JP6139492B2 - 液晶ディスプレーの検査回路と検査方法 - Google Patents

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Description

本発明は、液晶ディスプレーの検査回路と検査方法に関する。
液晶ディスプレーの構造において、配向膜は液晶分子を、旋光性を持つように制御することができ、その配向角とプレチルト角の構造が液晶分子に旋光性を持たせるための限界条件である。配向膜の製造プロセスは塗布工程とラビング配向工程を含む。塗布工程において生成する気泡がラビング配向によって破裂することと、ラビング配向工程において微粒子と異物などによるラビング傷は、ともに配向膜における局所破損を引き出すことができる。図1はラビング配向工程後で形成した配向膜の模式図である。図1に示すように、図1の基板での画素領域1において配向膜2が形成している。画素領域1は9個のサブ画素を含む。画素領域1におけるサブ画素の一部の配向膜に配向膜破損3が発生する。配向膜が破損した後、その正常な配向角とプレチルト角の構造もなくなって、液晶分子の混乱をもたらす、これにより、液晶分子は、画素電極両端の電圧に制御されている旋光作用を正常時と同じように果たすことができなくなって、漏光現象が生じる。これは、配向膜の破損する領域における表示の異常を招き、白い点を現す。
図2に示すように、配向膜の破損する領域における白い点に対する検査は、一般的には、組立工程後で液晶セル(CELL)を検査することによって実現する。図2は従来技術に係るCELLを検査するための回路の構成模式図である。当該回路は、シーケンス制御器4、ソース駆動器5及びゲート駆動器6を含む。表示駆動の核心素子であるシーケンス制御器4は、一般的にはユーザがオーダーするチップであり、例えば、フレームオン信号、列クロックパルス信号及び極性反転信号のような各種の信号をソース駆動器5に出力する。前記各種信号の中で、極性反転信号は、表示駆動において液晶分子の老化を防止する作用及び隣接する画素同士の信号のクロストークを減少する作用を果たすことができる。シーケンス制御器4が極性反転信号をソース駆動器5に出力し、検査対象CELL7に表示しようとする表示データ信号もソース駆動器5に出力される。ソース駆動器5は、予め設定される参考電圧と極性反転信号に基づいて、表示データ信号に対してデジタル-アナログ変換を行って、画素電圧信号を生成して検査対象CELL7に出力する。画素電圧信号は、検査対象CELL7に出力される過程において、ゲート駆動器6から出力される行走査信号に制御される。検査対象CELL7における各画素の画素電極は、ソース駆動器5が極性反転信号と表示データ信号に基づいて生成した画素電圧信号を受信する。具体的には、極性反転信号は、画素電圧信号の極性を制御することができ、検査対象CELL7に異なる極性反転モデル、例えば二行毎に反転するモデルと一行毎に反転するモデルを形成させる。図3は従来技術に係る二行毎に反転するモデルの模式図であり、図4は従来技術に係る一行毎に反転するモデルの模式図である。図3と図4に示すように、図3に示す行反転モデルは、二行毎に反転するモデルであり、即ち、検査対象CELLが受信した画素電圧信号は、二行毎に一回の極性変化を発生する信号である。図4に示す行反転モデルは、一行毎に反転するモデルであり、即ち、検査対象CELLが受信する画素電圧信号は、一行毎に一回の極性変化を発生する信号である。同時に、図4に示す各画素の極性はともに当該画素に隣接する画素の極性と相反するため、この場合に、図4に示す極性反転モデルが点反転モデルと呼ばれることもできる。画素電圧信号の極性に対する極性反転信号の制御について、図5を参照することができる。図5は、入力された極性反転信号の波形と出力された画素電圧信号の波形の模式図である。極性反転信号は周期的な矩形波信号であり、画素電圧信号の極性を制御することができ、これにより、図3に示す二行毎に反転するモデルを形成する。入力された極性反転信号がハイレベル信号である場合、出力される信号は正極性画素電圧信号、即ち、電圧値が共通電極信号より高い画素電圧信号であり、入力された極性反転信号がローレベル信号である場合、出力された信号は負極性画素電圧信号であり、即ち、電圧値が共通電極信号より低い画素電圧信号である。
