JP2015178407A - Plate transporting method, plate transporting device and producing device for plate comprising plate transporting device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、例えば、薄肉のガラス基板からなる枚葉状の板状物の生産ラインにおいて、当該板状物を搬送するための板状物搬送方法および板状物搬送装置並びに当該板状物搬送装置を備える板状物の生産装置の技術に関する。 The present invention provides, for example, a plate-like material conveying method, a plate-like material conveying device, and a plate-like material conveying device for conveying the plate-like material in a production line for a sheet-like plate-shaped material comprising a thin glass substrate. TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
近年、例えば、液晶ディスプレーに代表されるFPD(Flat Panel Display)の分野において、FPD用ガラス基板の要求仕様については、多品種化、大型化が益々進展しており、搬送設備等において、多品種のガラス基板に各々対応するための複雑な機構が別途必要となったり、大型のガラス基板に対応するための設置スペースの増大が必要となったりすることから、設備投資費用が嵩み、製品コストが引き上げられる傾向にあった。
また、その一方で、近年のFPDの高精細化および低価格化に伴い、ガラス基板の生産ラインにおいては、高速且つクリーンな状態にてガラス基板を安定して搬送することが要求されていた。
In recent years, for example, in the field of FPD (Flat Panel Display) typified by liquid crystal displays, the required specifications of FPD glass substrates have been increasingly increased in variety and size. The cost of capital investment increases and the product cost increases because a complicated mechanism is required for each glass substrate, and the installation space for large glass substrates is increased. Tended to be raised.
On the other hand, along with the recent high definition and low price of FPD, in the glass substrate production line, it has been required to stably transport the glass substrate in a high speed and clean state.
このような状況下において、高速且つクリーンなガラス基板の搬送を実現しつつ、設備投資費用の低減化を図り、FPDの製品コストを引き下げるための技術として、例えば、特許文献1による技術を用いることが考えられる。
前記特許文献1においては、複数のエア噴出口が形成されたエア噴出面部を上面部に有し、前記エア噴出口からのエアでガラス基板を傾斜姿勢に浮かせるエアテーブルと、前記エア噴出口からのエアで浮いた傾斜姿勢のガラス板における傾斜方向下端側の端面と接触し、その傾斜姿勢のガラス基板を前記搬送方向に向けて前記移動領域内で移動させる搬送手段とを備えることを特徴とする搬送装置に関する技術が開示されている。
Under such circumstances, for example, the technique disclosed in
In
近年、FPD製品の生産性向上や軽量化等の目的から、当該用途のガラス基板は大型化、薄肉化が進められている。
しかしながら、前記特許文献1による搬送装置においては、ガラス基板を傾斜させて搬送するため、大型且つ薄いガラス基板を搬送する際に、ガラス基板が意図しない形態に撓み、ガラス基板を安定して搬送できなかったり、ガラス基板が破損したりする恐れがあった。
また、前記搬送装置においては、ガラス基板は、エアテーブルによって浮かせた状態で保持されることから、精度の高い搬送面を確保することは困難であった。なお、仮に精度の高い搬送面を確保できたとしても、コスト増を引き起こす要因となる。
また、ガラス基板の搬送姿勢を傾斜姿勢とする場合、ガラス基板の薄板化が進展することにより、ガラス基板自身の自重により座屈現象が起こるため搬送不具合を引き起こす可能性があった。
さらに、特許文献1の搬送装置では、エアテーブルの面積を大きく超えるような品種のガラス基板に対しては、これに対応するための複雑な機構が別途必要であった。
これらのことから、前記搬送装置を用いることで、高速且つクリーンなガラス基板の搬送を実現しつつ、設備投資費用の低減化を図ることは困難であった。
In recent years, for the purpose of improving the productivity and reducing the weight of FPD products, the size and thickness of glass substrates for such applications have been increased.
However, in the transport apparatus according to
Moreover, in the said conveying apparatus, since the glass substrate was hold | maintained in the state floated by the air table, it was difficult to ensure a highly accurate conveyance surface. Even if a highly accurate transport surface can be secured, it causes a cost increase.
Further, when the glass substrate is transported in a tilted posture, the glass substrate is thinned, and a buckling phenomenon occurs due to the weight of the glass substrate itself, which may cause a transport failure.
Furthermore, in the conveyance device of
For these reasons, it has been difficult to reduce capital investment costs while realizing high-speed and clean transfer of glass substrates by using the transfer device.
本発明は、以上に示した現状の問題点を鑑みてなされたものであり、可撓性を有する板状物を平面方向に搬送する板状物搬送方法および板状物搬送装置並びに該板状物搬送装置を備える板状物の生産装置であって、高速且つクリーンな板状物の搬送を実現しつつ、板状物の多品種化に伴い複雑な機構が別途必要となることもなく、また、板状物の大型化に伴い設置スペースの増大が常に必要となることもなく、設備投資費用の低減化を図ることが可能な板状物搬送方法および板状物搬送装置並びに当該板状物搬送装置を備える板状物の生産装置を提供することを課題とする。 The present invention has been made in view of the above-described current problems, and a plate-like object conveying method, a plate-like object conveying device, and a plate-like object for conveying a flexible plate-like object in a plane direction. It is a plate-shaped product production apparatus equipped with a material transport device, realizing a high-speed and clean transport of a plate-shaped material, without requiring a complicated mechanism separately with the increase in the variety of plate-shaped materials, Further, it is not always necessary to increase the installation space with an increase in the size of the plate-like object, and the plate-like object transfer method, the plate-like object transfer device, and the plate-like object can reduce the capital investment cost. It aims at providing the production apparatus of a plate-shaped object provided with a thing conveyance apparatus.
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。 The problem to be solved by the present invention is as described above. Next, means for solving the problem will be described.
即ち、本発明の板状物搬送方法においては、可撓性を有する板状物を平面方向に搬送する板状物搬送方法であって、前記板状物を幅方向の中央部および両端部において、搬送方向に沿って支持しつつ搬送し、搬送経路上の前記板状物の位置に応じて、前記板状物の前記幅方向における両端部の支持位置を、前記幅方向における中央部の支持位置に対して相対的に上下方向に変更することを特徴とする。 That is, in the plate-like object conveying method of the present invention, a plate-like object conveying method for conveying a flexible plate-like object in the plane direction, wherein the plate-like object is at the center and both ends in the width direction. , While supporting along the transport direction, according to the position of the plate-shaped object on the transport path, support positions of both ends of the plate-shaped object in the width direction, support of the central part in the width direction It changes in the up-down direction relative to the position.
一方、本発明の板状物搬送装置においては、可撓性を有する板状物を平面方向に搬送する板状物搬送装置であって、前記板状物の幅方向における中央部を支持しながら、前記板状物を所定の搬送方向に搬送する第一の搬送手段と、前記板状物の幅方向における両端部を支持しながら、前記板状物を前記搬送方向に搬送する第二の搬送手段と、前記第二の搬送手段の位置を、前記第一の搬送手段の位置に対して相対的に少なくとも上下方向に変更可能とする位置変更機構と、を備えることを特徴とする。 On the other hand, in the plate-shaped object conveyance device of the present invention, it is a plate-shaped object conveyance device that conveys a flexible plate-shaped object in the plane direction, while supporting the central part in the width direction of the plate-shaped object. The first transport means for transporting the plate-shaped object in a predetermined transport direction and the second transport for transporting the plate-shaped object in the transport direction while supporting both end portions in the width direction of the plate-shaped object. And a position changing mechanism that can change the position of the second conveying means at least in the vertical direction relative to the position of the first conveying means.
