JP6130293B2 - ヘテロ接合バイポーラトランジスタおよびその製造方法 - Google Patents
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- 半絶縁性の化合物半導体からなる基板の上に、第1化合物半導体層,第2化合物半導体層,第3化合物半導体層,第4化合物半導体層,第5化合物半導体層を、順次に積層する第1工程と、
前記第5化合物半導体層の上に、電極材料層を形成する第2工程と、
前記電極材料層をパターニングして第1エミッタ電極を形成する第3工程と、
前記第5化合物半導体層をパターニングし、前記第1エミッタ電極より小さい径のエミッタコンタクト層を形成する第4工程と、
全域に絶縁膜を形成し、前記絶縁膜の上にポジ型フォトレジスト膜を形成し、前記ポジ型フォトレジスト膜の全域を露光して現像することで、前記第1エミッタ電極の庇の下部にレジストパタンを形成し、前記レジストパタンを用いて前記絶縁膜を加工して前記レジストパタンを除去することで、前記エミッタコンタクト層の側面のみに第1絶縁層を形成する第5工程と、
前記第4化合物半導体層をパターニングしてエミッタ層を形成する第6工程と、
前記エミッタ層の周囲の前記第3化合物半導体層の上にベース電極を形成し、同時に前記第1エミッタ電極の上に接して第2エミッタ電極を形成する第7工程と、
前記第1エミッタ電極,前記第2エミッタ電極の側面、前記エミッタコンタクト層の周囲、および前記ベース電極を覆う第2絶縁層を形成する第8工程と、
前記第2エミッタ電極の上に接して第3エミッタ電極を形成する第9工程と、
前記第3化合物半導体層をパターニングしてベース層を形成し、前記エミッタ層の周囲の前記ベース層上に前記ベース電極が配置された状態とする第10工程と、
前記第2化合物半導体層をパターニングしてコレクタ層を形成する第11工程と、
前記コレクタ層の周囲の前記第1化合物半導体層の上にコレクタ電極を形成する第12工程と、
前記第1化合物半導体層をパターニングしてサブコレクタ層を形成する第13工程と、
前記基板の上に樹脂からなる充填層を形成し、前記充填層で、前記サブコレクタ層,前記コレクタ層,前記ベース層,前記エミッタ層,前記エミッタコンタクト層,前記第1エミッタ電極,前記ベース電極,前記第2エミッタ電極,前記第3エミッタ電極,前記コレクタ電極を備える素子部を埋め込む第14工程と、
前記充填層をエッチバックして前記第3エミッタ電極の上面を露出させる第15工程と、
前記第3エミッタ電極の上面に接続する配線を前記充填層の上に形成する第16工程と
を備えることを特徴とするヘテロ接合バイポーラトランジスタの製造方法。 - 請求項1記載のヘテロ接合バイポーラトランジスタの製造方法において、
前記電極材料層は、タングステンを主成分とする材料から構成し、
前記エミッタコンタクト層は、層厚100〜200nmに形成することを特徴とするヘテロ接合バイポーラトランジスタの製造方法。
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