JP6104354B2 - 貫通孔形成方法、貫通孔形成装置、および貫通孔を有するガラス基板の製造方法 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 70
- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims description 41
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 20
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 4
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 24
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 13
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 claims description 12
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 8
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 3
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 9
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 7
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 5
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 3
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 2
- 239000002585 base Substances 0.000 description 2
- 230000008961 swelling Effects 0.000 description 2
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009760 electrical discharge machining Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K9/00—Arc welding or cutting
- B23K9/013—Arc cutting, gouging, scarfing or desurfacing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
- B23K26/38—Removing material by boring or cutting
- B23K26/382—Removing material by boring or cutting by boring
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
- B23K26/38—Removing material by boring or cutting
- B23K26/382—Removing material by boring or cutting by boring
- B23K26/384—Removing material by boring or cutting by boring of specially shaped holes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B26—HAND CUTTING TOOLS; CUTTING; SEVERING
- B26F—PERFORATING; PUNCHING; CUTTING-OUT; STAMPING-OUT; SEVERING BY MEANS OTHER THAN CUTTING
- B26F1/00—Perforating; Punching; Cutting-out; Stamping-out; Apparatus therefor
- B26F1/26—Perforating by non-mechanical means, e.g. by fluid jet
- B26F1/28—Perforating by non-mechanical means, e.g. by fluid jet by electrical discharges
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K2103/00—Materials to be soldered, welded or cut
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- B23K2103/00—Materials to be soldered, welded or cut
- B23K2103/50—Inorganic material, e.g. metals, not provided for in B23K2103/02 – B23K2103/26
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Description
レーザ光を集光レンズを介してガラス基板に集光照射することにより、前記ガラス基板を板厚方向に貫通する、貫通電極を形成するための貫通孔を形成する工程を有し、
前記レーザ光を出射するレーザ光源として、炭酸ガスレーザを用い、
前記集光レンズと前記ガラス基板との間の媒質が空気であり、
前記集光レンズの焦点距離fと、前記集光レンズに対する前記レーザ光の入射ビーム径dとから下記式(1)を用いて算出される集光半角θが下記式(2)を満たす、貫通孔形成方法が提供される。
(d/2)/f=tanθ・・・(1)
0.16≦sinθ≦0.22・・・(2)
(d/2)/f=tanθ・・・(1)
上記式(1)において、dは集光レンズ36に対するレーザ光22の入射ビーム径、fは集光レンズ36の焦点距離である。
0.16≦sinθ≦0.22・・・(2)
この場合、有底孔の底面に到達するレーザ光の強度と、有底孔の側面で吸収され有底孔の底面に届かないレーザ光の強度とのバランスが良く、貫通孔4の形状が目標の直線テーパ形状に近い。従って、貫通孔4の形状崩れが抑制できる。よって、貫通孔4の板厚方向任意の位置で、貫通孔4の直径(Φ1)と円錐台6の直径(Φ2)との比(Φ1/Φ2)を0.7〜1.1にすることができる。sinθは、好ましくは0.17〜0.21、より好ましくは0.18〜0.20である。ガラスに対するレーザ光の吸収が高く、有底孔の側面で吸収されるレーザ光の割合が高くなりやすい炭酸ガスレーザを用いた場合、上記式(2)を満たすと、形状崩れを抑制できる効果が顕著である。
試験例1〜5では、表1に示すようにアパーチャーの開口径を変えることで、sinθを変えたこと、および照射時間を変えたこと以外、同じ条件でガラス基板に約10000個の貫通孔を形成した。貫通孔の形成には図1に示す貫通孔形成装置を用いた。尚、試験例5では図1に示すアパーチャーを使用しておらず、直径15mmの断面円形のレーザ光をそのまま集光レンズに入射させた。試験例1〜5では、集光レンズに入射するレーザ光は、断面円形の平行光とした。また、試験例1〜5では放電加工を実施しなかった。