また、本発明の板状物搬送装置においては、前記第二の搬送手段が、前記板状物の幅方向の一端部を支持しながら搬送する第一端支持搬送手段と、前記板状物の幅方向の他端部を支持しながら搬送する第二端支持搬送手段と、を備え、前記位置変更機構は、前記第一端支持搬送手段の位置および第二端支持搬送手段の位置の各々を前記第一の搬送手段に対して、少なくとも上下方向に独立して変更可能とすることを特徴とする。
このような構成によれば、例えば、第一端支持搬送手段および第二端支持搬送手段の双方の位置を、第一の搬送手段に対して下方に変更させることによって、板状物の搬送姿勢を曲面山形姿勢(搬送方向から見て上に凸の放物線形状)としたり、または、第一端支持搬送手段および第二端支持搬送手段の位置を、第一の搬送手段に対して上方および下方に各々変更させることによって、板状物の搬送姿勢を平面傾斜姿勢としたりと、板状物の搬送姿勢を容易に変更することができる。
Moreover, in the plate-shaped object conveying apparatus of the present invention, the second conveying means conveys the first end support conveying means for conveying while supporting one end portion in the width direction of the plate-shaped object; and A second end support transporting means for transporting while supporting the other end in the width direction, and the position changing mechanism is configured to change each of the position of the first end support transporting means and the position of the second end support transporting means. The first transfer means can be changed independently at least in the vertical direction.
According to such a configuration, for example, by changing the positions of both the first end supporting and conveying means and the second end supporting and conveying means downward with respect to the first conveying means, the conveying posture of the plate-like object Or a position of the first end support transport means and the second end support transport means upward and downward with respect to the first transport means. By changing each of them, the conveying posture of the plate-like object can be changed to a plane inclined posture, or the conveying posture of the plate-like object can be easily changed.
また、本発明の板状物搬送装置においては、前記位置変更機構が、前記第一端支持搬送手段および第二端支持搬送手段の各々を、前記第一の搬送手段を中心として、独立して回動可能とすることを特徴とする。
このような構成によれば、常に第一の搬送手段の位置を基準としつつ、第一端支持搬送手段および第二端支持搬送手段の位置を、容易に変更することができる。
Moreover, in the plate-shaped object conveying apparatus of the present invention, the position changing mechanism is configured so that each of the first end supporting and conveying means and the second end supporting and conveying means is independent of the first conveying means. It is possible to turn.
According to such a configuration, the positions of the first end supporting and conveying means and the second end supporting and conveying means can be easily changed while always using the position of the first conveying means as a reference.
また、本発明の板状物搬送装置においては、前記第一の搬送手段が、前記板状物の前記搬送方向から視て断面視円弧状に形成されることを特徴とする。
このような構成によれば、板状物の幅方向の端部が、自重によって下方に撓んでいる場合であっても、幅方向の中央部において板状物との十分な接触面積を容易に確保可能であり、板状物の搬送姿勢を、より堅固に安定させることができる。
Moreover, in the plate-shaped object conveying apparatus of the present invention, the first conveying means is formed in an arc shape in a sectional view when viewed from the conveying direction of the plate-shaped object.
According to such a configuration, even when the end portion in the width direction of the plate-like object is bent downward by its own weight, a sufficient contact area with the plate-like object can be easily provided in the center portion in the width direction. It can be ensured, and the conveying posture of the plate-like object can be stabilized more firmly.
また、本発明の板状物搬送装置においては、前記第二の搬送手段が、前記板状物の前記幅方向の端面と当接可能な起立面部を備えることを特徴とする。
このような構成によれば、例えば、搬送途中の板状物が不意な外力を受けて、幅方向へのズレを生じたとしても、板状物の幅方向の端面が起立面部に当接することにより、前記ズレは制止され、板状物が搬送装置外に落下するのを防止することができる。
Moreover, in the plate-shaped object conveyance apparatus of this invention, said 2nd conveyance means is provided with the standing surface part which can contact | abut with the end surface of the said width direction of the said plate-shaped object.
According to such a configuration, for example, even if the plate-like object in the middle of conveyance is subjected to unexpected external force and a shift in the width direction occurs, the end surface in the width direction of the plate-like object comes into contact with the standing surface portion. Thus, the deviation is restrained, and the plate-like object can be prevented from falling out of the conveying device.
また、本発明の板状物搬送装置においては、前記第二の搬送手段が、前記板状物の幅方向の端部を嵌挿可能な溝部を備えることを特徴とする。
このような構成によれば、例えば、曲面山形姿勢によって搬送される板状物において、幅方向の両端部における自重による撓み量が少ない場合であっても、第二の搬送手段によって、前記幅方向の両端部を溝部に嵌挿しつつ下方に押し下げることにより、板状物の搬送姿勢の安定化を図ることができる。
Moreover, in the plate-shaped object conveying apparatus of the present invention, the second conveying means includes a groove part into which an end in the width direction of the plate-shaped object can be inserted.
According to such a configuration, for example, in a plate-like object that is conveyed in a curved chevron posture, even if the amount of bending due to its own weight at both ends in the width direction is small, the second conveying means causes the width direction to be It is possible to stabilize the conveying posture of the plate-like object by pushing it down while inserting both ends of the plate into the groove.
また、本発明の板状物搬送装置においては、前記第二の搬送手段が、前記搬送方向に沿って複数配列され、各々の位置が少なくとも上下方向に独立して変更可能に構成されていることを特徴とする。
このような構成によれば、搬送方向に向かって、第二の搬送手段の位置を、徐々に大きく変更させることで、板状物の搬送状態を停止させることなく、板状物の搬送姿勢を所定の形状に変形させることができる。
Moreover, in the plate-shaped object conveying apparatus of the present invention, a plurality of the second conveying means are arranged along the conveying direction, and each position is configured to be independently changeable at least in the vertical direction. It is characterized by.
According to such a configuration, the position of the second conveying means is gradually changed greatly toward the conveying direction, so that the conveying posture of the plate-like object can be changed without stopping the conveying state of the plate-like object. It can be transformed into a predetermined shape.
さらに、本発明の板状物の生産装置においては、請求項2〜請求項8の何れか一項に記載の板状物搬送装置と、前記板状物の加工装置、洗浄装置、および検査装置の少なくとも何れかと、を備えることを特徴とする。 Furthermore, in the production apparatus of the plate-shaped object of this invention, the plate-shaped object conveyance apparatus as described in any one of Claims 2-8, the processing apparatus of the said plate-shaped object, a washing | cleaning apparatus, and an inspection apparatus. And at least one of the above.
本発明の板状物搬送方法および板状物搬送装置並びに当該板状物搬送装置を備える板状物の生産装置によれば、高速且つクリーンな板状物の搬送を実現しつつ、板状物の多品種化に伴い複雑な機構が別途必要となることもなく、また、板状物の大型化に伴い設置スペースの増大が常に必要となることもなく、設備投資費用の低減化を図ることができる。 According to the plate-like material conveying method, the plate-like material conveying device, and the plate-like material production apparatus including the plate-like material conveying device according to the present invention, the plate-like material is realized while realizing high-speed and clean conveyance of the plate-like material. With the increase in the number of products, complicated mechanisms are not required separately, and the installation space does not always need to be increased with the increase in the size of the plate-like material, thereby reducing capital investment costs. Can do.
次に、発明の実施の形態を説明する。 Next, embodiments of the invention will be described.
[板状物搬送方法]
先ず、本実施形態によって具現化される板状物搬送方法について説明する。
[Plate-like material transport method]
First, the plate-shaped object conveyance method embodied by this embodiment is demonstrated.
本実施形態における板状物搬送方法は、例えば、FPD用ガラス基板の生産ラインにおいて、各工程からの要求に応じて可撓性を有する板状物の搬送姿勢を所定の形状に変形させて、板状物を平面方向へと搬送するための方法である。 The plate-like material conveyance method in the present embodiment is, for example, in the production line of the glass substrate for FPD, by changing the conveyance posture of the flexible plate-like material to a predetermined shape according to the request from each step, This is a method for conveying a plate-like object in a plane direction.
