KR102458915B1 - Glass substrate transfer system including glass substrate transfer devices to prevent damage that occurs during transfer of glass substrate - Google Patents
Glass substrate transfer system including glass substrate transfer devices to prevent damage that occurs during transfer of glass substrate Download PDFInfo
- Publication number
- KR102458915B1 KR102458915B1 KR1020220060244A KR20220060244A KR102458915B1 KR 102458915 B1 KR102458915 B1 KR 102458915B1 KR 1020220060244 A KR1020220060244 A KR 1020220060244A KR 20220060244 A KR20220060244 A KR 20220060244A KR 102458915 B1 KR102458915 B1 KR 102458915B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- glass substrate
- angle
- transfer
- transfer devices
- support
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G51/00—Conveying articles through pipes or tubes by fluid flow or pressure; Conveying articles over a flat surface, e.g. the base of a trough, by jets located in the surface
- B65G51/02—Directly conveying the articles, e.g. slips, sheets, stockings, containers or workpieces, by flowing gases
- B65G51/03—Directly conveying the articles, e.g. slips, sheets, stockings, containers or workpieces, by flowing gases over a flat surface or in troughs
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
- B65G2201/02—Articles
- B65G2201/0214—Articles of special size, shape or weigh
- B65G2201/022—Flat
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
본 발명의 실시예들은 글라스 기판의 이송 시 발생되는 손상, 즉, 표면 긁힘(scratch) 및/또는 파손(breakage)을 방지할 수 있는 복수의 글라스 기판 이송 장치를 포함하는 글라스 기판 이송 시스템에 관한 것이다. Embodiments of the present invention relate to a glass substrate transport system including a plurality of glass substrate transport devices capable of preventing damage occurring during transport of the glass substrate, that is, surface scratches and/or breakage. .
일반적으로 PDP, LCD, OLED와 같은 평판 디스플레이들은 TV, 옥외 광고판 등 다양한 디바이스의 형태로 다양한 곳에서 접할 수 있다. 이러한 평판 디스플레이들은 글라스 기판 위에 전자 회로 패턴을 형성함으로써 구현된다.In general, flat panel displays such as PDPs, LCDs, and OLEDs can be found in various places in the form of various devices such as TVs and outdoor billboards. These flat panel displays are implemented by forming an electronic circuit pattern on a glass substrate.
글라스 기판의 제조 과정은 세척 과정 및 기판 검사 과정을 포함한다. 일반적으로 글라스 기판이 세척된 후 기판 감사가 수행된다. 이 때, 세척을 용이하게 수행하기 위해, 글라스 기판은 소정의 제1 각도, 일례로, 7°로 틸팅된다. 더불어, 기판 검사를 용이하게 수행하기 위해, 글라스 기판은 소정의 제2 각도, 일례로, 80°로 틸팅된다. The manufacturing process of the glass substrate includes a cleaning process and a substrate inspection process. In general, a substrate inspection is performed after the glass substrate is cleaned. At this time, in order to easily perform cleaning, the glass substrate is tilted at a predetermined first angle, for example, 7°. In addition, in order to easily perform the substrate inspection, the glass substrate is tilted at a predetermined second angle, for example, 80°.
따라서, 글라스 기판의 제조 시, 7°로 틸팅된 글라스 기판이 80°로 틸팅되어 이송되어야 한다. 이를 위해, 복수의 글라스 기판 이송 장치가 사용된다. Accordingly, when manufacturing the glass substrate, the glass substrate tilted at 7° should be tilted at 80° and transferred. For this, a plurality of glass substrate transfer devices are used.
한편, 복수의 글라스 기판 이송 장치는 설치 상의 제약 등으로 인해 소정의 간격만큼 이격되어 배치된다. 이 때, 글라스 기판의 일측이 이송 장치 사이에 위치하는 경우, 글라스 기판의 자중으로 인해 글라스 기판의 일측이 하방으로 떨어져서 이송 장치의 표면과 부딪치는 상황이 발생할 수 있다. 이에 따라, 글라스 기판의 표면에 긁힘(scratch)이 발생하거나 글라스 기판의 모서리가 파손되는 문제점이 발생한다. On the other hand, the plurality of glass substrate transfer devices are arranged to be spaced apart by a predetermined interval due to restrictions on installation. At this time, when one side of the glass substrate is positioned between the transport devices, one side of the glass substrate falls downward due to the weight of the glass substrate and collides with the surface of the transport device may occur. Accordingly, there is a problem in that the surface of the glass substrate is scratched or the edge of the glass substrate is damaged.
본 발명의 목적은 글라스 기판의 이송 시 글라스 기판의 손상, 즉 글라스 기판의 표면 긁힘 및/또는 글라스 기판의 모서리 파손을 방지할 수 있는 글라스 기판 이송 장치를 제공하는 것이다. SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a glass substrate transport device capable of preventing damage to the glass substrate, that is, scratching the surface of the glass substrate and/or damage to the edge of the glass substrate during transport of the glass substrate.
본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있고, 본 발명의 실시예에 의해 보다 분명하게 이해될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 청구 범위에 나타낸 수단 및 그 조합에 의해 실현될 수 있음을 쉽게 알 수 있을 것이다.The objects of the present invention are not limited to the above-mentioned objects, and other objects and advantages of the present invention not mentioned may be understood by the following description, and will be more clearly understood by the examples of the present invention. It will also be readily apparent that the objects and advantages of the present invention may be realized by means of the instrumentalities and combinations thereof indicated in the claims.
본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 글라스 기판을 슬라이딩 이송시키는 이송 장치는, 상기 글라스 기판의 하면으로 제1 에어(air)를 배출하는 복수의 제1 에어 배출홀이 상면에 형성되고, 상기 글라스 기판을 지지하는 제1 지지부와, 상기 제1 지지부의 일측과 연결되고, 상기 글라스 기판을 지지하는 제2 지지부를 포함하되, 상기 제2 지지부의 상면 중 적어도 일부의 영역은 하향 경사지고, 상기 하향 경사진 적어도 일부의 영역에는 상기 글라스 기판의 하면으로 제2 에어를 배출하는 복수의 제2 에어 배출구가 형성된다. In the transport device for slidingly transporting a glass substrate according to an exemplary embodiment of the present invention, a plurality of first air exhaust holes for discharging first air to a lower surface of the glass substrate are formed in the upper surface, and the glass substrate a first support part for supporting the , and a second support part connected to one side of the first support part and supporting the glass substrate, wherein at least a portion of an upper surface of the second support part is inclined downward, and the downward slope A plurality of second air outlets for discharging second air to the lower surface of the glass substrate are formed in at least a portion of the photo area.
이 때, 상기 글라스 기판은 상기 제1 지지부에서 상기 제2 지지부로 향하는 제1 방향으로 슬라이딩 이송되고, 상기 제1 에어에 의해 상기 글라스 기판은 상기 제1 지지부의 상면과 접촉하지 않고, 상기 제2 지지부와 상기 제1 방향으로 미리 설정된 간격만큼 이격되어 다른 글라스 지지 장치가 배치되고, 상기 글라스 기판은 상기 이송 장치에서 상기 다른 글라스 지지 장치로 슬라이딩 이송되며, 상기 제2 에어에 의해 슬라이딩 이송되는 상기 글라스 기판의 표면 긁힘 및/또는 상기 글라스 기판의 모서리 파손이 방지된다. In this case, the glass substrate is slidably transferred from the first support part to the second support part, and the glass substrate does not come into contact with the upper surface of the first support part by the first air, and the second support part Another glass support device is disposed spaced apart from the support part by a predetermined distance in the first direction, the glass substrate is slidably transported from the transport device to the other glass support device, and the glass is slidably transported by the second air. A scratch on the surface of the substrate and/or damage to the edge of the glass substrate is prevented.
또한, 상기 제2 에어의 배출 압력은 상기 제1 에어의 배출 압력보다 높도록 설정된다.In addition, the discharge pressure of the second air is set to be higher than the discharge pressure of the first air.
또한, 상기 제2 에어의 배출 압력은, 상기 제2 지지부와 상기 다른 글라스 지지 장치의 이격 간격 및 상기 하향 경사진 적어도 일부의 영역의 각도 중 적어도 하나에 기초하여 설정된다. In addition, the discharge pressure of the second air is set based on at least one of a distance between the second support part and the other glass support device and an angle of the at least a portion of the downwardly inclined region.
