JP6101143B2 - Substrate cutting apparatus and substrate transfer method in substrate cutting apparatus - Google Patents

Substrate cutting apparatus and substrate transfer method in substrate cutting apparatus Download PDF

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Description

本発明は、液晶表示装置などの表示パネルに使用されるガラス基板などのマザー基板を含む様々な材料のマザー基板を分断して搬送する基板分断装置及び基板分断装置における基板搬送方法に関し、さらに詳細には、スクライブされて分断された脆性材料基板を次の段階へ搬送する時、基板に損傷を与えずに良好な状態で搬送することができる基板分断装置及び基板搬送方法に関する。 The present invention relates to a substrate cutting apparatus that divides and transports a mother substrate made of various materials including a mother substrate such as a glass substrate used for a display panel such as a liquid crystal display device, and a substrate transport method in the substrate cutting apparatus. The present invention relates to a substrate cutting apparatus and a substrate transfer method that can transfer a brittle material substrate that has been scribed and divided into a next stage without damaging the substrate.

一般的に、液晶表示装置などの表示パネルは、通常、脆性材料基板であるガラス基板を使用して形成されている。液晶表示装置は、一対のガラス基板を適当な間隔を置いて接合させ、該間隔内に液晶を封入することにより表示パネルとなる。
このような表示パネルを製造する時には、マザーガラス基板を接合させた接合マザー基板を分断することにより、接合マザー基板から複数の表示パネルを作る加工がなされている。このような接合マザー基板を分断するための基板分断装置が、韓国公開特許公報第２００６−０１２５９１５号（以下、特許文献１という）に開示されている。 In general, a display panel such as a liquid crystal display device is usually formed using a glass substrate which is a brittle material substrate. A liquid crystal display device becomes a display panel by bonding a pair of glass substrates at an appropriate interval and enclosing a liquid crystal in the interval.
When manufacturing such a display panel, the process which makes a some display panel from a joining mother board | substrate is made | formed by parting the joining mother board | substrate which joined the mother glass substrate. A substrate cutting apparatus for cutting such a bonded mother substrate is disclosed in Korean Patent Publication No. 2006-0125915 (hereinafter referred to as Patent Document 1).

図１は、特許文献１の図３２に示された基板分断装置の主要構成を概略的に示す斜視図である。
図１を参照すると、基板分断装置２００は、位置決めユニット部２２０、スクライブユニット部２４０、ブレイクコンベア部２６０、スチームブレイクユニット部２８０、パネル反転ユニット部３２０及びパネル端子分離部３４０を備えている。 FIG. 1 is a perspective view schematically showing a main configuration of the substrate cutting apparatus shown in FIG.
Referring to FIG. 1, the substrate cutting apparatus 200 includes a positioning unit unit 220, a scribe unit unit 240, a break conveyor unit 260, a steam break unit unit 280, a panel reversing unit unit 320, and a panel terminal separation unit 340.

位置決めユニット部２２０が配置されている側を基板搬入側、パネル端子分離部３４０が配置されている側を基板搬出側としたとき、基板は、基板搬入側の位置決めユニット部２２０に供給された後、スクライブユニット部２４０、ブレイクコンベア部２６０、スチームブレイクユニット部２８０、パネル反転ユニット部３２０及びパネル端子分離部３４０に順次搬送されながら基板分断作業が行われ、この後基板搬出側に搬送される。 After the substrate is supplied to the positioning unit 220 on the substrate carry-in side, where the side on which the positioning unit 220 is arranged is the substrate carry-in side and the side on which the panel terminal separation unit 340 is arranged is the substrate carry-out side Then, the substrate cutting operation is performed while being sequentially conveyed to the scribe unit 240, the break conveyor 260, the steam break unit 280, the panel reversing unit 320, and the panel terminal separation unit 340, and is then conveyed to the substrate unloading side.

すなわち、設置台２３０の上方に設置された位置決めユニット部２２０に供給される基板は、位置決めユニット部２２０に形成された複数の基板支持ユニット（不図示）上に載置され、基板支持ユニットに設置されたベルト（不図示）上で基板の位置が決められた後、ベルトの回転動作によって次の段階であるスクライブユニット部２４０に搬送される。 That is, the substrate supplied to the positioning unit unit 220 installed above the installation table 230 is placed on a plurality of substrate support units (not shown) formed in the positioning unit unit 220 and installed on the substrate support unit. After the position of the substrate is determined on the belt (not shown), the substrate is conveyed to the scribe unit 240, which is the next stage, by the rotation of the belt.

一方、スクライブユニット部２４０は、設置台２５０の上方にＸ方向に沿って設置された分断装置ガイド体２４２と、この分断装置ガイド体２４２を間に挟んでＹ方向に沿って配置される第１の基板支持ユニット部２４１Ａ及び第２の基板支持ユニット部２４１Ｂを有する。また、第１の基板支持ユニット部２４１Ａの第１の基板支持ユニット２４４Ａと第２の基板支持ユニット部２４１Ｂの第２の基板支持ユニット２４４Ｂは、それぞれフレーム２４３Ａ及びフレーム２４３Ｂに対して平行に配置される。 On the other hand, the scribing unit 240 is a dividing device guide body 242 installed along the X direction above the installation table 250, and a first device arranged along the Y direction with the dividing device guide body 242 interposed therebetween. Substrate support unit portion 241A and second substrate support unit portion 241B. Further, the first substrate support unit 244A of the first substrate support unit portion 241A and the second substrate support unit 244B of the second substrate support unit portion 241B are arranged in parallel to the frame 243A and the frame 243B, respectively. The

この場合、位置決めユニット部２２０からスクライブユニット部２４０に搬送される基板は、第１の基板支持ユニット部２４１Ａの第１の基板支持ユニット２４４Ａに載置され、クランプ装置２５１によってクランプされる。その後、第１の基板支持ユニット２４４Ａに設置されたベルトを回転させると同時に、クランプ装置２５１をＹ方向に沿って移動させることにより、基板が分断装置ガイド体２４２を介してスクライブされ、スクライブされた基板は第２の基板支持ユニット部２４１Ｂの第２の基板支持ユニット２４４Ｂに搬送される。 In this case, the substrate transported from the positioning unit 220 to the scribe unit 240 is placed on the first substrate support unit 244A of the first substrate support unit 241A and clamped by the clamp device 251. Thereafter, the belt installed on the first substrate support unit 244A is rotated, and at the same time the clamp device 251 is moved along the Y direction, whereby the substrate is scribed and scribed via the cutting device guide body 242. The substrate is transported to the second substrate support unit 244B of the second substrate support unit portion 241B.

第２の基板支持ユニット２４４Ｂに搬送された基板は、第２の基板支持ユニット２４４Ｂに設置されたベルトを回転させることにより、第２の基板支持ユニット２４４Ｂのベルトと離隔されて設置されたブレイクコンベア部２６０のベルト２６１に搬送され、この後スチームブレイクユニット部２８０によって基板が完全に分断され、基板搬送ユニット部３００、パネル反転ユニット部３２０及びパネル端子分離部３４０を経てロボットなどによって基板搬出側に搬出される。 The substrate conveyed to the second substrate support unit 244B is rotated by a belt installed on the second substrate support unit 244B, so that the break conveyor is installed separately from the belt of the second substrate support unit 244B. Then, the substrate is completely divided by the steam break unit 280, and then passed to the substrate unloading side by a robot or the like via the substrate transfer unit 300, the panel reversing unit 320, and the panel terminal separation unit 340. It is carried out.

また、通常は、スクライブ作業が完了し、第２の基板支持ユニット２４４Ｂのベルト上に搬送された基板は、第２の基板支持ユニット２４４Ｂのベルトとブレイクコンベア部２６０のベルト２６１の回転によってブレイクコンベア部２６０に搬送される。ブレイクコンベア部２６０への搬送が完了した基板は、ブレイクコンベア部２６０のベルト２６１の回転が停止された状態でスチームブレイクユニット２８０によりブレイクされた後、ピックアップロボットなどによってピックアップされ、基板搬送ユニット部３００に排出される。また、ブレイクコンベア部２６０のベルト２６１の回転が停止された状態でも、基板のスクライブのために、スクライブユニット部２４０を構成する第１の基板支持ユニット２４４Ａ及び第２の基板支持ユニット２４４Ｂのベルトは、引き続き回転するように制御される。 In general, the substrate that has been scribed and is transferred onto the belt of the second substrate support unit 244B is rotated by the rotation of the belt 261 of the break conveyor unit 260 and the belt of the second substrate support unit 244B. To the unit 260. The substrate that has been transported to the break conveyor unit 260 is broken by the steam break unit 280 in a state where the rotation of the belt 261 of the break conveyor unit 260 is stopped, and then picked up by a pick-up robot or the like. To be discharged. In addition, even when the rotation of the belt 261 of the break conveyor unit 260 is stopped, the belts of the first substrate support unit 244A and the second substrate support unit 244B constituting the scribe unit unit 240 are used to scribe the substrate. Then, it is controlled to continue to rotate.

