JP6176141B2 - Iii 族窒化物半導体発光素子の製造方法 - Google Patents
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Description
本実施形態に係る発光素子100の概略構成を図1に示す。発光素子100は、フェイスアップ型の半導体発光素子である。発光素子100は、III 族窒化物半導体から成る複数の半導体層Ep1を有する。
2−1.発光層
図2は、発光層160およびp型クラッド層170の周辺の積層構造を示す概略構成図である。発光層160は、電子と正孔とが再結合することで、光を発する層である。発光層160は、単位積層構造を繰り返し積層した多重量子井戸構造(MQW構造)である。ここで、単位積層構造は、InGaN層161と、GaN層162と、AlGaN層163とを、下層からこの順序で積層したものである。この単位積層構造の繰り返し回数は、例えば、9回である。この繰り返し回数は、5回以上12回以下の範囲内で変えてもよい。もちろん、これ以外の回数を用いてもよい。また、単位積層構造における各層の積層順序を変えてもよい。単位積層構造自体も、上記のものとは異なるも単位積層構造を用いることができる。その際に、GaNと、InGaNと、AlGaNと、AlInGaNとを、自由に組み合わせてよい。
p型クラッド層170は、発光層160の上に形成されている。p型クラッド層170は、p型AlGaN層171と、p型InGaN層172と、を繰り返し積層して形成したものである。繰り返し回数は、例えば、5回である。p型AlGaN層171のAl組成比は、10%以上40%以下の範囲内である。p型AlGaN層171の厚みは、5Å以上70Å以下の範囲内である。p型InGaN層172のIn組成比は、2%以上20%以下の範囲内である。ただし、p型InGaN層172のIn組成比は、発光層160のInGaN層161のIn組成比よりも小さい。p型InGaN層172の厚みは、5Å以上70Å以下の範囲内である。これらの数値は、あくまで例示である。したがって、これ以外の数値であってもよい。また、異なる構成であってもよい。
p型コンタクト層180は、p型クラッド層170の上に形成されている。p型コンタクト層180は、例えば、p型GaNである。p型コンタクト層180は、キャリア濃度の異なる2層を有する2層構造であってもよい。
3−1.製造工程
ここで、p型クラッド層170の製造工程について、説明する。図3は、p型クラッド層170の製造工程を示す概念図である。図3に示すように、p型クラッド層170の製造工程は、第1のp型半導体層形成工程と、第1の中断工程と、p型InGaN層形成工程と、第2の中断工程と、を有する。
第1の中断工程では、混合ガスにおける窒素ガスの体積と水素ガスの体積との和に対する水素ガスの体積の比(以下、「水素ガスの混合比」という)Xを20%以上100%以下の範囲内とする。ここで、水素ガスの混合比Xは、以下の式を満たす。
X = VH2 /(VH2 +VN2 )
VH2 :水素ガスの体積
VN2 :窒素ガスの体積
なお、好ましくは、水素ガスの混合比Xは、40%以上95%以下である。より好ましくは、水素ガスの混合比Xは、50%以上80%以下である。これらの数値範囲については、後述する。
半導体層をGa面側にエピタキシャル成長させる際に、III 族元素面の一部にN面が混合することがある。このように、N面が混合した箇所を極性反転欠陥といい、単位面積当たりの極性反転欠陥の数を極性反転欠陥密度という。この極性反転欠陥密度は、エピタキシャル成長するにしたがって増加する傾向にある。つまり、エピタキシャル成長の終期の極性反転欠陥密度は、エピタキシャル成長の初期の極性反転欠陥密度よりも高いのが一般的である。
続いて、本実施形態に係る半導体発光素子の製造方法について説明する。本実施形態の半導体発光素子の製造方法は、基板の上にn型半導体層を形成するn型半導体層形成工程と、n型半導体層の上に発光層を形成する発光層形成工程と、発光層の上にp型半導体層を形成するp型半導体層形成工程と、を有する。
4−1−1.n型コンタクト層形成工程
まず、基板110の上に低温バッファ層120を形成する。そして、低温バッファ層120の上にn型コンタクト層130を形成する。基板温度は、例えば、1080℃以上1140℃以下である。
次に、n型コンタクト層130の上にn型静電耐圧層140を形成する。基板温度は、例えば、750℃以上950℃以下である。
次に、n型静電耐圧層140の上にn型クラッド層150を形成する。基板温度は、例えば、700℃以上950℃以下である。
続いて、n型クラッド層150の上に発光層160を形成する。そのために、単位積層構造を繰り返し形成する。その繰り返し回数は、前述のとおりである。単位積層構造を、InGaN層と、GaN層と、AlGaN層とを、下層からこの順序で積層する。InGaN層を、成長温度750℃以上800℃以下の範囲内の温度で成長させる。そのために、TMI、TMG、アンモニアの原料ガスを供給する。AlGaN層を、成長温度850℃以上950℃以下の範囲内の温度で成長させる。そのために、TMA、TMG、アンモニアの原料ガスを供給する。
4−3−1.p型クラッド層形成工程
次に、発光層160の上にp型クラッド層170を形成する。前述したように、第1のp型半導体層形成工程と、第1の中断工程と、p型InGaN層形成工程と、第2の中断工程と、を実施する。第1のp型半導体層形成工程では、CP2 Mg、TMA、TMG、アンモニアを供給することにより、p型AlGaN層171を形成する。
