JP7174625B2 - Euvリソグラフィ用のメンブレンアセンブリを製造する方法、メンブレンアセンブリ、リソグラフィ装置、及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
[0001] 本出願は、2015年12月18日に出願された欧州特許出願第15201073.2号及び2016年5月25日に出願された欧州特許出願第16171233.6号の優先権を主張し、参照により全体が本明細書に取り入れられる。
-放射ビームB(例えば、EUV放射)を調整するように構成された照明システム(イルミネータ)IL。
-パターニングデバイス(例えば、マスク又はレチクル)MAを支持するように構成され、パターニングデバイスを正確に位置決めするように構成された第1のポジショナPMに接続された支持構造(例えば、マスクテーブル)MTと、
-基板(例えば、レジストコートウェーハ)Wを保持するように構成され、基板を正確に位置決めするように構成された第2のポジショナPWに接続された基板テーブル(例えば、ウェーハテーブル)WTと、
-パターニングデバイスMAによって放射ビームBに与えられたパターンを、基板Wのターゲット部分C(例えば、1つ以上のダイを含む)上に投影するように構成された投影システム(例えば、反射投影システム)PSと、を含む。
[条項1]
平面基板と少なくとも1つのメンブレン層とを含むスタックを設けることであって、前記平面基板が内部領域と、前記内部領域の周りの境界領域と、前記境界領域の周りのブリッジ領域と、前記ブリッジ領域の周りのエッジ領域とを含むことと、
前記内部領域と前記ブリッジ領域の第1の部分とを選択的に除去して、
前記少なくとも1つのメンブレン層から形成されたメンブレンと、
前記メンブレンを保持する境界であって、前記平面基板の前記境界領域から形成された境界と、
前記境界の周りのエッジセクションであって、前記平面基板の前記エッジ領域から形成されたエッジセクションと、
前記境界と前記エッジセクションとの間のブリッジであって、前記少なくとも1つのメンブレン層及び前記平面基板の前記ブリッジ領域の第2の部分から形成されたブリッジと、
を含むメンブレンアセンブリを提供することと、
前記ブリッジを切断又は破断することにより前記エッジセクションを前記境界から分離することと、
を含む、EUVリソグラフィ用のメンブレンアセンブリを製造する方法。
[条項2]
前記メンブレンアセンブリに機械的応力を加えることにより、前記ブリッジが破断される、条項1記載の方法。
[条項3]
レーザを使用して前記ブリッジが切断される、条項1記載の方法。
[条項4]
前記スタックが、
前記少なくとも1つのメンブレン層が保護層と前記平面基板との間になるように前記スタックの少なくとも上面の上並びに前記スタックの側面の上の保護層であって、前記内部領域及び前記ブリッジ領域の前記第1の部分を選択的に除去するために使用される除去プロセスに対して耐性がある保護層と、
前記少なくとも1つのメンブレン層と前記保護層との間にある上部エッチバリア及び前記少なくとも1つのメンブレン層と前記平面基板との間にある下部エッチバリアと、
を更に含み、
前記方法が、前記内部領域及び前記ブリッジ領域の前記第1の部分が除去された後に前記保護層を除去することを更に含み、少なくとも前記上部エッチバリアが前記保護層を除去するために使用される除去プロセスに対して耐性がある、条項1から3のいずれかに記載の方法。
[条項5]
前記保護層と、前記少なくとも1つのメンブレン層の一部分を一緒に挟んでいる前記上部エッチバリアの一部分及び前記下部エッチバリアの一部分とを除去することを更に含む、条項4記載の方法。
[条項6]
平面基板と少なくとも1つのメンブレン層とを含むスタックを設けることであって、前記平面基板が内部領域と、前記内部領域の周りの境界領域と、前記境界領域の周りのブリッジ領域と、前記境界領域の周りのエッジ領域とを含むことと、
前記少なくとも1つのメンブレン層が第1の保護層と前記平面基板との間になるように前記スタックの少なくとも上面の上並びに前記スタックの側面の上に第1の保護層を付設することと、
