値の量子化単位は47.0eV、前部平均値、後部平均値の算出に用いる所定点数は96点である。
Xn+1=(A×Xn+B)modM
ここで、A、B、及びMはそれぞれ定数であり、M>A、M>B、A>0、B≧0の条件を満たす。また、定数MはA/D変換後のデジタル信号値の量子化単位(47.0eV)を上記点数(96点)で除した値(0.4896eV)を超えない値である。従って、本実施例では、乱数の発生幅(発生上限値から発生下限値を減じた値)はA/D変換後のデジタル信号値の量子化単位を上記点数で除した値を超えない大きさである。
続いて、スムージングフィルタ35が、乱数重畳後のデジタル値をスムージングする。スムージング後の信号処理は図2及び図3を参照して既に説明した、従来の蛍光X線分析装置における信号処理と同じである。
本実施例の蛍光X線分析装置では、A/D変換後のデジタル値に乱数を重畳させる。これにより、図8(b)に示す結果が得られる。各エネルギー帯でのカウント数は約99,200〜約100,250の範囲内に収まっている。つまり、本実施例の蛍光X線分析装置を用いることにより、各エネルギー帯でのカウント数の不均一性を約1%(=(100,250-99,200)/100,000)にまで軽減できる。これは、A/D変換後に量子化され、0.4896eVの倍数の値を有しているデジタル信号値に対して、乱数重畳部34が乱数を重畳し、デジタル信号値を連続的に分布する値に変化させたことによる効果である。
11…X線照射部
12…試料
2…X線検出部
21…検出器
22…プリアンプ
3…信号処理部
31…A/D変換器
32…マルチチャンネルアナライザ
34…乱数重畳部
34…乱数発生部
35…スムージングフィルタ
Claims (2)
- エネルギー分散型のX線分析において、X線検出器から出力される電圧信号をデジタル信号値に変換するA/D変換器と、前記デジタル信号値のうち、X線入射時点の前及び後にそれぞれ取得した所定点数のデジタル信号値の平均値の差から入射X線のエネルギーを算出してヒストグラムを作成する信号処理部を有する蛍光X線分析装置であって、
前記A/D変換器により変換されたデジタル信号値に乱数を重畳させて信号処理部に出力する乱数重畳部
を備えることを特徴とする蛍光X線分析装置。 - 前記乱数が、前記ヒストグラムの各エネルギー帯でのカウント数の不均一性が軽減される所定の幅で発生する乱数であることを特徴とする請求項1に記載の蛍光X線分析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012158757A JP5796556B2 (ja) | 2012-07-17 | 2012-07-17 | 蛍光x線分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2012158757A JP5796556B2 (ja) | 2012-07-17 | 2012-07-17 | 蛍光x線分析装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2014020874A JP2014020874A (ja) | 2014-02-03 |
JP5796556B2 true JP5796556B2 (ja) | 2015-10-21 |
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Family Applications (1)
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JP2012158757A Active JP5796556B2 (ja) | 2012-07-17 | 2012-07-17 | 蛍光x線分析装置 |
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JP2014020874A (ja) | 2014-02-03 |
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