ここで、板状物については、特に厚み寸法が0.2[mm]以下である薄肉の液晶用ガラス基板、強化ガラス基板、または、プラズマディスプレーや有機ELディスプレー、FED(Field Emission Display)、SED(Surface−conduction Electron−emitter Display)などのFPD用のガラス基板、或いは光電変換パネルや平面照明パネル等の電子デバイス用ガラス基板が採用され得る。
また、板状物の材質については、ガラス材質に限定されるものではなく、例えば、金属、樹脂、またはセラミックスなどのようなガラス材質以外のものであってもよい。
さらに、板状物は、枚葉状のものであっても、ロール状に巻回される等した長尺の帯状物であってもよい。
Here, as for the plate-like material, a thin glass substrate for liquid crystal having a thickness dimension of 0.2 mm or less, a tempered glass substrate, a plasma display, an organic EL display, an FED (Field Emission Display), or an SED. A glass substrate for FPD such as (Surface-Conduction Electron-emitter Display), or a glass substrate for electronic devices such as a photoelectric conversion panel or a flat illumination panel may be employed.
Moreover, about the material of a plate-shaped object, it is not limited to a glass material, For example, things other than glass materials, such as a metal, resin, or ceramics, may be sufficient.
Further, the plate-like object may be a sheet-like object or a long belt-like object wound in a roll shape.
本実施形態による板状物搬送方法は、板状物の幅方向の中央部および両端部を、搬送方向に沿って同時に支持して板状物を搬送するが、この際、搬送経路上の前記板状物の位置に応じて、前記幅方向の両端部の支持部の位置を、前記幅方向における中央部の支持部の位置に対して相対的に、上下方向且つ幅方向に各々変更可能とすることを主な特徴とする。 In the plate-like object transport method according to the present embodiment, the center and both ends in the width direction of the plate-like object are simultaneously supported along the conveyance direction to convey the plate-like object. According to the position of the plate-like object, the positions of the support portions at both ends in the width direction can be changed in the vertical direction and the width direction, respectively, relative to the position of the support portion at the center portion in the width direction. The main feature is to do.
そして、例えば、板状物の下面において、幅方向の両端部の支持部における上下方向の位置を、幅方向の中央部の支持部と同程度とし、また、幅方向の両端部の支持部における幅方向の位置を、板状物の幅方向の端部と合わせることにより、板状物の搬送姿勢を、平面水平姿勢とすることができる。 And, for example, on the lower surface of the plate-like object, the vertical positions of the support portions at both ends in the width direction are set to the same level as the support portions at the center portion in the width direction, and at the support portions at both ends in the width direction. By aligning the position in the width direction with the end in the width direction of the plate-like object, the conveying posture of the plate-like object can be set to a horizontal horizontal posture.
また、例えば、板状物の下面において、幅方向の両端部の支持部における上下方向の位置を、幅方向の中央部の支持部に対して相対的に下方に位置させ、また、幅方向の両端部の支持部における幅方向の位置を、板状物の幅方向の端部と合わせることにより、板状物の搬送姿勢を、曲面山形姿勢(搬送方向から見て上に凸の放物線形状)とすることができる。 Further, for example, on the lower surface of the plate-like object, the vertical positions of the support portions at both ends in the width direction are positioned relatively lower than the support portions at the center portion in the width direction, and the width direction By aligning the widthwise positions of the support parts at both ends with the edges in the widthwise direction of the plate-like material, the plate-like material is conveyed in a curved chevron posture (a parabolic shape that is convex upward when viewed from the conveyance direction). It can be.
さらに、例えば、板状物の下面において、幅方向の一端部の支持部における上下方向の位置を、幅方向の中央部の支持部に対して相対的に上方に位置させ、また、幅方向の他端部の支持部における上下方向の位置を、幅方向の中央部の支持部に対して相対的に下方に位置させるとともに、幅方向の両端部の支持部における幅方向の位置を、板状物の幅方向の端部と合わせることにより、板状物の搬送姿勢を、平面傾斜姿勢とすることができる。 Further, for example, on the lower surface of the plate-like object, the vertical position of the support portion at one end portion in the width direction is positioned relatively higher than the support portion at the center portion in the width direction. The vertical position of the support portion at the other end is positioned relatively lower than the support portion at the center in the width direction, and the position in the width direction at the support portions at both ends in the width direction is plate-shaped. By combining with the end of the object in the width direction, the conveying posture of the plate-like object can be set to a plane inclined posture.
なお、本実施形態による板状物搬送方法によって形成される、板状物の搬送姿勢については、これらの平面水平姿勢や曲面山形姿勢や平面傾斜姿勢などに限定されるものではなく、例えば、幅方向の両端部の支持部における上下方向の位置を、幅方向の中央部の支持部に対して相対的に上方に位置させることにより形成される、曲面盆型姿勢(搬送方向から見て下に凸の放物線形状)など、様々な搬送姿勢を形成することができる。 The plate-like material conveyance posture formed by the plate-like material conveyance method according to the present embodiment is not limited to these plane horizontal posture, curved chevron posture, plane inclination posture, etc. A curved basin-type posture (below as viewed from the conveyance direction), formed by positioning the vertical positions of the support portions at both ends in the direction relative to the support portion at the center portion in the width direction. Various conveying postures such as a convex parabolic shape) can be formed.
そして、このような板状物搬送方法は、例えば、板状物の下面において、幅方向の中央部を支持して牽引(搬送)する第一の搬送手段であるメイン搬送コンベア10と、幅方向の両端部を支持して牽引(搬送)する第二の搬送手段であるサブ搬送コンベア20とを備え、各々のサブ搬送コンベア20の位置を、メイン搬送コンベア10の位置に対して相対的に、上下方向且つ幅方向に各々変更可能とする、後述する板状物搬送装置1(図1を参照)によって具現化される。
Such a plate-like material conveying method includes, for example, a main conveying
このような、本実施形態における板状物搬送装置1を備える生産ラインを構築することにより、各工程からの要求に応じて板状物の搬送姿勢を所定の形状に変形させて、板状物を平面方向へと搬送することができる。
By constructing such a production line equipped with the plate-like
例えば、平面水平姿勢による板状物の搬送姿勢は、加工後の寸法精度や高度な真直度が必要な、スクライブ工程や端面加工工程からの要求に応じることができる。 For example, the conveying posture of the plate-like object in the horizontal horizontal posture can meet the requirements from the scribe process and the end face machining process that require dimensional accuracy after processing and high straightness.
また、曲面山形姿勢による板状物の搬送姿勢は、設置場所の省スペース化、設備コストの低減化、クリーン搬送等が必要な、各工程間における要求に応じることができる。
具体的には、板状物の搬送に必要なスペースにおいて、幅方向の寸法が短縮されることとなり、搬送装置の設置場所の省スペース化を図ることができる。
また、平面水平姿勢や平面傾斜姿勢のように、板状物の状態を平面状態に保持する必要のある搬送姿勢においては、搬送面に対して高度な平面精度を要求されるところ、曲面山形姿勢においては、搬送面に対して高度な精度を確保しなくても、搬送方向の蛇行問題等を起こすこともないため、設備コストの低減化を図ることができるばかりか、高速、且つ安定した板状物の搬送を実現することができる。
また、板状物に接触するものを、幅方向の中央部を支持するメイン搬送コンベア、および幅方向の両端部を支持するサブ搬送コンベアに限定することができ、板状物のクリーン搬送を実現することができる。
Further, the conveying posture of the plate-like object by the curved chevron posture can meet the demands between the processes that require space saving of the installation place, reduction of equipment cost, clean conveyance and the like.