前記スタック及び前記第1の保護層に第1の除去プロセスを適用して、前記平面基板の前記ブリッジ領域の少なくとも一部分を選択的に除去し、それにより前記平面基板の前記境界領域と前記エッジ領域との間の一体接続部を薄型化又は除去することであって、前記第1の保護層が前記第1の除去プロセスに対して耐性があることと、
前記エッジ領域及び前記エッジ領域上に形成された層を除去することと、
前記エッジ領域の除去後に基板アセンブリの少なくとも側面の上に第2の保護層を付設することと、
第2の除去プロセスを適用して前記内部領域を選択的に除去して、
前記少なくとも1つのメンブレン層から形成されたメンブレンと、
前記メンブレンを保持する境界であって、前記平面基板の前記境界領域から形成された境界と、
を含むメンブレンアセンブリを提供することであって、前記第2の保護層が前記第2の除去プロセスに対して耐性があることと、
を含む、EUVリソグラフィ用のメンブレンアセンブリを製造する方法。
[条項7]
前記スタックが上部エッチバリアと下部エッチバリアとを更に含み、前記少なくとも1つのメンブレン層が前記上部エッチバリアと前記下部エッチバリアとの間に位置し、
前記方法が、前記内部領域が除去された後に前記第2の保護層を除去することを更に含み、少なくとも前記上部エッチバリアが前記第2の保護層を除去するために使用される除去プロセスに対して耐性がある、条項6記載の方法。
[条項8]
前記少なくとも1つのメンブレン層の一部分を一緒に挟んでいる前記上部エッチバリアの一部分及び前記下部エッチバリアの一部分を除去することを更に含む、条項7記載の方法。
[条項9]
平面基板と少なくとも1つのメンブレン層と保護層とを含むスタックを設けることであって、前記少なくとも1つのメンブレン層が前記保護層と前記平面基板との間にあり、前記平面基板が内部領域と、前記内部領域の周りの境界領域と、前記境界領域の周りのブリッジ領域と、前記ブリッジ領域の周りのエッジ領域とを含むことと、
除去プロセスを使用して前記内部領域及び前記ブリッジ領域の少なくとも一部分を選択的に除去し、それにより前記平面基板の前記境界領域と前記エッジ領域との間の一体接続部を薄型化又は除去することであって、前記保護層が前記除去プロセスに対して耐性があることと、
前記エッジ領域及び前記エッジ領域上に形成された層を基板アセンブリから分離し、その後、前記保護層を除去して、
前記少なくとも1つのメンブレン層から形成されたメンブレンと、
前記メンブレンを保持する境界であって、前記平面基板の前記境界領域から形成された境界と、
を含むメンブレンアセンブリを提供することと、
を含む、EUVリソグラフィ用のメンブレンアセンブリを製造する方法。
[条項10]
前記スタックが、前記少なくとも1つのメンブレン層と前記保護層との間にある上部エッチバリア及び前記少なくとも1つのメンブレン層と前記平面基板との間にある下部エッチバリアを更に含み、少なくとも前記上部エッチバリアが前記保護層を除去するために使用される除去プロセスに対して耐性がある、条項9記載の方法。
[条項11]
前記少なくとも1つのメンブレン層の一部分を一緒に挟んでいる前記上部エッチバリアの一部分及び前記下部エッチバリアの一部分を除去することを更に含む、条項10記載の方法。
[条項12]
平面基板と少なくとも1つのメンブレン層とを含むスタックを設けることであって、前記平面基板が内部領域と、前記内部領域の周りの境界領域と、前記境界領域の周りのエッジ領域とを含むことと、
前記エッジ領域及び前記エッジ領域上に形成された層を除去することと、
前記少なくとも1つのメンブレン層が保護層と前記平面基板との間になるように前記スタックの少なくとも上面の上並びに前記スタックの側面の上に保護層を付設することと、
第1の除去プロセスを使用して前記内部領域を選択的に除去することであって、前記保護層が前記第1の除去プロセスに対して耐性があることと、
第2の除去プロセスを使用して前記保護層を除去して、
前記少なくとも1つのメンブレン層から形成されたメンブレンと、
前記メンブレンを保持する境界であって、前記平面基板の前記境界領域から形成された境界と、
を含むメンブレンアセンブリを提供することと、
を含む、EUVリソグラフィ用のメンブレンアセンブリを製造する方法。
