JP4654830B2 - 液晶装置用基板の製造方法 - Google Patents
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Description
また、本発明は、このような液晶装置用基板により構成した液晶装置であって、部品点数の削減、及び液晶装置の高機能化(差別化)を実現可能な構成を提供することを目的としている。また、本発明はそのような液晶装置を備えた投射型表示装置について提供することも目的としている。
液晶装置用基板は、透光性の誘電体無機材料からなる基板本体と、前記基板本体上に形成され、可視光の波長以下のピッチで縞状パターンに形成されてなる複数の金属層を含む偏光層と、前記偏光層上に形成され、当該縞状パターンを構成する各金属層と隙間なく形成されてなり且つ無機材料からなる保護膜と、前記保護膜上に形成され、透光性導電材料からなる電極と、前記電極上に形成され且つ無機材料からなる配向膜と、を具備してなることを特徴とする。
図1は、本発明の投射型表示装置の一実施形態として、プロジェクタの要部を示す概略構成図である。本実施形態のプロジェクタは、光変調装置として液晶装置を用いた液晶プロジェクタである。
図3は基板(液晶装置用基板)10,20を模式的に示す斜視図、図4は基板10,20を模式的に示す平面図、図5は基板10,20を模式的に示す断面図である。
さらに、図18は、図17に対応する偏光板について、保護膜14をMgFにより構成した場合について透過率及びコントラストの値を示すグラフである。この場合も同様に良好な透過率及びコントラスト値が得られた。
以下、図2〜図4に示した液晶装置用基板10,20の製造方法の一例について、図7〜図14を参照して説明する。図7〜図13は工程説明図であって、図14は製造工程中に生じるシリル化反応について模式的に示す説明図である。
Claims (5)
- 透光性の誘電体無機材料からなる基板上に金属層を形成する金属層形成工程と、
形成した金属層上に、可視光の波長以下のピッチでなる縞状の平面パターンを有し、且つシリル化剤を含む化学増幅型のレジストを形成するレジスト形成工程と、
前記レジストをマスクとしたエッチングにより、前記金属層を縞状の平面パターンに加工する加工工程と、
前記エッチング後、前記基板を回転させながら、前記金属層上に残存する残渣レジストをH 2 Oアッシングした後、O 2 アッシングを行うことで、前記残渣レジストを溶解させ、当該金属層の全面に濡れ広がる溶解レジストとする溶解工程と、
酸素によるドライエッチングにより、前記溶解レジストをシリル化させ、保護膜を形成する保護膜形成工程と、
形成した保護膜上に、透光性導電材料からなる電極を形成する工程と、
形成した電極上に、無機材料からなる複数の柱状物が所定角度で配列して、配向膜を形成する配向膜形成工程と、を含むことを特徴とする液晶装置用基板の製造方法。 - 前記レジスト形成工程において、前記金属層上にベタ状のレジストを形成する工程と、形成したレジストに対して縞状の照射パターンとなるレーザー光を照射する工程と、照射後のレジストに対してエッチングを行う工程と、を含むことを特徴とする請求項1に記載の液晶装置用基板の製造方法。
- 前記レジスト形成工程において、前記シリル化剤として、トリメチルシリルジメチルアミン、ジメチルシリルジメチルアミン、トリメチルシリルジメチルアミン、ジメチルシリルジエチルアミン、1,1,3,3-トリメチルジシラザン、ヘキサメチルシクロトリシラザンのいずれかを用いることを特徴とする請求項1又は2に記載の液晶装置用基板の製造方法。
- 前記加工工程において、前記レジストよりも前記金属層を選択的にエッチングする条件で当該エッチングを行うことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の液晶装置用基板の製造方法。
- 前記配向膜形成工程において、斜方蒸着法を用いることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の液晶装置用基板の製造方法。
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