JP2010101663A - 多重放射線分析装置、多重放射線分析方法 - Google Patents
多重放射線分析装置、多重放射線分析方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】X線検出器11〜1Nの出力パルスは、それぞれパルス時刻検出回路(時刻検出部)21〜2Nに入力される。パルス時刻検出回路21〜2Nは共通のクロックで動作し、それぞれX線検出器11〜1Nの出力パルスが入力された到着時刻をそれぞれ認識する(出力A1〜AN)。N個のX線検出器11〜1Nからの独立した出力パルスにおいて、ほぼ同時、すなわち、到着(出力)時刻の時間差が予め設定されたある一定の短い間隔(例えば100ns)内である2つの出力パルスが出力パルス組として取り出される。この出力パルス組の抽出は、OR回路、時間差判定回路、抽出回路からなるパルス組抽出部でなされる。
【選択図】図1
Description
本発明の多重放射線分析装置は、被測定試料から同時に放射される2種類のエネルギーの放射線を検出することによって前記被測定試料に含まれる元素分析を行う多重放射線分析装置であって、前記放射線を検出して出力パルスとして出力する2個以上の放射線検出器と、前記各放射線検出器からの出力パルスの到着時刻を認識する時刻検出部と、前記各出力パルスのうち、到着時刻の時間差が予め設定された間隔よりも短い2つの出力パルスを出力パルス組として抽出するパルス組抽出部と、前記2つの出力パルスのそれぞれのパルス波高から、前記2つの出力パルスに対応するそれぞれの放射線のエネルギーを算出するパルス波高分析部と、を具備することを特徴とする。
本発明の多重放射線分析装置において、前記パルス組抽出部は、前記2個以上の放射線検出器から出力された出力パルスのうちの一つの出力パルスである第1の出力パルスが入力され、該第1の出力パルス以降に出力パルスが入力された場合に、前記第1の出力パルス以降に入力された出力パルスと前記第1の出力パルスとの到着時刻の時間差を算出する時間差判定回路と、前記時間差が前記予め設定された間隔よりも短い出力パルスを第2の出力パルスと認識し、前記第1の出力パルス及び前記第2の出力パルスを前記出力パルス組として認識する抽出回路と、を具備することを特徴とする。
本発明の多重放射線分析装置において、前記放射線はX線であり、複数種類の元素の特性X線エネルギーをデータベースとして記憶する記憶部を具備することを特徴とする。
本発明の多重放射線分析方法は、被測定試料から同時に放射される2種類のエネルギーの放射線を検出することによって前記被測定試料に含まれる元素分析を行う多重放射線分析方法であって、前記放射線を検出して出力パルスとして出力する放射線検出器を2個以上用い、前記各放射線検出器からの出力パルスの到着時刻を認識し、前記各出力パルスのうち、到着時刻の時間差が予め設定された間隔よりも短い2つの出力パルスを出力パルス組として抽出し、前記2つの出力パルスのそれぞれのパルス波高から、前記2つの出力パルスに対応するそれぞれの放射線エネルギーを算出し、前記2つの出力パルスに対応する放射線エネルギーの度数分布である3次元グラフを作成することにより、前記被測定試料に含まれる元素の分析を行うことを特徴とする。
本発明の多重放射線分析方法において、前記2個以上の放射線検出器から出力された出力パルスのうちの一つの出力パルスである第1の出力パルスが入力された場合に、該第1の出力パルスの到着時刻と前記第1の出力パルス以降に出力パルスが入力された場合の、前記第1の出力パルス以降に入力された出力パルスと前記第1の出力パルスとの到着時刻の時間差を算出し、前記時間差が前記予め設定された間隔よりも短い出力パルスを第2の出力パルスと認識し、前記第1の出力パルス及び前記第2の出力パルスを前記出力パルス組として認識することを特徴とする。
本発明の多重放射線分析方法において、前記放射線はX線であることを特徴とする。
11〜1N X線検出器
21〜2N パルス時刻検出回路(時刻検出部)
31 OR回路(パルス組抽出部)
32 時間差判定回路(パルス組抽出部)
33 抽出回路(パルス組抽出部)
34 パルス波高分析回路(パルス波高分析部)
35 記憶装置(記憶部)
100 被測定試料
Claims (6)
- 被測定試料から同時に放射される2種類のエネルギーの放射線を検出することによって前記被測定試料に含まれる元素分析を行う多重放射線分析装置であって、
前記放射線を検出して出力パルスとして出力する2個以上の放射線検出器と、
前記各放射線検出器からの出力パルスの到着時刻を認識する時刻検出部と、
前記各出力パルスのうち、到着時刻の時間差が予め設定された間隔よりも短い2つの出力パルスを出力パルス組として抽出するパルス組抽出部と、
前記2つの出力パルスのそれぞれのパルス波高から、前記2つの出力パルスに対応するそれぞれの放射線のエネルギーを算出するパルス波高分析部と、
を具備することを特徴とする多重放射線分析装置。 - 前記パルス組抽出部は、
前記2個以上の放射線検出器から出力された出力パルスのうちの一つの出力パルスである第1の出力パルスが入力され、該第1の出力パルス以降に出力パルスが入力された場合に、前記第1の出力パルス以降に入力された出力パルスと前記第1の出力パルスとの到着時刻の時間差を算出する時間差判定回路と、
前記時間差が前記予め設定された間隔よりも短い出力パルスを第2の出力パルスと認識し、前記第1の出力パルス及び前記第2の出力パルスを前記出力パルス組として認識する抽出回路と、
を具備することを特徴とする請求項1に記載の多重放射線分析装置。 - 前記放射線はX線であり、
複数種類の元素の特性X線エネルギーをデータベースとして記憶する記憶部を具備することを特徴とする請求項1又は2に記載の多重放射線分析装置。 - 被測定試料から同時に放射される2種類のエネルギーの放射線を検出することによって前記被測定試料に含まれる元素分析を行う多重放射線分析方法であって、
前記放射線を検出して出力パルスとして出力する放射線検出器を2個以上用い、
前記各放射線検出器からの出力パルスの到着時刻を認識し、
前記各出力パルスのうち、到着時刻の時間差が予め設定された間隔よりも短い2つの出力パルスを出力パルス組として抽出し、
前記2つの出力パルスのそれぞれのパルス波高から、前記2つの出力パルスに対応するそれぞれの放射線エネルギーを算出し、前記2つの出力パルスに対応する放射線エネルギーの度数分布である3次元グラフを作成することにより、前記被測定試料に含まれる元素の分析を行うことを特徴とする多重放射線分析方法。 - 前記2個以上の放射線検出器から出力された出力パルスのうちの一つの出力パルスである第1の出力パルスが入力された場合に、該第1の出力パルスの到着時刻と前記第1の出力パルス以降に出力パルスが入力された場合の、前記第1の出力パルス以降に入力された出力パルスと前記第1の出力パルスとの到着時刻の時間差を算出し、
前記時間差が前記予め設定された間隔よりも短い出力パルスを第2の出力パルスと認識し、前記第1の出力パルス及び前記第2の出力パルスを前記出力パルス組として認識することを特徴とする請求項4に記載の多重放射線分析方法。 - 前記放射線はX線であることを特徴とする請求項4又は5に記載の多重放射線分析方法。
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