또한, 상기 제1 지지부의 타측과 연결되고, 상기 글라스 기판을 지지하는 제3 지지부를 포함하되, 상기 제3 지지부의 상면 중 적어도 일부의 영역은 하향 경사지고, 상기 하향 경사진 적어도 일부의 영역에는 상기 글라스 기판의 하면으로 제3 에어를 배출하는 복수의 제3 에어 배출구가 형성된다. In addition, a third support portion connected to the other side of the first support portion and supporting the glass substrate, wherein at least a portion of an upper surface of the third support portion is inclined downward, and at least a portion of the portion inclined downward has A plurality of third air outlets for discharging third air are formed on a lower surface of the glass substrate.
또한, 상기 제1 지지부는 상기 제1 방향으로 연장 형성되는 복수의 지지 바를 포함하되, 상기 복수의 지지 바는 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 나란하게 배치되고, 상기 제2 지지부는 상기 복수의 지지 바의 일측과 연결된다. In addition, the first support part includes a plurality of support bars extending in the first direction, wherein the plurality of support bars are arranged in parallel in a second direction perpendicular to the first direction, and the second support part is the It is connected to one side of the plurality of support bars.
또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 글라스 기판을 슬라이딩 이송시키는 이송 장치는, 상기 글라스 기판을 지지하는 복수의 지지 바를 포함하되, 상기 지지 바의 양 측단 영역 중 적어도 하나는 하향 경사지고, 상기 지지 바의 양 측단 영역 제외한 상기 지지 바의 중측 영역에는 제1 에어를 배출하는 복수의 제1 에어 배출홀이 형성되고, 상기 지지 바의 양 측단 영역 중 적어도 하나에는 제2 에어를 배출하는 복수의 제2 에어 배출홀이 형성된다. In addition, the transport apparatus for slidingly transporting a glass substrate according to another embodiment of the present invention includes a plurality of support bars for supporting the glass substrate, wherein at least one of both side end regions of the support bar is inclined downward, and the support A plurality of first air discharge holes for discharging first air are formed in a middle region of the support bar except for both side end regions of the bar, and a plurality of second air discharge holes for discharging second air are formed in at least one of both side end regions of the support bar. 2 Air discharge holes are formed.
본 발명에 따르면, 글라스 기판의 이송 시 글라스 기판의 손상, 즉 글라스 기판의 표면 긁힘 및/또는 글라스 기판의 모서리 파손을 방지할 수 있다. According to the present invention, it is possible to prevent damage to the glass substrate, that is, scratch the surface of the glass substrate and/or damage the edge of the glass substrate when the glass substrate is transported.
또한, 본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.In addition, the effects of the present invention are not limited to the above-described effects, and it should be understood to include all effects that can be inferred from the configuration of the invention described in the detailed description or claims of the present invention.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 글라스 기판 이송 시스템의 사시도를 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 글라스 기판 이송 시스템의 평면도를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 글라스 기판 이송 시스템의 개략적인 블록도를 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 글라스 기판 이송 시스템의 이송 사이클을 개념을 설명하기 위한 도면이다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따라서, 제1 기간에서의 글라스 기판 이송 시스템의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따라서, 제2 기간에서의 글라스 기판 이송 시스템의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 8 및 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따라서, 제3 기간에서의 글라스 기판 이송 시스템의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따라서, 제4 기간에서의 글라스 기판 이송 시스템의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치의 평면도를 도시한 도면이다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 글라스 기판 지지부의 평면도를 도시한 도면이다.
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 단측 지지 바의 사시도를 도시한 도면이다.
도 14는 도 13의 단면도를 도시한 도면이다.
도 15는 발명의 일 실시예에 따른 지지부의 단면도를 도시한 도면이다.
도 16은 종래의 글라스 기판 이송 시스템에서 글라스 기판이 이송되는 상황을 설명하기 위한 도면이다.
도 17은 본 발명의 일 실시예에 따라서, 제1 이송 장치에서 제3 이송 장치로 글라스 기판이 이송되는 상황을 설명하기 위한 도면이다.
도 18은 본 발명의 다른 실시예에 따른 지지부의 단면도를 도시한 도면이다.
도 19는 본 발명의 다른 실시예에 따른 지지부의 측단의 사시도를 도시한 도면이다. 1 is a view showing a perspective view of a glass substrate transport system according to an embodiment of the present invention.
2 is a view showing a plan view of a glass substrate transport system according to an embodiment of the present invention.
3 is a view showing a schematic block diagram of a glass substrate transport system according to an embodiment of the present invention.
4 is a view for explaining the concept of a transfer cycle of the glass substrate transfer system according to an embodiment of the present invention.
5 and 6 are diagrams for explaining the operation of the glass substrate transport system in the first period according to an embodiment of the present invention.
7 is a view for explaining the operation of the glass substrate transport system in the second period according to an embodiment of the present invention.
8 and 9 are diagrams for explaining the operation of the glass substrate transport system in the third period according to an embodiment of the present invention.
10 is a view for explaining the operation of the glass substrate transport system in the fourth period according to an embodiment of the present invention.
11 is a view showing a plan view of a transfer device according to an embodiment of the present invention.
12 is a view showing a plan view of a glass substrate support according to an embodiment of the present invention.
13 is a view showing a perspective view of a single-side support bar according to an embodiment of the present invention.
14 is a view illustrating a cross-sectional view of FIG. 13 .
15 is a view showing a cross-sectional view of a support according to an embodiment of the present invention.
16 is a view for explaining a situation in which a glass substrate is transferred in a conventional glass substrate transfer system.
17 is a view for explaining a situation in which a glass substrate is transferred from a first transfer device to a third transfer device according to an embodiment of the present invention.
18 is a view showing a cross-sectional view of a support according to another embodiment of the present invention.
19 is a view showing a perspective view of a side end of a support according to another embodiment of the present invention.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. Since the present invention can have various changes and can have various embodiments, specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail. However, this is not intended to limit the present invention to specific embodiments, and should be understood to include all modifications, equivalents and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing each figure, like reference numerals have been used for like elements.
"제1", "제2" 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. "및/또는" 이라는 용어는 복수의 관련된 기재된 항목들의 조합 또는 복수의 관련된 기재된 항목들 중의 어느 항목을 포함한다.Terms such as “first” and “second” may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. The term “and/or” includes a combination of a plurality of related listed items or any of a plurality of related listed items.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. When a component is referred to as being “connected” or “connected” to another component, it may be directly connected or connected to the other component, but it is understood that other components may exist in between. it should be On the other hand, when it is said that a certain element is "directly connected" or "directly connected" to another element, it should be understood that the other element does not exist in the middle.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used herein are used only to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, terms such as “comprise” or “have” are intended to designate that a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification exists, but one or more other features It is to be understood that this does not preclude the possibility of the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.
본 명세서 전체에서 "상하 방향"은 후술할 이송 장치가 일상적으로 사용되도록 설치된 상태에서의 이송 장치의 상하 방향을 의미하고, "좌우 방향"은 상하 방향과 직교하는 방향을 의미하고, 전후 방향은 상하 방향 및 좌우 방향 모두에 대하여 직교하는 방향을 의미한다. "양측 방향" 또는 "측 방향"은 좌우 방향과 동일한 의미를 가지고, 이들 용어들은 본 명세서에서 혼용될 수 있다.Throughout this specification, "up and down direction" means a vertical direction of the conveying device in a state in which a conveying device to be described later is installed for daily use, "left and right direction" means a direction orthogonal to the vertical direction, and the front and rear direction is up and down It means a direction orthogonal to both the direction and the left-right direction. "Both directions" or "lateral directions" have the same meaning as the left and right directions, and these terms may be used interchangeably herein.
이하에서, 본 발명에 따른 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. Hereinafter, embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 글라스 기판 이송 시스템(1)의 사시도를 도시한 도면이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 글라스 기판 이송 시스템(1)의 평면도를 도시한 도면이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 글라스 기판 이송 시스템(1)의 개략적인 블록도를 도시한 도면이다. 1 is a view showing a perspective view of a glass
도 3을 참조하면, 글라스 기판 이송 시스템(1)은 글라스 기판 투입 영역에 구비된 투입 장치(2)에 의해 거치 또는 지지된 글라스 기판을 글라스 기판 배출 영역에 구비된 배출 장치(3)로 슬라이딩 이송시키는 시스템일 수 있다. 이를 위해, 글라스 기판 이송 시스템(1)은 투입 장치(2)와 배출 장치(3) 사이에 마련된 글라스 기판 이송 공간에 배치될 수 있다. Referring to FIG. 3 , the glass
이하, 설명의 편의를 위해, "슬라이딩 이송"과 "이송"을 혼용하여 본 명세서를 설명한다. Hereinafter, for convenience of description, the present specification will be described by mixing "sliding transfer" and "transfer".