[条項13]
前記保護層を付設することが前記エッジ領域の除去後に実行される、条項12記載の方法。
[条項14]
前記保護層を付設することが前記エッジ領域の除去前に実行される、条項12記載の方法。
[条項15]
前記スタックが、上部エッチバリアが前記少なくとも1つのメンブレン層と前記保護層との間になるように前記保護層が付設される上部エッチバリアと、前記少なくとも1つのメンブレン層と前記平面基板との間にある下部エッチバリアとを更に含み、少なくとも前記上部エッチバリアが前記保護層を除去するために使用される前記第2の除去プロセスに対して耐性がある、条項12から14のいずれかに記載の方法。
[条項16]
前記少なくとも1つのメンブレン層の一部分を一緒に挟んでいる前記上部エッチバリアの一部分及び前記下部エッチバリアの一部分を除去することを更に含む、条項15記載の方法。
[条項17]
平面基板と少なくとも1つのメンブレン層とを含むスタックを設けることであって、前記平面基板が内部領域と、前記内部領域の周りの境界領域と、前記境界領域の周りのブリッジ領域と、前記ブリッジ領域の周りのエッジ領域とを含むことと、
エッチ抵抗コーティングで前記スタックをカプセル化し、前記スタックの下側の前記エッチ抵抗コーティングにパターン形成して、前記エッチ抵抗コーティングによって保護される前記スタックの領域及び前記エッチ抵抗コーティングによって保護されない前記スタックの領域を規定することと、
前記平面基板の前記内部領域、境界領域、及びブリッジ領域の上の前記スタックの上側の領域に機械的研磨プロセスを適用して、前記エッチ抵抗コーティングの第1の部分を除去することと、
前記平面基板の前記内部領域、境界領域、及びブリッジ領域の上の前記スタックの上側の前記領域に前記エッチ抵抗コーティングをエッチングするために効果的なエッチングプロセスを適用して、前記エッチ抵抗コーティングの第2の部分を除去することと、
前記スタックの少なくとも上側を覆う保護層を付設することと、
除去プロセスを使用して前記内部領域及び前記ブリッジ領域の少なくとも一部分を選択的に除去し、それにより前記平面基板の前記境界領域と前記エッジ領域との間の一体接続部を薄型化又は除去して、
前記少なくとも1つのメンブレン層から形成されたメンブレンと、
前記メンブレンを保持する境界であって、前記平面基板の前記境界領域から形成された境界と、
前記境界の周りのエッジセクションであって、前記平面基板の前記エッジ領域から形成されたエッジセクションと、
前記境界と前記エッジセクションとの間のブリッジであって、前記少なくとも1つのメンブレン層及び前記平面基板の前記ブリッジ領域の残りの部分から形成されたブリッジと、
を含むメンブレンアセンブリを提供することと、
前記ブリッジを切断又は破断することにより前記エッジセクションを前記境界から分離することと、
を含む、EUVリソグラフィ用のメンブレンアセンブリを製造する方法。
[条項18]
前記スタックが上部エッチバリアと下部エッチバリアとを更に含み、前記少なくとも1つのメンブレン層が前記上部エッチバリアと前記下部エッチバリアとの間に位置し、
前記方法が、前記内部領域が除去された後に前記保護層を除去することを更に含み、少なくとも前記上部エッチバリアが前記保護層を除去するために使用される除去プロセスに対して耐性がある、条項17記載の方法。
[条項19]
前記少なくとも1つのメンブレン層の一部分を一緒に挟んでいる前記上部エッチバリアの一部分及び前記下部エッチバリアの一部分を除去することを更に含む、条項18記載の方法。
[条項20]
前記上部エッチバリアが異なる組成の複数の層を含み、前記複数の層のうちの最も厚い層が、低圧化学蒸着法又はプラズマ促進化学蒸着法を使用して形成されたテトラエチルオルトシリケート(TEOS)を含む、条項4、5、7、8、10、11、15、16、及び18から19のいずれかに記載の方法。
[条項21]
前記下部エッチバリアが異なる組成の複数の層を含み、前記複数の層のうちの最も厚い層が、低圧化学蒸着法又はプラズマ促進化学蒸着法を使用して形成されたテトラエチルオルトシリケート(TEOS)を含む、条項4、5、7、8、10、11、15、16、及び18から20のいずれかに記載の方法。