韓国公開特許公報第２００６−０１２５９１５号Korean Published Patent Publication No. 2006-0125915

しかしながら、このような従来の基板分断装置では、スクライブされた基板がスクライブユニット部２４０からブレイクコンベア部２６０に搬送される時、さらに具体的には、第２の基板支持ユニット２４４Ｂからブレイクコンベア部２６０に搬送される時、第２の基板支持ユニット２４４Ｂのベルトとブレイクコンベア部２６０のベルト２６１との間でベルトの乗り移りが起こるため、第２の基板支持ユニット２４４Ｂとブレイクコンベア部２６０との間で端材が落下したり、または基板が割れるガラスチッピングなどが発生したりするようになる。このようなベルトの乗り移りによる問題点について図２を参照してより具体的に説明する。 However, in such a conventional substrate cutting apparatus, when the scribed substrate is transported from the scribe unit 240 to the break conveyor unit 260, more specifically, from the second substrate support unit 244B to the break conveyor unit 260. Since the transfer of the belt occurs between the belt of the second substrate support unit 244B and the belt 261 of the break conveyor unit 260, the second substrate support unit 244B and the break conveyor unit 260 are transferred. The mill ends fall or glass chipping that breaks the substrate occurs. The problem caused by the transfer of the belt will be described more specifically with reference to FIG.

図２は、従来の基板分断装置において、スクライブユニット部からピックアップコンベア部に基板が搬送される過程を概略的に示した図である。図２において、符号１００は基板搬入側から搬送された基板を受け取り、位置決め及び／又は旋回を行う給材部、符号１１０と１２０はそれぞれ上流側スクライブ部及び下流側スクライブ部、そして符号１３０は分断された基板をロボットなどによってピックアップして排出するピックアップコンベア部を示す。 FIG. 2 is a diagram schematically illustrating a process in which a substrate is transferred from a scribe unit unit to a pickup conveyor unit in a conventional substrate cutting apparatus. In FIG. 2, reference numeral 100 denotes a material supply unit that receives a substrate transported from the substrate carry-in side and performs positioning and / or rotation, reference numerals 110 and 120 denote an upstream scribe part and a downstream scribe part, and reference numeral 130 denotes a division. The pick-up conveyor part which picks up the board | substrate with which it picked up with the robot etc., and discharges | emits it is shown.

図２を参照すると、従来の基板分断装置において、基板把持機構１１４に把持された基板は、上流側スクライブ部１１０と下流側スクライブ部１２０との間を往復移動しながら、スクライブビーム１１６に設置されたスクライブヘッド１１８によってスクライブされる。そして、下流側スクライブ部１２０のコンベアベルト１３４上に載置されたスクライブ済みの基板１０２ａは、ピックアップコンベア部１３０のコンベアベルト１３５に搬送される。 Referring to FIG. 2, in the conventional substrate cutting apparatus, the substrate held by the substrate holding mechanism 114 is installed on the scribe beam 116 while reciprocating between the upstream scribe unit 110 and the downstream scribe unit 120. The scribing head 118 is scribed. Then, the scribed substrate 102 a placed on the conveyor belt 134 of the downstream scribe unit 120 is conveyed to the conveyor belt 135 of the pickup conveyor unit 130.

ところで、下流側スクライブ部１２０のコンベアベルト１３４とピックアップコンベア部１３０のコンベアベルト１３５との間には、コンベア乗り移り部が存在するため、基板１０２ａがピックアップコンベア部１３５上の基板１０２ｂの位置に搬送される時、スクライブされた基板１０２ａから端材が落下するようになる。
また、基板１０２ａが下流側スクライブ部１２０からピックアップコンベア部１３０の上に乗り移る時、基板１０２ａに波打ちが発生するようになり、これにより基板１０２ａのスクライブされた部分同士が互いに衝突して基板の一部分が割れるガラスチッピングが発生するようになる。たとえ下流側スクライブ部１２０及びピックアップコンベア部１３０の地面からの高さを等しく設計したとしても、実際には下流側スクライブ部１２０とピックアップコンベア部１３０の高さが微妙に異なったり、またはいずれか一方が傾いて設置されたりするため、ガラスチッピングが発生するようになる。特に、最近は薄型化された基板を処理する場合が多いため、このような問題はさらに深刻になる。 Incidentally, since there is a conveyor transfer section between the conveyor belt 134 of the downstream scribe section 120 and the conveyor belt 135 of the pickup conveyor section 130, the substrate 102a is transferred to the position of the substrate 102b on the pickup conveyor section 135. At this time, the mill ends fall from the scribed substrate 102a.
In addition, when the substrate 102a is transferred from the downstream scribe unit 120 onto the pickup conveyor unit 130, the substrate 102a is wavy, and the scribed portions of the substrate 102a collide with each other to form part of the substrate. Glass chipping that breaks occurs. Even if the heights of the downstream scribe unit 120 and the pickup conveyor unit 130 from the ground are designed to be equal, the heights of the downstream scribe unit 120 and the pickup conveyor unit 130 are actually slightly different or either one of them. The glass chipping occurs due to the inclination of the installation. In particular, these problems are more serious since a substrate having a reduced thickness is often processed recently.

本発明は上述のような問題点を解決するために案出されたものであって、その目的はコンベアの乗り移りによる前述のような問題点を防止し、スクライブされた基板に損傷を与えずに基板を次の段階までに搬送することができる基板分断装置及び基板搬送方法を提供することにある。 The present invention has been devised to solve the above-mentioned problems, and its purpose is to prevent the above-mentioned problems caused by the transfer of the conveyor without damaging the scribed substrate. An object of the present invention is to provide a substrate cutting apparatus and a substrate transfer method capable of transferring a substrate until the next stage.

前記の目的を達成するために、本発明の一実施形態に係る基板分断装置は、設置台上で基板の搬送方向である第１の方向に沿って互いに間隔を置いて配置され、前記基板が載置された状態で複数のローラに巻かれて回転するベルトを備える第１のコンベア部及び第２のコンベア部と、前記第１のコンベア部と前記第２のコンベア部の間に設置されて前記基板をスクライブするスクライブユニットと、前記第１の方向において前記第２のコンベア部の上流側に位置する上流側第２のコンベア部と下流側に位置する下流側第２のコンベア部との間に設置され、少なくとも第１のローラ及び第２のローラを備えるダンサーローラユニットを含み、前記第１のローラは、前記第２のコンベア部のベルト外側に位置し、前記第２のローラは、前記第２のコンベア部のベルト内側に位置し、前記第１のローラ及び第２のローラは、前記第１の方向と交差する第２の方向において互いに反対方向に移動可能に形成され、一体に形成された前記上流側第２のコンベア部と前記下流側第２のコンベア部とが互いに異なる作動状態になり得る。 In order to achieve the above object, a substrate cutting apparatus according to an embodiment of the present invention is disposed on a setting table at a distance from each other along a first direction that is a substrate transfer direction. It is installed between the first conveyor unit and the second conveyor unit, and the first conveyor unit and the second conveyor unit that are provided with a belt that is wound around a plurality of rollers and rotates in a mounted state. Between a scribing unit for scribing the substrate and an upstream second conveyor section located upstream of the second conveyor section in the first direction and a downstream second conveyor section located downstream. And a dancer roller unit comprising at least a first roller and a second roller, wherein the first roller is located outside the belt of the second conveyor unit, and the second roller is Second The first roller and the second roller, which are located inside the belt of the bearing portion, are formed to be movable in opposite directions in a second direction intersecting the first direction, and are integrally formed The upstream second conveyor section and the downstream second conveyor section may be in different operating states.

前記基板分断装置において、前記第１のローラ及び第２のローラが、前記第２の方向において互いに反対方向に移動する時、前記第１のローラの移動距離と第２のローラの移動距離は同一であってもよい。 In the substrate cutting apparatus, when the first roller and the second roller move in directions opposite to each other in the second direction, the moving distance of the first roller and the moving distance of the second roller are the same. It may be.

前記基板分断装置において、前記第１のローラ及び第２のローラのうち少なくともいずれか一つは、前記第２のコンベア部のベルトの張力を維持しながら、該ベルトと接触していてもよい。 In the substrate cutting apparatus, at least one of the first roller and the second roller may be in contact with the belt while maintaining a tension of the belt of the second conveyor unit.

前記基板分断装置において、前記第１のローラ及び第２のローラは、ギア駆動モータに連結されたピニオンギアを挟んで互いに対向配置された状態で前記ピニオンギアと噛合する第１のラックギア及び第２のラックギアにそれぞれ結合されていてもよい。 In the substrate cutting apparatus, the first roller and the second roller meshing with the pinion gear in a state of being opposed to each other with a pinion gear connected to a gear drive motor interposed therebetween. The rack gears may be coupled to each other.

前記基板分断装置において、前記複数のローラには第３のローラが含まれ、前記第３のローラに前記下流側第２のコンベア部のベルトが巻かれており、前記第３のローラにベルト駆動モータが連結されていてもよい。 In the substrate cutting apparatus, the plurality of rollers include a third roller, a belt of the second conveyor section on the downstream side is wound around the third roller, and a belt is driven by the third roller. A motor may be connected.