しかし、一般的には、配向膜破損がとても小さい領域、例えば、図1に示す9個のサブ画素の領域において発生し、そして、当該領域における液晶分子が周辺の正常的な領域における液晶分子との間に粘性作用或いは信号のクロストーク作用が存在し、及び、上下偏光フィルムの光に対する選択性(偏光方向が互いに垂直する)が存在するので、配向膜が破損する領域と正常的な領域との表示効果が区別しにくくなる問題が存在する。例えば、前記する二行毎に反転するモデルと一行毎に反転するモデルで、破損する領域と正常的な領域との表示効果がなかなか区別しにくい。こうして、検査過程において、配向膜の破損する領域における白い点が操作者に識別されることが困難であり、見落とすことが容易に発生する。
本発明は従来技術の問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、従来技術において存在した、配向膜の破損する領域における白い点が操作者に識別されることが困難であり、見落とすことが容易に発生する問題を解決可能な液晶ディスプレー検査回路と検査方法を提供することにある。
上記の目的を達成するために、本発明は、液晶ディスプレーに用いられる検査回路を提供する。当該検査回路は、検査対象CELLに行走査信号を提供するゲート駆動器と、ソース駆動器に、連続するハイレベル信号と連続するローレベル信号を含む極性反転信号を提供する信号源と、予め設置された参考電圧と前記極性反転信号に基づいて、受信された表示データ信号に対してデジタル-アナログ変換を行って、画素電圧信号を生成して前記検査対象CELLに出力され、前記画素電圧信号が形成する極性反転モデルは列反転モデルであるソース駆動器と、を備える。
上記の目的を達成するために、本発明は、また、液晶ディスプレーに用いられる検査方法を提供する。前記検査方法は、信号源が、ソース駆動器に、連続するハイレベル信号と連続するローレベル信号を含む極性反転信号を提供し、ソース駆動器が、予め設置された参考電圧と前記極性反転信号に基づいて、受信された表示データ信号に対してデジタル-アナログ変換を行って、画素電圧信号を生成し、検査対象液晶CELLに階調画面を載せるように、ゲート駆動器が、検査対象液晶CELLに行走査信号を提供し、前記行走査信号の制御でソース駆動器が前記検査対象液晶CELLに画素電圧信号を送信し、前記画素電圧信号が形成する極性反転モデルは列反転モデルである。
本発明の技術案において、信号源からの連続するハイレベル信号と連続するローレベル信号によって、列反転の極性反転モデルを形成できる画素電圧信号を生成し、従来技術に係る行反転の極性反転モデルに比べると、本実施例は隣接する液晶分子同士の相互作用と信号のクロストークを変更し、検査過程において形成する階調画面のうち配向膜が破損する領域における白い点の表示をさらに突出させることにより、操作者により容易に識別され、見落とす問題を避けられる。
ラビング配向工程後で形成した配向膜の模式図である。 従来技術に係るCELLを検査するための回路の構成模式図である。 従来技術に係る二行毎に反転するモデルの模式図である。 従来技術に係る一行毎に反転するモデルの模式図である。 入力された極性反転信号の波形と出力された画素電圧信号の波形の模式図である。 配向膜が破損する領域における輝度分布図である。 本発明に係る液晶ディスプレーにおける検査回路の実施例1の構成模式図である。 本発明に係る一列毎に反転するモデルの模式図である。 本発明に係る一列毎に反転するモデルと従来技術に係る行反転モデルで白い点の表示効果の対比図である。 本発明に係る二列毎に反転するモデルの模式図である。 本発明に係る液晶ディスプレーにおける検査回路の実施例2の構成模式図である。 本発明に係る液晶ディスプレーの検査方法の実施例1のフローチャートである。 本発明に係る液晶ディスプレーの検査方法の実施例2のフローチャートである。
以下、図面と実施例によって、本発明の技術案についてさらに詳細に説明する。
解析結果が表明したように、正常的な画素は画素両端の電圧に制御され且つ表示効果が正常であり、配向膜が破損する領域における画素は決して完全に画素両端の電圧に制御されないものではないが、制御される状態が正常な画素と異なり、主に周辺の液晶分子の相互作用と信号のクロストークに影響される。図6は配向膜が破損する領域における輝度分布図である。図6に示すように、配向膜が破損する領域の表示効果を解析することによって得られるように、配向膜が破損する領域(即ち、配向異常領域)における輝度は、正常的な領域における輝度より高く、そして、配向膜が破損する領域の輝度分布は、中心で高く、周辺で低く、即ち、白い点が位置する所の輝度が正常領域における輝度より高いという特徴を持つ。
