JP6141212B2 - 処理液ノズル及び塗布処理装置 - Google Patents
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- Coating Apparatus (AREA)
Description
40 塗布処理装置
110 スピンチャック
122 接着剤ノズル
132 溶剤ノズル
135 溶剤供給管
200 上部ブロック
201 下部ブロック
202 流通空間
210 上部空間
220 排気管
230 下部空間
231 異物捕集空間
241 流入口
243 吐出口
244 流通路
G 接着剤
S 支持ウェハ
T 重合ウェハ
W 被処理ウェハ
Claims (6)
- 基板に処理液を供給する処理液ノズルであって、
中空のノズル本体と、
前記ノズル本体の内部に形成された処理液の流通空間と、
前記ノズル本体の下部に形成された処理液の吐出口と前記流通空間とを接続し、当該ノズル本体を鉛直方向に貫通する処理液の流通路と、を有し、
前記流通空間は、前記流通路の上端より下方に形成され、処理液中の異物を沈降させて捕集するための異物捕集空間を有し、
前記ノズル本体には、前記流通空間に向けて鉛直方向下方に処理液を供給する処理液供給管が複数設けられていることを特徴とする、処理液ノズル。 - 前記異物捕集空間は、当該異物捕集空間における異物の沈降速度が、前記流通空間における処理液の流通速度よりも大きくなるように形成されることを特徴とする、請求項1に記載の処理液ノズル。
- 前記沈降速度が前記流通速度より大きくなるように、前記異物捕集空間における処理液の流出面積が決定されることを特徴とする、請求項2に記載の処理液ノズル。
- 前記沈降速度が前記流通速度より大きくなるように、前記異物捕集空間における深さが決定されることを特徴とする、請求項2又は3に記載の処理液ノズル。
- 前記ノズル本体には、前記流通空間内を排気する排気管が設けられていることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載の処理液ノズル。
- 請求項1〜5のいずれか一項に記載の処理液ノズルを備え、基板同士を接合するための接着剤を一の基板の表面に塗布する塗布処理装置であって、
基板を保持して回転させる回転保持部と、
前記回転保持部に保持された基板の中心部に接着剤を供給する接着剤ノズルと、を有し、
前記処理液ノズルから供給される処理液は接着剤の溶剤であって、
前記処理液ノズルは、前記接着剤ノズルによって接着剤が塗布された基板の外周部上に接着剤の溶剤を供給し、当該外周部上の接着剤を除去することを特徴とする、塗布処理装置。
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