JP6157911B2 - 光半導体装置 - Google Patents
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Description
また、本実施の形態の他の一観点によれば、基板の上に形成された酸化シリコン層と、前記酸化シリコン層の上に、光導波路と、前記光導波路に形成されたブラッグ回折格子とを有する光導波路部と、前記光導波路部を覆うように形成されたクラッド層と、前記基板の上に設置された半導体レーザと、を備え、前記半導体レーザより出射されたレーザ光は、前記光導波路に入射し、前記光導波路部は、前記半導体レーザの発振波長が環境温度上昇に伴い増加する波長範囲において、前記レーザ光の波長が長くなるに伴い前記レーザ光の透過率が増加することを特徴とする。
(光半導体装置)
第1の実施の形態における光半導体装置について説明する。本実施の形態における光半導体装置は、半導体レーザと、波長に依存して透過率が変化する光学フィルタとして機能する方向性結合器とを有している。本実施の形態における光半導体装置は、図1に示されるように、Si(シリコン)基板10の上に、酸化シリコン層11が形成されており、酸化シリコン層11の上に、シリコンにより光導波路部20が形成されている。また、光導波路部20を被うように、酸化シリコンによりクラッド層30が形成されている。尚、図1(a)は、本実施の形態における光半導体装置の上面図であり、図1(b)は、断面図である。
本実施の形態における光半導体装置の製造方法について説明する。本実施の形態においては、Si基板10の上に、酸化シリコン層11がBOX層として形成されており、BOX層の上にシリコン層が形成されているSOI(Silicon on Insulator)基板が用いられている。尚、用いられたSOI基板において、形成されているBOX層の厚さは約3μmであり、シリコン層の厚さは約200nmである。
次に、図4及び図5に基づき方向性結合器23について説明する。図4は、方向性結合器23において、第1の光導波路21の一方の端部21bより光を入射させた場合に、第1の光導波路21の他方の端部21cより出射される光量の比率と、第2の光導波路22の他方の端部22cより出射される光量の比率を示す。また、図5は、方向性結合器23において、第1の光導波路21の一方の端部21bより光を入射させた場合に、第2の光導波路22の他方の端部22cより出射される光量の比率をdBにより表示したものである。尚、上述したように、本実施の形態においては、便宜上、出射される光量の比率を透過率と記載する場合がある。
(光半導体装置)
次に、第2の実施の形態における光半導体装置について説明する。本実施の形態における光半導体装置は、半導体レーザと、回折格子等とを有している構造のものである。尚、本実施の形態において用いられる回折素子等は、波長に依存して透過率が変化する光学フィルタとしての機能を有している。
次に、第3の実施の形態について説明する。本実施の形態は、第1の実施の形態または第2の実施の形態における光半導体装置を含む光送信器及び光送受信器である。本実施の形態について、図12に基づき説明する。図12においては、一例として、光源200として第1の実施の形態における光半導体装置を用いた場合の光送信器及び光送受信器を示す。光源200となる第1の実施の形態における光半導体装置は、半導体レーザ40と方向性結合器23とを有している。光源200から出射されたレーザ光は、光源200と光学的に接続されている光変調器210に入射し、光変調器210において、レーザ光の変調がなされ光信号となる。本実施の形態においては、光源200及び光変調器210により、光送信器201が形成されており、光源200及び光変調器210は同一のSi基板の上に形成されている。
(付記1)
基板の上に形成された酸化シリコン層と、
前記酸化シリコン層の上に形成された光導波路部と、
前記光導波路部を覆うように形成されたクラッド層と、
前記基板の上に設置された半導体レーザと、
を有し、
前記半導体レーザより出射されたレーザ光は、前記光導波路部に入射するものであって、
前記光導波路部は、前記半導体レーザの発振波長範囲において、波長が長くなるに伴い光の透過率が増加するものであることを特徴とする光半導体装置。
(付記2)
前記半導体レーザの発振波長範囲は、環境温度が変化した場合における発振波長の変化の範囲であって、
前記光導波路部は、前記環境温度が低温である場合よりも高温である場合の方が、前記半導体レーザから出射された光の透過率が高いことを特徴とする付記1に記載の光半導体装置。
(付記3)
前記光導波路部は、第1の光導波路の一部と第2の光導波路の一部により方向性結合器が形成されており、