여기서, 투입 장치(2)에 의해 거치 또는 지지된 글라스 기판은 불필요한 모서리 영역이 절단되고, 꼭지점 영역이 연마되고, 세척까지 완료된 글라스 기판일 수 있다. 특히, 글라스 기판의 세척을 용이하게 하기 위해, 글라스 기판은 제1 각도(일례로, 7°)로 틸팅되어야 한다. 이를 위해, 투입 장치(2)는 글라스 기판을 제1 각도로 틸팅하여 지지할 수 있다. Here, the glass substrate mounted or supported by the
또한, 배출 장치(3)로 이송된 글라스 기판에 기판 검사가 수행될 수 있다. 이 때, 기판 검사를 수행하기 위해 글라스 기판은 제2 각도(일례로, 80°)로 틸팅되어야 한다. 이를 위해, 배출 장치(3)는 글라스 기판을 제2 각도로 틸팅하여 지지할 수 있다.In addition, a substrate inspection may be performed on the glass substrate transferred to the
상술한 내용을 참조하면, 글라스 기판 이송 시스템(1)은 제1 각도로 틸팅된 투입 장치(2)에 의해 지지되는 글라스 기판을 제2 각도로 틸팅된 배출 장치(3)로 이송하는 동작을 수행할 수 있다. Referring to the above, the glass
한편, 투입 장치(2)는 미리 설정된 공급 사이클에 따라 글라스 기판을 글라스 기판 이송 시스템(1)으로 제공할 수 있다. 일례로, 공급 사이클은 11초일 수 있다. 그러나, 종래의 글라스 기판 이송 장치의 경우, 공급 사이클이 너무 짧아서 공급 사이클에 따라 글라스 기판을 이송하지 못하는 문제점이 발생한다. 이를 해결하기 위해 공급 사이클이 길게 설정될 수 있으나, 이 경우 글라스 기판의 이송 시간이 길어져서 글라스 기판의 제조 속도가 느려지는 문제점이 있다. Meanwhile, the
이러한 문제점을 해결하기 위해, 도 1 내지 도 3을 참조하면, 글라스 기판 이송 시스템(1)은 제1 서브 이송 시스템(10), 제2 서브 이송 시스템(20) 및 제어 장치(30)를 포함할 수 있다. 제어 장치(30)는 제1 서브 이송 시스템(10) 및 제2 서브 이송 시스템(20)의 동작을 제어할 수 있다. 한편, 제어 장치(30)는 이송 공간의 내부에 구비될 수 있고, 이송 공간의 외부에 구비될 수도 있다. To solve this problem, referring to FIGS. 1 to 3 , the glass
제1 서브 이송 시스템(10)은 제1 이송 장치(11), 제2 이송 장치(12) 및 제1 이동 장치(13)를 포함할 수 있다. 제1 서브 이송 시스템(10)은 이송 공간의 제1 열(column)에 배치될 수 있다. The first
제1 및 제2 이송 장치(11, 12) 각각은 글라스 기판을 지지하면서 글라스 기판을 이송하는 장치일 수 있다. 제1 및 제2 이송 장치(11, 12) 각각은 이송 공간의 제1 열에서 전후방으로 이동할 수 있다. 이 때, 제2 이송 장치(12)는 제1 이송 장치(11)의 후측에 위치할 수 있다. Each of the first and
더불어, 제1 및 제2 이송 장치(11, 12)는 글라스 기판을 지지하는 각도, 즉 틸팅 각도가 변경될 수 있다. 실시예에 따르면, 제1 및 제2 이송 장치(11, 12) 각각의 틸팅 각도는 제1 각도 또는 제3 각도일 수 있다. 여기서, 제1 각도는 상술한 투입 장치(2)의 글라스 기판의 지지 각도(틸팅 각도)일 수 있고, 제3 각도는 제1 각도와 다른 각도일 수 있다. 이에 대한 상세한 설명은 후술한다. In addition, the angle at which the first and
제1 이동 장치(13)는 제1 및 제2 이송 장치(11, 12)를 전후방으로 이동시키는 장치일 수 있다. 제1 이동 장치(13)의 상부에는 레일(131)이 구비될 수 있으며, 제1 및 제2 이송 장치(11, 12)는 제1 이동 장치(13)에 구비된 레일(131)을 따라 전후방으로 이동할 수 있다. The first moving
제2 서브 이송 시스템(20)은 제3 이송 장치(21), 제4 이송 장치(22) 및 제2 이동 장치(23)를 포함할 수 있다. 제2 서브 이송 시스템(20)은 이송 공간의 제2 열에 배치될 수 있다. 이 때, 제2 열은 제1 열과 인접하게 위치할 수 있다. The second
제3 및 제4 이송 장치(21, 22) 각각은 글라스 기판을 지지하면서 글라스 기판을 이송하는 장치일 수 있다. 제3 및 제4 이송 장치(21, 22) 각각은 이송 공간의 제2 열에서 전후방으로 이동할 수 있다. 이 때, 제4 이송 장치(22)는 제3 이송 장치(21)의 후측에 위치할 수 있다. Each of the third and
더불어, 제3 및 제4 이송 장치(21, 22)는 글라스 기판을 지지하는 각도, 즉 틸팅 각도가 변경될 수 있다. 실시예에 따르면, 제3 및 제4 이송 장치(21, 22) 각각의 틸팅 각도는 제2 각도 또는 제3 각도일 수 있다. 여기서, 제2 각도는 상술한 배출 장치(3)의 글라스 기판의 지지 각도(틸팅 각도)일 수 있고, 제3 각도는 제2 각도와 다른 각도일 수 있다. 실시예에 따르면, 제3 각도는 제1 각도 및 제2 각도의 사이의 각도일 수 있다. 일례로, 제3 각도는 43.5°일 수 있다. 이에 대한 상세한 설명은 후술한다.In addition, the angle at which the third and
제2 이동 장치(23)는 제3 및 제4 이송 장치(21, 22)를 이동시키는 장치일 수 있다. 제2 이동 장치(23)의 상부에는 레일(231)이 구비될 수 있으며, 제3 및 제4 이송 장치(21, 22)는 제2 이동 장치(23)에 구비된 레일(231)을 따라 전후방으로 이동할 수 있다. The second moving
상술한 내용을 참조하여, 글라스 기판 이송 시스템(1)의 동작을 상세하게 설명하기로 한다. With reference to the above content, the operation of the glass
실시예에 따르면, 글라스 기판 이송 시스템(1)은 이송 사이클로 동작할 수 있다. 여기서, 이송 사이클은 상술한 공급 사이클의 절반과 대응될 수 있다. 일례로, 공급 사이클이 11초인 경우, 이송 사이클은 22초일 수 있다. According to the embodiment, the glass
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 글라스 기판 이송 시스템(1)의 이송 사이클을 개념을 설명하기 위한 도면이다.4 is a view for explaining the concept of a transfer cycle of the glass
글라스 기판 이송 시스템(1)의 이송 사이클은 순차적인 제1, 제2, 제3 및 제4 기간으로 구성될 수 있다. The transfer cycle of the glass
제1 및 제3 기간은 글라스 기판의 이송을 위한 기간일 수 있다. 제1 및 제3 기간에서, 제1, 제2, 제3, 제4 이송 장치(11, 12, 21, 22) 각각은 틸팅 각도를 유지하면서 전후방으로의 이동을 정지할 수 있고, 글라스 기판이 이송될 수 있다. The first and third periods may be periods for transferring the glass substrate. In the first and third periods, each of the first, second, third, and
제2 및 제4 기간은 제1, 제2, 제3, 제4 이송 장치(11, 12, 21, 22)의 위치 이동 및 틸팅 각도의 변경을 위한 기간일 수 있다. 제2 및 제4 기간에서, 제1, 제2, 제3, 제4 이송 장치(11, 12, 21, 22) 각각은 틸팅 각도를 변경하면서 전후방으로 이동할 수 있다. The second and fourth periods may be periods for moving the positions of the first, second, third, and
이하, 각 기간에서의 글라스 기판 이송 시스템(1)의 동작을 상세하게 설명한다. Hereinafter, operation|movement of the glass
도 5 및 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따라서, 제1 기간에서의 글라스 기판 이송 시스템(1)의 동작을 설명하기 위한 도면이다.5 and 6 are diagrams for explaining the operation of the glass