前記の解析結果に基づいて、本発明に係る検査回路は、極性反転信号を変更することによって極性反転モデルを変更することにより、液晶分子同士の相互作用と信号のクロストークの変更を実現する。このようにして、検査過程において、配向膜が破損する領域における白い点の表示がさらに突出させられ、操作者に容易に識別される目的が達成され、見落とす問題が避けられる。
図7は本発明に係る液晶ディスプレーにおける検査回路の実施例1の構成模式図である。図7に示すように、当該検査回路はソース駆動器5、ゲート駆動器6及び信号源8を備える。本実施例の技術案をよりはっきり述べるために、図7において、検査回路に接続される検査対象CELL7も示す。ゲート駆動器6が検査対象CELL7に行走査信号を提供する。信号源8がソース駆動器5に連続するハイレベル信号と連続するローレベル信号を含む極性反転信号を提供する。ソース駆動器5は、予め設置された参考電圧と極性反転信号に基づいて、受信された表示データ信号に対してデジタル-アナログ変換を行って、画素電圧信号を生成して検査対象CELL7に出力する。その中、画素電圧信号が形成する極性反転モデルは列反転モデルである。
参考電圧は検査対象CELL7のタイプに基づいて予め設定されることができ、異なるタイプの検査対象CELL7に異なる参考電圧を設定することができる。表示データ信号は、検査対象CELL7に表示される必要がある信号であり、検査用の階調画面を検査対象CELL7に表示されるために用いられる。具体的には、ソース駆動器5が、表示データ信号に対してデジタル-アナログ変換を行って生成された画素電圧信号を検査対象CELL7に送信した場合、検査対象CELL7で一つの階調画面が表示されることができる。画素電圧信号が正極性画素電圧信号と負極性画素電圧信号とを含み、検査対象CELL7での画素電極毎には一つの画素電圧信号が対応される。
本実施例の検査回路は、液晶ディスプレーの配向膜の破損による白い点を検査するために用いられることができる。白い点の検査が必要である場合、信号源8がソース駆動器5に連続するハイレベル信号と連続するローレベル信号を含む極性反転信号を提供する。検査対象CELL7での画素について、隣接する二つの列の画素に対応する極性反転信号が異なる。例えば、一つの列の画素に対応する極性反転信号が連続するハイレベル信号とすると、当該列の画素と隣接する一列の画素に対応する極性反転信号が連続するローレベル信号となる。ソース駆動器5は、予め設定される参考電圧と信号源8が提供する極性反転信号に基づいて、受信された表示データ信号に対してデジタル-アナログ変換を行って画素電圧信号を生成する。極性反転信号が連続するハイレベル信号である場合、生成された画素電圧信号は正極性画素電圧信号、即ち、共通電極信号より高い電圧信号であり、極性反転信号が連続するローレベル信号である場合、生成された画素電圧信号は負極性画素電圧信号、即ち、共通電極信号より低い電圧信号である。ゲート駆動器6が検査対象CELL7に行走査信号を提供し、具体的には、ゲート駆動器6が検査対象CELL7に一行ずつ行走査信号を提供する。検査対象CELL7のある行の画素に対して、ゲート駆動器6が当該行画素に行走査信号を提供し、行走査信号が画素のチャネルゲートに到達する場合、チャネルがオンして、ソース駆動器5が当該行の各画素に対応する画素電圧信号を当該画素の画素電極に送信する。隣接する二つの画素電極が受信する画素電圧信号は異なり、例えば、一つの画素が受信するのは正極性画素電圧信号であれば、他の画素が受信するのは負極性画素電圧信号である。そこで、検査対象CELL7の画素の極性反転モデルは列反転モデルであり、具体的には、当該列反転モデルは一列毎に反転するモデルである。図8は本発明に係る一列毎に反転するモデルの模式図である。図8に示すように、検査対象CELL7の画素が一列おきに一回の画素電圧信号の極性変更が発生するため、それを一列毎に反転するモデルと呼ぶ。
前記の検査回路を用いて検査対象CELL7を検査する場合、検査対象CELL7に表示される階調画面において顕著な明るい領域が存在すると、当該明るい領域が白い点と判定され、検査対象CELL7に表示される階調画面において顕著な明るい領域が存在しないと、白い点がないと判定される。信号源8がソース駆動器5に連続するハイレベル信号と連続するローレベル信号を含む極性反転信号を提供する場合、検査対象CELL7上の極性反転モデルは図8に示す一列毎に反転するモデルである。図9に示すように、図3と図4の従来技術の行反転モデルに比べると、本実施例の列反転モデルは隣接する画素の液晶分子同士の相互作用と信号のクロストークを変更し、配向膜破損領域における白い点をさらに突出させる。図9は本発明に係る一列毎に反転するモデルと従来技術に係る行反転モデルで白い点の表示効果の対比図である。図9から分かるように、本発明の一列毎に反転するモデルを採用すると、表示される白い点は、従来技術の行反転モデルでの白い点よりさらに突出される。