Specifically, the dimension in the width direction is shortened in the space necessary for transporting the plate-like object, and the space for installing the transport device can be saved.
Also, in the transport posture where the state of the plate-like object needs to be maintained in a flat state, such as a flat horizontal posture and a flat tilt posture, a high angle accuracy is required for the transport surface. In this case, it is possible not only to ensure a high degree of accuracy with respect to the conveyance surface, but also to cause a problem of meandering in the conveyance direction, etc. It is possible to realize conveyance of the object.
Also, it is possible to limit the thing that contacts the plate-like object to the main conveyance conveyor that supports the central part in the width direction and the sub-conveyance conveyor that supports both ends in the width direction. can do.
さらに、平面傾斜姿勢による板状物の搬送姿勢は、板状物の高精度なアライメント、設置スペースの省スペース化、クリーン搬送等が必要な、検査工程や梱包工程からの要求に応じることができる。
具体的には、板状物の幅方向の一端部(下方側の端部)を基準として、例えば搬送コンベアの受け面等に自重をもって押し当てることにより、板状物の高精度なアライメントを実現することができる。
また、板状物の搬送に必要なスペースにおいて、幅方向の寸法が短縮されることとなり、搬送装置の設置場所の省スペース化を図ることができる。
また、例えば、板状面の表面に付着した水滴や異物等は、該表面に沿って滴り落ちることとなり、板状物のクリーンな搬送を実現することができる。
Furthermore, the conveying posture of the plate-like object by the plane inclined posture can meet the requirements from the inspection process and the packing process that require high-precision alignment of the plate-like object, space saving of the installation space, clean conveyance, etc. .
Specifically, high-precision alignment of plate-like objects is achieved by pressing the plate-like object against the receiving surface of the conveyor, for example, with its own weight, using one end in the width direction (lower end) as a reference. can do.
In addition, the dimension in the width direction is shortened in the space necessary for transporting the plate-like object, and the space for installing the transport device can be saved.
In addition, for example, water droplets or foreign matters adhering to the surface of the plate-like surface will drop along the surface, and a clean conveyance of the plate-like material can be realized.
以上のように、本実施形態における板状物搬送方法、および板状物搬送装置においては、板状物の幅方向の両端部の支持部の位置が、幅方向の中央部の支持部の位置に対して相対的に、上下方向且つ幅方向に各々変更可能な構成となっているため、複雑な機構を別途必要とすることなく、多品種の板状物に対応することができる。
また、板状物の搬送姿勢を、曲面山形姿勢、または平面傾斜姿勢となるように設定することにより、板状物の大型化に伴う設置スペースの増大を抑制することが可能となる。
また、板状物の搬送姿勢を、平面水平姿勢となるように設定することにより、板状物の精度の高い搬送面を確保することができる。
さらに、板状物の搬送姿勢を、平面傾斜姿勢となるように設定することにより、板状物のクリーンな搬送を実現することができる。
そして、これらの結果、設備投資費用の低減化を図ることが可能となり、例えば、FPD用ガラス基板からなる板状物を備えるFPDの製品コストを引き下げることができる。
As described above, in the plate-like object conveying method and the plate-like object conveying device in the present embodiment, the positions of the support portions at both ends in the width direction of the plate-like object are the positions of the support portions at the center portion in the width direction. On the other hand, since the configuration can be changed in the vertical direction and the width direction, it is possible to deal with various types of plate-like objects without requiring a complicated mechanism.
In addition, by setting the conveying posture of the plate-like object to be a curved chevron posture or a plane inclined posture, it is possible to suppress an increase in installation space accompanying an increase in the size of the plate-like object.
Further, by setting the conveying posture of the plate-like object to be a horizontal horizontal posture, it is possible to ensure a highly accurate conveying surface of the plate-like object.
Furthermore, by setting the conveying posture of the plate-like object to be a plane inclined posture, it is possible to realize a clean conveyance of the plate-like object.
As a result, it is possible to reduce the capital investment cost. For example, it is possible to reduce the product cost of an FPD including a plate-like object made of an FPD glass substrate.
[板状物搬送装置1]
次に、板状物搬送装置1の構成について、図1乃至図5を用いて説明する。
なお、以下の説明に関しては便宜上、図2、図3、図4の上下方向を板状物搬送装置1の上下方向と規定して記述する。
また、図1および図5においては、矢印Aの方向を板状物Wの搬送方向と規定して記述する。
[Plate-like material transport device 1]
Next, the structure of the plate-shaped
In the following description, for convenience, the vertical direction in FIGS. 2, 3, and 4 is described as the vertical direction of the plate-like
In FIGS. 1 and 5, the direction of arrow A is defined as the conveying direction of the plate-like object W.
本実施形態における板状物搬送装置1は、図1に示すように、薄肉な枚葉状の板状物Wを、平面方向(矢印Aの方向)に搬送するための装置である。
なお、後述するように、板状物搬送装置1による板状物Wの搬送姿勢については、平面水平姿勢(図2(a)を参照)に限定されるものではなく、例えば、曲面山形姿勢(図2(b)を参照)や平面傾斜姿勢(図2(c)を参照)など、様々な搬送姿勢に変形することが可能である。
As shown in FIG. 1, the plate-like
As will be described later, the conveying posture of the plate-like object W by the plate-like
板状物搬送装置1は、主に、複数のメイン搬送コンベア10・10・・・、サブ搬送コンベア20・20・・・、および角度変更機構部30・30・・・などにより構成される。
メイン搬送コンベア10は、板状物Wの下面において、幅方向(搬送方向(矢印Aの方向)との平面視直交方向)の中央部を支持しつつ、板状物Wを搬送方向に牽引(搬送)するための第一の搬送手段として備えられるものである。
The plate-like
The
メイン搬送コンベア10は、駆動プーリー11、従動プーリー12、および第一コンベアベルト13などにより構成される。