試験例6〜12では、表2に示すようにアパーチャーの開口径を変えることで、sinθを変えたこと、および照射時間を変えたこと以外、同じ条件でガラス基板に約10000個の貫通孔を形成した。貫通孔の形成には図6に示す貫通孔形成装置を用いた。尚、試験例12では図6に示すアパーチャーを使用しておらず、直径15mmの断面円形のレーザ光をそのまま集光レンズに入射させた。試験例6〜12では、集光レンズに入射するレーザ光は、断面円形の平行光とした。試験例6〜12ではレーザ加工の後に放電加工を実施した。
2a 絶縁基板のレーザ照射面
2b 絶縁基板の反対面
4 貫通孔
4a 第1開口縁
4b 第2開口縁
6 円錐台
10 貫通孔形成装置
12 ステージ(第1電極)
20 レーザ光源
22 レーザ光
30 光学系
32 波長板
34 アパーチャー
34a 円形開口
36 集光レンズ
36a 焦点
50 加工ユニット
52 第2電極
54 直流高圧電源
Claims (13)
- レーザ光を集光レンズを介してガラス基板に集光照射することにより、前記ガラス基板を板厚方向に貫通する、貫通電極を形成するための貫通孔を形成する工程を有し、
前記レーザ光を出射するレーザ光源として、炭酸ガスレーザを用い、
前記集光レンズと前記ガラス基板との間の媒質が空気であり、
前記集光レンズの焦点距離fと、前記集光レンズに対する前記レーザ光の入射ビーム径dとから下記式(1)を用いて算出される集光半角θが下記式(2)を満たす、貫通孔形成方法。
(d/2)/f=tanθ・・・(1)
0.16≦sinθ≦0.22・・・(2) - 前記集光レンズに入射する前記レーザ光は、断面円形の平行光である、請求項1に記載の貫通孔形成方法。
- 前記集光レンズの焦点と、前記ガラス基板における前記レーザ光の照射面との、前記照射面に対し垂直方向における距離が0.1mm以内である、請求項1または2に記載の貫通孔形成方法。
- 前記貫通孔は、前記ガラス基板における前記レーザ光の照射面に第1開口縁を有し、前記ガラス基板における前記照射面とは反対側の面に第2開口縁を有し、
前記第2開口縁は前記第1開口縁よりも小さく、
前記貫通孔の板厚方向任意の位置で、前記貫通孔の直径(Φ1)と、前記第1開口縁および前記第2開口縁を側面に含む円錐台の直径(Φ2)との比(Φ1/Φ2)が0.7〜1.1である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の貫通孔形成方法。 - 前記レーザ光をアパーチャーを介して前記集光レンズに入射させる、請求項1〜4のいずれか1項に記載の貫通孔形成方法。
- 前記レーザ光の偏光を直線偏光から円偏光に変換し、円偏光の前記レーザ光を前記ガラス基板に照射する、請求項1〜5のいずれか1項に記載の貫通孔形成方法。
- レーザ光を集光レンズを介してガラス基板に集光照射することにより、前記ガラス基板を板厚方向に貫通する、貫通電極を形成するための貫通孔を形成する貫通孔形成装置であって、
前記レーザ光を出射するレーザ光源と、
前記レーザ光源からの前記レーザ光を前記ガラス基板に集光照射する光学系とを有し、
前記光学系は、前記集光レンズを含み、
前記レーザ光源が炭酸ガスレーザであり、
前記集光レンズと前記ガラス基板との間の媒質が空気であり、
前記集光レンズの焦点距離fと、前記集光レンズに対する前記レーザ光の入射ビーム径dとから下記式(1)を用いて算出される集光半角θが下記式(2)を満たす、貫通孔形成装置。
(d/2)/f=tanθ・・・(1)
0.16≦sinθ≦0.22・・・(2) - 前記集光レンズに入射する前記レーザ光は、断面円形の平行光である、請求項7に記載の貫通孔形成装置。
- 前記集光レンズの焦点と、前記ガラス基板における前記レーザ光の照射面との、前記照射面に対し垂直方向における距離が0.1mm以内である、請求項7または8に記載の貫通孔形成装置。
- 前記光学系は、前記集光レンズに入射する前に前記レーザ光の断面形状を整えるアパーチャーを有する、請求項7〜9のいずれか1項に記載の貫通孔形成装置。
- 前記光学系は、前記レーザ光の偏光を直線偏光から円偏光に変換する波長板を有する、請求項7〜10のいずれか1項に記載の貫通孔形成装置。
- 前記波長板は1/4波長板である、請求項11に記載の貫通孔形成装置。
- レーザ光を集光レンズを介してガラス基板に集光照射することにより、前記ガラス基板を板厚方向に貫通する、貫通電極を形成するための貫通孔を形成する工程を有し、
前記レーザ光を出射するレーザ光源として、炭酸ガスレーザを用い、
前記集光レンズと前記ガラス基板との間の媒質が空気であり、
前記集光レンズの焦点距離fと、前記集光レンズに対する前記レーザ光の入射ビーム径dとから下記式(1)を用いて算出される集光半角θが下記式(2)を満たす、貫通電極付きガラス基板用の、貫通孔を有するガラス基板の製造方法。
(d/2)/f=tanθ・・・(1)
0.16≦sinθ≦0.22・・・(2)
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014254424 | 2014-12-16 | ||
JP2014254424 | 2014-12-16 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017035114A Division JP6699595B2 (ja) | 2014-12-16 | 2017-02-27 | 貫通孔を有するガラス基板 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016113358A JP2016113358A (ja) | 2016-06-23 |
JP2016113358A5 JP2016113358A5 (ja) | 2016-10-20 |
JP6104354B2 true JP6104354B2 (ja) | 2017-03-29 |
Family
ID=56110485
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015238406A Active JP6104354B2 (ja) | 2014-12-16 | 2015-12-07 | 貫通孔形成方法、貫通孔形成装置、および貫通孔を有するガラス基板の製造方法 |
JP2017035114A Active JP6699595B2 (ja) | 2014-12-16 | 2017-02-27 | 貫通孔を有するガラス基板 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017035114A Active JP6699595B2 (ja) | 2014-12-16 | 2017-02-27 | 貫通孔を有するガラス基板 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US10201867B2 (ja) |
JP (2) | JP6104354B2 (ja) |
TW (1) | TWI666083B (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10668561B2 (en) * | 2016-11-15 | 2020-06-02 | Coherent, Inc. | Laser apparatus for cutting brittle material |
US10531566B2 (en) * | 2017-07-11 | 2020-01-07 | AGC Inc. | Glass substrate |
JP2019147166A (ja) * | 2018-02-27 | 2019-09-05 | 株式会社リコー | 光加工装置及び光加工物の生産方法 |