なお、図10に示すように、本実施例の列反転モデルは二列毎に反転するモデルであってもよい。図10は本発明に係る二列毎に反転するモデルの模式図であり、図10において、検査対象CELL7の画素が二列おきに一回の画素電圧信号の極性変更が発生するため、それを二列毎に反転するモデルと呼ぶ。当該反転モデルと従来技術に係る行反転モデルに比べると、表示される白い点がさらに突出される。
本実施例の検査回路において、信号源の連続するハイレベル信号と連続するローレベル信号により画素電圧信号を生成し、当該画素電圧信号が列反転の極性反転モデルを形成することができ、従来技術に係る極性反転モデルに比べると、本実施例は隣接する液晶分子同士の相互作用と信号のクロストークを変更し、検査工程において配向膜破損領域における白い点をさらに突出させ、白い点が操作者により容易に識別させられ、見落とす問題が避けられる。
図11は本発明に係る液晶ディスプレーにおける検査回路の実施例2の構成模式図である。図11に示すように、本実施例は、実施例1のもとで、さらにシーケンス制御器4と制御スイッチ9を含む。制御スイッチ9は、シーケンス制御器4、信号源8及びソース駆動器5にそれぞれ接続され、信号源8をソース駆動器5に接続し、またはシーケンス制御器4をソース駆動器5に接続するように制御する。具体的には、制御スイッチ9は、マルチチャネル選択スイッチであり、検査回路が白い点の検査を行う必要がある場合、ピン2をピン3に接続するように制御して信号源8をソース駆動器5に接続させ、そして、信号源8が制御スイッチ9によってソース駆動器5に極性反転信号を出力することができる。検査回路が他の項目の検査を行う必要がある場合、制御スイッチ9は、ピン1をピン3に接続するように制御してシーケンス制御器4をソース駆動器5に接続させ、そしてシーケンス制御器4が制御スイッチ9によってソース駆動器5に各種の信号を出力することができる。白い点を検査する時に検査回路における各モージュルの機能及び検査工程に対する記述は、実施例1を参考することができ、ここで重複な説明を省略する。
図11における制御スイッチ9はマルチチャネル選択スイッチであり、その主な機能は、当該スイッチが押し下げられないと、そのピン1とピン3が接続され、当該スイッチが押し下げられると、ピン2とピン3が接続される。一般的には、制御スイッチ9のピン1とピン3が接続され、この時、シーケンス制御器4とソース駆動器5が接続されて、検査回路が検査対象CELL7に対して各種の項目の検査を行うことができる。検査対象CELL7に対して白い点の検査を行う必要がある時、制御スイッチ9が押し下げられ、信号源8とソース駆動器5を接続させて、この時、信号源8から出力される極性反転信号を利用して検査対象CELL7に対して白い点の検査を行うことができる。
検査対象CELL7に対して白い点の検査を行う過程は、以下のように記述される。ソース駆動器5は、参考電圧とシーケンス制御器4から出力された極性反転信号に基づいて、受信された表示データ信号に対してデジタル-アナログ変換を行って画素電圧信号を生成し、生成された画素電圧信号を検査対象CELL7に送信し、これにより、検査対象CELL7に一つの階調画面を載せる。例えば、当該階調画面のレベル(Level)は60から100までの間に設置されることができる。操作者が制御スイッチ9を押し下げる場合、信号源8はソース駆動器5と接続されて、ソース駆動器5に連続するハイレベル信号と連続するローレベル信号を含む極性反転信号を提供する。ソース駆動器5は参考電圧と信号源8から出力された極性反転信号に基づいて、表示データ信号に対して新たにデジタル-アナログ変換を行って画素電圧信号を生成し、生成された画素電圧信号を検査対象CELL7に送信して、検査対象CELL7に新たに一つの階調画面を載せる。この場合、検査対象CELL7の画素の極性反転モデルは列反転モデルである。操作者が目で階調画面を検査し、顕著な明るい領域があれば、顕著な明るい領域を白い点と判定し、顕著な明るい領域がなければ、検査対象CELL7において白い点がないと判定する。もし当該検査対象CELL7において配向膜が破損する領域があれば、信号源8から出力された極性反転信号に基づいて新たに載せた階調画面における白い点はさらに突出される。