前記半導体レーザより出射されたレーザ光は、前記第1の光導波路に入射し、前記方向性結合器において、前記第1の光導波路から前記第2の光導波路に伝搬し、第2の光導波路の端部より出射されるものであることを特徴とする付記1または2に記載の光半導体装置。
(付記4)
前記光導波路部は、光導波路と、前記光導波路に形成されたブラッグ回折格子とを有しており、
前記半導体レーザより出射されたレーザ光は、前記光導波路部の一方の端面より入射し、ブラッグ回折格子を通過し、前記光導波路部の他方の端面より入射されるものであることを特徴とする付記1または2に記載の光半導体装置。
(付記5)
前記半導体レーザは、量子ドットレーザであることを特徴とする付記1から4のいずれかに記載の光半導体装置。
(付記6)
前記半導体レーザは、量子井戸レーザであることを特徴とする付記1から4のいずれかに記載の光半導体装置。
(付記7)
前記光導波路部は、シリコンを含む材料により形成されていることを特徴とする付記1から6のいずれかに記載の光半導体装置。
(付記8)
前記クラッド層は、酸化シリコンを含む材料により形成されていることを特徴とする付記1から7のいずれかに記載の光半導体装置。
(付記9)
前記基板は、シリコンを含む材料により形成されていることを特徴とする付記1から8のいずれかに記載の光半導体装置。
(付記10)
付記1から9のいずれかに記載の光半導体装置と、
前記光半導体装置と光学的に接続されている光変調器と、
を有し、
前記光変調器は、前記光半導体装置における前記基板の上に形成されていることを特徴とする光送信器。
(付記11)
付記10に記載の光送信器と、
前記光送信器から出射された光を受光する受光器と、
を有し、
前記受光器は、前記光半導体装置における前記基板の上に形成されていることを特徴とする光送受信器。
11 酸化シリコン層
20 光導波路部
21 第1の光導波路
21a 結合領域(第1の光導波路)
21b 一方の端部(第1の光導波路)
21c 他方の端部(第1の光導波路)
22 第2の光導波路
22a 結合領域(第2の光導波路)
22b 一方の端部(第2の光導波路)
22c 他方の端部(第2の光導波路)
23 方向性結合器
24 スポットサイズ変換器
30 クラッド層
40 半導体レーザ
41 活性層
51 Si台座
52 アライメントマーク
53 電極
54 ハンダ
120 光導波路部
121 光導波路
121a 一方の端部
121b 他方の端部
122 ブラッグ回折格子
122a 幅の広い領域
122b 幅の狭い領域
200 光源
201 光送信器
202 光送受信器
210 光変調器
220 受光器
Claims (6)
- 基板の上に形成された酸化シリコン層と、
前記酸化シリコン層の上に、第1の光導波路の一部と第2の光導波路の一部により形成される方向性結合器を有する光導波路部と、
前記光導波路部を覆うように形成されたクラッド層と、
前記基板の上に設置された半導体レーザと、
を備え、
前記半導体レーザより出射されたレーザ光は、前記第1の光導波路に入射し、前記方向性結合器において、前記第1の光導波路から前記第2の光導波路に伝搬し、第2の光導波路から出射され、
前記光導波路部は、前記半導体レーザの発振波長が環境温度上昇に伴い増加する波長範囲において、前記レーザ光の波長が長くなるに伴い前記第1の光導波路から前記第2の光導波路に前記レーザ光が伝搬する光量の比率が増加することを特徴とする光半導体装置。 - 基板の上に形成された酸化シリコン層と、
前記酸化シリコン層の上に、光導波路と、前記光導波路に形成されたブラッグ回折格子とを有する光導波路部と、
前記光導波路部を覆うように形成されたクラッド層と、
前記基板の上に設置された半導体レーザと、
を備え、
前記半導体レーザより出射されたレーザ光は、前記光導波路に入射し、
前記光導波路部は、前記半導体レーザの発振波長が環境温度上昇に伴い増加する波長範囲において、前記レーザ光の波長が長くなるに伴い前記レーザ光の透過率が増加することを特徴とする光半導体装置。 - 前記光導波路部は、常温において、前記半導体レーザを発振させた場合の波長よりも、波長が長い範囲において、光の透過率が増加するものであることを特徴とする請求項1または2に記載の光半導体装置。
- 前記半導体レーザは、量子ドットレーザであることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の光半導体装置。
- 前記光導波路部は、シリコンを含む材料により形成されていることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の光半導体装置。
- 前記基板は、シリコンを含む材料により形成されていることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の光半導体装置。
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