도 5 및 도 6을 참조하면, 제1 기간에서, 제1 이송 장치(11)는 투입 장치(2)와 인접하게 위치할 수 있고, 제1 이송 장치(11)의 틸팅 각도는 제1 각도(일례로, 7°)일 수 있다. 이 때, 제1 이송 장치(11)의 틸팅 각도 및 투입 장치(2)의 틸팅 각도는 모두 제1 각도일 수 있으며, 공급 사이클에 따라 투입 장치(2)에는 제1 글라스 기판(GS1)이 미리 위치할 수 있다. 따라서, 투입 장치(2)에 위치한 제1 글라스 기판(GS1)이 제1 이송 장치(11)로 슬라이딩 이송될 수 있다. 5 and 6 , in a first period, the
그리고, 제2 이송 장치(12)에는 제2 글라스 기판(GS2)이 미리 위치할 수 있다. 더불어, 제1 기간에서, 제2 및 제4 이송 장치(12, 22)는 서로 인접하도록 위치할 수 있고, 제2 및 제4 이송 장치(12, 22)의 틸팅 각도는 모두 제3 각도(일례로, 43.5°)일 수 있으며, 제2 및 제4 이송 장치(12, 22) 각각에 구비된 복수의 롤러(4221)는 회전할 수 있다. 따라서, 제2 이송 장치(12)에 위치한 제2 글라스 기판(GS2)이 제4 이송 장치(22)로 슬라이딩 이송될 수 있다. In addition, the second glass substrate GS2 may be previously located in the
또한, 제3 이송 장치(21)에는 제3 글라스 기판(GS3)이 미리 위치할 수 있다. 더불어, 제1 기간에서, 제3 이송 장치(21)는 배출 장치(3)와 인접하게 위치할 수 있고, 제3 이송 장치(21)의 틸팅 각도는 제2 각도(일례로, 80°)일 수 있다. 이 때, 제3 이송 장치(21)의 틸팅 각도 및 배출 장치(3)의 틸팅 각도는 모두 제2 각도일 수 있다. 따라서, 제3 이송 장치(21)에 위치한 제3 글라스 기판(GS3)이 배출 장치(3)로 슬라이딩 이송될 수 있다. In addition, the third glass substrate GS3 may be previously located in the
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따라서, 제2 기간에서의 글라스 기판 이송 시스템(1)의 동작을 설명하기 위한 도면이다.7 is a view for explaining the operation of the glass
도 7을 참조하면, 제2 기간에서, 제1, 제2, 제3, 제4 이송 장치(11, 12, 21, 22) 각각은 전방으로 이동할 수 있다. 더불어, 제1, 제2, 제3, 제4 이송 장치(11, 12, 21, 22)의 전방 이동 시, 제1 이송 장치(11)의 틸팅 각도는 제1 각도(일례로, 7°)에서 제3 각도(일례로, 43.5°)로 변경될 수 있고, 제2 이송 장치(12)의 틸팅 각도는 제3 각도에서 제1 각도로 변경될 수 있고, 제3 이송 장치(21)의 틸팅 각도는 제2 각도(일례로, 80.5°)에서 제3 각도로 변경될 수 있고, 제4 이송 장치(22)의 틸팅 각도는 제3 각도에서 제2 각도로 변경될 수 있다. Referring to FIG. 7 , in the second period, each of the first, second, third, and
도 8 및 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따라서, 제3 기간에서의 글라스 기판 이송 시스템(1)의 동작을 설명하기 위한 도면이다.8 and 9 are diagrams for explaining the operation of the glass
도 8 및 도 9를 참조하면, 제3 기간에서, 제2 이송 장치(12)는 투입 장치(2)와 인접하게 위치할 수 있고, 제2 이송 장치(12)의 틸팅 각도는 제1 각도(일례로, 7°)일 수 있으며, 제2 이송 장치(12)에 구비된 복수의 롤러(4221)는 회전할 수 있다. 이 때, 제2 이송 장치(12)의 틸팅 각도 및 투입 장치(2)의 틸팅 각도는 모두 제1 각도일 수 있으며, 공급 사이클에 따라 투입 장치(2)에는 제4 글라스 기판(GS4)이 미리 위치할 수 있다. 따라서, 투입 장치(2)에 위치한 제4 글라스 기판(GS2)이 제2 이송 장치(12)로 슬라이딩 이송될 수 있다. 8 and 9 , in the third period, the
그리고, 제1 이송 장치(11)에는 제1 글라스 기판(GS1)이 미리 위치할 수 있다. 더불어, 제3 기간에서, 제1 및 제3 이송 장치(11, 21)는 서로 인접하도록 위치할 수 있고, 제1 및 제3 이송 장치(11, 21)의 틸팅 각도는 모두 제3 각도(일례로, 43.5°)일 수 있다. 따라서, 제1 이송 장치(11)에 위치한 제1 글라스 기판(GS1)이 제3 이송 장치(21)로 슬라이딩 이송될 수 있다. In addition, the first glass substrate GS1 may be previously located in the
또한, 제4 이송 장치(22)에는 제2 글라스 기판(GS2)이 미리 위치할 수 있다. 더불어, 제4 이송 장치(22)는 배출 장치(3)와 인접하게 위치할 수 있고, 제4 이송 장치(22)의 틸팅 각도는 제2 각도(일례로, 80°)일 수 있다. 이 때, 제4 이송 장치(22)의 틸팅 각도 및 배출 장치(3)의 틸팅 각도는 모두 제2 각도일 수 있다. 따라서, 제4 이송 장치(22)에 위치한 제2 글라스 기판(GS2)이 배출 장치(3)로 슬라이딩 이송될 수 있다. In addition, the second glass substrate GS2 may be previously located in the
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따라서, 제4 기간에서의 글라스 기판 이송 시스템(1)의 동작을 설명하기 위한 도면이다.10 is a view for explaining the operation of the glass
도 10을 참조하면, 제4 기간에서, 제1, 제2, 제3, 제4 이송 장치(11, 12, 21, 22) 각각은 후방으로 이동할 수 있다. 더불어, 제1, 제2, 제3, 제4 이송 장치(11, 12, 21, 22)의 후방 이동 시, 제1 이송 장치(11)의 틸팅 각도는 제3 각도(일례로, 43.5°)에서 제1 각도(일례로, 7°)로 변경될 수 있고, 제2 이송 장치(12)의 틸팅 각도는 제1 각도에서 제3 각도로 변경될 수 있고, 제3 이송 장치(21)의 틸팅 각도는 제3 각도에서 제2 각도(일례로, 80.5°)로 변경될 수 있고, 제4 이송 장치(22)의 틸팅 각도는 제2 각도에서 제3 각도로 변경될 수 있다. Referring to FIG. 10 , in the fourth period, each of the first, second, third, and
이후, 상술한 제1 기간에서 글라스 기판 이송 시스템(1)은 도 5 및 도 6과 유사하게 동작할 수 있다. Thereafter, in the first period described above, the glass
요컨대, 본 발명의 일 실시예에 따른 글라스 기판 이송 시스템(1)은 이송 사이클로 반복 동작할 수 있으며, 이송 사이클은 투입 장치(2)의 글라스 기판 공급 사이클의 2배일 수 있다. 이 때, 제1, 제2, 제3, 제4 이송 장치(11, 12, 21, 22)는 상술한 바와 같이 제1, 제2, 제3, 제4 기간 별로 동작할 수 있다. 이에 따라, 공급 사이클에 맞추어 투입 장치(2)에서 배출 장치(3)로 글라스 기판을 이송할 수 있다. 결국, 글라스 기판 이송 시스템(1)은 글라스 기판의 이송 태그를 분산할 수 있고, 글라스 기판의 이송 시간을 단축시킬 수 있으며, 글라스 기판의 제조 속도를 증가시킬 수 있다. In other words, the glass
이하, 도 11 내지 도 15를 참조하여 제1, 제2, 제3, 제4 이송 장치(11, 12, 21, 22)의 구조와, 상술한 제1 및 제3 기간에서 이송되는 글라스 기판(GS)의 손상, 즉 글라스 기판의 표면 긁힘 및/또는 글라스 기판의 모서리 파손을 방지하는 내용을 상세하게 설명한다. Hereinafter, with reference to FIGS. 11 to 15, the structures of the first, second, third, and
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치(11, 12, 21, 22)의 평면도를 도시한 도면이다. 11 is a view showing a plan view of the transport apparatus (11, 12, 21, 22) according to an embodiment of the present invention.