本実施例は従来技術に基づいて簡単な改善を行って、信号源と制御スイッチを増加する。検査回路が白い点の検査を行なう必要がない場合、シーケンス制御器とソース駆動器とが接続され、この時、当該検査回路が他の項目の検査に用いられることができる。検査回路が白い点の検査を行なう必要がある場合、信号源とソース駆動器とが接続され、この時、当該検査回路が白い点の検査に用いられることができる。本実施例に係る検査回路は、検査対象CELLに対する白い点の検査と他の項目の検査に同時に用いられることができ、白い点の検査を行う場合、制御スイッチを押し下げることだけで済み、操作が簡単で、大量な検査に適用される場合、とても良い効果を奏することができる。
本実施例に係る検査回路において、信号源からの連続するハイレベル信号と連続するローレベル信号によって、列反転の極性反転モデルを形成できる画素電圧信号が生成され、従来技術に係る行反転の極性反転モデルに比べると、本実施例が隣接する液晶分子同士の相互作用と信号のクロストークを変更し、検査過程において、配向膜破損領域における白い点の表示をさらに突出させ、操作者に容易に識別され、見落とす問題が避けられる。
図12は本発明に係る液晶ディスプレーの検査方法の実施例1のフローチャートである。図12に示すように、本実施例に係る検査方法は、図7の検査回路に基づく。
具体的には、信号源はソース駆動器に、連続するハイレベル信号と連続するローレベル信号を含む極性反転信号を提供するステップ101と、ソース駆動器は、予め設置された参考電圧と前記極性反転信号に基づいて、受信された表示データ信号に対してデジタル-アナログ変換を行って画素電圧信号を生成するステップ102と、検査対象液晶CELLに階調画面を載せるように、ゲート駆動器が検査対象液晶CELLに行走査信号を提供するとともに、ソース駆動器が検査対象液晶CELLに画素電圧信号を送信するステップ103と、を含み、その中、当該画素電圧信号が形成した極性反転モデルは列反転モデルである。
本実施例に係る検査方法において、信号源からの連続するハイレベル信号と連続するローレベル信号によって、列反転の極性反転モデルを形成できる画素電圧信号を生成し、従来技術に係る行反転の極性反転モデルに比べると、本実施例が隣接する液晶分子同士の相互作用と信号のクロストークを変更し、検査過程において、配向膜破損領域における白い点の表示をさらに突出させ、操作者に容易に識別され、見落とす問題が避けられる。
図13は本発明に係る液晶ディスプレーの検査方法の実施例2のフローチャートである。図13に示すように、本実施例に係る検査方法は、図11の検査回路に基づき、具体的には、本実施例に係る検査方法には、シーケンス制御器はソース駆動器に、周期的な矩形波信号である極性反転信号を提供し、この時、制御スイッチが押し下げられなく、シーケンス制御器とソース駆動器とが接続された状態となるステップ201と、
ソース駆動器は、予め設置された参考電圧とシーケンス制御器が提供する極性反転信号に基づいて、受信された表示データ信号に対してデジタル-アナログ変換を行って画素電圧信号を生成するステップ202と、検査対象液晶CELLに階調画面を載せるように、ゲート駆動器が検査対象液晶CELLに行走査信号を提供するとともに、ソース駆動器が前記行走査信号の制御により生成された画素電圧信号を検査対象液晶CELLに送信するステップ203と、本実施例において、載せられた階調画面のレベルは60から100までの間に設置されることができる。本ステップにおける画素電圧信号が形成する極性反転モデルは、行反転モデル或いは点反転モデルであってもいいし、制御スイッチは、信号源とソース駆動器と接続される状態になるように制御するステップ204と、制御スイッチが押し下げた後、シーケンス制御器とソース駆動器が遮断されると共に、信号源とソース駆動器が接続され、信号源はソース駆動器に連続するハイレベル信号と連続するローレベル信号を含む極性反転信号を提供するステップ205と、ソース駆動器は、予め設置された参考電圧と信号源が提供する極性反転信号に基づいて、受信された表示データ信号に対してデジタル-アナログ変換を行って画素電圧信号を生成するステップ206と、検査対象液晶CELLに階調画面を載せるように、ゲート駆動器が検査対象液晶CELLに行走査信号を提供するとともに、ソース駆動器が検査対象液晶CELLに画素電圧信号を送信するステップ207と、当該画素電圧信号が形成する極性反転モデルは、列反転モデルであり、具体的には一列毎に反転するモデル或いは二列毎に反転するモデルであってもいいし、載せられた階調画面のレベルは60から100までの間に設置されることができ、操作者が目で階調画面を検査し、顕著な明るい領域があれば、当該顕著な明るい領域が白い点と判定し、顕著な明るい領域がなければ、検査対象CELLにおいて白い点がないと判定するステップ208と、を含む。
