KR101579598B1

KR101579598B1 - Scribe apparatus and scribe method

Info

Publication number: KR101579598B1
Application number: KR1020140032914A
Authority: KR
Inventors: 이준석; 최한현; 최종철; 김학성; 서정환
Original assignee: 주식회사 탑 엔지니어링
Priority date: 2013-11-14
Filing date: 2014-03-20
Publication date: 2015-12-23
Also published as: KR20150056436A

Abstract

본 발명은 스크라이브되는 기판들을 연속적으로 이어 받아 이송하는 이송 밸트; 및 상기 이송 밸트의 적어도 하나 이상의 위치에서 상기 이송 밸트의 이동 방향을 가변시켜 이송되는 상기 기판들에 대해 후속 공정을 연속적으로 진행하도록 하는 공정 제어 유닛을 포함하는 스크라이브 장치를 제공한다. 또한, 본 발명은 스크라이브 방법도 제공한다.The present invention relates to a transfer belt for continuously transferring and transferring substrates to be scribed; And a process control unit for continuously moving a subsequent process to the substrates transferred by varying the moving direction of the transfer belt at at least one position of the transfer belt. The present invention also provides a scribe method.

Description

[0001] SCRIBE APPARATUS AND SCRIBE METHOD [0002]

본 발명은 스크라이브 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 하나의 이송 밸트를 사용하여 스크라이브되는 기판들을 브레이킹 또는 픽업과 같은 후속 공정을 연속적으로 수행할 수 있는 스크라이브 장치 및 스크라이브 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a scribing apparatus, and more particularly, to a scribing apparatus and a scribing method capable of successively performing subsequent processes such as braking or picking up substrates scribed using one conveying belt.

일반적으로, 평판형 디스플레이로 이용되는 LCD나 유기EL패널, 무기EL패널, 투과형 프로젝터 기판, 반사형 프로젝터 기판 등은 유리와 같은 취성의 마더 글래스 패널(MOTHER GLASS PANEL)로부터 소정 크기로 절단된 단위 글래스 패널을 사용한다.
상기 단위 글래스 패널의 절단은, 패널의 표면에 절단 예정선을 따라 다이아몬드와 같은 재질의 스크라이브 휠을 가압 이동시켜 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 공정과, 상기 단위 글래스 패널을 스크라이브 라인으로부터 분리하는 브레이킹 공정을 통해 수행된다.
이에 따라, 글래스 패널인 기판은 브레이킹 공정을 통해, 각 셀로 분단되고, 셀을 에워싸는 영역인 더미들은 셀 픽업 후 외부로 배출된다.
이와 같이 글래스 패널(이하, 기판이라 한다.)을 스크라이브하는 장치는 벨트 타입의 스크라이브 장치를 주로 사용한다.
종래의 밸트 타입의 스트라이브 장치는 스크라이브된 기판에 대해 각 후속 공정을 진행하는 경우 각 후속 공정 마다 기판을 이송하고 해당 공정을 진행하는 밸트를 구비한다.
예컨대, 어느 하나의 밸트를 통해 스크라이브된 기판을 이송하면서, 브레이킹 공정을 수행하고, 이를 다른 밸트에서 이어 받아 픽업 공정을 진행하는 경우, 각 밸트들 사이에는 이격 공간이 형성된다.
상기 이격 공간을 브레이킹된 기판이 이동되는 경우, 셀을 에워싸는 더미가 밸트들 사이의 이격 공간을 통해 하방으로 낙하되는 문제점이 있다.
즉, 종래에는 각 후속 공정을 진행하는 경우 독립적으로 운용되는 밸트들을 사용하기 때문에, 각 공정 마다 기판을 이송시 평탄도 유지가 어렵고, 밸트들 간 이동시 글라스의 정렬 유지가 어려운 문제점이 있다.
또한, 기판이 밸트 간 이동시 충격이 발생되어 기판 자체에 손상이 발생되는 문제점도 있다.
본 발명과 관련된 선행문헌으로는 대한민국 공개특허 제10-2009-0128081호(공개일: 2009년 12월 15일)가 있으며, 상기 선행문헌에는 모 기판의 상하면에 대한 스크라이빙 공정을 동시에 진행할 때 스크라이버들과 모 기판이 접촉하는 지점의 양측이 수평 상태를 이루도록 모 기판으로 공기를 분사하는 스크라이브 장치에 대한 기술이 개시된다.Generally, an LCD, an organic EL panel, an inorganic EL panel, a transmissive projector substrate, a reflective projector substrate, and the like, which are used as a flat panel display, are made of a glass substrate, such as a moth glass panel (MOTHER GLASS PANEL) Panel.
The cutting of the unitary glass panel includes a scribing step of forming a scribe line by pressing a scribe wheel made of diamond like material along the line to be cut on the surface of the panel and a breaking step of separating the unit glass panel from the scribe line Lt; / RTI >
Thus, the substrate, which is a glass panel, is divided into individual cells through a breaking process, and the dummies, which are the areas surrounding the cells, are discharged to the outside after the cell pickup.
The apparatus for scribing the glass panel (hereinafter referred to as " substrate ") as described above mainly uses a belt-type scribing apparatus.
A conventional belt-type strike apparatus has a belt for conveying a substrate for each subsequent process when a subsequent process is performed on a scribed substrate, and for carrying out the process.
For example, when the scribed substrate is transported through one of the belts and the braking process is performed and the braking process is carried out on another belt, the pickup process is performed, and a space is formed between the belts.
When the substrate is moved in the spaced-apart space, the dummy surrounding the cell falls downward through the spacing space between the belts.
In other words, conventionally, in the case of each subsequent process, independently operated belts are used. Therefore, it is difficult to maintain the flatness when the substrate is transferred for each process, and it is difficult to maintain alignment of the glass when moving between belts.
In addition, there is also a problem that an impact is generated when the substrate moves between the belts, and the substrate itself is damaged.
A prior art related to the present invention is Korean Patent Laid-Open No. 10-2009-0128081 (published on December 15, 2009), which discloses a method of simultaneously performing the scribing process on the upper and lower surfaces of the mother substrate Disclosed is a scribe device for spraying air onto a mother substrate such that both sides of a point where scribers contact the mother substrate are in a horizontal state.

본 발명의 목적은, 하나의 이송 밸트를 사용하여 기판들에 스크라이브 공정과 후속 공정을 연속적으로 진행하도록 하여, 공정들 간의 평탄도를 유지함과 이울러, 텍 타임을 증가시킬 수 있는 스크라이브 장치 및 스크라이브 방법을 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a scribe device and a scribe device capable of continuously performing a scribing process and a subsequent process on substrates using a single transfer belt to maintain flatness between processes, Method.