도 11을 참조하면, 이송 장치(11, 12, 21, 22)는 베이스부(410) 및 글라스 기판 지지부(420)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 11 , the
베이스부(410)는 이송 장치(11, 12, 21, 22)를 전후방으로 이동 가능하도록 동작할 수 있다. 베이스부(410)의 하부에는 제1 및 제2 이동 장치(13, 23) 각각에 구비된 레일(131, 231)과 맞물리는 구성 요소가 구비될 수 있다. The
글라스 기판 지지부(420)는 베이스부(410)의 상측에 구비될 수 있다. The
글라스 기판 지지부(420)는 글라스 기판(GS)을 지지하여 글라스 기판(GS)을 거치할 수 있다. 상술한 바와 같이, 글라스 기판 지지부(420)가 지지하는 글라스 기판(GS)의 각도, 즉 틸팅 각도는 변경될 수 있다. 즉, 제1 및 제2 이송 장치(11, 12)의 글라스 기판 지지부(420)의 틸팅 각도는 제1 각도 또는 제3 각도일 수 있고, 제3 및 제4 이송 장치(21, 22)의 글라스 기판 지지부(420)의 틸팅 각도는 제2 각도 또는 제3 각도일 수 있다. 이를 위해, 글라스 기판 지지부(420)는 실린더, 모터 등의 모듈을 포함할 수 있다.The
더불어, 글라스 기판 지지부(420)는 글라스 기판 지지부(420)에 거치 또는 지지된 글라스 기판(GS)을 이송할 수 있다. 제1 및 제2 이송 장치(11, 12)는 투입 장치(2)로부터 이송받은 글라스 기판(GS)을 제3 및 제4 이송 장치(21, 22)로 이송할 수 있다. 제3 및 제4 이송 장치(21, 22)는 제1 및 제2 이송 장치(11, 12)로부터 이송받은 글라스 기판(GS)을 배출 장치(3)로 이송할 수 있다. In addition, the
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 글라스 기판 지지부(420)의 평면도를 도시한 도면이다. 12 is a view showing a plan view of the
도 12를 참조하면, 글라스 기판 지지부(420)는 지지부(421), 이송부(422) 및 폭 조절부(423)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 12 , the glass
지지부(421)는 글라스 기판(GS)을 지지할 수 있다. 즉, 지지부(421)는 글라스 기판(GS)의 하면을 지지할 수 있다. The
지지부(421)는 복수의 중측 지지부(4211) 및 복수의 단측 지지부(4213)를 포함할 수 있다. The
중측 지지부(4211)(즉, 제1 지지부)는 글라스 기판 지지부(420)의 길이 방향(즉, 제1 방향)으로 연장되는 지지 바(support bar)의 형상일 수 있다. 복수의 중측 지지부(4211)는 글라스 기판 지지부(420)의 폭 방향(즉, 제2 방향)으로 나란하게 배치될 수 있다. 이하, 설명의 편의를 위해, 중측 지지부(4211)와 중측 지지 바(4211)를 혼용하여 본 명세서를 설명한다. The middle support part 4211 (ie, the first support part) may have a shape of a support bar extending in the longitudinal direction (ie, the first direction) of the glass
중측 지지 바(4211)는 2 이상의 서브 지지 바로 구성될 수 있다. 2 이상의 서브 지지 바 각각은 인접한 서브 지지 바와 글라스 기판 지지부(420)의 길이 방향으로 연결될 수 있다. The
중측 지지 바(4211)의 내부에는 제1 에어 배출 모듈(미도시)이 구비될 수 있다. 제1 에어 배출 모듈은 중측 지지 바(4211)의 상면에 형성된 제1 에어 배출홀(4212)을 통해 제1 에어(air)를 배출할 수 있다. 즉, 제1 에어 배출홀(4212)은 글라스 기판(GS)의 하면으로 제1 에어를 배출할 수 있다. A first air exhaust module (not shown) may be provided inside the
단측 지지부(4213)는 글라스 기판 지지부(420)의 폭 방향으로 연장되는 지지 바의 형상일 수 있다. 이하, 설명의 편의를 위해, 단측 지지부(4213)와 단측 지지 바(4213)를 혼용하여 본 명세서를 설명한다.The
복수의 중측 지지 바(4211)의 양 단부에는 복수의 단측 지지 바(4213)(즉, 제2 지지부 및 제3 지지부)가 연결될 수 있다. 즉, 복수의 중측 지지 바(4211)의 양 단부 각각에 2 이상의 단측 지지 바(4213)가 글라스 기판 지지부(420)의 폭 방향으로 나란하게 배치될 수 있다. 단측 지지 바(4213)는 2 이상의 중측 지지 바(4211)를 단부에서 연결하는 기능을 수행할 수 있다. A plurality of short side support bars 4213 (ie, the second support part and the third support part) may be connected to both ends of the plurality of middle support bars 4211 . That is, two or more short-side support bars 4213 may be disposed side by side in the width direction of the
단측 지지 바(4213)의 내부에는 제2 에어 배출 모듈(미도시)이 구비될 수 있다. 제2 에어 배출 모듈은 단측 지지 바(4213)의 상면 중 적어도 일부에 형성된 제2 에어 배출홀(4214)을 통해 제2 에어를 배출할 수 있다. 즉, 제2 에어 배출홀(4214)은 글라스 기판(GS)의 하면으로 제2 에어를 배출할 수 있다. A second air exhaust module (not shown) may be provided inside the short
제1 및 제2 에어 배출홀(4212, 4214)에서 배출된 제1 에어 및 제2 에어에 따라 글라스 기판(GS)은 지지부(421)와 접촉하지 않을 수 있다. 즉, 글라스 기판(GS)은 지지부(421)의 상측에서 플로팅(floating)될 수 있다. 일례로, 글라스 기판은 0.3~0.4mm만큼 플로팅될 수 있다. 글라스 기판(GS)이 플로팅됨으로써, 글라스 기판(GS)의 이송 시 글라스 기판(GS)이 보호될 수 있다. 즉, 글라스 기판(GS)의 이송 시 글라스 기판(GS)이 지지부(421)와 접촉하지 않게 되어 글라스 기판(GS)의 표면이 긁히지 않을 수 있다. 더불어, 제2 에어 배출홀(4214)에서 배출된 제2 에어에 따라, 글라스 기판(GS)의 이송 시에 글라스 기판(GS)의 모서리 영역이 파손되는 것을 방지할 수 있다. 즉, 제1 및 제2 에어 배출홀(4212, 4214)에서 배출된 제1 에어 및 제2 에어에 따라 글라스 기판의 손상이 방지될 수 있다. 이는 아래에서 보다 상세하게 설명하기로 한다. Depending on the first and second air discharged from the first and second air discharge holes 4212 and 4214 , the glass substrate GS may not come into contact with the
이송부(422)는 지지부(421)에 의해 지지된 글라스 기판(GS)을 이송시킬 수 있다. 즉, 이송부(422)의 동작에 의해, 글라스 기판(GS)은 제1 방향으로 이송될 수 있다. 이송부(422)는 지지부(421)의 하측에 배치될 수 있다. The
이송부(422)는 복수의 롤러(4221)를 포함할 수 있다. 복수의 롤러(4221)는 복수의 중측 지지 바(4211) 중 최하단 중측 지지 바(4211)의 하측에서 순차적으로 배열될 수 있다. 롤러(4221)는 축 방향으로 회전할 수 있으며, 롤러(4221)의 회전에 의해 글라스 기판(GS)이 제1 방향으로 이송될 수 있다. The
폭 조절부(423)은 글라스 기판 지지부(420)에 의해 지지될 글라스 기판(GS)의 폭에 대응되도록 글라스 기판 지지부(420)의 폭을 조절할 수 있다. 즉, 글라스 기판(GS)은 다양한 폭을 가질 수 있으므로, 다양한 폭을 가지는 글라스 기판(GS)을 모두 지지하기 위해 폭 조절부(423)가 글라스 기판 지지부(420)에 구비될 수 있다. 폭 조절부(423)는 지지부(421)의 상측에 배치될 수 있고, 글라스 기판 지지부(420)의 폭을 조절하기 위해 폭 조절부(423)는 상하 방향으로 이동할 수 있다. The
이하, 도 13 내지 도 15를 참조하여, 단측 지지 바(4213)의 형상 및 상술한 제1 및 제3 기간에서 이송되는 글라스 기판(GS)의 손상 방지의 내용을 상세하게 설명한다.Hereinafter, the shape of the short
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 단측 지지 바(4213)의 사시도를 도시한 도면이고, 도 14는 도 13의 단면도를 도시한 도면이고, 도 15는 발명의 일 실시예에 따른 지지부(421)의 단면도를 도시한 도면이다.13 is a view showing a perspective view of a single
도 13 내지 도 15를 참조하면, 단측 지지 바(4213)는 대체적으로 사각형의 형상을 가질 수 있되, 단측 지지 바(4213)의 상면 중 일부는 하향 경사질 수 있다. 13 to 15 , the short-
구체적으로, 단측 지지 바(4213)의 상면은 제1 상면 영역(4213a) 및 제2 상면 영역(4213b)으로 구분될 수 있다. 단측 지지 바(4213)의 제2 상면 영역(4213b)은 중측 지지 바(4211)의 상면과 동일 평면에 위치할 수 있고, 단측 지지 바(4213)의 제1 상면 영역(4213a)은 단측 지지 바(4213)의 제2 상면 영역(4213b)을 기준으로 °만큼 하향 경사질 수 있다. Specifically, the upper surface of the short-
한편, 다른 실시예에 따르면, 단측 지지 바(4213)의 상면은 제2 상면 영역(4213b)을 구비하지 않을 수 있다. 즉, 단측 지지 바(4213)의 상면은 제1 상면 영역(4213a)으로만 이루어질 수 있다. 이 때, 단측 지지 바(4213)의 제1 상면 영역(4213a)은 중측 지지 바(4211)의 상면을 기준으로 θ°만큼 하향 경사질 수 있다. Meanwhile, according to another exemplary embodiment, the upper surface of the short-