駆動プーリー11および従動プーリー12は、軸心方向を水平方向としつつ、互いに搬送方向に対向して軸支される。また、これらの駆動プーリー11および従動プーリー12間には、無端状の第一コンベアベルト13が巻回される。
The
The driving
そして、図示せぬ駆動装置(例えば、既知のモータローラ等)によって、駆動プーリー11が、軸心を中心にして回転駆動されることにより、第一コンベアベルト13は、駆動プーリー11および従動プーリー12間にて回転される。
この際、第一コンベアベルト13の回転方向としては、通常、第一コンベアベルト13の上面13a(外周面の上側領域)が、搬送方向に向かって移動する方向に設定されている。
Then, the
At this time, the rotation direction of the
このような構成からなる複数のメイン搬送コンベア10・10・・・は、搬送方向に沿って一直線状に配置される。
そして、これらのメイン搬送コンベア10・10・・・の第一コンベアベルト13・13・・・は、互いに連動して駆動され、これにより、板状物Wが、下面の幅方向の中央部を牽引されながら、搬送方向に搬送される。
The plurality of
And the
次に、サブ搬送コンベア20について説明する。
サブ搬送コンベア20は、板状物Wの下面において、幅方向の両端部を支持しつつ、板状物Wを搬送方向に牽引(搬送)するための第二の搬送手段として備えられるものである。
Next, the
The
サブ搬送コンベア20は、駆動プーリー21、従動プーリー22、第二コンベアベルト23、および駆動ボックス24などにより構成される。
駆動プーリー21および従動プーリー22は、軸心方向が互いに並行となるように配置されるとともに、互いに搬送方向に対向して軸支される。また、これらの駆動プーリー21および従動プーリー22間には、無端状の第二コンベアベルト23が巻回される。
The
The driving
一方、駆動プーリー21および従動プーリー22における、幅方向の一方側(例えば、本実施形態においては、メイン搬送コンベア10側)には、駆動ボックス24が配設される。
駆動ボックス24の内部には、図示せぬ駆動機構部が内装されており、該駆動機構部は、少なくとも駆動プーリー21に対して、駆動力を伝達可能に連結されている。
On the other hand, a
A drive mechanism (not shown) is housed inside the
そして、前記駆動機構部(図示せず)によって、駆動プーリー21は、軸心を中心にして回転される。これにより、第二コンベアベルト23は、駆動プーリー21および従動プーリー22間にて回転される。
この際、第二コンベアベルト23の回転方向としては、通常、第二コンベアベルト23の上面23a(外周面の上側領域)が、搬送方向に向かって移動する方向に設定されている。
The
At this time, the rotation direction of the
このような構成からなる複数のサブ搬送コンベア20・20・・・は、複数のメイン搬送コンベア10・10・・・の幅方向の両側において、それぞれ、搬送方向に沿って一直線状に配置される。
この際、例えば本実施形態において、各メイン搬送コンベア10を間に挟んで隣り合う一対のサブ搬送コンベア20・20は、互いに幅方向に対向して配設される。
また、少なくとも、これら一対のサブ搬送コンベア20・20は、後述する角度変更機構部30によって、メイン搬送コンベア10に対する相対的な配置位置、および第二コンベアベルト23・23の上面23a・23aの傾斜角度を、任意に変更可能に各々連結される。
換言すると、一対のサブ搬送コンベア(第二の搬送手段)20・20は、例えば、板状物Wの幅方向の右端部(一方端)を支持しながら搬送する右側のサブ搬送コンベア(第一端支持搬送手段)20と、板状物Wの幅方向の左端部(他端部)を支持しながら搬送する左側のサブ搬送コンベア(第二端支持搬送手段)20と、から構成され、後述する角度変更機構部(位置変更機構)30によって、右側のサブ搬送コンベア(第一端支持搬送手段)20の位置、および左側のサブ搬送コンベア(第二端支持搬送手段)20の位置の各々を、メイン搬送コンベア(第一の搬送手段)10に対して、少なくとも上下方向に独立して変更可能な構成となっている。
The plurality of
At this time, for example, in the present embodiment, the pair of
In addition, at least the pair of
In other words, the pair of sub-transport conveyors (second transport means) 20 and 20 are, for example, the right-side sub-transport conveyor (first transport) that supports the right end portion (one end) in the width direction of the plate-like object W. End support transport means) 20 and a left sub-transport conveyor (second end support transport means) 20 that transports while supporting the left end portion (the other end portion) in the width direction of the plate-like object W, which will be described later. The angle change mechanism section (position change mechanism) 30 is configured to change the position of the right sub-transport conveyor (first end support transport means) 20 and the position of the left sub-transport conveyor (second end support transport means) 20 respectively. The main transfer conveyor (first transfer means) 10 can be changed independently at least in the vertical direction.
そして、これらのサブ搬送コンベア20・20・・・の第二コンベアベルト23・23・・・は、互いに連動して回転され、これにより、板状物Wが、下面の幅方向の両端部を牽引されながら、搬送方向に搬送される。
Then, the
次に、角度変更機構部30について説明する。
角度変更機構部30は、メイン搬送コンベア10に対する相対的なサブ搬送コンベア20の配置位置を、少なくとも上下方向(幅方向に対する正面視直交方向)に変更可能とする位置変更機構として備えられるものである。
なお、本実施形態における角度変更機構部30は、メイン搬送コンベア10に対する相対的なサブ搬送コンベア20の配置位置を、さらに幅方向に任意に変更可能とするとともに、第二コンベアベルト23の上面23aの傾斜角度を任意に変更可能とする。
Next, the angle changing
The angle changing
Note that the
ここで、前述したように、複数のサブ搬送コンベア20・20・・・は、搬送方向に沿って細分化されるとともに一直線状に配置されており、板状物Wにおける幅方向の両端部の支持部が、搬送方向に沿って各々細分化されることとなる。
このような構成によれば、ある所定位置に配置されるサブ搬送コンベア20において、板状物Wの姿勢を変更して搬出した後でも、後続する板状物Wを受入れるために速やかに姿勢変更前の状態に戻すことができるため、別途複雑な機構を設けることもなく、経済的である。
Here, as described above, the plurality of
According to such a configuration, in the
そして、角度変更機構部30によって、メイン搬送コンベア10に対する相対的なサブ搬送コンベア20の配置位置を、搬送方向に沿って徐々に大きく変化させる。例えば、板状物Wの搬送姿勢を平面水平姿勢から上方へ凸の曲面山形姿勢に変更する際には、各サブ搬送コンベア20のメイン搬送コンベア10に対する上下位置を、(メイン搬送コンベア10と同じ高さ位置から)搬送方向下流側へ向かうに従って、徐々に下方へと大きく変化させていく。
これにより、本実施形態においては、板状物Wの搬送状態を停止させることなく、板状物Wの搬送姿勢を所定の形状に変形させることができる。
Then, the arrangement position of the
Thereby, in this embodiment, the conveyance attitude | position of the plate-shaped object W can be changed into a defined shape, without stopping the conveyance state of the plate-shaped object W.
角度変更機構部30は、例えば、メイン搬送コンベア10と同軸上に延設されるメインシャフト31、およびメインシャフト31と直交して配置される複数(例えば、本実施形態においては四本)の連結シャフト32・32・・・などにより構成される。
The angle changing
各連結シャフト32は、一端部において、各サブ搬送コンベア20の駆動ボックス24に摺動移動可能に緩挿されるとともに、他端部において、メインシャフト31と回動可能に連結されている。
これにより、板状物Wの幅方向の左右両側に位置する、一対のサブ搬送コンベア(第二の搬送手段)20・20において、右側のサブ搬送コンベア(第一端支持搬送手段)20および左側のサブ搬送コンベア(第二端支持搬送手段)20の各々が、メイン搬送コンベア(第一の搬送手段)10を中心として、独立して回動可能な構成となっている。
Each connecting
As a result, in the pair of sub-transport conveyors (second transport means) 20 and 20 located on the left and right sides in the width direction of the plate-like object W, the right sub-transport conveyor (first end support transport means) 20 and the left side Each of the sub-transport conveyors (second end support transport means) 20 is configured to be independently rotatable around the main transport conveyor (first transport means) 10.