[条項22]
前記上部エッチバリア及び前記下部エッチバリアがそれぞれ前記少なくとも1つのメンブレン層に直接隣接し、実質的に等しい引張力又は圧縮力を前記少なくとも1つのメンブレン層に加えるようにそれぞれ構成される、条項4、5、7、8、10、11、15、16、及び18から21のいずれかに記載の方法。
[条項23]
前記平面基板がシリコンウェーハを含む、条項1から22のいずれかに記載の方法。
[条項24]
前記少なくとも1つのメンブレン層が非晶質シリコンの層を含む、条項1から23のいずれかに記載の方法。
[条項25]
前記少なくとも1つのメンブレン層が前記非晶質シリコン層のそれぞれの側に窒化ケイ素層を更に含む、条項24記載の方法。
[条項26]
前記メンブレンが13.5nmの波長を有する放射に対して少なくとも80%の透過性である、条項1から25のいずれかに記載の方法。
[条項27]
前記保護層あるいは適用可能である場合に前記第1の保護層又は前記第2の保護層が、有機ポリマー層、及び低圧化学蒸着法又はプラズマ促進化学蒸着法を使用して形成された窒化物層のうちの1つ以上を含む、条項1から26のいずれかに記載の方法。
[条項28]
前記メンブレンアセンブリがパターニングデバイス又は動的ガスロック用である、条項1から27のいずれかに記載の方法。
[条項29]
条項1から28のいずれかに記載の製造方法によって得られるか又は得られたメンブレンアセンブリ。
[条項30]
放射ビームにパターンを付与するように構成されたパターニングデバイスと、
条項1から28のいずれかに記載の方法によって製造されたメンブレンアセンブリを含み、前記パターニングデバイスを保護するように構成されたペリクルと、
を含む、リソグラフィ装置。
[条項31]
リソグラフィを使用してデバイスを製造するために条項30記載のリソグラフィ装置を使用することを含む、デバイス製造方法。
Claims (11)
- 平面基板と少なくとも1つのメンブレン層とを含むスタックを設けることであって、前記平面基板が内部領域と、前記内部領域の周りの境界領域と、前記境界領域の周りのブリッジ領域と、前記ブリッジ領域の周りのエッジ領域とを含み、前記平面基板は酸化層および非酸化層を含み、前記平面基板の前記非酸化層がエッチングされるときに前記酸化層がエッチバリアを形成し、前記エッチバリアは、前記少なくとも1つのメンブレン層に隣接する上部エッチバリア及び下部エッチバリアを含み、前記下部エッチバリアは、前記少なくとも1つのメンブレン層と前記平面基板との間にあり、前記上部エッチバリア及び前記下部エッチバリアの80%以上がテトラエチルオルトシリケートを含むことと、
前記内部領域と前記ブリッジ領域の第1の部分とを選択的に除去して、
前記内部領域にわたって形成され、かつ前記少なくとも1つのメンブレン層から形成された自立形のメンブレンと、
前記メンブレンを保持する境界であって、前記平面基板の前記境界領域から形成された境界と、
前記境界の周りのエッジセクションであって、前記平面基板の前記エッジ領域から形成されたエッジセクションと、
前記境界と前記エッジセクションとの間のブリッジであって、前記少なくとも1つのメンブレン層及び前記平面基板の前記ブリッジ領域の第2の部分から形成されたブリッジと、
を含むメンブレンアセンブリを提供することと、
前記ブリッジを切断又は破断することにより前記エッジセクションを前記境界から分離して、前記エッジセクションを取り除いたメンブレンアセンブリを提供することと、
を含む、EUVリソグラフィ用のメンブレンアセンブリを製造する方法。 - 前記スタックが、前記少なくとも1つのメンブレン層が保護層と前記平面基板との間になるように前記スタックの少なくとも上面の上並びに前記スタックの側面の上の保護層であって、前記内部領域及び前記ブリッジ領域の前記第1の部分を選択的に除去するために使用される除去プロセスに対して耐性がある保護層を更に含み、
前記上部エッチバリアは、前記少なくとも1つのメンブレン層と前記保護層との間にあり、