단측 지지 바(4213)의 제1 상면 영역(4213a)에는 복수의 제2 에어 배출홀(4314)이 형성될 수 있다. 복수의 제2 에어 배출홀(4314) 각각에서 제2 에어가 배출될 수 있다. A plurality of second air discharge holes 4314 may be formed in the first
도 15를 참조하면, 중측 지지 바(4211)의 양단에 단측 지지 바(4213)가 각각 연결될 수 있다. 이 때, 중측 지지 바(4211)의 우측단(즉, 일측)에 연결된 단측 지지 바(4213)와 중측 지지 바(4211)의 좌측단(즉, 타측)에 연결된 단측 지지 바(4213)는 서로 좌우 대칭될 수 있다. 중측 지지 바(4211)의 상면에 형성된 제1 에어 배출홀(4212)은 상방으로 제1 에어를 배출할 수 있고, 우측단에 위치한 단측 지지 바(4213)는 우상방으로 제2 에어를 배출할 수 있고, 좌측단에 위치한 단측 지지 바(4213)는 좌상방으로 제2 에어를 배출할 수 있다. 제1 및 제2 에어는 글라스 기판(GS)의 하면과 접촉할 수 있다. Referring to FIG. 15 , the short side support bars 4213 may be respectively connected to both ends of the middle
도 16은 종래의 글라스 기판 이송 시스템에서 글라스 기판(GS)이 이송되는 상황을 설명하기 위한 도면이다. 16 is a view for explaining a situation in which the glass substrate GS is transferred in the conventional glass substrate transfer system.
도 16을 참조하면, 글라스 기판(GS)은 이송 장치 A의 지지 바(510)에서 이송 장치 B의 지지 바(520)로 이송된다. 그리고, 이송 장치의 설치 상의 제약 등으로 인해 이송 장치 A의 지지 바(510)와 이송 장치 B의 지지 바(510)는 일정 간격(d)만큼 이격되어 배치된다. 그리고, 글라스 기판(GS)를 플로팅시키기 위해 지지 바(510, 520)는 상방으로 에어를 배출한다. Referring to FIG. 16 , the glass substrate GS is transferred from the
한편, 글라스 기판(GS)의 일측이 이송 장치 A와 이송 장치 B의 사이에 위치하는 경우, 글라스 기판(GS)의 일측의 하면에는 에어가 접촉하지 않는다. 이 때, 이송 장치 A와 이송 장치 B의 이격 간격(d)이 임계 간격을 초과하는 경우, 얇은 두께를 가지는 글라스 기판(GS)의 자중 등으로 인해 글라스 기판(GS)의 일측이 하방으로 떨어질 수가 있다. 일례로, 임계 간격은 30mm일 수 있다. 이에 따라, 글라스 기판(GS)의 일측이 이송 장치 B의 타측과 부딪치게 되어 글라스 기판(GS)의 표면이 긁히게 되거나 글라스 기판(GS)의 모서리 영역이 파손되는 문제점이 발생한다. On the other hand, when one side of the glass substrate GS is positioned between the transport device A and the transport device B, air does not contact the lower surface of the one side of the glass substrate GS. At this time, when the separation distance d between the transport device A and the transport device B exceeds the critical distance, one side of the glass substrate GS may fall downward due to the weight of the glass substrate GS having a thin thickness. have. As an example, the critical spacing may be 30 mm. Accordingly, one side of the glass substrate GS collides with the other side of the transfer device B, so that the surface of the glass substrate GS is scratched or a corner region of the glass substrate GS is damaged.
이러한 문제점을 해결하기 위해, 본 발명에 따른 글라스 기판 이송 시스템(1)은 지지부(421)의 양 단 중 적어도 일부에 하향 경사지도록 에어 배출홀(즉, 제2 에어 배출홀(4214))을 형성하여 에어(즉, 제2 에어)를 배출할 수 있다. 이에 대해 구체적으로 설명하면 다음과 같다. In order to solve this problem, the glass
도 17은 본 발명의 일 실시예에 따라서, 제1 이송 장치(11)에서 제3 이송 장치(21)로 글라스 기판(GS)이 이송되는 상황을 설명하기 위한 도면이다. 17 is a view for explaining a situation in which the glass substrate GS is transferred from the
이 때, 도 17에서 설명되는 내용은 제2 이송 장치(12)에서 제4 이송 장치(22)로 글라스 기판(GS)이 이송되는 상황, 투입 장치(20)에서 제1 또는 제2 이송 장치(11, 12)로 글라스 기판(GS)이 이송되는 상황 및 제3 또는 제4 이송 장치(21, 22)에서 배출 장치(3)로 글라스 기판(GS)이 이송되는 상황 모두에 적용될 수 있다. At this time, the content described in FIG. 17 is a situation in which the glass substrate GS is transferred from the
도 17의 (a)을 참조하면, 글라스 기판(GS)은 제1 이송 장치(11)의 상측에 위치한다. 이 때, 제1 이송 장치(11)의 중측 지지 바(4211)에 형성된 제1 에어 배출홀(4212)에서 제1 에어가 배출되고, 글라스 기판(GS)은 제1 에어에 의해 제1 이송 장치(11)에서 플로팅된다. 따라서, 제1 이송 장치(11)에서 글라스 기판(GS)의 표면 긁힘이 방지될 수 있다. Referring to FIG. 17A , the glass substrate GS is positioned above the
도 17의 (b)를 참조하면, 글라스 기판(GS)은 제1 이송 장치(11)에서 제3 이송 장치(21)으로 이송된다. 이 때, 글라스 기판(GS)의 일측이 제1 이송 장치(11)와 제3 이송 장치(21)의 사이에 위치하는 경우, 글라스 기판(GS)의 일측의 하면은 제2 에어 배출홀(4214)에서 배출된 제2 에어와 접촉한다. Referring to FIG. 17B , the glass substrate GS is transferred from the
즉, 상술한 바와 같이, 제1 이송 장치(11)의 일측에 구비된 단측 지지부(4213)는 우상방으로 제2 에어를 배출할 수 있고, 제3 이송 장치(21)의 타측에 구비된 단측 지지부(4213)는 좌상방으로 제2 에어를 배출할 수 있다. 우상방 및 좌상방으로 배출된 제2 에어는 제1 이송 장치(11)와 제3 이송 장치(21)의 사이에 위치하는 글라스 기판(GS)의 일측의 하면과 접촉할 수 있다. 이에 따라, 글라스 기판(GS)의 일측이 제1 이송 장치(11)와 제3 이송 장치(21)의 사이에서 플로팅될 수 있으며, 제3 이송 장치(21)의 타측과 부딪치지 않을 수 있다. 결국, 글라스 기판(GS)의 표면 긁힘 및/또는 글라스 기판(GS)의 파손이 방지될 수 있다. That is, as described above, the
실시예에 따르면, 제2 에어의 배출 압력은 제1 에어의 배출 압력보다 높을 수 있다. 즉, 제2 에어의 배출 세기는 제1 에어의 배출 세기보다 클 수 있다. 이에 따라, 제1 이송 장치(11)와 제3 이송 장치(21)의 사이에 위치한 글라스 기판(GS)의 일측이 더욱 잘 플로팅될 수 있다. According to the embodiment, the discharge pressure of the second air may be higher than the discharge pressure of the first air. That is, the discharge intensity of the second air may be greater than the discharge intensity of the first air. Accordingly, one side of the glass substrate GS positioned between the
또한, 실시예에 따르면, 단측 지지 바(4213)에서 배출되는 제2 에어의 배출 압력은, 제1 이송 장치(11)와 제3 이송 장치(21)의 이격 간격(d)(즉, 제1 이송 장치(11)의 단측 지지 바(4213)와 제3 이송 장치(21)의 단측 지지 바(4213)의 이격 간격(d)) 및 하향 경사진 단측 지지 바(4213)의 제1 상면 영역(4213a)의 각도(°) 중 적어도 하나에 기초하여 설정될 수 있다. 이 경우에도, In addition, according to the embodiment, the discharge pressure of the second air discharged from the short-
일례로서, 상기 이격 간격(d)이 증가할수록 글라스 기판(GS)의 자중에 의한 영향력이 커지므로, 제2 에어의 배출 압력이 증가되도록 설정될 수 있다. As an example, as the distance d increases, the influence by the weight of the glass substrate GS increases, so that the discharge pressure of the second air may be set to increase.