前記基板分断装置において、前記ダンサーローラユニットには、前記上流側第２のコンベア部のベルトの回転を停止させる第１のストッパと、前記下流側第２のコンベア部のベルトの回転を停止させる第２のストッパが設けられていてもよい。 In the substrate cutting apparatus, the dancer roller unit includes a first stopper for stopping the rotation of the belt of the second upstream conveyor unit, and a first stopper for stopping the rotation of the belt of the second downstream conveyor unit. Two stoppers may be provided.

また、本発明の一実施形態に係る基板搬送方法は、設置台上で基板の搬送方向である第１の方向に沿って互いに間隔を置いて配置され、前記基板が載置された状態で複数のローラに巻かれて回転するベルトを備える第１のコンベア部及び第２のコンベア部と、前記第１のコンベア部と前記第２のコンベア部の間に設置されて前記基板をスクライブするスクライブユニットとを含む基板分断装置において、前記第２のコンベア部のベルト上に載置された基板を前記第１の方向に搬送する基板搬送方法であって、前記基板分断装置には、前記第１の方向において前記第２のコンベア部の上流側に位置する上流側第２のコンベア部と下流側に位置する下流側第２のコンベア部との間に、前記第１の方向と交差する第２の方向において互いに反対方向に移動可能な少なくとも第１のローラと第２のローラを有するダンサーローラユニットが備えられ、前記第１のローラを前記第２のコンベア部のベルト外側に位置させ、前記第２のローラを前記第２のコンベア部のベルト内側に位置させた状態で、前記第１のローラと第２のローラを互いに反対方向に移動させることにより、一体に形成された前記上流側第２のコンベア部と下流側第２のコンベア部を互いに異なるように作動させることを特徴とする。 Further, the substrate transport method according to an embodiment of the present invention includes a plurality of substrate transport methods arranged on the installation table at a distance from each other along a first direction that is a substrate transport direction. A first conveyor section and a second conveyor section, each having a belt wound around a roller, and a scribing unit installed between the first conveyor section and the second conveyor section to scribe the substrate. The substrate cutting apparatus includes: a substrate transfer method for transferring a substrate placed on the belt of the second conveyor unit in the first direction, wherein the substrate cutting apparatus includes the first A second crossing the first direction between the upstream second conveyor part located upstream of the second conveyor part in the direction and the downstream second conveyor part located downstream. Directions opposite to each other A dancer roller unit having at least a movable first roller and a second roller is provided, the first roller is positioned outside the belt of the second conveyor unit, and the second roller is moved to the second roller In a state where the first roller and the second roller are moved in directions opposite to each other while being positioned on the inner side of the belt of the conveyor unit, the upstream second conveyor unit and the downstream second unit integrally formed are moved. The two conveyor sections are operated differently from each other.

前記基板搬送方法において、前記第１のローラと第２のローラを往復移動させることにより、下流側第２のコンベア部のベルトを停止させた状態で、上流側第２のコンベア部のベルトを時計方向又は反時計方向に回転させ、前記上流側第２のコンベア部のベルト上に載置された基板をスクライブし、前記スクライブする段階において、停止された状態の下流側第２のコンベア部のベルト上に置かれているスクライブ済みの基板をアンロードし、前記下流側第２のコンベア部のベルトに巻かれた第３のローラを回転させながら前記第１のローラ及び第２のローラを移動させることにより、上流側第２のコンベア部のベルトを停止させた状態で前記下流側第２のコンベア部のベルトを回転させ、前記下流側第２のコンベア部のベルト上に残置された端材をアンロードし、前記端材のアンロード後も前記第３のローラを引き続き回転させ、前記上流側第２のコンベア部のベルト上に載置されていたスクライブ済みの基板を前記下流側第２のコンベア部のベルト上に搬送してもよい。 In the substrate transport method, the belt of the upstream second conveyor section is watched while the belt of the downstream second conveyor section is stopped by reciprocating the first roller and the second roller. Rotate counterclockwise or counterclockwise, scribe the substrate placed on the belt of the upstream second conveyor section, and in the stage of scribing, the belt of the downstream second conveyor section stopped Unload the scribed substrate placed thereon, and move the first roller and the second roller while rotating the third roller wound around the belt of the second conveyor section on the downstream side. By rotating the belt of the second conveyor section on the downstream side in a state where the belt of the second conveyor section on the upstream side is stopped, the belt is left on the belt of the second conveyor section on the downstream side. The end material is unloaded, and after the end material is unloaded, the third roller is continuously rotated, and the scribed substrate placed on the belt of the upstream second conveyor section is moved to the downstream side. You may convey on the belt of a 2nd conveyor part.

前記基板搬送方法において、前記第３のローラにはベルト駆動モータが連結され、前記基板をスクライブする段階では前記ベルト駆動モータの作動を停止させてもよい。 In the substrate transfer method, a belt drive motor may be connected to the third roller, and the belt drive motor may be stopped at the stage of scribing the substrate.

前記基板搬送方法において、前記端材をアンロードする段階では前記ベルト駆動モータを作動させてもよい。 In the substrate transfer method, the belt driving motor may be operated at the stage of unloading the end material.

前記基板搬送方法において、前記ダンサーローラユニットには前記上流側第２のコンベア部のベルトの回転を停止させる第１のストッパと、前記下流側第２のコンベア部のベルトの回転を停止させる第２のストッパが設置され、前記基板をスクライブする段階では前記第２のストッパを作動させてもよい。 In the substrate transfer method, the dancer roller unit has a first stopper for stopping the rotation of the belt of the upstream second conveyor section, and a second stopper for stopping the rotation of the belt of the downstream second conveyor section. The second stopper may be operated at the stage of scribing the substrate.

前記基板搬送方法において、前記端材をアンロードする段階では前記第１のストッパを作動させてもよい。 In the substrate transfer method, the first stopper may be operated at the stage of unloading the end material.

前記基板搬送方法において、スクライブされた基板が前記下流側第２のコンベア部のベルトに搬送される段階では、前記第１のストッパ及び第２のストッパの作動を全て解除してもよい。 In the substrate transport method, in the stage where the scribed substrate is transported to the belt of the second conveyor section on the downstream side, all the operations of the first stopper and the second stopper may be released.

本発明の一実施形態に係る基板分断装置及び基板搬送方法によると、一体に形成された第２のコンベア部の上流側第２のコンベア部と下流側第２のコンベア部との間にダンサーローラユニットが備えられることにより、従来の下流側スクライブ部とピックアップコンベア部との間に存在していたコンベア乗り移り部なしで、基板を上流側第２のコンベア部から下流側第２のコンベア部に搬送することができる。よって、端材の落下やガラスチッピングのような問題点を未然に防止することができる。また、コンベア乗り移り部で発生し得る基板表面上の傷や損傷も未然に防止することができる。
また、本発明の一実施形態に係る基板分断装置及び基板搬送方法によると、上流側第２のコンベア部と下流側第２のコンベア部を互いに異なるように作動させることができるため、下流側第２のコンベア部上の基板をピックアップするために下流側第２のコンベア部が停止されている状態でも、上流側第２のコンベア部で基板のスクライブ作業を引き続き進行することができる。したがって、基板分断装置の全体的な処理効率を向上することができる。 According to the substrate cutting apparatus and the substrate transport method according to the embodiment of the present invention, the dancer roller is provided between the upstream second conveyor unit and the downstream second conveyor unit of the integrally formed second conveyor unit. By providing the unit, the substrate is transported from the upstream second conveyor section to the downstream second conveyor section without the conveyor transfer section that existed between the conventional downstream scribe section and the pickup conveyor section. can do. Therefore, it is possible to prevent problems such as dropping of the end material and glass chipping. Further, scratches and damages on the substrate surface that may occur at the conveyor transfer portion can be prevented.
Further, according to the substrate cutting apparatus and the substrate transport method according to the embodiment of the present invention, the upstream second conveyor unit and the downstream second conveyor unit can be operated differently from each other. Even in a state where the downstream second conveyor unit is stopped in order to pick up the substrate on the second conveyor unit, the substrate scribing operation can be continued in the upstream second conveyor unit. Therefore, the overall processing efficiency of the substrate cutting apparatus can be improved.