일 양태에 있어서, 본 발명은 기판들을 연속적으로 이송하는 이송 밸트; 및
상기 이송 밸트의 적어도 하나 이상의 위치에서 상기 이송 밸트의 이동 방향을 가변시켜 이송되는 상기 기판들에 대해 스크라이브 공정 및 후속 공정을 연속적으로 진행하는 공정 제어 유닛을 포함하는 스크라이브 장치를 제공한다.
상기 후속 공정은, 스크라이브되는 상기 기판을 브레이킹하는 브레이킹 공정 또는, 브레이킹된 상기 기판을 픽업하는 픽업 공정인 것이 바람직하다.
상기 공정 제어 유닛은, 상기 이송 밸트의 전단과 상기 후속 공정이 이루어지는 영역의 사이에 배치되며, 상기 이송 밸트와 직교를 이루는 축을 따라 승강 가능하게 배치되어, 상기 이송 밸트를 처지게 하거나 처짐을 해제함으로써 상기 이송 밸트의 이동 방향을 우회시키는 제 1웨이트 롤러와, 상기 이송 밸트의 전단과 상기 후속 공정이 이루어지는 영역의 후단 사이에 배치되며, 상기 이송 밸트와 직교를 이루는 축을 따라 승강 가능하게 배치되어, 상기 이송 밸트를 처지게 하거나 처짐을 해제함으로써 상기 이송 밸트를 우회시키는 제 2웨이트 롤러와, 상기 이송 밸트의 전단과 상기 제 2웨이트 롤러의 사이에 배치되며, 상기 이송 밸트를 강제 구동시키는 구동 롤러와, 상기 제 1웨이트 롤러의 양측부에 위치되며, 해당 위치에서 상기 이송 밸트를 번갈아 그립하여 상기 기판을 상기 이송 밸트의 전단에서 상기 후속 공정이 이루어지는 영역으로 연속적으로 이동시키는 밸트 클램프를 구비하는 것이 바람직하다.
상기 밸트 클램프는, 상기 제 1웨이트 롤러의 전후에 각각 설치되는 제 1밸트 클램프와, 제 2밸트 클램프를 구비하는 것이 바람직하다.
상기 제 1밸트 클램프의 그립이 해제되고, 상기 제 2밸트 클램프에 의해 해당 위치에서 상기 이송 밸트가 그립되면, 상기 제 1웨이트 롤러의 하방으로의 이동에 의해 이송 밸트는 강제 처짐되고, 상기 기판은 상기 후속 공정이 이루어지는 영역 전단으로 이동되고, 상기 제 1밸트 클램프와 상기 제 2밸트 클램프의 그립이 해제되면, 상기 강제 처짐된 이송 밸트가 원위치로 복귀되면서 상기 기판은 상기 후속 공정이 이루어지는 영역으로 연속적으로 이동되는 것이 바람직하다.
상기 제 1웨이트 롤러와 상기 제 2웨이트 롤러는, 자중에 의해 하강 가능하게 배치되어, 상기 이송 밸트를 처지게 하는 것이 바람직하다.
상기 제 1웨이트 롤러와 상기 제 2웨이트 롤러는, 구동부로부터의 구동력에 의해 강제 승강되어 상기 이송 밸트를 처짐 또는 처짐 해제하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제 1웨이트 롤러와 상기 제 2웨이트 롤러 각각은, 한 쌍으로 배치되는 것이 바람직하다.
상기 외부 구동력은, 직선 구동력 또는 탄성력 중 적어도 어느 하나일 수 있다.
또한, 상기 제 1웨이트 롤러와 상기 제 2웨이트 롤러의 승강 경로는 상기 축을 따르는 가이드에 의해 안내되는 것이 바람직하다.
상기 가이드는, 상기 제 1웨이트 롤러 및, 상기 제 2웨이트 롤러의 회전축에 연결되어 승강을 안내하는 랙-피니언을 포함할 수 있다.
상기 제 1웨이트 롤러와, 상기 제 2웨이트 롤러 각각은, 양단에 회전축이 형성되는 원봉 형상의 내측 몸체와, 상기 내측 몸체가 끼워지는 중공 형상으로 형성되며, 상기 이송 밸트가 이동됨에 따라 상기 이송 밸트의 외면에 접하여 회전되는 것이 바람직하다.
다른 양태에 있어서, 본 발명은 이송 밸트를 사용하여 기판들을 연속적으로 이어 받아 이송하는 기판 이송 단계; 및 상기 이송 밸트의 적어도 하나 이상의 위치에서 상기 이송 밸트의 이동 방향을 가변시켜 이송되는 상기 기판들에 대해 스크라이브 공정 및 후속 공정을 연속적으로 진행하는 공정 진행 단계를 포함하는 스크라이브 방법을 제공한다.
상기 후속 공정을, 스크라이브되는 상기 기판을 브레이킹하는 브레이킹 공정 또는, 브레이킹된 상기 기판을 픽업하는 픽업 공정인 것이 바람직하다.
상기 기판을 상기 이송 밸트의 전단으로 이동시키는 경우, 상기 이송 밸트의 전단과 상기 후속 공정이 이루어지는 영역 사이에서의 이송 밸트를 우회시키고, 상기 기판을 상기 후속 공정이 이루어지는 영역으로 이동 위치시키는 경우, 상기 이송 밸트의 전단과 상기 후속 공정이 이루어지는 영역 사이에서의 이송 밸트의 우회 상태를 해제하고, 상기 이송 밸트의 전단과 상기 후속 공정이 이루어지는 영역의 후단 사이에서의 이송 밸트를 우회시키는 것이 바람직하다.
상기 이송 밸트의 전단에서 상기 이송 밸트를 구동시키기 위한 구동력을 제공하는 것이 바람직하다.
상기 이송 밸트의 우회는, 해당 위치에서 롤러의 승강 동작을 통해 상기 이송 밸트를 눌러 처지도록 하여 형성하는 것이 바람직하다.
상기 롤러를, 자중에 의해 하방으로 이동시키는 것이 바람직하다.
상기 롤러를, 별도의 외부 구동력을 사용하여 강제 승강시키는 것이 바람직하다.
또한, 상기 롤러를 한 쌍으로 배치하는 것이 바람직하다.
상기 외부 구동력을, 직선 구동력 또는 탄성력 중 적어도 어느 하나를 사용하는 것이 바람직하다.
상기 롤러를, 가이드를 사용하여 설정된 축 방향을 따르도록 안내하는 것이 바람직하다.In one aspect, the present invention provides a transfer belt comprising: a transfer belt for continuously transferring substrates; And
And a process control unit for continuously advancing a scribing process and a subsequent process on the substrates transferred by varying the moving direction of the transfer belt at at least one position of the transfer belt.
The subsequent process is preferably a braking process for braking the substrate to be scribed, or a pick-up process for picking up the braked substrate.
Wherein the process control unit is disposed between an upstream end of the feed belt and an area where the subsequent process is performed and is disposed so as to be able to move up and down along an axis orthogonal to the feed belt so as to sag or release deflection of the feed belt A first weight roller for bypassing a moving direction of the conveyance belt and a second weight roller disposed between a front end of the conveyance belt and a rear end of an area where the subsequent process is performed, A driving roller which is disposed between the front end of the conveyance belt and the second weight roller and forcibly drives the conveyance belt, and a driving roller which is disposed between the front end of the conveyance belt and the second weight roller, The first weight rollers being located at both sides of the first weight roller, In the front end of the transfer the substrate to the grip belt is preferably provided with a belt clamp to continuously move to a region composed of the subsequent process.
It is preferable that the belt clamp includes a first belt clamp and a second belt clamp which are respectively provided before and after the first weight roller.
When the grip of the first belt clamp is released and the conveyance belt is gripped at the position by the second belt clamp, the conveyance belt is forcibly deflected by the downward movement of the first weight roller, When the grip of the first belt clamp and the second belt clamp is released, the forcibly deflected transfer belt is returned to the original position, and the substrate is continuously transferred to the region where the subsequent process is performed .
It is preferable that the first weight roller and the second weight roller are disposed so as to be descendable by their own weights so as to sag the conveying belt.
The first weight roller and the second weight roller are forcibly lifted and lowered by a driving force from a driving unit to deflect or deflect the conveying belt.
It is preferable that the first weight roller and the second weight roller are arranged in a pair.
The external driving force may be at least one of a linear driving force and an elastic force.
It is preferable that the elevation path of the first weight roller and the second weight roller is guided by a guide along the axis.
The guide may include the first weight roller and a rack-pinion connected to the rotation axis of the second weight roller and guiding the lift.
Wherein each of the first weight roller and the second weight roller has an inner body in the form of a barrel having a rotary shaft formed at both ends thereof and a hollow body into which the inner body is inserted, As shown in Fig.
According to another aspect of the present invention, there is provided a substrate processing method comprising: a substrate transferring step of successively transferring and transferring substrates using a transfer belt; And a process step of continuously performing a scribing process and a subsequent process on the substrates transferred by varying the moving direction of the transfer belt at at least one position of the transfer belt.
It is preferable that the subsequent process is a braking process for braking the substrate to be scribed or a pick-up process for picking up the braked substrate.
When the substrate is moved to the front end of the feed belt, the feed belt is bypassed between the front end of the feed belt and the region where the subsequent process is performed, and the substrate is moved to the region where the next process is performed, It is preferable that the bypass state of the transfer belt between the front end of the transfer belt and the region where the subsequent process is performed is canceled and the transfer belt is bypassed between the front end of the transfer belt and the rear end of the region where the subsequent process is performed.
It is preferable to provide a driving force for driving the conveyance belt at the front end of the conveyance belt.
It is preferable that the conveyance belt is detoured by pushing the conveyance belt in the ascending and descending operation of the roller at the corresponding position.
It is preferable that the roller is moved downward by its own weight.
It is preferable to forcibly raise and lower the roller using a separate external driving force.
It is also preferable that the rollers are arranged in pairs.
It is preferable that the external driving force be at least one of a linear driving force and an elastic force.
It is preferable that the roller is guided along a set axial direction using a guide.