또 다른 일례로서, 상기 각도(θ°)가 증가할수록 글라스 기판(GS)의 하면과 단측 지지 바(4213)의 제1 상면 영역(4213a)과의 거리가 멀어지므로, 제2 에어의 배출 압력이 증가되도록 설정될 수 있다. As another example, as the angle θ° increases, the distance between the lower surface of the glass substrate GS and the first
이 후, 도 17의 (c)를 참조하면, 글라스 기판(GS)의 일측은 제3 이송 장치(21)의 상측에 위치한다. 이 때, 제3 이송 장치(21)의 중측 지지 바(4211)에 형성된 제1 에어 배출홀(4212)에서 제1 에어가 배출되고, 글라스 기판(GS)은 제1 에어에 의해 제3 이송 장치(21)에서 플로팅된다. 따라서, 제3 이송 장치(21)에서 글라스 기판(GS)의 표면 긁힘이 방지될 수 있다. Then, referring to FIG. 17C , one side of the glass substrate GS is positioned above the
도 18은 본 발명의 다른 실시예에 따른 지지부(421)의 단면도를 도시한 도면이다. 18 is a cross-sectional view of the
도 18을 참조하면, 지지부(421)는 단측 지지 바(4213)를 포함하지 않고, 중측 지지 바(4211)만을 포함할 수 있다. 그리고, 중측 지지 바(4211)의 양 측단 중 적어도 하나는 하향 경사지도록 형성될 수 있다. Referring to FIG. 18 , the
도 19는 본 발명의 다른 실시예에 따른 지지부(421)의 측단의 사시도를 도시한 도면이다. 19 is a view showing a perspective view of a side end of the
도 19를 참조하면, 지지부(421)의 측단과 대응되는 서브 지지 바의 상면은 제3 상면 영역(4211a) 및 제4 상면 영역(4211b)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 19 , the upper surface of the sub support bar corresponding to the side end of the
서브 지지 바의 제3 상면 영역(4211a)은 서브 지지 바의 제4 상면 영역(4211b)을 기준으로 θ°만큼 하향 경사질 수 있다. 서브 지지 바의 제4 상면 영역(4211b)에는 제1 에어 배출홀(4212)이 형성될 수 있고, 서브 지지 바의 제3 상면 영역(4211a)에는 제2 에어 배출홀(4214)이 형성될 수 있다. The third
즉, 도 18 및 도 19를 참조하면, 상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 지지부(421)와는 달리, 중측 지지 바(4211)의 양 측단 영역 제외한 중측 지지 바(4211)의 중측 영역에는 복수의 제1 에어 배출홀(4212)이 형성될 수 있고, 중측 지지 바(4211)의 양 측단 영역 중 적어도 하나에는 복수의 제2 에어 배출홀(4214)이 형성될 수 있다. 상술한 차이점을 제외하고는 도 12 내지 도 17에서 설명한 내용이 적용 가능하므로, 중복되는 설명은 생략하기로 한다. That is, with reference to FIGS. 18 and 19 , unlike the
한편, 도 12 내지 도 19에서 설명한 내용은 틸팅 각도가 변경되는 제1, 제2, 제3, 제4 이송 장치(11, 12, 21, 22) 이외에도 글라스 기판(GS)을 이송하는 다양한 이송 장치(일례로, 틸팅 각도가 고정된 평판 형상의 이송 장치)에도 용이하게 적용될 수 있다. Meanwhile, in addition to the first, second, third, and
또한, 도 12 내지 도 19에서는 에어가 에어 배출홀(4212, 4214)에서 배출되는 것으로 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니며, 에어 이외의 다양한 가스(gas, 기체)가 가스 배출홀에서 배출될 수도 있다. 이 경우, 가스 배출홀은 에어 배출홀(4212, 4214)과 대응될 수 있다. In addition, although it has been described that air is discharged from the air discharge holes 4212 and 4214 in FIGS. 12 to 19 , the present invention is not limited thereto, and various gases other than air are discharged from the gas discharge holes. it might be In this case, the gas discharge holes may correspond to the air discharge holes 4212 and 4214 .
이상과 같이 본 발명에서는 구체적인 구성 요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니되며, 후술하는 청구범위뿐 아니라 청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다. As described above, the present invention has been described with specific matters such as specific components and limited embodiments and drawings, but these are only provided to help the overall understanding of the present invention, and the present invention is not limited to the above embodiments, Various modifications and variations are possible from these descriptions by those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains. Therefore, the spirit of the present invention should not be limited to the described embodiments, and not only the claims described below, but also all of the claims and all equivalents or equivalent modifications will be said to belong to the scope of the spirit of the present invention.
Claims (7)
제2 각도로 틸팅된 글라스 기판 배출 장치와 인접하게 위치하고, 전후 방향으로 이동 가능한 제3 및 제4 이송 장치;를 포함하되,
상기 제1 및 제2 이송 장치 각각은 상기 글라스 기판 투입 장치로부터 글라스 기판을 이송받은 후 미리 설정된 간격만큼 이격되어 위치한 상기 제3 및 제4 이송 장치로 이송하고,
상기 제3 및 제4 이송 장치 각각은 상기 제1 및 제2 이송 장치로부터 글라스 기판을 이송받은 후 상기 글라스 기판 배출 장치로 이송하고,
상기 제1 및 제2 이송 장치 각각의 틸팅 각도는 상기 제1 각도 또는 제3 각도이고, 상기 제3 및 제4 이송 장치 각각의 틸팅 각도는 상기 제2 각도 또는 상기 제3 각도이며, 상기 제1, 제2 및 제3 각도는 서로 다르며,
상기 제1, 제2, 제3 및 제4 이송 장치 각각은,
상기 글라스 기판의 하면으로 제1 가스를 배출하는 복수의 제1 가스 배출홀이 상면에 형성되고, 상기 글라스 기판을 지지하는 제1 지지부; 및
상기 제1 지지부의 양측과 각각 연결되고, 상기 글라스 기판을 지지하는 제2 지지부:를 포함하고,
상기 제2 지지부의 상면 중 적어도 일부의 영역은 하향 경사지고, 상기 하향 경사진 적어도 일부의 영역에는 상기 글라스 기판의 하면으로 제2 가스를 배출하는 복수의 제2 가스 배출구가 형성되는,
글라스 기판 이송 시스템.
first and second transfer devices positioned adjacent to the glass substrate input device tilted at a first angle and movable in the front-rear direction; and
Including; but located adjacent to the glass substrate discharging device tilted at a second angle, the third and fourth transport devices movable in the front-rear direction;
Each of the first and second transfer devices transfers the glass substrate to the third and fourth transfer devices spaced apart from each other by a preset interval after receiving the glass substrate from the glass substrate input device,
Each of the third and fourth transfer devices transfers the glass substrate to the glass substrate discharging device after receiving the glass substrate from the first and second transfer devices,
A tilting angle of each of the first and second transfer devices is the first angle or a third angle, and a tilting angle of each of the third and fourth transfer devices is the second angle or the third angle, and the first , the second and third angles are different,
Each of the first, second, third and fourth transfer devices,
a first support part having a plurality of first gas discharge holes for discharging a first gas to a lower surface of the glass substrate and supporting the glass substrate; and
a second support part connected to both sides of the first support part, respectively, and supporting the glass substrate;
A plurality of second gas outlets for discharging a second gas to a lower surface of the glass substrate are formed in at least a portion of the upper surface of the second support portion inclined downward,
Glass substrate transport system.