続いて、p型クラッド層170の上にp型コンタクト層180を形成する。基板温度は、例えば、900℃以上1050℃以下である。p型コンタクト層180を形成した後の様子を図4に示す。
次に、p型コンタクト層180の上に透明電極190を形成する。そのために、スパッタリング等を用いればよい。透明電極190を形成する領域は、n電極N1を形成する領域を除いた領域である。
次に、p型コンタクト層180の表面側からドライエッチングを行って、n型コンタクト層130の途中まで達する溝を形成する。これにより、図5に示すように、n型コンタクト層130の一部を露出させる。そして、露出させたn型コンタクト層130の上にn電極N1を形成する。また、透明電極190の上にp電極P1を形成する。
次に、半導体層および電極を形成した基板110を素子に分割する。そのために、レーザー装置や、ブレーキング装置を用いればよい。
また、上記の他に、保護膜を形成する保護膜形成工程と、半導体層に熱処理を施す熱処理工程と、その他の工程と、を実施してもよい。以上により、図1に示した発光素子100が製造される。
5−1.極性反転欠陥密度
ここで、p型クラッド層170について実施した実験について説明する。本実験では、p型クラッド層形成工程の第1の中断工程において、水素ガスの混合比Xを変えてp型クラッド層170を形成した。そして、極性反転欠陥密度を測定した。ここで、極性反転欠陥密度を測定した箇所は、p型クラッド層170とp型コンタクト層180との境界面の位置である。また、発光素子100を作製して駆動電圧を測定した。
ここでは、p型クラッド層形成工程の第1の中断工程において、窒素ガスと水素ガスとの混合ガスを用いた発光素子(実施例)と、水素ガスを用いずに窒素ガスを用いた発光素子(比較例)と、を作製した。そして、両者の駆動電圧を比較した。
If Vf(水素ガス無し) Vf(水素ガス有り)
1000mA 4.13V 4.08V
2000mA 4.93V 4.87V
6−1.p型クラッド層
本実施形態では、p型クラッド層170にp型AlGaN層171を用いることとした。しかし、p型AlGaN層171の代わりに、p型GaN層を形成することとしてもよい。
また、本実施形態では、p型AlGaN層171を形成してからp型InGaN層172を形成することとした。しかし、p型InGaN層から先に形成することとしてもよい。その場合であっても、p型AlGaN層を形成した後の中断期間に、水素ガスと窒素ガスとの混合ガスを供給すればよい。
なお、p型クラッド層形成工程の第1の中断工程で供給する混合ガス以外に、アンモニア等のガスを供給してもよい。
上記の変形例を自由に組み合わせてもよい。
以上詳細に説明したように、本実施形態のIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法では、p型クラッド層形成工程の第1の中断工程T2で水素ガスと窒素ガスとの混合ガスを供給することとした。そのため、p型AlGaN層171の表面の極性反転欠陥を減少させることができる。これにより、駆動電圧Vfの低い発光素子100が実現されている。
第1の中断工程では、基板温度を下降させつつ、水素ガスと窒素ガスとの混合ガスを供給する。また、第1の中断工程の開始時に水素ガスの供給を開始し、第1の中断工程の終了時に水素ガスの供給を停止する。
110…基板
120…低温バッファ層
130…n型コンタクト層
140…n型静電耐圧層
150…n型クラッド層
160…発光層
161…InGaN層
162…GaN層
163…AlGaN層
170…p型クラッド層
171…p型AlGaN層
172…p型InGaN層
180…p型コンタクト層
190…透明電極
Ep1…半導体層
P1…p電極
N1…n電極
Claims (2)
- 基板の上にn型半導体層を形成するn型半導体層形成工程と、
前記n型半導体層の上に発光層を形成する発光層形成工程と、
前記発光層の上にp型半導体層を形成するp型半導体層形成工程と、
を有するIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法において、
前記p型半導体層形成工程は、
p型クラッド層を形成するp型クラッド層形成工程を有し、
前記p型クラッド層形成工程は、
p型AlGaN層を形成するp型AlGaN層形成工程と、
前記p型AlGaN層形成工程の後に半導体層の成長を中断する第1の中断工程と、
前記第1の中断工程の後にp型InGaN層を形成するp型InGaN層形成工程と、
前記p型InGaN層形成工程の後に半導体層の成長を中断する第2の中断工程と、
を有し、
前記第1の中断工程では、
窒素ガスと水素ガスとを含む混合ガスを前記基板に供給し、
前記水素ガスにより前記p型AlGaN層の表面の極性反転欠陥をエッチングし、
前記p型AlGaN層形成工程および前記p型InGaN層形成工程および前記第2の中断工程では、
水素ガスを前記基板に供給しないで窒素ガスを前記基板に供給すること
を特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法。 - 請求項1に記載のIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法において、
前記第1の中断工程では、
前記混合ガスにおける窒素ガスの体積と水素ガスの体積との和に対する水素ガスの体積の比を20%以上100%以下の範囲内とすること
を特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法。
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