본 발명은, 하나의 이송 밸트를 사용하여 기판들을 스크라이브 공정과, 브레이킹 또는 픽업과 같은 후속 공정을 연속적으로 수행하여, 공정들 간의 평탄도를 유지함과 이울러, 텍 타임을 증가시킬 수 있는 효과를 갖는다.
또한, 본 발명은 웨이트로 사용되는 제 1,2웨이트 롤러를 자중에 의해 하강되도록 하여 이송 밸트를 처지도록 함으로써, 기판 이송시 이송 밸트 자체의 장력을 일정하게 유지하여 밸트가 늘어나는 등의 장치 문제를 해결할 수 있는 효과를 갖는다.
또한, 본 발명은 제 1,2웨이트 롤러를 강제 구동시키는 경우, 제 1,2밸트 클램프의 동작을 연동시킬 수 있기 때문에, 이의 경우에 있어서도 밸트의 장력을 일정하게 유지할 수 있는 효과를 갖는다.
또한, 본 발명은 제 1,2웨이트 롤러의 승강을 별도의 가이드를 사용하여 안내함과 아울러, 랙-피니언 기어 연결을 사용하여 승강을 안내하기 때문에, 제 1,2웨이트 롤러의 승강시 축 양단 간의 틀어짐을 방지하여 이송 밸트를 안정적으로 처지도록 할 수 있는 효과를 갖는다.
또한, 본 발명은 외부 구동력을 통해, 이송 밸트를 처지게 하는 웨이트 롤러의 승강을 강제 승강함과 아울러, 승강 위치를 정학하게 제어함으로써, 이송 밸트가 이동되는 도중에 슬립이 발생되는 것을 효율적으로 방지할 수 있는 효과를 갖는다.The present invention is based on the idea that by using a single transfer belt to perform successive processes such as scribing and braking or picking up the substrates to maintain the flatness between the processes, .
Further, according to the present invention, the first and second weight rollers used as weights are lowered by their own weights so that the conveyor belt is sagged, thereby maintaining the tension of the conveyor belt itself at the time of substrate transfer, It has an effect that can be solved.
Further, in the present invention, when the first and second weight rollers are forcibly driven, the operation of the first and second belt clamps can be interlocked with each other. Therefore, in this case, the tension of the belt can be maintained constant.
In addition, the present invention guides the lifting and lowering of the first and second weight rollers by using a separate guide and guides the lifting and lowering by using the rack-pinion gear connection. Therefore, So that the conveying belt can be stably sagged.
Further, according to the present invention, the lifting and lowering of the weight rollers causing the conveyance belt to sag through the external driving force is forcibly lifted and lowered, and the lifting and lowering position is controlled to be controlled so as to effectively prevent slip from occurring during the movement of the feeding belt .