図１は、従来の基板分断システムの主要構成を概略的に示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view schematically showing a main configuration of a conventional substrate cutting system. 図２は、従来の基板分断装置でスクライブされた基板がピックアップコンベア部に搬送される過程を概略的に示す図である。FIG. 2 is a diagram schematically illustrating a process in which a substrate scribed by a conventional substrate cutting apparatus is transported to a pickup conveyor unit. 図３は、本発明の一実施形態に係る基板分断装置の主要構成を概略的に示す側面図である。FIG. 3 is a side view schematically showing the main configuration of the substrate cutting apparatus according to one embodiment of the present invention. 図４（ａ）乃至（ｄ）は、本発明の一実施形態に係る基板分断装置における基板搬送過程を概略的に示した図である。4A to 4D are diagrams schematically illustrating a substrate transfer process in the substrate cutting apparatus according to an embodiment of the present invention. 図５は、本発明の一実施形態に係るダンサーローラユニットが設置された基板分断装置の部分斜視図である。FIG. 5 is a partial perspective view of the substrate cutting apparatus provided with the dancer roller unit according to the embodiment of the present invention. 図６は、本発明の一実施形態に係るダンサーローラユニットの斜視図である。FIG. 6 is a perspective view of a dancer roller unit according to an embodiment of the present invention. 図７は、本発明の一実施形態に係るダンサーローラユニットの側面図である。FIG. 7 is a side view of a dancer roller unit according to an embodiment of the present invention. 図８は、本発明の一実施形態に係るダンサーローラユニットにおいて、第１のローラは下降し、第２のローラは上昇している様子を示すダンサーローラユニットの側断面図である。FIG. 8 is a side sectional view of the dancer roller unit showing a state in which the first roller is lowered and the second roller is raised in the dancer roller unit according to the embodiment of the present invention. 図９は、本発明の一実施形態に係るダンサーローラユニットにおいて、第１のローラは上昇し、第２のローラは下降している様子を示すダンサーローラユニットの側断面図である。FIG. 9 is a side sectional view of the dancer roller unit showing a state in which the first roller is raised and the second roller is lowered in the dancer roller unit according to the embodiment of the present invention.

以下、添付の図面を参照し、本発明の実施形態について詳細に説明する。しかし、本発明は種々の異なる形態で具現されることができ、ここで説明する実施形態に限定されない。図面において本発明を簡単かつ明瞭に説明するために説明と関係ない部分は省略しており、明細書全体を通じて同一又は類似の構成要素については同一の参照符号を付した。また、本発明の実施形態については、特許文献１などに開示された従来の基板分断装置との構成上の相違点を中心に説明し、従来の基板分断装置と同一であるか類似の構成については、その説明を省略する。
一方、本発明の実施形態において、“基板”には複数の基板に分断されるマザー基板を含み、また鋼板などの金属基板、木板、プラスチック基板及びセラミックス基板、半導体基板、ガラス基板などの脆性材料基板などの単板が含まれる。また、このような単板に限定されず、一対の基板同士を接合させた接合基板、一対の基板同士を積層させた積層基板も含まれる。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention may be embodied in various different forms and is not limited to the embodiments described herein. In the drawings, parts not related to the description are omitted for the sake of simple and clear explanation of the present invention, and the same or similar components are denoted by the same reference numerals throughout the specification. Further, the embodiment of the present invention will be described with a focus on differences in configuration from the conventional substrate cutting apparatus disclosed in Patent Document 1 and the like, and the same or similar configuration as the conventional substrate cutting apparatus will be described. The description is omitted.
On the other hand, in the embodiments of the present invention, the “substrate” includes a mother substrate that is divided into a plurality of substrates, and is a brittle material such as a metal substrate such as a steel plate, a wooden plate, a plastic substrate, a ceramic substrate, a semiconductor substrate, and a glass substrate. A single plate such as a substrate is included. Further, the present invention is not limited to such a single plate, and includes a bonded substrate obtained by bonding a pair of substrates and a laminated substrate obtained by stacking a pair of substrates.

図３は、本発明の一実施形態に係る基板分断装置の主要構成を概略的に示す側面図である。
図３を参照すると、本実施形態に係る基板分断装置は、第１のコンベア部１０及び第２のコンベア部２０と、スクライブユニット３０と、ダンサーローラユニット２３を含む。
第１のコンベア部１０及び第２のコンベア部２０は、設置台（不図示）上で基板搬送方向である第１の方向（図３において＋Ｙ方向）に沿って互いに間隔を置いて配置される。第１のコンベア部１０には複数のローラ１１に巻かれて回転するベルト１８が設けられ、第２のコンベア部２０にも複数のローラ２１に巻かれて回転するベルト２８が設けられる。そして、本実施形態では、複数のローラ２１のうち、第３のローラ２１ａにベルト駆動モータ４０が連結されているため、該ベルト駆動モータ４０の作動によって第３のローラ２１ａの回転が制御され、これによりベルト２８が回転するように構成される。 FIG. 3 is a side view schematically showing the main configuration of the substrate cutting apparatus according to one embodiment of the present invention.
Referring to FIG. 3, the substrate cutting apparatus according to this embodiment includes a first conveyor unit 10 and a second conveyor unit 20, a scribe unit 30, and a dancer roller unit 23.
The first conveyor unit 10 and the second conveyor unit 20 are arranged on a setting table (not shown) at intervals from each other along a first direction (+ Y direction in FIG. 3) that is a substrate transport direction. . The first conveyor unit 10 is provided with a belt 18 that is wound around a plurality of rollers 11 and rotated, and the second conveyor unit 20 is also provided with a belt 28 that is wound around a plurality of rollers 21 and rotated. And in this embodiment, since the belt drive motor 40 is connected with the 3rd roller 21a among the some rollers 21, rotation of the 3rd roller 21a is controlled by the action | operation of this belt drive motor 40, Thus, the belt 28 is configured to rotate.

第１のコンベア部１０と第２のコンベア部２０との間には、スクライブユニット３０が配置される。スクライブユニット３０は、設置台を横切る方向（図３において＋Ｘ方向）に延長して設けられたスクライブビーム３２と、このスクライブビーム３２に取り付けられ、スクライブビーム３２が延びる方向に沿って移動可能なスクライブヘッド３４を備える。
また、前記第１のコンベア部１０のベルト１８の上には、第１の方向に沿って前後（図３において＋Ｙ方向及び−Ｙ方向）に移動可能に設置されたチャックビーム１４と、このチャックビーム１４の一側に形成され、基板２を把持するチャック１６が設置されている。そして、チャックビーム１４がスクライブユニット３０に向かって前後方向に移動することによって、チャック１６に把持されている基板２はスクライブヘッド３４の下部を通過しながらスクライブされる。 A scribe unit 30 is disposed between the first conveyor unit 10 and the second conveyor unit 20. The scribe unit 30 is a scribe beam 32 that extends in a direction (+ X direction in FIG. 3) across the installation table, and a scribe unit that is attached to the scribe beam 32 and is movable along the direction in which the scribe beam 32 extends. A head 34 is provided.
A chuck beam 14 installed on the belt 18 of the first conveyor unit 10 so as to be movable back and forth (in the + Y direction and the -Y direction in FIG. 3) along the first direction, and the chuck A chuck 16 formed on one side of the beam 14 and holding the substrate 2 is provided. Then, when the chuck beam 14 moves in the front-rear direction toward the scribe unit 30, the substrate 2 held by the chuck 16 is scribed while passing through the lower part of the scribe head 34.

本実施形態において、第２のコンベア部２０は基板の搬送方向において上流側に位置する上流側第２のコンベア部２２（以下、スクライブリアコンベア部ともいう）と、下流側に位置する下流側第２のコンベア部２４（以下、ピックアップコンベア部ともいう）に区分され得る。 In the present embodiment, the second conveyor section 20 includes an upstream second conveyor section 22 (hereinafter also referred to as a scribe rear conveyor section) located upstream in the substrate transport direction, and a downstream side second conveyor section 22 located downstream. 2 conveyor sections 24 (hereinafter also referred to as pickup conveyor sections).

スクライブリアコンベア部２２は、第１のコンベア部１０からスクライブユニット３０を通ってスクライブされた基板が載置される部分であり、ピックアップコンベア部２４は、例えばピックアップロボットなどによって基板がピックアップされ得るように、スクライブリアコンベア部２２から搬送された基板２ａが一時的に載置される部分である。 The scribe rear conveyor unit 22 is a portion on which a substrate scribed from the first conveyor unit 10 through the scribe unit 30 is placed, and the pickup conveyor unit 24 can pick up a substrate by a pickup robot or the like, for example. In addition, the substrate 2a conveyed from the scribe rear conveyor 22 is a part on which the substrate 2a is temporarily placed.

このように互いに異なる機能をするスクライブリアコンベア部２２及びピックアップコンベア部２４が、本実施形態では一つのベルト２８を介して第２のコンベア部２０として一体に形成されるが、これはスクライブリアコンベア部２２とピックアップコンベア部２４との間に配置されるダンサーローラユニット２３を通じて可能となる。 In this embodiment, the scribe rear conveyor unit 22 and the pickup conveyor unit 24 having different functions as described above are integrally formed as a second conveyor unit 20 via one belt 28. This is the scribe rear conveyor. This is possible through a dancer roller unit 23 disposed between the section 22 and the pickup conveyor section 24.