そして、図3に示すように、メインシャフト31を中心にして回動される連結シャフト32に沿って摺動移動することにより、メイン搬送コンベア10に対する相対的な、各サブ搬送コンベア20の配置位置は、上下方向および幅方向に任意に変更されるとともに、第二コンベアベルト23の上面23aの傾斜角度も任意に変更される。
Then, as shown in FIG. 3, the arrangement positions of the
なお、本実施形態における角度変更機構部30の構成は一例であって、これに限定されるものではなく、メイン搬送コンベア10に対する相対的な、各サブ搬送コンベア20の配置位置、および第二コンベアベルト23の上面23aの傾斜角度を、任意に変更可能な構成であれば、何れのようなものであってもよい。
In addition, the structure of the angle
以上のような構成からなる板状物搬送装置1において、メイン搬送コンベア10に対する相対的な、サブ搬送コンベア20の配置位置および傾斜角度が、角度変更機構部30によって任意に変更されることにより、板状物Wの搬送姿勢が、平面水平姿勢、曲面山形姿勢、または平面傾斜姿勢などに変形される。
In the plate-shaped
具体的には、図2(a)に示すように、例えば、板状物Wの搬送姿勢を平面水平姿勢によって支持する場合においては、角度変更機構部30によって、メイン搬送コンベア10に対する相対的な、各サブ搬送コンベア20の配置位置として、第二コンベアベルト23の上面23aが第一コンベアベルト13の上面13aと同程度となる位置に上下方向の位置をセットし、且つ、第二コンベアベルト23の上面23aの後述する起立面部23bが板状物Wの幅方向の端部と近接する位置に幅方向の位置をセットする。
また、これに伴い、角度変更機構部30によって、サブ搬送コンベア20の第二コンベアベルト23の上面23aの傾斜角度として、仮想水平面に対して略0°の傾斜角度を成すように(即ち、水平状態となるように)セットする。
これにより、第一コンベアベルト13の上面13aと、第一コンベアベルト13の幅方向の両側に位置する一対の第二コンベアベルト23・23の上面23a・23aと、に対して同時に接する搬送面Sが水平状態となることから、板状物搬送装置1による板状物Wの搬送姿勢は平面水平姿勢となる。
Specifically, as shown in FIG. 2A, for example, in the case where the conveying posture of the plate-like object W is supported by a horizontal horizontal posture, the angle changing
Accordingly, the
Thereby, the conveyance surface S which touches simultaneously the
なお、平面水平姿勢の板状物Wにおいて、幅方向の端部に自重による僅かな撓みが生じる場合、各第二コンベアベルト23の上面23aの傾斜角度を、予め、前記撓みの曲線に即して配置することとしてもよい。
また、板状物Wの幅方向の寸法が広く、第一コンベアベルト13と第二コンベアベルト23との間に、自重による撓みを生じる場合、例えば、支持ベルトや支持ローラー等からなる撓み防止手段40を配設することとしてもよい。
Note that, in the plate-like object W in the horizontal horizontal posture, when slight bending occurs due to its own weight at the end in the width direction, the inclination angle of the
Further, when the plate-like object W has a large width-wise dimension and causes bending due to its own weight between the
一方、図2(b)に示すように、例えば、板状物Wの搬送姿勢を曲面山形姿勢によって支持する場合においては、角度変更機構部30によって、メイン搬送コンベア10に対する相対的な、各サブ搬送コンベア20の配置位置として、第二コンベアベルト23の上面23aが第一コンベアベルト13の上面13aの下方となる位置に上下方向の位置をセットし、且つ、第二コンベアベルト23の起立面部23bが板状物Wの幅方向の端部と近接する位置に幅方向の位置をセットする。
また、これに伴い、角度変更機構部30によって、サブ搬送コンベア20の第二コンベアベルト23の上面23aの傾斜角度として、板状物Wの幅方向の端部における撓みの曲線に略即した状態となるようにセットする。
これにより、第一コンベアベルト13の上面13aと、第一コンベアベルト13の幅方向の両側に位置する一対の第二コンベアベルト23・23の上面23a・23aと、に対して同時に接する搬送面Sが、搬送方向から見て上方に凸の放物線形状となることから、板状物搬送装置1による板状物Wの搬送姿勢は曲面山形姿勢となる。
On the other hand, as shown in FIG. 2B, for example, when the conveying posture of the plate-like object W is supported by the curved chevron posture, each angle relative to the
Accordingly, the
Thereby, the conveyance surface S which touches simultaneously the
さらに、図2(c)に示すように、例えば、板状物Wの搬送姿勢を平面傾斜姿勢によって支持する場合においては、角度変更機構部30によって、メイン搬送コンベア10に対する相対的な、一対のサブ搬送コンベア20・20の配置位置として、一方および他方の第二コンベアベルト23・23の上面23a・23aが、それぞれ第一コンベアベルト13の上面13aの上方および下方となる位置に上下方向の位置をセットし、且つ、一対の第二コンベアベルト23・23の上面23a・23aの起立面部23b・23bが板状物Wの幅方向の端部と近接する位置に幅方向の位置をセットする。
また、これに伴い、角度変更機構部30によって、一対のサブ搬送コンベア20・20の第二コンベアベルト23・23の上面23a・23aの傾斜角度として、互いに同程度の傾斜角度を成すようにセットする。
これにより、第一コンベアベルト13の上面13aと、第一コンベアベルト13の幅方向の両側に位置する一対の第二コンベアベルト23・23の上面23a・23aと、に対して同時に接する搬送面Sが、平面状態且つ搬送方向から見て一方に傾斜した状態(本実施形態においては、搬送方向左側が上方に傾斜した状態)となることから、板状物搬送装置1による板状物Wの搬送姿勢は平面傾斜姿勢となる。
Furthermore, as shown in FIG. 2C, for example, when the conveyance posture of the plate-like object W is supported by a plane inclined posture, the angle changing
Accordingly, the
Thereby, the conveyance surface S which touches simultaneously the
なお、前述した、板状物Wの搬送姿勢を平面水平姿勢とする場合と同様に、板状物Wの幅方向の寸法が広く、第一コンベアベルト13と第二コンベアベルト23との間に、自重による撓みを生じる場合、例えば、支持ベルトや支持ローラー等からなる撓み防止手段40を配設することとしてもよい。
Note that, similarly to the case where the conveying posture of the plate-like object W is set to the flat horizontal posture as described above, the dimension in the width direction of the plate-like object W is wide, and the gap between the
ところで、板状物Wの搬送姿勢が、曲面山形姿勢や平面傾斜姿勢となる場合、または、板状物Wの幅方向の両端部が自重によって下方に大きく撓む場合、板状物Wの幅方向の中央部は、湾曲または幅方向の一方側に傾斜することとなる。
ここで、第一コンベアベルト13の外周面(上面13a)、即ち、板状物Wの幅方向の中央部を支持する際の当接面は、板状物Wの搬送方向から視て断面視円弧状に形成されることから、たとえ、前記幅方向の中央部が、湾曲または幅方向の一方側に傾斜することとなっても、板状物Wとの十分な接触面積を容易に確保可能であり、板状物Wの搬送姿勢を、より堅固に安定させることができる。
By the way, when the conveyance posture of the plate-like object W becomes a curved surface-mountain posture or a plane-inclined posture, or when both end portions in the width direction of the plate-like object W are largely bent downward by its own weight, the width of the plate-like object W The central part of the direction is inclined to one side in the curved or width direction.
Here, the outer peripheral surface (
なお、自重による撓みが幅方向の両側に発生している板状物Wにおいては、このままの搬送姿勢で搬送されることにより、搬送途中の揺れの影響によって撓み量が変化したり、幅方向の両端部に発生した内部応力が変化したり、搬送途中に外力が加わり割れや欠け等の不良が両端部に発生したりする可能性がある。
この点、本実施形態における板状物搬送装置1においては、板状物Wの幅方向の両端部を、一対の第二コンベアベルト23・23によって、下方より支持することにより、このような不具合の防止を図る構成となっている。
In addition, in the plate-like object W in which the bending due to its own weight occurs on both sides in the width direction, the amount of bending changes due to the influence of the shaking in the middle of the conveyance, or the width in the width direction changes. There is a possibility that the internal stress generated at both ends changes, or an external force is applied in the middle of conveyance and defects such as cracks and chips occur at both ends.