도 1은 본 발명의 스크라이브 장치를 보여주는 도면이다.
도 2는 본 발명의 스크라이브 장치를 보여주는 다른 도면이다.
도 3은 본 발명에 따르는 가이드의 일 예를 보여주는 도면이다.
도 4는 본 발명에 따르는 가이드의 다른 예를 보여주는 도면이다.
도 5는 이송되는 기판에 대해 브레이킹 공정과 픽업 공정이 시작되는 과정을 보여주는 도면이다.
도 6은 이송되는 기판에 대해 스크라이빙과 픽업 공정이 진행되는 과정을 보여주는 도면이다.
도 7은 더미가 배출되는 공정을 보여주는 도면이다
도 8은 픽업 공정 영역에 기판이 이송되는 과정을 보여주는 도면이다.
도 9는 본 발명에 따르는 웨이트 롤러 각각이 한 쌍으로 구성되는 예를 보여주는 도면이다.
도 10은 본 발명에 따르는 제 1,2웨이트 롤러의 구성을 보여주는 도면이다.
도 11은 본 발명에 따르는 가이드의 또 다른 예를 보여주는 도면이다.
도 12는 본 발명에 따르는 가이드에 의해 웨이트 롤러의 승강이 안내되는 것을 보여주는 도면이다.
도 13은 제 2웨이트 롤러가 한 쌍으로 구성되어 구동되는 예를 보여주는 도면이다.
도 14는 제 1웨이트 롤러가 한 쌍으로 구성되어 구동되는 예를 보여주는 도면이다.
도 15는 제 1,2웨이트 롤러가 한 쌍으로 구성되어 구동되는 예를 보여주는 도면이다.1 is a view showing a scribing apparatus of the present invention.
2 is another view showing the scribing apparatus of the present invention.
3 is a view showing an example of a guide according to the present invention.
4 is a view showing another example of the guide according to the present invention.
5 is a view showing a process of starting the braking process and the pick-up process with respect to the substrate to be transferred.
6 is a view illustrating a process of scribing and picking up the substrate to be transferred.
7 is a view showing a process in which a dummy is discharged
FIG. 8 is a view showing a process of transferring a substrate to a pickup process region.
9 is a view showing an example in which each of the weight rollers according to the present invention is constituted by a pair.
10 is a view showing the configuration of the first and second weight rollers according to the present invention.
11 is a view showing another example of the guide according to the present invention.
12 is a view showing that the lifting and lowering of the weight roller is guided by the guide according to the present invention.
13 is a view showing an example in which the second weight rollers are driven in a pair.
14 is a diagram showing an example in which first weight rollers are driven in a pair.
Fig. 15 is a view showing an example in which the first and second weight rollers are driven in a pair.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 스크라이브 장치의 구성을 설명하고, 상기 구성을 참조 하여 본 발명의 스크라이브 방법을 설명한다.
도 1은 본 발명의 스크라이브 장치를 보여주는 도면이다.
도 1을 참조 하면, 본 발명의 스크라이브 장치는 크게 이송 밸트(200)가 설치되는 본체(100)와, 공정 제어 유닛(300)으로 구성된다.
본체 (100)
본 발명에 따르는 본체(100)에는 하나의 이송 밸트(200)가 설치된다.
상기 이송 밸트(200)는 상기 본체(100)에 무한궤도 회전 가능하게 설치된다.
상기 이송 밸트(200)의 양단 각각은 한 쌍의 안내 롤러에 의해 회전 지지된다.
상기 한 쌍의 안내 롤러는, 좌측 제 1,2안내롤러(210)와, 우측 제 1,2안내롤러(220)로 구성된다.
상기 좌측 제 1,2안내롤러(210)는 이송 밸트(200)의 좌측단에서 상하로 이격되도록 배치되어, 이송 밸트(200)의 좌측단을 회전 지지한다.
상기 우측 제 1,2안내롤러(220)는 이송 밸트(200)의 우측단에서 상하로 이격되도록 배치되어, 이송 밸트(200)의 우측단을 회전 지지한다.
이에 따라, 이송 밸트(200)에서 좌측단과 우측단을 수평으로 잇는 2개의 이동 경로(①,②)가 형성된다.
상기 2개의 이동 경로(①,②)는 좌측단에서 우측단을 따르는 제 1이동 경로(①)와, 우측단에서 좌측단을 따르는 제 2이동 경로(②)일 수 있다.
실질적으로 기판이 이동되는 경로는 이동되는 이송 밸트(200)에 의해 형성되는 상기 제 1이동 경로(①)를 따라 이동된다.
여기서, 상기 이송 밸트(200)의 전방에는 전방측 이송 밸트(20)가 배치된다.
상기 전방측 이송 밸트(20) 역시 무한궤도 회전된다.
그리고, 상기 전방측 이송 밸트(20)와 상기 이송 밸트(200)는 기판이 수평으로 이동될 수 있도록 서로 수평을 이루어 나란하게 배치된다.
한편, 본 발명에 따르는 이송 밸트(200)의 전단에는 전방측 이송 밸트(20)에 의해 이송되는 기판을 XY 방향을 따라 스크라이브할 수 있는 스크라이브 유닛(110)이 설치된다.
도면에 도시되지는 않았지만, 상기 스크라이브 유닛(110)은 기판에 XY 방향을 따라 스크라이브 할 수 있는 스크라이브 휠이 설치되며, 스크라이브 휠이 설치되는 헤드는 XY방향을 따라 이동될 수 있다.
그리고, 상기 이송 밸트(200) 상에는 후속 공정이 이루어지는 영역이 형성된다.
상기 후속 공정이 이루어지는 영역에는 해당 공정이 진행되는 유닛이 설치된다.
본 발명에서, 후속 공정은 기판을 각 셀 별로 브레이킹하는 브레이킹 공정 또는 브레이킹된 셀을 픽업하는 픽업 공정일 수 있다.
하기에서는, 상기 후속 공정이 픽업 공정인 경우를 대표적인 예로 하여 설명한다.
따라서, 이송 밸트(200) 상에서 스크라이브 유닛(110)의 후방에는 픽업 유닛(120)이 배치된다.
상기 픽업 유닛(120)은 스크라이브 유닛(110)에 의해 스크라이브 및 브레이킹된 기판에서 셀들(11a)만을 픽업하여 언로딩 위치에 적재하는 역할을 한다.
공정 제어 유닛 (300)
도 1을 참조 하면, 본 발명의 공정 제어 유닛(300)은 크게 제 1웨이트 롤러(310)와, 제 2웨이트 롤러(320)와, 구동 롤러(330)와, 밸트 클램프(340)로 구성된다.
상기 제 1웨이트 롤러(310)와 제 2웨이트 롤러(320)는 웨이트와 같은 역할을 하고, 이송 밸트(200)를 자중으로 눌러 처지도록 하는 역할을 한다.
상기 제 1웨이트 롤러(310)는 이송 밸트(200)의 전단과, 후속 공정이 이루어지는 영역의 사이에 배치된다.
상기 제 1웨이트 롤러(310)는 상기 배치되는 위치에서 이송 밸트(200)의 제 1이동 경로(①)와 직교를 이루는 축을 따라 승강 가능하게 배치된다.
상기 제 1웨이트 롤러(310)는 가이드(400, 도 3 참조)에 의해 승강이 안내될 수 있다. 상기 가이드(400)의 구성은 후술하기로 한다.
여기서, 상기 이송 밸트(200)의 전단은 스크라이브 영역이고, 상기 후속 공정이 이루어지는 영역은 브레이킹 공정 영역이다.
상기 제 2웨이트 롤러(320)는 이송 밸트(200)의 전단과 후속 공정이 이루어지는 영역의 후단 사이, 제 2이동 경로(②)와 직교를 이루는 축을 따라 승강 가능하게 배치된다.
상기 구동 롤러(330)는 상기 이송 밸트(200)의 전단과 상기 제 2웨이트 롤러(320)의 사이에 배치되며, 이송 밸트(200)를 강제 회전 또는 구동시킨다.
상기 밸트 클램프(340)는 제 1웨이트 롤러(310)의 양측부에 설치되어, 각 그립 위치에서 이송 밸트(200)의 이동을 저지하도록 그립하는 장치이다.
상기 밸트 클램프(340)는 제 1웨이트 롤러(310)의 전후에 각각 배치되는, 제 1밸트 클램프(341)와, 제 2밸트 클램프(342)로 구성된다.
상기 제 1밸트 클램프(341)는 스크라이브 영역과 제 1웨이트 롤러(310)의 사이인 제 1그립 위치에 배치된다.
상기 제 2밸트 클램프(342)는 제 1웨이트 롤러(310)와 픽업 영역의 사이인 제 2그립 위치에 배치된다.
도면에 도시되지는 않았지만, 상기 밸트 클램프(340)는 해당 그립 위치에서 이송 밸트(200)를 그립 또는 그립 해제함으로서, 이송 밸트(200)의 이동을 강제 중지 또는 해제하는 장치이다.
한편, 상술한, 제 1,2웨이트 롤러(310,320)는 자중에 의해 승강 가능하기도 하지만, 도 2에 도시되는 바와 같이, 구동부(500)로부터 구동력을 제공 받아 강제 승강될 수도 있다.
도 3은 본 발명에 따르는 가이드의 일 예를 보여주는 도면이다.
본 발명에 따르는 가이드(400)는 제 1,2웨이트 롤러(310,320) 각각을 이송 밸트(200)와 직교된 축을 따라 승강을 안내하는 장치이다.
또한, 가이드(400)는 제 1,2웨이트 롤러(310,320)에 동일한 구성으로 구성되기 때문에, 하나의 가이드의 예를 설명한다. 또한, 제 1,2웨이트 롤러(310,320)의 구성 역시 동일하기 때문에, 제 1웨이트 롤러(310)를 대표적으로 설명한다.
상기 제 1웨이트 롤러(310)는 중공 형상의 제 1웨이트 롤러 몸체(311)와, 상기 제 1웨이트 롤러 몸체(311)의 중공에 회전 가능하도록 삽입 설치되며, 양단이 제 1웨이트 롤러 몸체(311)의 양단으로 돌출되는 제 1회전축(312)을 갖는다.
상기 가이드(400)는 상기 제 1웨이트 롤러 몸체(311)의 양단측에 위치되는 한 쌍의 가이드 몸체(410)를 갖고, 상기 한 쌍의 가이드 몸체(410)는 본체(100)에 설치된다.
상기 한 쌍의 가이드 몸체(410)에는, 수직 방향을 따르고, 제 1회전축(312)의 양단이 끼워지는 상태로 수직 방향 축을 따라 승강을 안내하는 일정 길이의 안내홀(420)이 형성된다.
따라서, 본 발명에서의 제 1,2웨이트 롤러(310,320)는 가이드(400)를 따라 승강이 안내된다.
이에 더하여, 도 4에 도시되는 바와 같이, 제 1회전축(312)의 양단에는 한 쌍의 피니언 기어(430)가 설치된다.
그리고, 상기 한 쌍의 가이드 몸체(410)에는 상기 한 쌍의 피니언 기어(430)가 기어 연결되는 한 쌍의 랙(440)이 설치된다.
따라서, 제 1웨이트 롤러(310)가 승강되는 경우, 피니언(430)이 랙(440)과 기어 연결되기 때문에, 승강시 제 1회전축(312)의 양단이 뒤틀리는 등의 문제를 해결할 수 있다.
다음은, 상기와 같은 구성을 갖는 스크라이브 장치를 사용한 스크라이브 방법을 설명한다.
도 5는 이송되는 기판에 대해 스크라이브 공정과, 후속 공정인 픽업 공정이 시작되는 과정을 보여준다.
도 5를 참조 하면, 이송 밸트(200)는 구동 롤러(330)의 구동에 따라 무한궤도 회전된다.
여기서, 이송 밸트(200)에는 제 1이동 경로(①)와 제 2이동 경로(②)가 형성된다.
제 1기판(11)은 이송 밸트(200)의 전단에서 스크라이브 유닛(110, 도 1참조)에 의해 스크라이브 및 브레이킹되고, 제 1이동 경로(①)를 따라 이동된다. 이때, 제 1,2밸트 클램프(341,342)는 제 1,2그립 위치에서 이송 밸트(200)의 그립 상태를 해제한 상태를 이루고, 제 1웨이트 롤러(310)는 상승된 상태를 이룬다.
이와 동시에, 제 2이동 경로(②) 상에서, 제 2웨이트 롤러(320)는 자중에 의해 하강되어 이송 밸트(200)를 일정 길이로 처지게 하여 이동 방향을 가변시킨 상태를 이룬다.
따라서, 스크라이브된 제 1기판(11)은 후속 공정이 이루어지는 영역인 픽업 공정 영역으로 이송된다.
이어, 제 2밸트 클램프(342)는 제 2그립 위치에서 이송 밸트(200)를 그립하여, 픽업 유닛(120, 도 1참조)을 사용하여 픽업 공정 영역으로 이송되는 제 1기판(11)에 대해 픽업이 진행되도록 한다.
도 6은 이송되는 기판에 대해 스크라이빙과 픽업 공정이 진행되는 과정을 보여준다.
도 6을 참조 하면, 픽업 공정이 시작된 후에, 하강된 제 2웨이트 롤러(320)는 이송 밸트(200)가 연속적으로 회전되면서, 상승되어 위치된다.
이와 동시에, 제 1웨이트 롤러(310)는 하강되어 해당 위치에서 이송 밸트(200)를 처지게 하여 이동 방향을 우회하도록 가변시킨다. 여기서, 제 1밸트 클램프(341)는 이송 밸트(200)를 그립하지 않은 상태이다.
이때, 전방측 이송 밸트(20)로부터 이송되는 제 2기판(12)은 스크라이브 영역에서 스크라이브 되면서 이송 밸트(200)를 따라 제 1이동 경로(①)를 따라 연속적으로 이동된다.
또한, 상기 도 5에서의 제 1기판(11)은 픽업 공정 영역에서 각 셀(11a)이 픽업될 수 있다.
도 7은 더미가 배출되는 공정을 보여주는 도면이다
도 7을 참조 하면, 제 1이동 경로(①)를 따라 제 2기판(12)이 스크라이브되면서 제 1웨이트 롤러(310) 측으로 이동되면, 제 1밸트 클램프(341)는 제 1그립 위치에서 이송 밸트(200)를 그립한다.
그리고, 제 2밸트 클램프(342)는 제 2그립 위치에서 이송 밸트(200)의 그립 상태를 해제한다.
이에 따라, 셀들(11a)의 픽업 공정이 진행되는 제 1기판(11)은 이송 밸트(200)의 이동에 따라 이동되고, 픽업되는 셀들(11a)을 제외한 더미(D)는 이송 밸트(200)의 후방으로 낙하되어 제거된다.
이와 동시에, 제 2이동 경로(②) 상에서 제 2웨이트 롤러(320)는 자중에 의해 하강하고, 이에 의해 해당 위치에서의 이송 밸트(200)는 처지게 되어 이동 방향이 우회도록 가변된다.
도 8은 픽업 공정 영역에 기판이 이송되는 과정을 보여주는 도면이다.
도 8을 참조 하면, 이어, 도 7과 같은 상태에서 제 1밸트 클램프(341)는 제 1그립 위치에서 이송 밸트(200)의 그립 상태를 해제한다.
이에 따라, 스크라이브된 제 2기판(12)은 후속 공정 영역인, 브레이킹 영역으로 연속적으로 이동되어, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같은 스크라이브 공정 및 픽업 공정이 연속적으로 진행될 수 있다.
한편, 상기의 설명에서는 제 1,2웨이트 롤러(310,320)가 자중에 의해 하강되고, 이송 밸트(200)의 승강에 의해 밀어 올려져 상승되는 예를 대표적인 예로 설명하였다.
한편, 상술한 바와 같은 도 2를 참조 하면, 본 발명에서는, 제 1,2웨이트 롤러(310,320)가 별도의 구동부(500)로부터 구동력을 제공 받아 강제 승강될 수도 있다.
상기 구동부(500)는 제 1웨이트 롤러(310) 또는 제 2웨이트 롤러(320)의 회전축(312,322)을 승강시키는 엑츄에이터일 수 있다.
이상, 상기에서는 후속 공정이 픽업 공정인 경우를 대표적인 예로 설명하였다.
그리고, 상기 후속 공정은 스크라이브되는 기판을 브테이킹할 수 있는 브레이킹 공정일 수도 있다.
한편, 본 발명에 따르는 제 1,2웨이트 롤러 각각은 한 쌍으로 구성될 수 있고, 외부 구동력에 의해 승강이 안내될 수 있다.
도 9는 본 발명에 따르는 웨이트 롤러 각각이 한 쌍으로 구성되는 예를 보여주는 도면이다.
도 9를 참조 하여, 제 2웨이트 롤러(360)를 대표적인 예로 설명한다.
제 2웨이트 롤러(360) 각각의 양단에는 제 2회전축(361a)이 형성된다.
상기 한 쌍의 제 2웨이트 롤러(360)의 양단부에는 지지 플레이트(600)가 설치된다.
각각의 지지 플레이트(600)에는 제 2웨이트 롤러(360) 각각의 제 2회전축(361a)이 회전 지지된다.
따라서, 한 쌍의 제 2웨이트 롤러(360)는 지지 플레이트(600)에 지지되는 상태로 동시에 승강될 수 있다.
상기 한 쌍의 제 2웨이트 롤러(360)는 외부 구동력에 의해 강제 승강될 수 있다.
상기 외부 구동력은 직선 구동력 또는 탄성력을 사용할 수 있다.
직선 구동력을 사용하는 경우, 신축되는 실린더 축(720)을 갖는 실린더 몸체(710)로 구성된 실린더(700) 또는 엑츄에이터를 사용할 수 있다.
또한, 탄성력을 사용하는 경우, 각 제 2웨이트 롤러(360)의 제 2회전축(361a)을 수직 방향을 따라 탄성으로 지지하는 탄성 스프링(미도시)일 수 있다.
전자의 경우 있어서, 상기 실린더(700)는 외부 신호를 받아 실린더 축(720)을 삽입 및 돌출시킬 수 있다.
상기 실린더 축(720)의 단부는 상기 지지 플레이트(600)에 연결된다.
여기서, 상기 실린더 축(720)의 신축 방향은 지지 플레이트(600)를 기준으로 수직 방향을 따른다.
도 10은 본 발명에 따르는 제 1,2웨이트 롤러의 구성을 보여주는 도면이다.
도 10을 참조 하면, 상기 제 1,2웨이트 롤러(350,360) 각각은, 양단에 회전축(351a,361a)이 형성되는 원봉 형상의 내측 몸체(351,361)와, 상기 내측 몸체(351,361)가 끼워지는 중공 형상으로 형성되며, 상술한 이송 밸트(200)가 이동됨에 따라 상기 이송 밸트(200)의 외면에 접하여 회전되는 외측 몸체(352,362)로 구성된다.
상기 내측 몸체(351,361)의 회전축(351a,361a)은 지지 플레이트(600)에 회전 지지되고, 외측 몸체(352,362)는 이송 밸트(200)의 외면에 접하는 상태를 이룰 수 있다.
따라서, 이송 밸트(200)가 이동되면 외측 몸체(352,362)는 이송 밸트(200)에 접한 상태로 회전되고, 이때, 내측 몸체(351,361)를 회전되지 않을 수 있다.
도면에 도시되지 않았지만, 내측 몸체(351,361)와 외측 몸체(352,362)의 사이에는 베어링(미도시)이 더 설치되어, 외측 몸체(352,362)가 용이하게 회전되도록 할 수도 있다.
도 11은 본 발명에 따르는 가이드의 또 다른 예를 보여주고, 도 12는 본 발명에 따르는 가이드에 의해 웨이트 롤러의 승강이 안내되는 것을 보여주는 도면이다.
도 11 및 도 12를 참조 하면, 본 발명에 따르는 가이드(800)는 가이드 몸체(810)와, 랙-피니언(811,820) 을 구비한다.
상기 가이드 몸체(810)는 한 쌍의 제 2웨이트 롤러(360)의 양측부에 직립되는 상태로 배치되며, 한 쌍의 제 2웨이트 롤러(360)의 제 2회전축(361a)이 위치되며 승강을 안내하는 한 상의 안내홀(810a)이 형성된다.
상기 한 쌍의 안내홀(810a)의 일측면에는 랙(811)이 각각 형성된다.
상기 한 쌍의 안내홀(810a)에는 내측 몸체(361)의 제 2회전축(351a)이 자유 회전되도로 끼워지는 피니언(820)이 배치되고, 상기 피니언(820)은 상기 랙(811)에 기어 연결된다.
도 13은 제 2웨이트 롤러가 한 쌍으로 구성되어 구동되는 예를 보여준다.
도 13을 참조 하여, 한 쌍의 제 2웨이트 롤러(360)가 하방으로 하강하여 위치된 예를 설명한다.
실린더 축(720)은 지지 플레이트(600)에 연결되는 상태로, 일정 위치로 하강될 수 있다.
지지 플레이트(600)에 연결된 한 쌍의 제 2웨이트 롤러(360)는 지지 플레이트(600)의 하강 동작에 연동되어 하강 위치에 위치된다.
또한, 제 2웨이트 롤러(360)는 하강되면서 가이드(800)의 랙-피니언(811,820)에 의해 수직 방향을 이루는 승강 경로를 따라 좌우로의 뒤틀림 없이 이동될 수 있다.
또한, 제 2웨이트 롤러(360)는 실린더 축(720)의 상하를 따르는 신축에 의해 강제 승강되기 때문에, 승강 속도 역시 일정할 수 있다.
또한, 하강되는 제 2웨이트 롤러(360)에 있어서, 외륜을 이루는 외측 몸체(362)가 내륜을 이루는 내측 몸체(361)의 외주에서 회전 가능하게 설치되기 때문에, 제 2웨이트 롤러(360)가 승강되는 경우, 이송 밸트(200)와 접하는 외측 몸체(362)와, 실린더 축(720)에 의해 직접적인 승강 구동력을 전달 받는 내측 몸체(361) 간의 간섭이 발생되는 것을 방지할 수 있다.
상기의 경우, 제 2웨이트 롤러(360)가 한 쌍으로 구성되어 구동되는 예를 대표적으로 설명하였지만, 도 14에 보여지는 바와 같이, 제 1웨이트 롤러(350)가 한 쌍으로 구성될 수도 있고, 도 15에 보여지는 바와 같이, 제 1,2웨이트 롤러(350,360)가 모두 한 쌍으로 구성될 수도 있다.
