JP6135636B2 - 半導体装置 - Google Patents
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- H01L29/1095—Body region, i.e. base region, of DMOS transistors or IGBTs
Description
本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組み合わせによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組み合わせに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
12:半導体基板
14:格子型ゲートトレンチ
14a:第1ゲートトレンチ
14b:第2ゲートトレンチ
15:ダミートレンチ
22:表面電極
26:裏面電極
30:エミッタ領域
32:アノード領域
34:バリア領域
35:ピラー領域
38:ドリフト領域
40:コレクタ領域
42:カソード領域
60:セル領域
62:外部領域
Claims (3)
- 半導体装置であって、
半導体基板と、
前記半導体基板の表面に配置されている表面電極と、
前記半導体基板の裏面に配置されている裏面電極、
を有し、
前記表面に、複数のダミートレンチと、前記複数のダミートレンチの間に配置されている格子型ゲートトレンチが形成されており、
前記格子型ゲートトレンチが、前記表面において前記複数のダミートレンチに沿って伸びる複数の第1ゲートトレンチと、前記複数の第1ゲートトレンチを互いに接続する複数の第2ゲートトレンチを有しており、
前記格子型ゲートトレンチ内に、ゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜によって前記半導体基板から絶縁されているゲート電極が配置されており、
前記ダミートレンチ内に、ダミー絶縁膜と、前記ゲート電極から電気的に分離されているとともに前記ダミー絶縁膜によって前記半導体基板から絶縁されているダミー電極が配置されており、
前記半導体基板が、
前記第1ゲートトレンチと前記第2ゲートトレンチに囲まれたセル領域内に配置されており、前記ゲート絶縁膜に接しており、前記表面電極に接しているn型のエミッタ領域と、
前記セル領域内に配置されており、前記エミッタ領域の裏面側で前記ゲート絶縁膜に接しており、前記表面電極に接しているp型の第1アノード領域と、
前記セル領域内に配置されており、前記第1アノード領域の裏面側で前記ゲート絶縁膜に接しているn型の第1バリア領域と、
前記セル領域内に配置されており、前記半導体基板の厚み方向に伸びており、前記表面電極に接しており、前記第1バリア領域と繋がっており、前記ゲート絶縁膜から離れた位置に配置されているn型の第1ピラー領域と、
前記第1バリア領域よりも裏面側に配置されており、前記第1バリア領域によって前記第1アノード領域から分離されており、前記第1バリア領域よりもn型不純物濃度が低いn型のドリフト領域と、
前記裏面電極に接しているp型のコレクタ領域と、
前記裏面電極に接しており、前記ドリフト領域よりもn型不純物濃度が高いn型のカソード領域と、
隣り合う前記第1ゲートトレンチと前記ダミートレンチの間の外部領域内に配置されており、前記ゲート絶縁膜に接しており、前記表面電極に接しているp型の第2アノード領域と、
前記外部領域内に配置されており、前記第2アノード領域の裏面側で前記ゲート絶縁膜に接しており、前記ダミー絶縁膜に接しているn型の第2バリア領域と、
前記厚み方向に伸びており、前記表面電極に接しており、前記第2バリア領域と繋がっており、前記ゲート絶縁膜から離れた位置に配置されているn型の第2ピラー領域、
を有し、
前記ドリフト領域が、前記第1バリア領域よりも裏面側の位置と前記第2バリア領域よりも裏面側の位置に跨って配置されており、前記第2バリア領域によって前記第2アノード領域から分離されており、前記第2バリア領域よりもn型不純物濃度が低く、
前記各ダミートレンチが、前記第1ゲートトレンチに沿って配列されているとともに互いに分離されている複数の分離ダミートレンチを有しており、
前記第2ピラー領域が、隣り合う前記分離ダミートレンチの間に配置されている、
半導体装置。 - 半導体装置であって、
半導体基板と、
前記半導体基板の表面に配置されている表面電極と、
前記半導体基板の裏面に配置されている裏面電極、
を有し、
前記表面に、複数のダミートレンチと、前記複数のダミートレンチの間に配置されている格子型ゲートトレンチが形成されており、
前記格子型ゲートトレンチが、前記表面において前記複数のダミートレンチに沿って伸びる複数の第1ゲートトレンチと、前記複数の第1ゲートトレンチを互いに接続する複数の第2ゲートトレンチを有しており、
前記格子型ゲートトレンチ内に、ゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜によって前記半導体基板から絶縁されているゲート電極が配置されており、
前記ダミートレンチ内に、ダミー絶縁膜と、前記ゲート電極から電気的に分離されているとともに前記ダミー絶縁膜によって前記半導体基板から絶縁されているダミー電極が配置されており、
前記半導体基板が、
前記第1ゲートトレンチと前記第2ゲートトレンチに囲まれたセル領域内に配置されており、前記ゲート絶縁膜に接しており、前記表面電極に接しているn型のエミッタ領域と、
前記セル領域内に配置されており、前記エミッタ領域の裏面側で前記ゲート絶縁膜に接しており、前記表面電極に接しているp型の第1アノード領域と、
前記セル領域内に配置されており、前記第1アノード領域の裏面側で前記ゲート絶縁膜に接しているn型の第1バリア領域と、
前記セル領域内に配置されており、前記半導体基板の厚み方向に伸びており、前記表面電極に接しており、前記第1バリア領域と繋がっており、前記ゲート絶縁膜から離れた位置に配置されているn型の第1ピラー領域と、
前記第1バリア領域よりも裏面側に配置されており、前記第1バリア領域によって前記第1アノード領域から分離されており、前記第1バリア領域よりもn型不純物濃度が低いn型のドリフト領域と、
前記裏面電極に接しているp型のコレクタ領域と、
前記裏面電極に接しており、前記ドリフト領域よりもn型不純物濃度が高いn型のカソード領域と、
隣り合う前記第1ゲートトレンチと前記ダミートレンチの間の外部領域内に配置されており、前記ゲート絶縁膜に接しており、前記表面電極に接しているp型の第2アノード領域と、
前記外部領域内に配置されており、前記第2アノード領域の裏面側で前記ゲート絶縁膜に接しており、前記ダミー絶縁膜に接しているn型の第2バリア領域と、
前記厚み方向に伸びており、前記表面電極に接しており、前記第2バリア領域と繋がっており、前記ゲート絶縁膜から離れた位置に配置されているn型の第2ピラー領域、
を有し、
前記ドリフト領域が、前記第1バリア領域よりも裏面側の位置と前記第2バリア領域よりも裏面側の位置に跨って配置されており、前記第2バリア領域によって前記第2アノード領域から分離されており、前記第2バリア領域よりもn型不純物濃度が低く、
前記第2ピラー領域と前記第1ゲートトレンチの間の間隔が、前記第2ピラー領域と前記ダミートレンチの間の間隔よりも広い、
半導体装置。 - 隣り合う前記第1ゲートトレンチの間の間隔が、隣り合う前記ダミートレンチと前記第1ゲートトレンチの間の間隔よりも広い請求項1または2の半導体装置。
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