JP6150649B2 - 半導体装置 - Google Patents
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<装置構成>
図1は本発明に係る半導体装置のうち、ダイオード100の構成を説明する断面図であり、SBDとpinダイオードと組み合わせたMPS(Merged Pin and Schottky)ダイオードを示している。
図4および図5は、図3に示す回路構成において、浮遊インダクタンスがスイッチング時の振動波形にどのように影響するかの検討における、デバイスシミュレーションの結果を示す図であり、スイッチングデバイス61をターンオンさせた時のダイオード52(SBDの場合)の電流波形を示した図である。
Claims (5)
- スイッチングデバイスと、該スイッチングデバイスに対して逆並列に接続されたダイオードとを備える半導体装置であって、
前記ダイオードは、
第1導電型の半導体基板の第1の主面上に配設されたワイドバンドギャップ半導体によって構成される第1導電型の半導体層と、
前記半導体層の上層部に選択的に配設された第2導電型の半導体領域と、
前記半導体領域上を含む前記半導体層上に配設された第1の主電極と、
前記第1の主電極とは反対側の前記半導体基板の第2の主面上に配設された第2の主電極と、を備え、
前記半導体領域と前記半導体層とが平面視で交互に配置され、
前記第1の主電極は、
前記半導体層とはショットキ接触し、前記半導体領域とは非線形な電流・電圧特性となるようにオーミック接触し、
前記第1の主電極が前記半導体領域と接触している部分での電流・電圧特性が、動作電流範囲において飽和傾向であって、dI/dVが電圧とともに減少する傾向を示す、
半導体装置。 - 前記第1の主電極と前記半導体領域との接触抵抗値は、1×10−4Ωcm2以上である、請求項1記載の半導体装置。
- 前記第1の主電極と前記半導体領域との接触抵抗値は、
3.0×10−4Ωcm2以上、2.0×10−3Ωcm2以下の範囲である、請求項2記載の半導体装置。 - 前記ワイドバンドギャップ半導体は、炭化珪素である、請求項1〜請求項3の何れか1項に記載の半導体装置。
- 前記スイッチングデバイスのゲートには、ゲート抵抗を介して制御信号が与えられる、請求項1〜請求項4の何れか1項に記載の半導体装置。
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