도 14 및 도 15에서의 웨이트 롤러(350,360)의 승강 동작은 상술한 바와 동일하기 때문에 설명을 생략하기로 한다.
본 발명에 따르는 실시예는 외부 구동력을 통해, 이송 밸트를 처지게 하는 웨이트 롤러의 승강을 강제 승강함과 아울러, 승강 위치를 정학하게 제어함으로써, 이송 밸트가 이동되는 도중에 슬립이 발생되는 것을 효율적으로 방지할 수 있다.
상기의 장치의 구성 및 스크라이브 방법을 통해, 본 발명에 따르는 실시예는 하나의 이송 밸트를 사용하여 스크라이브되는 기판들을 브레이킹 또는 픽업과 같은 후속 공정을 연속적으로 수행하여, 공정들 간의 평탄도를 유지함과 이울러, 텍 타임을 증가시킬 수 있는 잇점이 있다.
또한, 웨이트로 사용되는 제 1,2웨이트 롤러를 자중에 의해 하강되도록 하여 이송 밸트를 처지도록 함으로써, 기판 이송시 이송 밸트 자체의 장력을 일정하게 유지하여 밸트가 늘어나는 등의 장치 문제를 해결할 수 있는 잇점이 있다.
또한, 제 1,2웨이트 롤러를 강제 구동시키는 경우, 제 1,2밸트 클램프의 동작을 연동시킬 수 있기 때문에, 이의 경우에 있어서도 밸트의 장력을 일정하게 유지할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르는 실시예는 제 1,2웨이트 롤러의 승강을 별도의 가이드를 사용하여 안내함과 아울러, 랙-피니언 기어 연결을 사용하여 승강을 안내하기 때문에, 제 1,2웨이트 롤러의 승강시 축 양단 간의 틀어짐을 방지하여 이송 밸트를 안정적으로 처지도록 할 수 있다.
이상, 본 발명의 스크라이브 장치 및 스크라이브 방법에 관한 구체적인 실시예에 관하여 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서는 여러 가지 실시 변형이 가능함은 자명하다.
그러므로 본 발명의 범위에는 설명된 실시예에 국한되어 전해져서는 안 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
즉, 전술된 실시예는 모든 면에서 예시적인 것이며, 한정적인 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 본 발명의 범위는 상세한 설명보다는 후술될 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 그 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.Hereinafter, a configuration of a scribe apparatus will be described with reference to the accompanying drawings, and a scribe method of the present invention will be described with reference to the above configuration.
1 is a view showing a scribing apparatus of the present invention.
Referring to FIG. 1, the scribing apparatus of the present invention mainly includes a main body 100 on which a transfer belt 200 is installed, and a process control unit 300.
In the main body 100,
In the main body 100 according to the present invention, one conveying belt 200 is installed.
The feed belt 200 is installed on the body 100 so as to be rotatable on an endless track.
Both ends of the conveyance belt 200 are rotatably supported by a pair of guide rollers.
The pair of guide rollers is constituted by left first and second guide rollers 210 and right first and second guide rollers 220.
The left first and second guide rollers 210 are disposed to be spaced apart from each other at the left end of the conveying belt 200 so as to rotate and support the left end of the conveying belt 200.
The right first and second guide rollers 220 are vertically spaced from the right end of the conveying belt 200 to rotate and support the right end of the conveying belt 200.
Thereby, two movement paths (1, 2) connecting the left end and the right end horizontally in the conveying belt 200 are formed.
The two movement paths (1, 2) may be a first movement path (1) along the right end in the left end and a second movement path (2) along the left end in the right end.
The path through which the substrate is substantially moved is moved along the first movement path (1) formed by the transport belt 200 being moved.
Here, the front side conveying belt 20 is disposed in front of the conveying belt 200.
The front side transfer belt 20 is also endlessly rotated.
The front transfer belt 20 and the transfer belt 200 are arranged horizontally and side by side so that the substrate can be moved horizontally.
A scribing unit 110 is provided at the front end of the conveying belt 200 according to the present invention, which can scribe the substrate conveyed by the forward conveying belt 20 along the XY direction.
Although not shown in the figure, the scribe unit 110 is provided with a scribe wheel that can be scribed along the X and Y directions on the substrate, and the head on which the scribe wheel is installed can be moved along the X and Y directions.
A region where a subsequent process is performed is formed on the transfer belt 200.
In the area where the subsequent process is performed, a unit in which the process is performed is installed.
In the present invention, the subsequent process may be a braking process for braking the substrate for each cell or a pick-up process for picking up the braked cell.
Hereinafter, the case where the subsequent process is a pick-up process will be described as a representative example.
Therefore, the pick-up unit 120 is disposed on the conveying belt 200 behind the scribing unit 110. [
The pick-up unit 120 picks up only the cells 11a from the substrate scribed and braked by the scribe unit 110 and loads the cells 11a at the unloading position.
The process control unit (300)
1, the process control unit 300 of the present invention mainly comprises a first weight roller 310, a second weight roller 320, a drive roller 330, and a belt clamp 340 .
The first weight roller 310 and the second weight roller 320 serve as weights and serve to squeeze the feed belt 200 by its own weight.
The first weight roller 310 is disposed between the front end of the conveying belt 200 and a region where a subsequent process is performed.
The first weight roller 310 is disposed so as to be able to move up and down along an axis orthogonal to the first movement path (1) of the conveyance belt 200 at the disposition position.
The first weight roller 310 can be guided up and down by a guide 400 (see FIG. 3). The structure of the guide 400 will be described later.
Here, the front end of the conveying belt 200 is a scribe area, and the area where the subsequent process is performed is a breaking process area.
The second weight roller 320 is disposed between the front end of the conveyance belt 200 and the rear end of the region where the subsequent process is performed, and is movable along an axis orthogonal to the second movement path (2).
The driving roller 330 is disposed between the front end of the feeding belt 200 and the second weight roller 320 and forcibly rotates or drives the feeding belt 200.
The belt clamp 340 is installed on both sides of the first weight roller 310 to grip the transfer belt 200 to prevent the transfer belt 200 from moving at each grip position.
The belt clamp 340 is composed of a first belt clamp 341 and a second belt clamp 342 which are respectively disposed before and after the first weight roller 310.
The first belt clamp 341 is disposed at a first grip position between the scribe area and the first weight roller 310.
The second belt clamp 342 is disposed at a second grip position between the first weight roller 310 and the pickup area.
Although not shown in the drawing, the belt clamp 340 is a device for forcibly stopping or releasing the movement of the conveyance belt 200 by gripping or releasing the conveyance belt 200 at the corresponding grip position.
Meanwhile, the first and second weight rollers 310 and 320 may be lifted or lowered by their own weight, but may be forcibly lifted or lowered by receiving a driving force from the driving unit 500, as shown in FIG.
3 is a view showing an example of a guide according to the present invention.
The guide 400 according to the present invention guides each of the first and second weight rollers 310 and 320 to ascend and descend along an axis orthogonal to the conveying belt 200.
Further, since the guide 400 is constructed in the same configuration as the first and second weight rollers 310 and 320, an example of one guide will be described. Also, since the first and second weight rollers 310 and 320 have the same configuration, the first weight roller 310 will be exemplarily described.
The first weight roller 310 has a hollow first weight roller body 311 and a second weight roller body 311 both ends of which are rotatably inserted in the hollow of the first weight roller body 311, And a first rotating shaft 312 protruding from both ends of the first rotating shaft 312.
The guide 400 has a pair of guide bodies 410 positioned at both ends of the first weight roller body 311 and the pair of guide bodies 410 are installed in the main body 100.
The pair of guide bodies 410 are formed with a guide hole 420 having a predetermined length along the vertical direction and guiding the vertical movement along the vertical direction in a state where both ends of the first rotation shaft 312 are fitted.
Therefore, the first and second weight rollers 310 and 320 of the present invention are guided along the guide 400.
In addition, as shown in FIG. 4, a pair of pinion gears 430 are provided at both ends of the first rotation shaft 312.
The pair of guide bodies 410 are provided with a pair of racks 440 to which the pair of pinion gears 430 are gear-connected.
Therefore, when the first weight roller 310 is lifted and lowered, since the pinion 430 is gear-connected to the rack 440, it is possible to solve the problem that both ends of the first rotation shaft 312 are twisted at the time of ascending and descending.
Next, a scribe method using the scribe apparatus having the above-described structure will be described.
FIG. 5 shows a scribing process for a substrate to be transferred and a process of starting a pickup process, which is a subsequent process.
Referring to FIG. 5, the conveying belt 200 is rotated in an endless track according to the driving of the driving roller 330.
Here, a first movement path (1) and a second movement path (2) are formed in the transfer belt 200.
The first substrate 11 is scribed and braked by the scribing unit 110 (see FIG. 1) at the front end of the conveying belt 200, and is moved along the first movement path (1). At this time, the first and second belt clamps 341 and 342 release the grip state of the conveyor belt 200 at the first and second grip positions, and the first weight roller 310 is in an elevated state.
At the same time, on the second movement path (2), the second weight roller 320 is lowered by its own weight so that the conveying belt 200 is sagged to a predetermined length to make the moving direction variable.
Thus, the scribed first substrate 11 is transferred to a pick-up process area, which is a region where a subsequent process is performed.
The second belt clamp 342 then grips the conveying belt 200 at the second grip position and grips the conveying belt 200 on the first substrate 11 conveyed to the pickup process area using the pick up unit 120 Allow pickup to proceed.
6 shows the progress of the scribing and picking process with respect to the substrate to be transferred.
Referring to FIG. 6, after the pickup process is started, the lowered second weight roller 320 is raised and positioned while the feed belt 200 is continuously rotated.