ダンサーローラユニット２３は、スクライブリアコンベア部２２とピックアップコンベア部２４との間に設置され、少なくとも１対の第１のローラ２３ａ及び第２のローラ２３ｂを有する。図３には、１対の第１のローラ２３ａ及び第２のローラ２３ｂのみが図示されているが、本発明はこれに限定されるものではなく、２対以上のローラが備えられたダンサーローラユニットにも適用され得る。また、図３には、第１のローラ２３ａが第２のコンベア部２０の外側、すなわちベルト２８の軌道外側に位置し、第２のローラ２３ｂが第２のコンベア部２０の内側、すなわちベルト２８の軌道内側に位置しているが、本発明はこれに限定されるものではなく、第１のローラ２３ａがベルト２８の軌道内側に位置し、第２のローラ２３ｂがベルト２８の軌道外側に位置する構成にも適用され得る。 The dancer roller unit 23 is installed between the scribe rear conveyor unit 22 and the pickup conveyor unit 24, and has at least a pair of a first roller 23a and a second roller 23b. FIG. 3 shows only one pair of first roller 23a and second roller 23b, but the present invention is not limited to this, and a dancer roller provided with two or more pairs of rollers. It can also be applied to units. In FIG. 3, the first roller 23 a is located outside the second conveyor unit 20, that is, outside the belt 28, and the second roller 23 b is located inside the second conveyor unit 20, that is, the belt 28. However, the present invention is not limited to this, and the first roller 23 a is located inside the belt 28 and the second roller 23 b is located outside the belt 28. The present invention can also be applied to the configuration.

ダンサーローラユニット２３の第１のローラ２３ａ及び第２のローラ２３ｂは、基板の搬送方向である第１の方向と交差する第２の方向（図３において＋Ｚ方向又は−Ｚ方向)に移動可能に形成される。また、第１のローラ２３ａ及び第２のローラ２３ｂは、移動する時に相互反対方向に移動するように形成されている。例えば、第１のローラ２３ａが−Ｚ方向に移動すると、第２のローラ２３ｂは＋Ｚ方向に移動し、第１のローラ２３ａが＋Ｚ方向に移動すると、第２のローラ２３ｂは−Ｚ方向に移動するように、第１のローラ２３ａ及び第２のローラ２３ｂが相互連動して結合されている。この結合構成については、後に詳しく述べる。 The first roller 23a and the second roller 23b of the dancer roller unit 23 are movable in a second direction (+ Z direction or -Z direction in FIG. 3) that intersects the first direction that is the substrate transport direction. It is formed. The first roller 23a and the second roller 23b are formed so as to move in opposite directions when moving. For example, when the first roller 23a moves in the −Z direction, the second roller 23b moves in the + Z direction, and when the first roller 23a moves in the + Z direction, the second roller 23b moves in the −Z direction. As described above, the first roller 23a and the second roller 23b are coupled in conjunction with each other. This coupling configuration will be described in detail later.

このように、スクライブリアコンベア部２２とピックアップコンベア部２４との間に、相互反対方向に移動可能に形成される第１のローラ２３ａ及び第２のローラ２３ｂを備えたダンサーローラユニット２３が形成されることによって、第２のスクライブ部２０のベルト２８の動きがスクライブリアコンベア部２２及びピックアップコンベア部２４においてそれぞれ独立的に制御できる。すなわち、スクライブリアコンベア部２２のベルト２８は回転するがピックアップコンベア部２４のベルト２８は停止しているか、これとは逆にピックアップコンベア部２４のベルト２８は回転するがスクライブリアコンベア部２２のベルト２８は停止しているように制御され得る。これにより、スクライブリアコンベア部２２及びピックアップコンベア部２４はコンベアの乗り移りなしで一体に形成された構成（１個のベルト２８からなる構成）であるが、作動状態が互いに異なるように制御され得るようになる。 Thus, the dancer roller unit 23 including the first roller 23a and the second roller 23b formed so as to be movable in opposite directions is formed between the scribe rear conveyor unit 22 and the pickup conveyor unit 24. Accordingly, the movement of the belt 28 of the second scribe unit 20 can be independently controlled in the scribe rear conveyor unit 22 and the pickup conveyor unit 24. That is, the belt 28 of the scribe rear conveyor unit 22 rotates, but the belt 28 of the pickup conveyor unit 24 stops. On the contrary, the belt 28 of the pickup conveyor unit 24 rotates but the belt of the scribe rear conveyor unit 22 rotates. 28 can be controlled to stop. As a result, the scribe rear conveyor unit 22 and the pickup conveyor unit 24 have a configuration in which the conveyor is integrally formed without the transfer of the conveyor (a configuration including one belt 28), but the operation state can be controlled to be different from each other. become.

したがって、スクライブリアコンベア部２２上に載置されたスクライブ済みの基板をベルト２８に沿って第２のピックアップコンベア部２４に乗り移りなしで搬送できるようになる。よって、従来の基板分断装置のように、下流側のスクライブ部からピックアップコンベア部に基板が搬送される時、コンベアの乗り移りによる端材の落下又はガラスチッピングなどの問題点を防止することができ、コンベアの乗り移りによって基板表面に損傷が加わる問題点も防止することができるという効果がある。これについて 図４（ａ）乃至（ｄ）を参照してより具体的に説明する。 Therefore, the scribed substrate placed on the scribe rear conveyor unit 22 can be transported along the belt 28 to the second pickup conveyor unit 24 without being transferred. Therefore, as in the conventional substrate cutting device, when the substrate is transported from the downstream scribe unit to the pickup conveyor unit, it is possible to prevent problems such as dropping of end materials or glass chipping due to transfer of the conveyor, There is an effect that it is possible to prevent the problem that the substrate surface is damaged by the transfer of the conveyor. This will be described more specifically with reference to FIGS. 4 (a) to 4 (d).

図４（ａ）乃至（ｄ）は、本発明の一実施形態に係る基板分断装置における基板搬送過程を概略的に示した図である。
図４（ａ）は、基板をスクライブし始める段階を示した図である。
図４（ａ）を参照すると、スクライブ対象となる基板２がチャック１６に把持されている。また、ピックアップコンベア部２４上にはスクライブが完了した基板２ａが載置されてピックアップされるのを待っている。 4A to 4D are diagrams schematically illustrating a substrate transfer process in the substrate cutting apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 4A is a diagram showing a stage where the scribing of the substrate is started.
Referring to FIG. 4A, the substrate 2 to be scribed is held by the chuck 16. In addition, the substrate 2a on which scribing is completed is placed on the pickup conveyor unit 24 and is waiting to be picked up.

一方、本実施形態に係るダンサーローラユニット２３には、第１のローラ２３ａを基準としてスクライブリアコンベア部２２の方に形成される第１のストッパ５０ａと、第１のローラ２３ａを基準としてピックアップコンベア部２４の方に形成される第２のストッパ５０ｂが設置される。第１のストッパ５０ａ及び第２のストッパ５０ｂは、第２のコンベア部２０のベルト２８の回転を確実に停止させるためのものであって、図４（ａ）では、第２のストッパ５０ｂが下降してピックアップコンベア部２４のベルト２８の回転を確実に停止させている。 On the other hand, the dancer roller unit 23 according to the present embodiment includes a first stopper 50a formed on the scribe rear conveyor portion 22 with the first roller 23a as a reference, and a pickup conveyor with the first roller 23a as a reference. A second stopper 50b formed toward the portion 24 is installed. The first stopper 50a and the second stopper 50b are for surely stopping the rotation of the belt 28 of the second conveyor unit 20, and in FIG. 4A, the second stopper 50b is lowered. Thus, the rotation of the belt 28 of the pickup conveyor unit 24 is reliably stopped.

図４（ｂ）は、基板２をスクライブすると同時に、ピックアップコンベア部２４上の基板２ａをピックアップして搬送コンベア部（不図示）等の次の段階にアンローディングする段階を示す図である。 FIG. 4B is a diagram showing a stage of scribing the substrate 2 and simultaneously picking up the substrate 2a on the pickup conveyor unit 24 and unloading it to the next stage of the transfer conveyor unit (not shown).

図４（ａ）及び（ｂ）を参照すると、チャックビーム１４が基板搬送方向（図４（ｂ）において＋Ｙ方向）に沿って移動し、これによってチャック１６に把持されていた基板２もスクライブヘッド３４の下部を通過するようになる。これと同時に、第１のローラ２３ａは−Ｚ方向に、第２のローラ２３ｂは第１のローラ２３ａの移動方向と反対の＋Ｚ方向に移動される。 Referring to FIGS. 4A and 4B, the chuck beam 14 moves along the substrate transport direction (+ Y direction in FIG. 4B), so that the substrate 2 held by the chuck 16 is also moved to the scribe head. It passes through the lower part of 34. At the same time, the first roller 23a is moved in the -Z direction, and the second roller 23b is moved in the + Z direction opposite to the moving direction of the first roller 23a.

この時、ベルト駆動モータ４０は作動がオフになっており、ベルト２８は第３のローラ２１ａに堅く巻かれている状態であるため、第１のローラ２３ａ及び第２のローラ２３ｂが移動する時、スクライブリアコンベア部２２の方のベルト２８のみが動き、ピックアップコンベア部２４の方のベルト２８は動かなくなる。図４（ｂ）に示したように、第２のストッパ５０ｂを下降させ、ピックアップコンベア部２４のベルト２８をより確実に停止させるようにしてもよい。 At this time, the operation of the belt drive motor 40 is off, and the belt 28 is tightly wound around the third roller 21a. Therefore, when the first roller 23a and the second roller 23b move. Only the belt 28 toward the scribe rear conveyor section 22 moves, and the belt 28 toward the pickup conveyor section 24 stops moving. As shown in FIG. 4B, the second stopper 50b may be lowered to stop the belt 28 of the pickup conveyor unit 24 more reliably.

