JP6174935B2 - エッチング液組成物 - Google Patents
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Description
◎:比較例1に係るエッチング液組成物と比較して、気泡の発生量が少ない。
○:比較例1に係るエッチング液組成物と同程度の量の気泡が発生する。
△:比較例1に係るエッチング液組成物と比較して、気泡の発生量が若干、多いもの の、実用上の問題はない。
×:比較例1に係るエッチング液組成物と比較して、気泡の発生量が非常に多く、実 用に際しては困難が伴うことが予想される。
Claims (4)
- 縮合リン酸及び/又はその塩類を0.5〜5.0重量%、カルボン酸及び/又はその塩類を0.5〜10.0重量%、ジエチレントリアミン五酢酸及び/又はその塩類を1.0〜20.0重量%、過酸化水素を10.0〜33.0重量%の割合において含有する水溶液からなるエッチング液組成物。
- 前記縮合リン酸及び/又はその塩類が、ピロリン酸、トリポリリン酸、ペンタポリリン酸、メタリン酸、ヘキサメタリン酸、ピロリン酸ナトリウム、ピロリン酸カリウム、ピロリン酸アンモニウム、トリポリリン酸ナトリウム、トリポリリン酸カリウム、トリポリリン酸アンモニウム、ペンタポリリン酸ナトリウム、ペンタポリリン酸カリウム、ペンタポリリン酸アンモニウム、メタリン酸ナトリウム、メタリン酸カリウム、メタリン酸アンモニウム、ヘキサメタリン酸ナトリウム、ヘキサメタリン酸カリウム、ヘキサメタリン酸アンモニウムからなる群より選ばれる一種又は二種以上である請求項1に記載のエッチング液組成物。
- 前記カルボン酸及び/又はその塩類が、グルコン酸、グリコール酸、クエン酸、フタル酸、シュウ酸、3,4−ジヒドロキシ安息香酸、グルコン酸ナトリウム、グルコン酸カリウム、グルコン酸アンモニウム、グリコール酸ナトリウム、グリコール酸カリウム、グリコール酸アンモニウム、クエン酸ナトリウム、クエン酸カリウム、クエン酸アンモニウム、フタル酸ナトリウム、フタル酸カリウム、フタル酸アンモニウム、シュウ酸ナトリウム、シュウ酸カリウム、シュウ酸アンモニウム、3,4−ジヒドロキシ安息香酸ナトリウム、3,4−ジヒドロキシ安息香酸カリウム、3,4−ジヒドロキシ安息香酸アンモニウムからなる群より選ばれる一種又は二種以上である請求項1又は請求項2に記載のエッチング液組成物。
- 前記ジエチレントリアミン五酢酸及び/又はその塩類が、ジエチレントリアミン五酢酸、ジエチレントリアミン五酢酸四水素一ナトリウム、ジエチレントリアミン五酢酸四水素一カリウム、ジエチレントリアミン五酢酸四水素一アンモニウム、ジエチレントリアミン五酢酸三水素二ナトリウム、ジエチレントリアミン五酢酸三水素二カリウム、ジエチレントリアミン五酢酸三水素二アンモニウム、ジエチレントリアミン五酢酸二水素三ナトリウム、ジエチレントリアミン五酢酸二水素三カリウム、ジエチレントリアミン五酢酸二水素三アンモニウム、ジエチレントリアミン五酢酸一水素四ナトリウム、ジエチレントリアミン五酢酸一水素四カリウム、ジエチレントリアミン五酢酸一水素四アンモニウム、ジエチレントリアミン五酢酸五ナトリウム、ジエチレントリアミン五酢酸五カリウム、ジエチレントリアミン五酢酸五アンモニウムからなる群より選ばれる一種又は二種以上である請求項1乃至請求項3の何れか1項に記載のエッチング液組成物。
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