In this regard, in the plate-like
曲面山形姿勢によって板状物Wを搬送する際において、板状物Wの幅方向の両側に発生する、自重による撓み量が大きい場合、前記幅方向の両端部の支持部の位置を、自重によって下方に撓んだ際の、板状物Wの幅方向の両端部の位置に対して相対的に、僅かに上方に位置させて、板状物Wの幅方向の両端部を、上方に持ち上げるようにして支持することとしている。
具体的には、図3に示すように、例えば、自重による撓みによって山形形状となった板状物W(図3中の二点鎖線によって描かれた、第一板状物Wa)において、その撓み角度(搬送方向から見て、板状物Wの下面が成す角度)θx1が、より大きな撓み角度θy1となるように(θx1<θy1)、板状物Wの幅方向の両端部が、サブ搬送コンベア20・20の第二コンベアベルト23・23によって、やや上方に持ち上げられる。
これにより、第一コンベアベルト13および第二コンベアベルト23によって支持された板状物Wの搬送姿勢を、より堅固に安定させることができ、搬送途中における板状物Wの揺れの防止が図られ、撓み量が変化したり、幅方向の両端部に発生した内部応力が変化したり、搬送途中に外力が加わり割れや欠け等の不良が両端部に発生したりするのを防止することができる。
When the plate-like object W is conveyed by the curved chevron posture, when the amount of deflection caused by its own weight generated on both sides in the width direction of the plate-like object W is large, the positions of the support portions at both ends in the width direction are determined by its own weight. The both ends in the width direction of the plate-like object W are lifted upward by being slightly positioned relative to the positions of the both ends in the width direction of the plate-like article W when bent downward. I am going to support it.
Specifically, as shown in FIG. 3, for example, in a plate-like object W (first plate-like object Wa drawn by a two-dot chain line in FIG. 3) that has a mountain shape due to bending due to its own weight, The bending angle (angle formed by the lower surface of the plate-like object W when viewed from the conveyance direction) θx1 becomes a larger bending angle θy1 (θx1 <θy1), and both ends in the width direction of the plate-like object W are sub The
Thereby, the conveyance attitude | position of the plate-shaped object W supported by the
ここで、第二コンベアベルト23の外周面(上面23a)は、断面視L字形状に形成される。つまり、第二コンベアベルト23の外側端部(第二コンベアベルト23の幅方向におけるメイン搬送コンベア10側とは反対側の端部)に沿って、起立面部23bが形成されている。
このように、板状物Wの幅方向の両端部を支持する、第二コンベアベルト23の上面23a(板状物Wの当接面)には、前記両端部の端面と当接可能な起立面部23bが形成される。
これにより、例えば、不意な外力を受けて、板状物Wが幅方向にズレを生じたとしても、起立面部23bに当接され、板状物Wが落下するのを防止することができる。
Here, the outer peripheral surface (
As described above, the
Thereby, for example, even if the plate-like object W is displaced in the width direction due to an unexpected external force, the plate-like object W can be prevented from falling due to being brought into contact with the rising
一方、曲面山形姿勢によって板状物Wを搬送する際において、板状物Wの幅方向の両側に発生する、自重による撓み量が小さい場合、各サブ搬送コンベア20に備えられる第二コンベアベルト23が、第三コンベアベルト25に代替されるとともに、前記幅方向の両端部の支持部の位置を、自重によって下方に撓んだ際の、板状物Wの幅方向の両端部の位置に対して相対的に、僅かに下方に位置させて、板状物Wの幅方向の両端部を、下方に押さえ込むようにして支持することとしている。
具体的には、図4に示すように、例えば、自重による撓みによって山形形状となった板状物W(図4中の二点鎖線によって描かれた、第二板状物Wb)において、その撓み角度(搬送方向から見て、板状物Wの下面が成す角度)θx2が、より小さな撓み角度θy2となるように(θx2>θy2)、板状物Wの幅方向の両端部が、サブ搬送コンベア20・20の第三コンベアベルト25・25によって、やや下方に押し下げられる。
これにより、第一コンベアベルト13および第三コンベアベルト25によって支持された板状物Wの搬送姿勢を、より堅固に安定させることができ、搬送途中における板状物Wの揺れの防止が図られ、撓み量が変化したり、幅方向の両端部に発生した内部応力が変化したり、搬送途中に外力が加わり割れや欠け等の不良が両端部に発生したりするのを防止することができる。
On the other hand, when the plate-like object W is conveyed by the curved chevron posture, the
Specifically, as shown in FIG. 4, for example, in a plate-like object W (second plate-like object Wb drawn by a two-dot chain line in FIG. 4) that has a mountain shape due to deflection due to its own weight, The bending angle (angle formed by the lower surface of the plate-like object W when viewed from the conveying direction) θx2 becomes a smaller bending angle θy2 (θx2> θy2), so that both ends in the width direction of the plate-like object W are sub The
Thereby, the conveyance attitude | position of the plate-shaped object W supported by the
ここで、第三コンベアベルト25の外周面は、断面視コ字形状に形成され、メイン搬送コンベア10側に向かって溝部25bが開口するように、第三コンベアベルト25は配設される。
Here, the outer peripheral surface of the
そして、第三コンベアベルト25は、溝部25bを介して、板状物Wの幅方向の端部を挟み込むようにして嵌挿するとともに、角度変更機構部30によるサブ搬送コンベア20の配置位置の変更にともなって、板状物Wの幅方向の端部の上面を、溝部25bの内周面に当接させて下方に押し下げる。なお、上記断面視コ字形状の溝部25bは、第三コンベアベルト25の外周面に沿って、部分的に(断続的に)構成されていてもよい。
これにより、前述したように、板状物Wの支持状態をより堅固に安定させることができるとともに、例えば、不意な外力を受けて、板状物Wが幅方向にズレを生じたとしても、溝部25bの奥部に当接され、板状物Wが落下するのを防止することができる。
なお、板状物Wを板状物搬送装置1に搬入出する際は、第三コンベアベルト25を退避させて第一コンベアベルト13のみによって板状物Wを搬送する。
The
Thereby, as described above, while the support state of the plate-like object W can be more firmly stabilized, for example, even if the plate-like object W is displaced in the width direction due to an unexpected external force, It can contact | abut to the inner part of the
When the plate-like object W is carried into and out of the plate-like
なお、第三コンベアベルト25の溝部25bの内周面において、例えば、下面25aと対向する上面25cを、メイン搬送コンベア10側に向かって、徐々に下面25aと離間する側に傾斜させて設けることにより、溝部25bへの板状物Wの幅方向の端部の挿脱作業を、スムーズに行うことができる。
In addition, on the inner peripheral surface of the
また、上面25cは、下面25aとは別体的に構成され、コ字形状が第三コンベアベルト25の端部において板状物Wの搬送方向に開口する構成としてもよい。
このような構成によれば、第三コンベアベルト25を退避させることなく、板状物Wを板状物搬送装置1に搬入出できる。
Further, the
According to such a configuration, the plate-like object W can be carried into and out of the plate-like
なお、上記実施形態では、第三コンベアベルト25の外周面のコ字形状部に板状物Wの端部が緩挿されて搬送される場合を例示したが、前記板状物Wの端部を複数のローラーやコンベアベルトで挟持する構成としてもよい。
また、前記板状物Wの端部にローラーやコンベアベルトを上方からのみ当接させる構成としてもよい。
In the above embodiment, the case where the end of the plate-like object W is gently inserted into the U-shaped part of the outer peripheral surface of the
Moreover, it is good also as a structure which makes a roller and a conveyor belt contact | abut only to the edge part of the said plate-shaped object W from upper direction.