At the same time, the first weight roller 310 is lowered to sag the conveying belt 200 at the corresponding position, thereby varying the conveying direction to bypass the moving direction. Here, the first belt clamp 341 does not grip the feed belt 200.
At this time, the second substrate 12 conveyed from the front side conveyance belt 20 is continuously moved along the first movement path (1) along the conveyance belt 200 while being scribed in the scribe area.
In addition, each cell 11a may be picked up in the pickup process region of the first substrate 11 in FIG.
7 is a view showing a process in which a dummy is discharged
7, when the second substrate 12 is scribed along the first movement path (1) to move to the first weight roller 310 side, the first belt clamp 341 moves from the first grip position to the feed belt (Not shown).
Then, the second belt clamp 342 releases the grip state of the transfer belt 200 at the second grip position.
The first substrate 11 on which the pickup process of the cells 11a proceeds is moved according to the movement of the transfer belt 200 and the dummy D except the cells 11a to be picked up is moved by the transfer belt 200, And is removed.
At the same time, on the second movement path (2), the second weight roller 320 is lowered by its own weight, whereby the conveyor belt 200 at the corresponding position is deformed so that the movement direction is bypassed.
FIG. 8 is a view showing a process of transferring a substrate to a pickup process region.
Referring to FIG. 8, in a state as shown in FIG. 7, the first belt clamp 341 releases the grip state of the transfer belt 200 at the first grip position.
As a result, the scribed second substrate 12 is continuously moved to the braking area, which is a subsequent process area, so that the scribing process and the pick-up process as shown in Figs. 5 and 6 can be continuously performed.
In the above description, the first and second weight rollers 310 and 320 are lowered by their own weights, and are lifted and raised by the lifting and lowering of the conveyance belt 200, as a representative example.
2, in the present invention, the first and second weight rollers 310 and 320 may be forcibly lifted and lowered by receiving a driving force from a separate driving unit 500. FIG.
The driving unit 500 may be an actuator for moving the first and second weight rollers 310 and 320 up and down.
In the above description, the case where the subsequent process is a pick-up process is described as a representative example.
And, the subsequent process may be a braking process capable of breaking the scribed substrate.
On the other hand, each of the first and second weight rollers according to the present invention may be constituted as a pair, and the lift can be guided by an external driving force.
9 is a view showing an example in which each of the weight rollers according to the present invention is constituted by a pair.
Referring to Fig. 9, the second weight roller 360 will be described as a representative example.
A second rotation axis 361a is formed at both ends of each of the second weight rollers 360.
At both ends of the pair of second weight rollers 360, a support plate 600 is provided.
The second rotation axis 361a of each of the second weight rollers 360 is rotatably supported on each of the support plates 600. [
Therefore, the pair of second weight rollers 360 can be simultaneously lifted and lowered while being supported by the support plate 600.
The pair of second weight rollers 360 can be forcibly lifted and lowered by an external driving force.
The external driving force may use a linear driving force or an elastic force.
In the case of using a linear driving force, a cylinder 700 or an actuator composed of a cylinder body 710 having a cylinder shaft 720 that is stretchable and contractible can be used.
Further, when the elastic force is used, it may be an elastic spring (not shown) that elastically supports the second rotation axis 361a of each second weight roller 360 along the vertical direction.
In the former case, the cylinder 700 receives an external signal and can insert and project the cylinder shaft 720.
The end of the cylinder shaft 720 is connected to the support plate 600.
Here, the cylinder axis 720 extends in the vertical direction with respect to the support plate 600.
10 is a view showing the configuration of the first and second weight rollers according to the present invention.
10, each of the first and second weight rollers 350 and 360 includes an inner body 351 and 361 in the form of a barrel having rotary shafts 351a and 361a formed at both ends thereof, and a hollow body 351 and 361 in which the inner bodies 351 and 361 are inserted. And outer bodies 352 and 362 that are rotated in contact with the outer surface of the conveyance belt 200 as the conveyance belt 200 is moved.
The rotary shafts 351a and 361a of the inner bodies 351 and 361 are rotatably supported by the support plate 600 and the outer bodies 352 and 362 are brought into contact with the outer surface of the transfer belt 200.
Accordingly, when the transfer belt 200 is moved, the outer bodies 352 and 362 are rotated in contact with the transfer belt 200, and the inner bodies 351 and 361 may not be rotated at this time.
Although not shown in the drawing, a bearing (not shown) may be further provided between the inner bodies 351 and 361 and the outer bodies 352 and 362 so that the outer bodies 352 and 362 can be easily rotated.
Fig. 11 shows another example of the guide according to the present invention, and Fig. 12 shows that the lifting and lowering of the weight roller is guided by the guide according to the present invention.
Referring to FIGS. 11 and 12, the guide 800 according to the present invention includes a guide body 810 and rack-and-pinions 811 and 820.
The guide body 810 is disposed on both sides of the pair of second weight rollers 360 so that the second rotation axis 361a of the pair of second weight rollers 360 is positioned, A guide hole 810a for guiding one phase is formed.
A rack 811 is formed on one side of the pair of guide holes 810a.
The pinion 820 is inserted into the pair of guide holes 810a so that the second rotation shaft 351a of the inner body 361 freely rotates and the pinion 820 is inserted into the rack 811, .
Fig. 13 shows an example in which the second weight rollers are driven in a pair.
Referring to Fig. 13, an example in which the pair of second weight rollers 360 are positioned downward is described.
The cylinder shaft 720 can be lowered to a predetermined position in a state where it is connected to the support plate 600.
The pair of second weight rollers 360 connected to the support plate 600 are positioned in the lowered position in conjunction with the lowering operation of the support plate 600.
In addition, the second weight roller 360 can be moved downward along the lifting path that is vertically oriented by the rack-and-pinions 811 and 820 of the guide 800 without being warped to the left or right while being lowered.
Since the second weight roller 360 is forcibly lifted and lowered by expansion and contraction along the cylinder shaft 720, the lifting speed can also be constant.
Since the outer body 362 constituting the outer ring of the second weight roller 360 to be lowered is rotatably provided on the outer periphery of the inner body 361 constituting the inner ring, It is possible to prevent the interference between the outer body 362 in contact with the transfer belt 200 and the inner body 361 which receives the direct ascending and descending driving force by the cylinder axis 720. [
In the above case, the example in which the second weight rollers 360 are driven as a pair has been exemplarily described. However, as shown in FIG. 14, the first weight rollers 350 may be configured as a pair, As shown in Fig. 15, the first and second weight rollers 350 and 360 may be configured as a pair.
Since the lifting operation of the weight rollers 350 and 360 in Figs. 14 and 15 is the same as that described above, a description thereof will be omitted.
In the embodiment of the present invention, the lifting and lowering of the weight rollers causing the conveyance belt to sag through the external drive force is forcibly raised and lowered, and the control is performed so as to suspend the lift-up position, .
Through the construction of the apparatus and the scribing method described above, the embodiment according to the present invention can continuously perform subsequent processes such as braking or picking up substrates to be scribed using one conveying belt, thereby maintaining the flatness between the processes This has the advantage of increasing the texture time.
In addition, since the first and second weight rollers used as weights are lowered by their own weights so that the conveying belt is sagged, it is possible to solve the problem of a device such as a belt being stretched by keeping the tension of the conveying belt itself constant during conveying of the substrate There is an advantage.
Further, when the first and second weight rollers are forcibly driven, the operation of the first and second belt clamps can be interlocked with each other, so that even in this case, the tension of the belt can be kept constant.
Further, since the embodiment according to the present invention guides the lifting and lowering of the first and second weight rollers by using a separate guide and guides the lifting and lowering using the rack-pinion gear connection, It is possible to prevent the deviation between the both ends of the shaft during the ascending and descending, thereby stably feeding the conveying belt.
Although the scribing apparatus and the scribing method of the present invention have been described above, it is apparent that various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.
Therefore, the scope of the present invention should not be limited to the above-described embodiments, but should be determined by the scope of the appended claims and equivalents thereof.
It is to be understood that the foregoing embodiments are illustrative and not restrictive in all respects and that the scope of the present invention is indicated by the appended claims rather than the foregoing description, It is intended that all changes and modifications derived from the equivalent concept be included within the scope of the present invention.