US10470300B1 (en) * | 2018-07-24 | 2019-11-05 | AGC Inc. | Glass panel for wiring board and method of manufacturing wiring board |
US11344972B2 (en) * | 2019-02-11 | 2022-05-31 | Corning Incorporated | Laser processing of workpieces |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05330064A (ja) | 1992-05-29 | 1993-12-14 | Ricoh Co Ltd | ノズル板の成形方法 |
JP3118203B2 (ja) | 1997-03-27 | 2000-12-18 | 住友重機械工業株式会社 | レーザ加工方法 |
JP2001269789A (ja) | 2000-01-20 | 2001-10-02 | Komatsu Ltd | レーザ加工装置 |
JP3797068B2 (ja) | 2000-07-10 | 2006-07-12 | セイコーエプソン株式会社 | レーザによる微細加工方法 |
US6875951B2 (en) * | 2000-08-29 | 2005-04-05 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Laser machining device |
WO2002038323A1 (en) * | 2000-11-13 | 2002-05-16 | Micmacmo Aps | Laser ablation |
EP1295647A1 (en) | 2001-09-24 | 2003-03-26 | The Technology Partnership Public Limited Company | Nozzles in perforate membranes and their manufacture |
US20050155956A1 (en) * | 2002-08-30 | 2005-07-21 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Laser processing method and processing device |
US7880117B2 (en) * | 2002-12-24 | 2011-02-01 | Panasonic Corporation | Method and apparatus of drilling high density submicron cavities using parallel laser beams |
US20050064137A1 (en) * | 2003-01-29 | 2005-03-24 | Hunt Alan J. | Method for forming nanoscale features and structures produced thereby |
JP2008284579A (ja) * | 2007-05-16 | 2008-11-27 | Fuji Xerox Co Ltd | 液滴吐出ヘッドの製造方法、および液滴吐出ヘッド |
JP5071868B2 (ja) * | 2008-08-11 | 2012-11-14 | オムロン株式会社 | レーザ加工方法、レーザ加工装置、光学素子の製造方法、および光学素子 |
JP2011177735A (ja) | 2010-02-26 | 2011-09-15 | Agt:Kk | レーザー穴開け加工方法 |
CN103237771B (zh) * | 2010-11-30 | 2016-10-19 | 康宁股份有限公司 | 在玻璃中形成高密度孔阵列的方法 |
JP5805008B2 (ja) | 2012-05-21 | 2015-11-04 | 三菱電機株式会社 | ガラス微細穴加工用レーザ加工機及びガラス微細穴加工方法 |
LT2964417T (lt) * | 2013-04-04 | 2022-04-11 | Lpkf Laser & Electronics Ag | Būdas kiaurinėms angoms pagrinde įvesti |
JP2014213338A (ja) * | 2013-04-24 | 2014-11-17 | 旭硝子株式会社 | レーザ光照射によりガラス基板に貫通孔を形成する方法 |
JP2014226710A (ja) * | 2013-05-24 | 2014-12-08 | 旭硝子株式会社 | 放電補助式レーザ孔加工方法 |
JP6262039B2 (ja) * | 2014-03-17 | 2018-01-17 | 株式会社ディスコ | 板状物の加工方法 |
-
2015
- 2015-12-07 JP JP2015238406A patent/JP6104354B2/ja active Active
- 2015-12-10 US US14/965,111 patent/US10201867B2/en active Active
- 2015-12-14 TW TW104141958A patent/TWI666083B/zh active
-
2017
- 2017-02-27 JP JP2017035114A patent/JP6699595B2/ja active Active
-
2018
- 2018-12-20 US US16/227,658 patent/US20190118281A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6699595B2 (ja) | 2020-05-27 |
US20190118281A1 (en) | 2019-04-25 |
JP2016113358A (ja) | 2016-06-23 |
US10201867B2 (en) | 2019-02-12 |
US20160168006A1 (en) | 2016-06-16 |
JP2017128505A (ja) | 2017-07-27 |
TW201628755A (zh) | 2016-08-16 |
TWI666083B (zh) | 2019-07-21 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160902 |
|
A621 | Written request for application examination |
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|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
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|
A975 | Report on accelerated examination |
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|
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|
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|
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