상기 제1 가스에 의해 상기 글라스 기판은 상기 제1 지지부의 상면과 접촉하지 않고,
상기 제2 가스에 의해 상기 글라스 기판의 표면 긁힘 및/또는 모서리 파손이 방지되는,
글라스 기판 이송 시스템.
The method of claim 1,
The glass substrate does not come into contact with the upper surface of the first support part by the first gas,
Surface scratches and / or edge damage of the glass substrate is prevented by the second gas,
Glass substrate transfer system.
상기 제2 가스의 배출 압력은 상기 제1 가스의 배출 압력보다 높도록 설정되는,
글라스 기판 이송 시스템.
The method of claim 1,
the discharge pressure of the second gas is set to be higher than the discharge pressure of the first gas,
Glass substrate transfer system.
상기 제2 가스의 배출 압력은, 인접한 상기 이송 장치 사이의 이격 간격 및 상기 하향 경사진 적어도 일부의 영역의 각도 중 적어도 하나에 기초하여 설정되는,
글라스 기판 이송 시스템.
The method of claim 1,
The discharge pressure of the second gas is set based on at least one of a spacing between the adjacent conveying devices and an angle of the downwardly inclined at least part of the region,
Glass substrate transport system.
제2 각도로 틸팅된 글라스 기판 배출 장치와 인접하게 위치하고, 전후 방향으로 이동 가능한 제3 및 제4 이송 장치;를 포함하되,
상기 제1 및 제2 이송 장치 각각은 상기 글라스 기판 투입 장치로부터 글라스 기판을 이송받은 후 미리 설정된 간격만큼 이격되어 위치한 상기 제3 및 제4 이송 장치로 이송하고,
상기 제3 및 제4 이송 장치 각각은 상기 제1 및 제2 이송 장치로부터 글라스 기판을 이송받은 후 상기 글라스 기판 배출 장치로 이송하고,
상기 제1 및 제2 이송 장치 각각의 틸팅 각도는 상기 제1 각도 또는 제3 각도이고, 상기 제3 및 제4 이송 장치 각각의 틸팅 각도는 상기 제2 각도 또는 상기 제3 각도이며, 상기 제1, 제2 및 제3 각도는 서로 다르며,
상기 제1, 제2, 제3 및 제4 이송 장치 각각은, 상기 글라스 기판을 지지하는 복수의 지지 바를 포함하고,
상기 지지 바의 양 측단 영역은 하향 경사지고,
상기 지지 바의 양 측단 영역 제외한 상기 지지 바의 중측 영역에는 제1 가스를 배출하는 복수의 제1 가스 배출홀이 형성되고,
상기 지지 바의 양 측단 영역에는 제2 가스를 배출하는 복수의 제2 가스 배출홀이 형성되는,
글라스 기판 이송 시스템. first and second transfer devices positioned adjacent to the glass substrate input device tilted at a first angle and movable in the front-rear direction; and
Including; but located adjacent to the glass substrate discharging device tilted at a second angle, the third and fourth transport devices movable in the front-rear direction;
Each of the first and second transfer devices transfers the glass substrate to the third and fourth transfer devices spaced apart from each other by a preset interval after receiving the glass substrate from the glass substrate input device,
Each of the third and fourth transfer devices transfers the glass substrate to the glass substrate discharging device after receiving the glass substrate from the first and second transfer devices,
A tilting angle of each of the first and second transfer devices is the first angle or a third angle, and a tilting angle of each of the third and fourth transfer devices is the second angle or the third angle, and the first , the second and third angles are different,
Each of the first, second, third and fourth transfer devices includes a plurality of support bars for supporting the glass substrate,
Both side end regions of the support bar are inclined downward,
A plurality of first gas discharge holes for discharging a first gas are formed in the middle region of the support bar except for both side end regions of the support bar,
A plurality of second gas discharge holes for discharging a second gas are formed in both side end regions of the support bar,
Glass substrate transport system.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020220060244A KR102458915B1 (en) | 2022-05-17 | 2022-05-17 | Glass substrate transfer system including glass substrate transfer devices to prevent damage that occurs during transfer of glass substrate |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020220060244A KR102458915B1 (en) | 2022-05-17 | 2022-05-17 | Glass substrate transfer system including glass substrate transfer devices to prevent damage that occurs during transfer of glass substrate |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR102458915B1 true KR102458915B1 (en) | 2022-10-26 |
Family
ID=83785769
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020220060244A KR102458915B1 (en) | 2022-05-17 | 2022-05-17 | Glass substrate transfer system including glass substrate transfer devices to prevent damage that occurs during transfer of glass substrate |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR102458915B1 (en) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006264804A (en) * | 2005-03-22 | 2006-10-05 | Daiichi Shisetsu Kogyo Kk | Flotation unit for large flat panel, and non-contact carrying device using the same |
KR20080005948U (en) * | 2007-05-31 | 2008-12-04 | 주식회사 케이씨텍 | Substrate levitation pad and large area substrate levitation device using the same |
-
2022
- 2022-05-17 KR KR1020220060244A patent/KR102458915B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006264804A (en) * | 2005-03-22 | 2006-10-05 | Daiichi Shisetsu Kogyo Kk | Flotation unit for large flat panel, and non-contact carrying device using the same |
KR20080005948U (en) * | 2007-05-31 | 2008-12-04 | 주식회사 케이씨텍 | Substrate levitation pad and large area substrate levitation device using the same |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100603100B1 (en) | Transfer system for lcd glass substrate | |
JP4633161B2 (en) | Substrate transfer device | |
WO2013190800A1 (en) | Substrate transport system | |
US20060226094A1 (en) | Glass cassette for loading glass substrates of display panels | |
US7497317B2 (en) | Apparatus for conveying and raising objects | |
KR100500170B1 (en) | Apparatus for horizontal and up-down transporting of works | |
KR101424017B1 (en) | Substrate inspection apparatus | |
JP2009117571A (en) | Substrate processing apparatus and coating apparatus and coating method | |
JP2008166348A (en) | Substrate transfer apparatus | |
KR20050037365A (en) | Substrate conveying system | |
JP2006321575A (en) | Device and method for manufacturing display panel | |
KR20000011438A (en) | Mounting apparatus and method for electronic component | |
JP2010195592A (en) | Floating unit and substrate inspection apparatus | |
KR102458915B1 (en) | Glass substrate transfer system including glass substrate transfer devices to prevent damage that occurs during transfer of glass substrate | |
KR101577767B1 (en) | In-Line Moving Stage Apparatus | |
JP2004031799A (en) | Temporarily positioning mechanism of work and method for temporarily positioning work | |
US11705352B2 (en) | Base frame of substrate carrier, substrate carrier and substrate transfer mechanism | |
KR102458914B1 (en) | Glass substrate transfer system to perform tag dispersion | |
JP4457116B2 (en) | Deposition method | |
KR20150076736A (en) | Apparatus for transferring substrate and apparatus for inspecting substrate including the same | |
JP2006267802A (en) | Exposing device and exposing method | |
KR20050044989A (en) | Tray for transporting a glass panel for lcd panel | |
KR102189275B1 (en) | Transfer robot and transfer apparatus including the same | |
JP2002019959A (en) | Board transferring device | |
JP4635350B2 (en) | Transport device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant |