JP6163180B2 - 偏光板の製造方法 - Google Patents
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Description
子層で被覆することで、ワイヤグリッド偏光板の信頼性を向上させることが記載されている。これによれば、ワイヤグリッド偏光板では、ナノレベルの微細構造を有するために、耐蝕性に関して通常用いられている材料や形成方法をそのまま適用した場合、著しい光学特性の劣化を招いてしまう場合があることが記載されている。
Claims (6)
- ウェハ基板の一面全体に形成された下地膜に、グリッドを形成するパターン及び上記ウェハ基板の周縁部に上記グリッドを形成しない非形成領域を形成するパターンを有するレジストを設け、上記下地膜を用いた上記グリッド及び上記非形成領域を形成する工程と、
上記グリッド及び上記非形成領域を保護する保護膜を形成する工程とを備える偏光板の製造方法において、
更に、上記ウェハ基板上に形成された上記偏光板の非形成領域において切断することにより、所定の大きさに切断固片化された偏光板を複数得る切断工程を有し、
上記非形成領域は、上記ウェハ基板の周縁部から内側に向かって、上記グリッドの長手方向と略直交する辺のみに0.2mm以上設けられている偏光板の製造方法。 - 上記切断工程は、上記保護膜を形成する工程の前に行う請求項1記載の偏光板の製造方法。
- 上記切断工程は、上記保護膜を形成する工程の後に行う請求項1記載の偏光板の製造方法。
- 上記非形成領域には、遮光部が形成されている請求項1〜3のいずれか1項に記載の偏光板の製造方法。
- 上記非形成領域は、上記ウェハ基板の周縁部から上記グリッドの長手方向と略直交する辺に2〜3mmの位置まで設けられている請求項1記載の偏光板の製造方法。
- 上記ウェハ基板は、略矩形状に形成され、
上記非形成領域は、上記ウェハ基板の、上記グリッドの長手方向と略直交する辺の周縁部に設けられている請求項1〜5のいずれか1項に記載の偏光板の製造方法。
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