前記方法が、前記内部領域及び前記ブリッジ領域の前記第1の部分が除去された後に前記保護層を除去することを更に含み、少なくとも前記上部エッチバリアが前記保護層を除去するために使用される除去プロセスに対して耐性がある、請求項1に記載の方法。 - 前記保護層と、前記少なくとも1つのメンブレン層の一部分を一緒に挟んでいる前記上部エッチバリアの一部分及び前記下部エッチバリアの一部分とを除去することを更に含む、請求項2に記載の方法。
- 平面基板と少なくとも1つのメンブレン層とを含むスタックを設けることであって、前記平面基板が内部領域と、前記内部領域の周りの境界領域と、前記境界領域の周りのブリッジ領域と、前記境界領域の周りのエッジ領域とを含むことと、
前記少なくとも1つのメンブレン層が第1の保護層と前記平面基板との間になるように前記スタックの少なくとも上面の上並びに前記スタックの側面の上に第1の保護層を付設することと、
前記スタック及び前記第1の保護層に第1の除去プロセスを適用して、前記平面基板の前記ブリッジ領域の少なくとも一部分を選択的に除去し、それにより前記平面基板の前記境界領域と前記エッジ領域との間の一体接続部を薄型化又は除去することであって、前記第1の保護層が前記第1の除去プロセスに対して耐性があることと、
前記エッジ領域及び前記エッジ領域上に形成された層を含むエッジセクションを除去することと、
前記エッジ領域の除去後に基板アセンブリの少なくとも側面の上に第2の保護層を付設することと、
第2の除去プロセスを適用して前記内部領域を選択的に除去して、前記エッジセクションを取り除いたメンブレンアセンブリを提供することであって、前記メンブレンアセンブリは、
前記内部領域にわたって形成され、かつ前記少なくとも1つのメンブレン層から形成された自立形のメンブレンと、
前記メンブレンを保持する境界であって、前記平面基板の前記境界領域から形成された境界と、
を含み、前記第2の保護層が前記第2の除去プロセスに対して耐性があることと、
を含む、EUVリソグラフィ用のメンブレンアセンブリを製造する方法。 - 前記スタックが上部エッチバリアと下部エッチバリアとを更に含み、前記少なくとも1つのメンブレン層が前記上部エッチバリアと前記下部エッチバリアとの間に位置し、
前記方法が、前記内部領域が除去された後に前記第2の保護層を除去することを更に含み、少なくとも前記上部エッチバリアが前記第2の保護層を除去するために使用される除去プロセスに対して耐性がある、請求項4に記載の方法。 - 平面基板と少なくとも1つのメンブレン層と保護層とを含むスタックを設けることであって、前記少なくとも1つのメンブレン層が前記保護層と前記平面基板との間にあり、前記平面基板が内部領域と、前記内部領域の周りの境界領域と、前記境界領域の周りのブリッジ領域と、前記ブリッジ領域の周りのエッジ領域とを含み、前記平面基板は酸化層および非酸化層を含み、前記平面基板の前記非酸化層がエッチングされるときに前記酸化層がエッチバリアを形成し、前記エッチバリアが、前記少なくとも1つのメンブレン層と前記保護層との間にある上部エッチバリア及び前記少なくとも1つのメンブレン層と前記平面基板との間にある下部エッチバリアを含み、前記上部エッチバリア及び前記下部エッチバリアの80%以上がテトラエチルオルトシリケートを含むことと、
除去プロセスを使用して前記内部領域及び前記ブリッジ領域の少なくとも一部分を選択的に除去し、それにより前記平面基板の前記境界領域と前記エッジ領域との間の一体接続部を薄型化又は除去することであって、前記保護層が前記除去プロセスに対して耐性があることと、
前記エッジ領域及び前記エッジ領域上に形成された層を含むエッジセクションを基板アセンブリから分離し、その後、前記保護層を除去して、前記エッジセクションを取り除いたメンブレンアセンブリを提供することであって、前記メンブレンアセンブリは、
前記内部領域にわたって形成され、かつ前記少なくとも1つのメンブレン層から形成された自立形のメンブレンと、
前記メンブレンを保持する境界であって、前記平面基板の前記境界領域から形成された境界と、
を含むことと、
を含む、EUVリソグラフィ用のメンブレンアセンブリを製造する方法。 - 少なくとも前記上部エッチバリアが前記保護層を除去するために使用される除去プロセスに対して耐性がある、請求項6に記載の方法。