当該検査対象CELLにおいて配向膜破損領域があれば、信号源から出力された極性反転信号に基づいて新たに載せた階調画面における白い点はさらに突出される。
本実施例に係る検査方法において、信号源からの連続するハイレベル信号と連続するローレベル信号によって、列反転の極性反転モデルを形成できる画素電圧信号を生成し、従来技術に係る行反転の極性反転モデルに比べると、本実施例が隣接する液晶分子同士の相互作用と信号のクロストークを変更し、検査過程において形成する階調画面のうち配向膜破損領域における白い点の表示をさらに突出させ、操作者により容易に識別され、見落とす問題が避けられる。
最後に説明すべきは、以上の実施例は本発明の技術的提案を説明するためのもので、制限の目的はない。好適な実施例を参照して本発明を詳しく説明したが、本発明の技術案を改定したり、その部分的な技術的特徴を同等に取り替えたりすることができ、その改定や取替えは該当する技術的提案の本質が本発明の実施形態の技術的提案の趣旨と範囲を脱出することに繋がらないことは当業者にとって理解するところである。
1,2,3 ピン
4 シーケンス制御器
5 ソース駆動器
6 ゲート駆動器
7 検査対象CELL
8 信号源
9 制御スイッチ

Claims (3)

  1. 液晶ディスプレーに用いられる検査方法であって、
    シーケンス制御器はソース駆動器に、周期的な矩形波信号である極性反転信号を提供するステップ201と、
    前記ソース駆動器は、予め設置された参考電圧とシーケンス制御器が提供する極性反転信号に基づいて、受信された表示データ信号に対してデジタル−アナログ変換を行って第1の画素電圧信号を生成するステップ202と、
    検査対象CELLに階調画面を載せるように、ゲート駆動器が前記検査対象CELLに行走査信号を提供し、当該行走査信号の制御で前記ソース駆動器が生成された前記第1の画素電圧信号を前記検査対象CELLに送信するステップ203と、
    制御スイッチは、信号源と前記ソース駆動器と接続される状態になるように制御するステップ204と、
    前記信号源は前記ソース駆動器に連続するハイレベル信号と連続するローレベル信号を含む極性反転信号を提供するステップ205と、
    前記ソース駆動器は、予め設置された参考電圧と前記信号源が提供する極性反転信号に基づいて、受信された階調画面を前記検査対象CELLに表示するための表示データ信号に対してデジタル−アナログ変換を行って前記検査対象CELLの横方向隣接画素の極性を、所定の画素数毎に反転させる第2の画素電圧信号を生成するステップ206と、
    前記検査対象CELLに階調画面を載せるように、前記ゲート駆動器が前記検査対象CELLに前記行走査信号を提供するとともに、前記ソース駆動器が前記検査対象CELLに前記第2の画素電圧信号を送信し、配向膜破損領域における白い点を突出させ、前記行走査信号と前記第2の画素電圧信号によって前記検査対象CELLの画素の極性を列単位で反転させるステップ207と、
    階調画面において顕著な明るい領域があるか否かに基づいて、前記検査対象CELLにおいて白い点があるか否かを判定するステップ208と、
    を含み、
    ステップ202において生成された前記第1の画素電圧信号が形成する極性反転モデルは、行反転モデル或いは点反転モデルであり、
    ステップ206において生成された前記第2の画素電圧信号が形成する極性反転モデルは、列反転モデルであることを特徴とする検査方法。
  2. 前記列反転モデルは、前記検査対象CELLの画素を一列毎に反転するモデル或いは二列毎に反転するモデルであることを特徴とする請求項に記載の検査方法。
  3. 前記制御スイッチは、マルチチャネル選択スイッチであることを特徴とする請求項に記載の検査方法。
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