また、本実施形態において、第１のローラ２３ａ及び第２のローラ２３ｂが移動する距離は互いに同一であるように形成される。すなわち、第１のローラ２３ａが−Ｚ方向に距離Ｌだけ移動すると、第２のローラ２３ｂも＋Ｚ方向に距離Ｌを移動するように調整されている。これにより、第１のローラ２３ａが−Ｚ方向に移動した距離と第２のローラ２３ｂが＋Ｚ方向に移動した距離が相殺されながら、スクライブリアコンベア部２２のベルト２８のみが第１のローラ２３ａ又は第２のローラ２３ｂが移動した距離分、時計方向に回転するようになる。よって、チャック１６に把持されている基板２が、スクライブヘッド３４の下部を通過してスクライブリアコンベア部２２に到逹した後も、スクライブリアコンベア部２２のベルト２８上で引き続き移動することができるようになる。 Further, in the present embodiment, the distance that the first roller 23a and the second roller 23b move is the same. That is, when the first roller 23a moves by the distance L in the −Z direction, the second roller 23b is adjusted so as to move the distance L in the + Z direction. As a result, while the distance that the first roller 23a has moved in the -Z direction and the distance that the second roller 23b has moved in the + Z direction are offset, only the belt 28 of the scribe rear conveyor section 22 can move to the first roller 23a or The second roller 23b rotates clockwise by the distance moved. Therefore, even after the substrate 2 held by the chuck 16 passes through the lower part of the scribe head 34 and reaches the scribe rear conveyor section 22, it can continue to move on the belt 28 of the scribe rear conveyor section 22. It becomes like this.

この後、チャックビーム１６及びチャック１４が基板の搬送方向と反対方向(図４（ｂ）において−Ｙ方向)に後退すると、これと同時に第１のローラ２３ａ及び第２のローラ２３ｂが先程とは反対の方向、すなわち第１のローラ２３ａが＋Ｚ方向、第２のローラ２３ｂが−Ｚ方向に再度移動し、これによりスクライブリアコンベア部２２のベルト２８は第１のローラ２３ａ又は第２のローラ２３ｂが移動した距離分、今度は反時計方向に回転するようになる。そして、このような過程を繰り返すことにより、チャック１６に把持された基板２の全面がスクライブされる。 Thereafter, when the chuck beam 16 and the chuck 14 are retracted in the direction opposite to the substrate transport direction (the −Y direction in FIG. 4B), the first roller 23a and the second roller 23b are simultaneously moved from the previous direction. In the opposite direction, that is, the first roller 23a is moved again in the + Z direction and the second roller 23b is moved again in the -Z direction, the belt 28 of the scribe rear conveyor section 22 is thereby moved to the first roller 23a or the second roller 23b. This time, it will rotate counterclockwise by the distance moved. Then, by repeating such a process, the entire surface of the substrate 2 held by the chuck 16 is scribed.

一方、ピックアップコンベア部２４のベルト２８は、前述のように、第１のローラ２３ａ及び第２のローラ２３ｂが移動しても、その動きが固定されている。よって、基板がスクライブされる過程でも、ピックアップコンベア部２４のベルト２８上に載置されているスクライブ作業が完了した基板２ａは、例えばピックアップロボットなどによってピックアップされ、次の段階にアンローディングされ得る。 On the other hand, as described above, the movement of the belt 28 of the pickup conveyor unit 24 is fixed even when the first roller 23a and the second roller 23b move. Therefore, even in the process of scribing the substrate, the substrate 2a on which the scribing operation placed on the belt 28 of the pickup conveyor unit 24 is completed can be picked up by, for example, a pickup robot and unloaded to the next stage.

図４（ｃ）は、スクライブ作業が完了してチャックビーム１４及びチャック１６は初期位置に戻り、ピックアップコンベア部２４のベルト２８に残っている端材が破砕機に移送される段階を示す図である。
図４（ｂ）及び(ｃ)を参照すると、スクライブ作業が完了した基板２はチャック１６による把持が解除され、スクライブリアコンベア部２２のベルト２８上に載置され、チャック１６及びチャックビーム１４は初期位置に戻る。 FIG. 4C is a diagram showing a stage in which the scribe operation is completed, the chuck beam 14 and the chuck 16 are returned to the initial positions, and the end material remaining on the belt 28 of the pickup conveyor unit 24 is transferred to the crusher. is there.
Referring to FIGS. 4B and 4C, the substrate 2 that has completed the scribing operation is released from the chuck 16 and placed on the belt 28 of the scribe rear conveyor unit 22, and the chuck 16 and the chuck beam 14 are Return to the initial position.

この時、ベルト駆動モータ４０を作動させ、第３のローラ２１ａを時計方向に回転させるとともに、第１のローラ２３ａを＋Ｚ方向、そして第２のローラ２３ｂを−Ｚ方向に移動させると、ピックアップコンベア部２４のベルト２８のみが時計方向に回転するようになり、スクライブリアコンベア部２２のベルト２８は停止状態のままになる。これによって、スクライブリアコンベア部２２のベルト２８上にある基板２は停止した状態で、ピックアップコンベア部２４のベルト２８上に残置されていた端材のみを破砕機に移送することができる。 At this time, when the belt driving motor 40 is operated to rotate the third roller 21a in the clockwise direction, the first roller 23a is moved in the + Z direction, and the second roller 23b is moved in the -Z direction, the pickup conveyor Only the belt 28 of the section 24 rotates in the clockwise direction, and the belt 28 of the scribe rear conveyor section 22 remains stopped. Thereby, in the state which the board | substrate 2 on the belt 28 of the scribe rear conveyor part 22 stopped, only the end material left on the belt 28 of the pick-up conveyor part 24 can be transferred to a crusher.

また、この場合に、第２のストッパ５０ｂは上昇し、第１のストッパ５０ａは下降するように調整することによって、ピックアップコンベア部２４のベルト２８の回転を制限することなく、スクライブリアコンベア部２２のベルト２８の移動のみをより確実に停止させることもできる。 In this case, the second stopper 50b is raised and the first stopper 50a is lowered so that the rotation of the belt 28 of the pickup conveyor portion 24 is not restricted, and the scribe rear conveyor portion 22 is restricted. Only the movement of the belt 28 can be stopped more reliably.

図４（ｄ）は、新しい基板を第１のコンベア部１０上にローディングし、スクライブリアコンベア部２２のベルト２８上に載置されていた基板をピックアップコンベア部２４に搬送する段階を示す図である。
図４（ｄ）を参照すると、第１のコンベア部１０では、スクライブされる新しい基板２が第１のコンベア部１０のベルト１８上にローディングされ、初期位置に戻ったチャックビーム１４及びチャック１６に把持される。 FIG. 4D is a diagram showing a stage in which a new substrate is loaded onto the first conveyor unit 10 and the substrate placed on the belt 28 of the scribe rear conveyor unit 22 is conveyed to the pickup conveyor unit 24. is there.
Referring to FIG. 4D, in the first conveyor unit 10, a new substrate 2 to be scribed is loaded on the belt 18 of the first conveyor unit 10, and the chuck beam 14 and the chuck 16 returned to the initial positions are loaded. Grasped.

第２のコンベア部２０では、第１のローラ２３ａが＋Ｚ方向に引き続き移動してベルト２８との接触が解除されると、ベルト２８は屈曲のない平らな状態に回復し、基板が載置されて搬送されるスクライブリアコンベア部２２のベルト２８とピックアップコンベア部２４のベルト２８との間にコンベア乗り移り部がなくなる。そして、第１のストッパ５０ａを上昇させてベルト２８との接触を解除させる。
この時、ベルト駆動モータ４０は引き続き作動中であるため、ピックアップコンベア部２４のベルト２８が回転することによって、スクライブリアコンベア部２２のベルト２８も共に回転するようになり、これによってスクライブリアコンベア部２２のベルト２８上に載置されていたスクライブ済みの基板がコンベアの乗り移りなしでピックアップコンベア部２４のベルト２８に搬送され得る。よって、スクライブされた基板に損傷を与えずに次の段階（例えば、ピックアップ段階）の搬送部に移送することができる。 In the second conveyor unit 20, when the first roller 23a continues to move in the + Z direction and the contact with the belt 28 is released, the belt 28 is restored to a flat state without bending and the substrate is placed. Thus, there is no conveyor transfer section between the belt 28 of the scribe rear conveyor section 22 and the belt 28 of the pickup conveyor section 24. Then, the first stopper 50a is raised to release the contact with the belt 28.
At this time, since the belt drive motor 40 continues to operate, the belt 28 of the scribe rear conveyor unit 22 also rotates together with the rotation of the belt 28 of the pickup conveyor unit 24, thereby the scribe rear conveyor unit. The scribed substrate placed on the belt 28 of the belt 22 can be conveyed to the belt 28 of the pickup conveyor section 24 without transfer of the conveyor. Therefore, the scribed substrate can be transferred to the transport unit in the next stage (for example, the pickup stage) without damaging it.