- 平面基板と少なくとも1つのメンブレン層とを含むスタックを設けることであって、前記平面基板が内部領域と、前記内部領域の周りの境界領域と、前記境界領域の周りのエッジ領域とを含むことと、
前記エッジ領域及び前記エッジ領域上に形成された層を含むエッジセクションを除去することと、
前記少なくとも1つのメンブレン層が保護層と前記平面基板との間になるように前記スタックの少なくとも上面の上並びに前記スタックの側面の上に保護層を付設することと、
第1の除去プロセスを使用して前記内部領域を選択的に除去することであって、前記保護層が前記第1の除去プロセスに対して耐性があることと、
第2の除去プロセスを使用して前記保護層を除去して、前記エッジセクションを取り除いたメンブレンアセンブリを提供することであって、前記メンブレンアセンブリは、
前記内部領域にわたって形成され、かつ前記少なくとも1つのメンブレン層から形成された自立形のメンブレンと、
前記メンブレンを保持する境界であって、前記平面基板の前記境界領域から形成された境界と、
を含むことと、
を含む、EUVリソグラフィ用のメンブレンアセンブリを製造する方法。 - 前記スタックが、上部エッチバリアが前記少なくとも1つのメンブレン層と前記保護層との間になるように前記保護層が付設される上部エッチバリアと、前記少なくとも1つのメンブレン層と前記平面基板との間にある下部エッチバリアとを更に含み、少なくとも前記上部エッチバリアが前記保護層を除去するために使用される前記第2の除去プロセスに対して耐性がある、請求項8に記載の方法。
- 平面基板と少なくとも1つのメンブレン層とを含むスタックを設けることであって、前記平面基板が内部領域と、前記内部領域の周りの境界領域と、前記境界領域の周りのブリッジ領域と、前記ブリッジ領域の周りのエッジ領域とを含むことと、
エッチ抵抗コーティングで前記スタックをカプセル化し、前記スタックの下側の前記エッチ抵抗コーティングにパターン形成して、前記エッチ抵抗コーティングによって保護される前記スタックの領域及び前記エッチ抵抗コーティングによって保護されない前記スタックの領域を規定することと、
前記平面基板の前記内部領域、境界領域、及びブリッジ領域の上の前記スタックの上側の領域に機械的研磨プロセスを適用して、前記エッチ抵抗コーティングの第1の部分を除去することと、
前記平面基板の前記内部領域、境界領域、及びブリッジ領域の上の前記スタックの上側の前記領域に前記エッチ抵抗コーティングをエッチングするために効果的なエッチングプロセスを適用して、前記エッチ抵抗コーティングの第2の部分を除去することと、
前記スタックの少なくとも上側を覆う保護層を付設することと、
除去プロセスを使用して前記内部領域及び前記ブリッジ領域の少なくとも一部分を選択的に除去し、それにより前記平面基板の前記境界領域と前記エッジ領域との間の一体接続部を薄型化又は除去して、
前記内部領域にわたって形成され、かつ前記少なくとも1つのメンブレン層から形成された自立形のメンブレンと、
前記メンブレンを保持する境界であって、前記平面基板の前記境界領域から形成された境界と、
前記境界の周りのエッジセクションであって、前記平面基板の前記エッジ領域から形成されたエッジセクションと、
前記境界と前記エッジセクションとの間のブリッジであって、前記少なくとも1つのメンブレン層及び前記平面基板の前記ブリッジ領域の残りの部分から形成されたブリッジと、
を含むメンブレンアセンブリを提供することと、
前記ブリッジを切断又は破断することにより前記エッジセクションを前記境界から分離して、前記エッジセクションを取り除いたメンブレンアセンブリを提供することと、
を含む、EUVリソグラフィ用のメンブレンアセンブリを製造する方法。 - 前記スタックが上部エッチバリアと下部エッチバリアとを更に含み、前記少なくとも1つのメンブレン層が前記上部エッチバリアと前記下部エッチバリアとの間に位置し、
前記方法が、前記内部領域が除去された後に前記保護層を除去することを更に含み、少なくとも前記上部エッチバリアが前記保護層を除去するために使用される除去プロセスに対して耐性がある、請求項10に記載の方法。
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