11 : 제 1기판 12 : 제 2기판
20 : 전방측 이송 밸트 100 : 본체
110 : 스크라이브 유닛 120 : 픽업 유닛
200 : 이송 밸트 210 : 제 1좌측 안내롤러
220 : 제 2좌측 안내롤러 300 : 공정 제어 유닛
310 : 제 1웨이트 롤러 310a : 제 1지지 롤러
311 : 제 1웨이트 롤러 몸체 312 : 제 1회전축
320 : 제 2웨이트 롤러 320a : 제 2지지 롤러
321 : 제 2웨이트 롤러 몸체 322 : 제 2회전축
330 : 구동 롤러 340 : 밸트 클램프
341 : 제 1밸트 클램프 342 : 제 2밸트 클램프
350 : 제 1웨이트 롤러 351 : 내측 몸체
351a : 제 1회전축 352 : 외측 몸체
360 : 제 2웨이트 롤러 361 : 내측 몸체
361a : 제 2회전축 362 : 외측 몸체
400,400' : 가이드 410,410' : 가이드 몸채
420,420' : 안내홀 430 : 피니언
440 : 랙 600 : 지지 플레이트
700 : 실린더 710 : 실린더 몸체
720 : 실린더 축 800 : 가이드
810 : 가이드 몸체 811 : 랙
820 : 피니언11: first substrate 12: second substrate
20: forward side feed belt 100:
110: scribe unit 120: pickup unit
200: Feed belt 210: First left guide roller
220: second left guide roller 300: process control unit
310: first weight roller 310a: first support roller
311: first weight roller body 312: first rotating shaft
320: second weight roller 320a: second support roller
321: second weight roller body 322: second rotating shaft
330: drive roller 340: belt clamp
341: first belt clamp 342: second belt clamp
350: first weight roller 351: inner body
351a: first rotating shaft 352: outer body
360: second weight roller 361: inner body
361a: second rotating shaft 362: outer body
400, 400 ': Guide 410, 410': Guide body
420, 420 ': guide hole 430: pinion
440: rack 600: support plate
700: Cylinder 710: Cylinder body
720: Cylinder axis 800: Guide
810: Guide body 811: Rack
820: Pinion