一方、本実施形態において、第１のローラ２３ａ及び第２のローラ２３ｂのうち少なくとも一つはベルト２８の張力を維持しながら接触している。これにより、第１のローラ２３ａ及び第２のローラ２３ｂの移動によって、ベルト２８も張力が維持された状態で回転することができるようになり、ベルト２８上に載置されている基板も円滑に搬送することができる。 On the other hand, in the present embodiment, at least one of the first roller 23 a and the second roller 23 b is in contact with the belt 28 while maintaining the tension. As a result, the belt 28 can also rotate with the tension maintained by the movement of the first roller 23a and the second roller 23b, and the substrate placed on the belt 28 can also be smooth. Can be transported.

また、本実施形態において、第１のローラ２３ａ及び第２のローラ２３ｂは、ベルト２８に巻かれた状態で回転によりベルト２８を移動させることができる他の手段でも構成することができる。 In the present embodiment, the first roller 23 a and the second roller 23 b can also be configured by other means that can move the belt 28 by rotation while being wound around the belt 28.

図５は、本発明の一実施形態に係るダンサーローラユニットが設置された基板分断装置の部分斜視図である。
図５を参照すると、基板搬送方向である第１の方向に沿って、スクライブリアコンベアフレーム２２ａ上にスクライブリアコンベア部２２が設けられ、ピックアップコンベアフレーム２４ａ上にピックアップコンベア部２４が設けられている。ピックアップコンベア部２４には、それぞれＸ、Ｙ、Ｚ軸に移動可能なピックアップＸ軸ロボット２５ａ、ピックアップＹ軸ロボット２５ｂ、ピックアップＺ軸ロボット２５ｃが設置されており、ピックアップハンド２７によってピックアップされた基板はこれらのロボットの移動によって所望の位置に移されてアンローディングされる。 FIG. 5 is a partial perspective view of the substrate cutting apparatus provided with the dancer roller unit according to the embodiment of the present invention.
Referring to FIG. 5, the scribe rear conveyor section 22 is provided on the scribe rear conveyor frame 22 a and the pickup conveyor section 24 is provided on the pickup conveyor frame 24 a along the first direction which is the substrate transport direction. . The pickup conveyor unit 24 is provided with a pickup X-axis robot 25a, a pickup Y-axis robot 25b, and a pickup Z-axis robot 25c that can move in the X, Y, and Z axes, respectively. These robots move to a desired position and are unloaded.

そして、スクライブリアコンベア部２２とピックアップコンベア部２４との間にはダンサーローラユニット２３が設置される。ダンサーローラユニット２３については図６及び図７を参照して説明する。 A dancer roller unit 23 is installed between the scribe rear conveyor unit 22 and the pickup conveyor unit 24. The dancer roller unit 23 will be described with reference to FIGS.

図６は、本発明の一実施形態に係るダンサーローラユニット２３の斜視図であり、図７は、本発明の一実施形態に係るダンサーローラユニット２３の側面図である。
図６及び図７を参照すると、本発明の一実施形態に係るダンサーローラユニット２３は、ギア駆動モータ２３２に連結されたピニオンギア２３４と、このピニオンギア２３４と噛み合った状態で、このピニオンギア２３４を挟んで互いに対向配置される第１のラックギア２３６ａ及び第２のラックギア２３６ｂを含む。そして、第１のラックギア２３６ａには連結部材を介して第１のローラ２３ａが結合されており、第２のラックギア２３６ｂには連結部材を介して第２のローラ２３ｂが結合されている。よって、ギア駆動モータ２３２の作動によってピニオンギア２３４が回転すると、第１のラックギア２３６ａ及び第２のラックギア２３６ｂは、Ｚ方向において互いに反対方向に動くようになり、第１のローラ２３ａ及び第２のローラ２３ｂもガイド２３８に沿って第１のラックギア２３６ａ及び第２のラックギア２３６ｂが動く方向に動くようになる。 FIG. 6 is a perspective view of a dancer roller unit 23 according to an embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a side view of the dancer roller unit 23 according to an embodiment of the present invention.
6 and 7, a dancer roller unit 23 according to an embodiment of the present invention includes a pinion gear 234 connected to a gear drive motor 232 and the pinion gear 234 engaged with the pinion gear 234. Including a first rack gear 236a and a second rack gear 236b that are arranged to face each other. A first roller 23a is coupled to the first rack gear 236a via a connecting member, and a second roller 23b is coupled to the second rack gear 236b via a connecting member. Therefore, when the pinion gear 234 rotates by the operation of the gear drive motor 232, the first rack gear 236a and the second rack gear 236b move in directions opposite to each other in the Z direction, and the first roller 23a and the second rack gear 236b move. The roller 23b also moves in the moving direction of the first rack gear 236a and the second rack gear 236b along the guide 238.

また、ダンサーローラユニット２３の上部にはベルト２８の移動を制御する第１のストッパ５０ａ及び第２のストッパ５０ｂが備えられる。第１のストッパ５０ａ及び第２のストッパ５０ｂは、ベルトストッパカウンター軸５２に連結されているラック及びピニオン５４と結合されている。よって、ラック及びピニオン５４の作動によって第１のストッパ５０ａ及び第２のストッパ５０ｂも上昇したり、または下降するようになる。 The dancer roller unit 23 is provided with a first stopper 50a and a second stopper 50b for controlling the movement of the belt 28. The first stopper 50 a and the second stopper 50 b are coupled to a rack and pinion 54 connected to the belt stopper counter shaft 52. Therefore, the operation of the rack and pinion 54 causes the first stopper 50a and the second stopper 50b to rise or fall.

図８は、本発明の一実施形態において、第１のローラは下降し、第２のローラは上昇している様子を示したダンサーローラユニットの側断面図であり、図９は、本発明の一実施形態において、第１のローラは上昇し、第２のローラは下降している様子を示したダンサーローラユニットの側断面図である。 FIG. 8 is a side sectional view of a dancer roller unit showing a state in which the first roller is lowered and the second roller is raised in one embodiment of the present invention, and FIG. FIG. 5 is a side sectional view of a dancer roller unit showing a state in which a first roller is raised and a second roller is lowered in an embodiment.

図８を参照すると、第１のローラ２３ａが−Ｚ方向に下降することによってベルト２８も共に下降し、これと同時に第２のローラ２３ｂは＋Ｚ方向に上昇することによってベルト２８も共に上昇する。
また、図９を参照するとそして、第１のローラ２３ａが＋Ｚ方向に上昇するとベルト２８は張力が維持された平らな状態に回復し、これと同時に第２のローラ２３ｂは−Ｚ方向に下降してベルト２８も共に下降する。
このような第１のローラ２３ａ及び第２のローラ２３ｂの移動によって、一つのベルト２８であってもダンサーローラユニット２３の上流側にあるベルト２８の動きとダンサーローラユニット２３の下流側にあるベルト２８の動きを互いに異なるように制御することができる。よって、ベルト２８上に置かれているスクライブ済みの基板をコンベアの乗り移りなしで次の段階に搬送することができ、これによってコンベアの乗り移りによる端材の落下又はガラスチッピングなどの問題点を防止することができる。 Referring to FIG. 8, when the first roller 23a is lowered in the −Z direction, the belt 28 is also lowered, and at the same time, the second roller 23b is raised in the + Z direction so that the belt 28 is also raised.
Referring to FIG. 9, when the first roller 23a is raised in the + Z direction, the belt 28 is restored to a flat state where the tension is maintained, and at the same time, the second roller 23b is lowered in the -Z direction. The belt 28 also descends.
Due to the movement of the first roller 23a and the second roller 23b, the movement of the belt 28 on the upstream side of the dancer roller unit 23 and the belt on the downstream side of the dancer roller unit 23 even with one belt 28. The 28 motions can be controlled differently. Therefore, the scribed substrate placed on the belt 28 can be transported to the next stage without the transfer of the conveyor, thereby preventing problems such as falling of the end material or glass chipping due to the transfer of the conveyor. be able to.

以上のように、本発明の望ましい実施例について説明したが、本発明はこれに限定されるのではなく、特許請求の範囲に記載した構成要旨を逸脱しない範囲の中で種々の変形又は変更して実施することが可能であり、これもまた本発明の範囲に属するのは言うまでもない。 As described above, the preferred embodiments of the present invention have been described. However, the present invention is not limited thereto, and various modifications or changes can be made without departing from the scope of the invention described in the claims. Needless to say, this also falls within the scope of the present invention.