以上のような、本実施形態における板状物搬送装置1を用いた、板状物Wの生産装置の一例として、例えば、図5(a)(b)に示すような、生産装置100を構築することができる。
As an example of the production apparatus for the plate-like object W using the plate-like
即ち、生産装置100は、例えば、搬送方向(図5中における矢印Aの方向)の上流側から下流側に向かって順に配置される、スクライブ工程101、第一搬送姿勢変形工程102、第二搬送姿勢変形工程103、および端面加工工程104によって構成される。
That is, the
スクライブ工程101は、板状物Wを所定の外形寸法に切断するための工程である。
スクライブ工程101においては、平面精度を保障しつつ、所定の箇所に位置決め固定された板状物Wに対して、ダイヤモンドカッター装置101A等によるスクライブ加工、またはレーザースクライブ加工などが施される。
The
In the
第一搬送姿勢変形工程102は、スクライブ工程101の直後に設けられ、スクライブ工程101より搬出された板状物Wの搬送姿勢を変形するための工程である。
第一搬送姿勢変形工程102においては、専用の形状変形装置102Aが備えられ、板状物Wの搬送姿勢は、形状変形装置102Aによって、平面水平姿勢から曲面山形姿勢に変形される。
The first transport
In the first transport
第二搬送姿勢変形工程103は、端面加工工程104の直前に設けられ、第一搬送姿勢変形工程102より搬送されてきた板状物Wの搬送姿勢を変形するための工程である。
ここで、第一搬送姿勢変形工程102と第二搬送姿勢変形工程103との間には、本実施形態の板状物搬送方法を具現化する板状物搬送装置1が備えられ、板状物Wは、曲面山形姿勢の状態で、板状物搬送装置1によって搬送される。
そして、第二搬送姿勢変形工程103においては、専用の形状変形装置103Aが備えられ、板状物Wの搬送姿勢は、形状変形装置103Aによって、曲面山形姿勢から平面水平姿勢に、再び変形される。
The second transport
Here, between the 1st conveyance attitude | position deformation |
In the second transport
端面加工工程104は、板状物Wの側端部の仕上げ加工を施すための工程である。
端面加工工程104においては、第二搬送姿勢変形工程103より搬入された板状物Wが、図示せぬ加工定盤上にて、平面精度を保障しつつ、所定の箇所に位置決め固定され、グラインダー装置104A等によって端面加工が施される。
The end
In the end
このように、本実施形態における板状物搬送装置1は、これらのスクライブ工程101および端面加工工程104の工程間において、板状物Wを搬送する手段として最適に用いることができる。
そして、本実施形態における板状物搬送装置1と、スクライブ工程101や端面加工工程104に用いられる加工装置や図示せぬ洗浄装置や検査装置の少なくとも何れかとによって、最適な板状物Wの生産装置を構築することができる。
As described above, the plate-like
Then, the optimum plate-like article W is produced by the plate-like
1 板状物搬送装置
10 メイン搬送コンベア(第一の搬送手段)
13a 上面
20 サブ搬送コンベア(第二の搬送手段)(第一端支持搬送手段)(第二端支持搬送手段)
23a 上面
23b 起立面部
25b 溝部
30 角度変更機構部(位置変更機構)
100 生産装置。
W 板状物
DESCRIPTION OF
13a
100 production equipment.
W Plate
Claims (9)
前記板状物を幅方向の中央部および両端部において、搬送方向に沿って支持しつつ搬送し、
搬送経路上の前記板状物の位置に応じて、前記板状物の前記幅方向における両端部の支持位置を、前記幅方向における中央部の支持位置に対して相対的に上下方向に変更する、
ことを特徴とする板状物搬送方法。 A plate-like material conveying method for conveying a plate-like material having flexibility in a plane direction,
In the central part and both ends of the width direction, the plate-like object is conveyed while being supported along the conveying direction,
In accordance with the position of the plate-like object on the transport path, the support positions at both ends in the width direction of the plate-like object are changed in the vertical direction relative to the support position of the center part in the width direction. ,
A plate-like object conveying method characterized by the above.
前記板状物の幅方向における中央部を支持しながら、前記板状物を所定の搬送方向に搬送する第一の搬送手段と、
前記板状物の幅方向における両端部を支持しながら、前記板状物を前記搬送方向に搬送する第二の搬送手段と、
前記第二の搬送手段の位置を、前記第一の搬送手段の位置に対して相対的に、少なくとも上下方向に変更可能とする位置変更機構と、
を備える、
ことを特徴とする板状物搬送装置。 A plate-like material conveying device for conveying a plate-like material having flexibility in a plane direction,
A first conveying means for conveying the plate-like object in a predetermined conveying direction while supporting a central portion in the width direction of the plate-like object;
A second conveying means for conveying the plate-like object in the conveying direction while supporting both ends in the width direction of the plate-like object;
A position changing mechanism capable of changing the position of the second conveying means at least in the vertical direction relative to the position of the first conveying means;
Comprising
A plate-like object transporting device.
前記板状物の幅方向の一端部を支持しながら搬送する第一端支持搬送手段と、
前記板状物の幅方向の他端部を支持しながら搬送する第二端支持搬送手段と、
を備え、
前記位置変更機構は、前記第一端支持搬送手段の位置および第二端支持搬送手段の位置の各々を前記第一の搬送手段に対して、少なくとも上下方向に独立して変更可能とする、
ことを特徴とする、請求項2に記載の板状物搬送装置。 The second conveying means is
A first end supporting and conveying means for conveying while supporting one end of the plate-like material in the width direction;
A second end support transporting means for transporting while supporting the other end of the plate-like material in the width direction;
With
The position changing mechanism can change the position of the first end supporting and conveying means and the position of the second end supporting and conveying means independently of at least the vertical direction with respect to the first conveying means.
The plate-shaped article conveyance device according to claim 2, wherein
前記第一端支持搬送手段および第二端支持搬送手段の各々を、前記第一の搬送手段を中心として、独立して回動可能とする、
ことを特徴とする、請求項2または請求項3に記載の板状物搬送装置。 The position changing mechanism is
Each of the first end supporting and conveying means and the second end supporting and conveying means can be independently rotated around the first conveying means.
The plate-shaped article conveyance device according to claim 2 or claim 3, characterized by things.
前記板状物の前記搬送方向から視て断面視円弧状に形成される、
ことを特徴とする、請求項2〜請求項4の何れか一項に記載の板状物搬送装置。 The first conveying means is
The plate-like object is formed in an arc shape in a cross-sectional view when viewed from the transport direction.
The plate-shaped article conveyance device according to any one of claims 2 to 4, wherein
前記板状物の前記幅方向の端面と当接可能な起立面部を備える、
ことを特徴とする、請求項2〜請求項5の何れか一項に記載の板状物搬送装置。 The second conveying means is
An upright surface portion capable of coming into contact with the end surface in the width direction of the plate-like object;
The plate-shaped article conveyance device according to any one of claims 2 to 5, wherein
前記板状物の幅方向の端部を嵌挿可能な溝部を備える、
ことを特徴とする、請求項2〜請求項6の何れか一項に記載の板状物搬送装置。 The second conveying means is
A groove portion into which an end portion in the width direction of the plate-like object can be inserted;
The plate-shaped article conveyance device according to any one of claims 2 to 6, wherein
前記搬送方向に沿って複数配列され、
各々の位置が少なくとも上下方向に独立して変更可能に構成されている、
ことを特徴とする、請求項2〜請求項7の何れか一項に記載の板状物搬送装置。 The second conveying means is
A plurality are arranged along the transport direction,
Each position is configured to be independently changeable at least vertically.
The plate-shaped article conveyance device according to any one of claims 2 to 7, wherein
前記板状物の加工装置、洗浄装置、および検査装置の少なくとも何れかと、
を備える、
ことを特徴とする板状物の生産装置。
The plate-like object conveying device according to any one of claims 2 to 8,
At least one of the plate-like material processing device, the cleaning device, and the inspection device,
Comprising
An apparatus for producing a plate-like product.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014056797A JP2015178407A (en) | 2014-03-19 | 2014-03-19 | Plate transporting method, plate transporting device and producing device for plate comprising plate transporting device |
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JP2014056797A JP2015178407A (en) | 2014-03-19 | 2014-03-19 | Plate transporting method, plate transporting device and producing device for plate comprising plate transporting device |
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JP2015178407A true JP2015178407A (en) | 2015-10-08 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR20200041160A (en) * | 2018-10-11 | 2020-04-21 | 주식회사 쿠온솔루션 | Transfer apparatus and method in wafer delamination system |
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2014
- 2014-03-19 JP JP2014056797A patent/JP2015178407A/en active Pending
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