Claims

A transfer belt for continuously transferring substrates; And
And a process control unit for continuously advancing a scribing process and a subsequent process on the substrates transferred by varying the moving direction of the transfer belt at at least one position of the transfer belt,
Wherein the process control unit comprises:
And a transfer belt disposed between the front end of the transfer belt and an area where the subsequent process is performed and is capable of being elevated along an axis orthogonal to the transfer belt so as to cause the transfer belt to be sagged or deflected, A first weight roller for bypassing the first weight roller;
A transfer belt disposed between the front end of the transfer belt and a rear end of an area in which the subsequent process is performed and is capable of being raised and lowered along an axis orthogonal to the transfer belt so that the transfer belt is sagged or deflected, A second weight roller;
A driving roller disposed between the front end of the feeding belt and the second weight roller, for forcibly driving the feeding belt; And
And a belt clamp located on both sides of the first weight roller and continuously gripping the feed belt at the corresponding position to continuously move the substrate from the front end of the feed belt to the subsequent process area,
Wherein the first weight roller and the second weight roller are disposed so as to be descendable by their own weight so as to sag the conveying belt.

The method according to claim 1,
The subsequent process may comprise:
A braking step of braking the substrate,
And a pick-up step of picking up the substrate.

The method according to claim 1,
The belt clamp
A first belt clamp disposed on each of front and rear sides of the first weight roller, and a second belt clamp,
When the grip of the first belt clamp is released and the conveyance belt is gripped at the position by the second belt clamp, the conveyance belt is forcibly deflected by the downward movement of the first weight roller, Is moved to the front of the region where the subsequent process is performed,
Wherein when the grips of the first belt clamp and the second belt clamp are released, the forcefully deflected transfer belt is returned to the home position, and the substrate is continuously moved to a region where the subsequent process is performed.

The method according to claim 1,
Wherein the first weight roller and the second weight roller are disposed in a pair.

The method according to claim 1,
And the lifting path of the first weight roller and the second weight roller is guided by a guide along the axis.

6. The method of claim 5,
The guide
And a rack-pinion connected to the first weight roller and the rotation axis of the second weight roller to guide the lifting and lowering of the scraper.

6. The method of claim 5,
Wherein each of the first weight roller and the second weight roller includes:
An inner body of a circular rod shape having rotary shafts formed at both ends thereof,
Wherein the hollow portion is formed in a hollow shape in which the inner body is fitted, and is rotated in contact with the outer surface of the feed belt as the feed belt is moved.

A substrate transfer step of transferring substrates using a transfer belt; And
And a process advancing step of continuously performing a scribing process and a subsequent process on the substrates conveyed by varying the moving direction of the conveying belt at at least one position of the conveying belt,
When the substrate is moved to the front end of the conveying belt,
The transfer belt is separated between the front end of the transfer belt and the region where the subsequent process is performed,
When the substrate is moved to a region where the subsequent process is performed,
The transfer belt is detached from the front end of the transfer belt and the region where the subsequent process is performed to bypass the transfer belt between the front end of the transfer belt and the rear end of the region where the subsequent process is performed,
Wherein the bypass of the conveyance belt is formed by pushing down the conveyance belt through a lifting operation of the roller at the corresponding position, wherein the roller is moved downward by its own weight.

9. The method of claim 8,
The subsequent process may comprise:
A braking step of braking the substrate, or a pick-up step of picking up the substrate.

9. The method of claim 8,
And a driving force for driving the conveyance belt is provided at a front end of the conveyance belt.

9. The method of claim 8,
And the rollers are arranged in a pair.

9. The method of claim 8,
Wherein said roller is guided along a set axial direction using a guide.

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