２、２ａ 基板
１０ 第１のコンベア部
１４ チャックビーム
１６ チャック
１８ ベルト
２０ 第２のコンベア部
２１ ローラ
２１ａ 第３のローラ
２２ 上流側第２のコンベア部（スクライブリアコンベア部）
２２ａ スクライブリアコンベアフレーム
２３ ダンサーローラユニット
２３ａ 第１のローラ
２３ｂ 第２のローラ
２４ 下流側第２のコンベア部（ピックアップコンベア部）
２４ａ ピックアップコンベアフレーム
２５ａ ピックアップＸ軸ロボット
２５ｂ ピックアップＹ軸ロボット
２５ｃ ピックアップＺ軸ロボット
２７ ピックアップハンド
２８ ベルト
３０ スクライブユニット
３２ スクライブビーム
３４ スクライブヘッド
４０ ベルト駆動モータ
５０ａ 第１のストッパ
５０ｂ 第２のストッパ
５２ ベルトストッパカウンター軸
５４ ラック及びピニオン
２３２ ギア駆動モータ
２３４ ピニオンギア
２３６ａ 第１のラックギア
２３６ｂ 第２のラックギア
２３８ ガイド 2, 2a Substrate 10 First conveyor section 14 Chuck beam 16 Chuck 18 Belt 20 Second conveyor section 21 Roller 21a Third roller 22 Upstream second conveyor section (scribe rear conveyor section)
22a Scribe rear conveyor frame 23 Dancer roller unit 23a First roller 23b Second roller 24 Downstream second conveyor section (pickup conveyor section)
24a pickup conveyor frame 25a pickup X axis robot 25b pickup Y axis robot 25c pickup Z axis robot 27 pickup hand 28 belt 30 scribe unit 32 scribe beam 34 scribe head 40 belt drive motor 50a first stopper 50b second stopper 52 belt stopper Counter shaft 54 Rack and pinion 232 Gear drive motor 234 Pinion gear 236a First rack gear 236b Second rack gear 238 Guide

Claims (5)

設置台上で基板の搬送方向である第１の方向に沿って互いに間隔を置いて配置され、前記基板が載置された状態で複数のローラに巻かれて回転するベルトを備える第１のコンベア部及び第２のコンベア部と、
前記第１のコンベア部と前記第２のコンベア部の間に設置されて前記基板をスクライブするスクライブユニットと、
前記第１の方向において前記第２のコンベア部の上流側に位置する上流側第２のコンベア部と下流側に位置する下流側第２のコンベア部との間に設置され、少なくとも第１のローラ及び第２のローラを備えるダンサーローラユニットを含み、
前記第１のローラは、前記第２のコンベア部のベルト外側に位置し、前記第２のローラは、前記第２のコンベア部のベルト内側に位置し、
前記第１のローラ及び第２のローラは、前記第１の方向と交差する第２の方向において互いに反対方向に移動可能に形成され、一体に形成された前記上流側第２のコンベア部と前記下流側第２のコンベア部とが互いに異なる作動状態になり得、
前記第１のローラ及び第２のローラは、ギア駆動モータに連結されたピニオンギアを挟んで互いに対向配置された状態で前記ピニオンギアと噛合する第１のラックギア及び第２のラックギアにそれぞれ結合されることを特徴とする基板分断装置。 A first conveyor comprising a belt which is arranged on a setting table at a distance from each other along a first direction which is a conveyance direction of a substrate and which is wound around a plurality of rollers while the substrate is placed. Part and a second conveyor part;
A scribing unit installed between the first conveyor unit and the second conveyor unit to scribe the substrate;
At least a first roller installed between an upstream second conveyor section located upstream of the second conveyor section in the first direction and a downstream second conveyor section located downstream. And a dancer roller unit comprising a second roller,
The first roller is located outside the belt of the second conveyor unit, the second roller is located inside the belt of the second conveyor unit,
The first roller and the second roller are formed so as to be movable in directions opposite to each other in a second direction intersecting the first direction, and the upstream second conveyor unit formed integrally with the first roller and the second roller The downstream second conveyor section can be in a different operating state ,
The first roller and the second roller are respectively coupled to a first rack gear and a second rack gear that mesh with the pinion gear in a state of being opposed to each other with a pinion gear coupled to a gear drive motor interposed therebetween. A substrate cutting apparatus. 前記ダンサーローラユニットには、前記上流側第２のコンベア部のベルトの回転を停止させる第１のストッパと、前記下流側第２のコンベア部のベルトの回転を停止させる第２のストッパが設けられていることを特徴とする請求項１に記載の基板分断装置。  The dancer roller unit is provided with a first stopper for stopping the rotation of the belt of the upstream second conveyor section and a second stopper for stopping the rotation of the belt of the downstream second conveyor section. The substrate cutting apparatus according to claim 1, wherein 設置台上で基板の搬送方向である第１の方向に沿って互いに間隔を置いて配置され、前記基板が載置された状態で複数のローラに巻かれて回転するベルトを備える第１のコンベア部及び第２のコンベア部と、前記第１のコンベア部と前記第２のコンベア部の間に設置されて前記基板をスクライブするスクライブユニットとを含む基板分断装置において、前記第２のコンベア部のベルト上に載置された基板を前記第１の方向に搬送する基板搬送方法であって、  A first conveyor comprising a belt which is arranged on a setting table at a distance from each other along a first direction which is a conveyance direction of a substrate and which is wound around a plurality of rollers while the substrate is placed. A substrate cutting apparatus including a first and second conveyor units, and a scribe unit installed between the first conveyor unit and the second conveyor unit to scribe the substrate. A substrate transport method for transporting a substrate placed on a belt in the first direction,
前記基板分断装置には、前記第１の方向において前記第２のコンベア部の上流側に位置する上流側第２のコンベア部と下流側に位置する下流側第２のコンベア部との間に、前記第１の方向と交差する第２の方向において互いに反対方向に移動可能な少なくとも第１のローラと第２のローラを有するダンサーローラユニットが備えられ、  In the substrate cutting device, in the first direction, between the upstream second conveyor unit located on the upstream side of the second conveyor unit and the downstream second conveyor unit located on the downstream side, A dancer roller unit comprising at least a first roller and a second roller movable in opposite directions to each other in a second direction intersecting the first direction;
前記第１のローラを前記第２のコンベア部のベルト外側に位置させ、前記第２のローラを前記第２のコンベア部のベルト内側に位置させた状態で、前記第１のローラと第２のローラを互いに反対方向に移動させることにより、一体に形成された前記上流側第２のコンベア部と下流側第２のコンベア部を互いに異なるように作動させ、  With the first roller positioned outside the belt of the second conveyor unit and the second roller positioned inside the belt of the second conveyor unit, the first roller and the second roller By moving the rollers in opposite directions, the upstream second conveyor unit and the downstream second conveyor unit formed integrally are operated differently from each other,
前記第１のローラと第２のローラを往復移動させることにより、下流側第２のコンベア部のベルトを停止させた状態で、上流側第２のコンベア部のベルトを時計方向又は反時計方向に回転させ、前記上流側第２のコンベア部のベルト上に載置された基板をスクライブし、  By reciprocating the first roller and the second roller, the belt of the upstream second conveyor section is stopped clockwise or counterclockwise with the belt of the downstream second conveyor section stopped. Rotate, scribe the substrate placed on the belt of the second conveyor section on the upstream side,
前記スクライブする段階において、停止された状態の下流側第２のコンベア部のベルト上に置かれているスクライブ済みの基板をアンロードし、  In the step of scribing, unloading the scribed substrate placed on the belt of the downstream second conveyor section in a stopped state,
前記下流側第２のコンベア部のベルトに巻かれた第３のローラを回転させながら前記第１のローラ及び第２のローラを移動させることにより、上流側第２のコンベア部のベルトを停止させた状態で前記下流側第２のコンベア部のベルトを回転させ、前記下流側第２のコンベア部のベルト上に残置された端材をアンロードし、  The belt of the upstream second conveyor section is stopped by moving the first roller and the second roller while rotating the third roller wound around the belt of the downstream second conveyor section. The downstream conveyor belt is rotated, and the end material left on the downstream conveyor belt is unloaded,
前記端材のアンロード後も前記第３のローラを引き続き回転させ、前記上流側第２のコンベア部のベルト上に載置されていたスクライブ済みの基板を前記下流側第２のコンベア部のベルト上に搬送し、  The third roller is continuously rotated even after the unloading of the end material, and the scribed substrate placed on the belt of the upstream second conveyor unit is transferred to the belt of the downstream second conveyor unit. Transported up,
前記ダンサーローラユニットには前記上流側第２のコンベア部のベルトの回転を停止させる第１のストッパと、前記下流側第２のコンベア部のベルトの回転を停止させる第２のストッパが設置され、前記基板をスクライブする段階では前記第２のストッパを作動させることを特徴とする基板搬送方法。  The dancer roller unit is provided with a first stopper for stopping the rotation of the belt of the upstream second conveyor section, and a second stopper for stopping the rotation of the belt of the downstream second conveyor section, The substrate transfer method, wherein the second stopper is operated at the stage of scribing the substrate. 前記端材をアンロードする段階では前記第１のストッパを作動させることを特徴とする請求項３に記載の基板搬送方法。  The substrate transfer method according to claim 3, wherein the first stopper is operated in the step of unloading the end material. スクライブされた基板が前記下流側第２のコンベア部のベルトに搬送される段階では、前記第１のストッパ及び第２のストッパの作動を全て解除することを特徴とする請求項４に記載の基板搬送方法。  5. The substrate according to claim 4, wherein all the operations of the first stopper and the second stopper are canceled when the scribed substrate is transported to the belt of the second conveyor section on the downstream side. Transport method.
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