KR20080074275A - Cassette system - Google Patents

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KR20080074275A
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    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6732—Vertical carrier comprising wall type elements whereby the substrates are horizontally supported, e.g. comprising sidewalls

Abstract

A cassette system is provided to load substrates having a large area without drooping and to carry in or out the substrates freely in a desirable layer. A cassette system(100) is composed of: a conveyor type cassette(110) for moving substrates(S) in a predetermined direction while equally supporting several spots of the substrate over the front surface of the substrate; a cassette frame(120) for supporting each conveyor type cassette to stack plural conveyor type cassettes at regular intervals; a height adjusting unit(130) combined with the lower part of the cassette frame to adjust the height of the cassette frame; and a driving unit(140) installed at one side of the cassette frame to drive the conveyor type cassette moving at the same height by the height adjusting unit.

Description

카세트 시스템{cassette system}Cassette system

도 1은 종래의 카세트 시스템의 구조를 도시하는 사시도이다. 1 is a perspective view showing the structure of a conventional cassette system.

도 2는 종래의 카세트에 기판이 지지된 상태를 도시하는 단면도이다. 2 is a cross-sectional view showing a state in which a substrate is supported in a conventional cassette.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 시스템의 구조를 도시하는 정면도이다. 3 is a front view showing the structure of a cassette system according to an embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 컨베이어형 카세트의 구조를 도시하는 평면도이다. 4 is a plan view showing the structure of a conveyor-type cassette according to an embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 동력수취 수단 및 동력 전달 부재의 구조를 도시하는 부분 사시도이다. Figure 5 is a partial perspective view showing the structure of the power receiving means and the power transmission member according to an embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 시스템의 사용 상태를 도시하는 도면이다. 6 is a view showing a state of use of the cassette system according to an embodiment of the present invention.

본 발명은 카세트 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 대형 기판을 다수 장 수납할 수 있고, 적재된 기판의 중간 부분이 자체 하중에 의하여 처지는 현상이 발생하지 않는 카세트 시스템에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cassette system, and more particularly, to a cassette system which can accommodate a large number of large substrates, and does not cause a phenomenon in which an intermediate portion of the loaded substrate is sag due to its own load.

최근 컴퓨터, 텔레비젼 등 전자기기의 수요가 폭발적으로 증가함에 따라 이러한 전자기기에 필수적으로 사용되는 평판표시소자에 대한 수요도 증가하고 있다. 이러한 평판표시소자(Flat Panel Display)로는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), FED(Field Emission Display) 등이 있으며, 평판표시소자의 제조에 있어서는 그 제조공정상의 효율성을 위하여 취급되는 기판의 크기가 점진적으로 대형화되는 추세이다. Recently, as the demand for electronic devices such as computers and televisions has exploded, the demand for flat panel display devices used for such electronic devices has also increased. Such flat panel displays include liquid crystal displays (LCDs), plasma display panels (PDPs), field emission displays (FEDs), and the like. The size of the substrate is gradually increasing in size.

특히, 최근 생산라인의 가동이 시작된 7세대에는 취급되는 기판의 크기가 1.9×2.2 m 정도까지 초대형화되는 실정이며, 향후 8세대에서는 이보다 더 커질 전망이다. In particular, in the 7th generation, which has recently started production, the size of substrates to be handled is very large up to 1.9 × 2.2 m, which is expected to be larger in the 8th generation.

이러한 대형 기판을 제조하는 평판표시소자 제조에 있어서는 필수적으로 도 1에 도시된 바와 같이, 대형 기판을 적재하여 보관할 수 있는 카세트(cassette, 10)가 필요하다. 즉, 기판에 특정의 처리를 실시하는 평판표시소자 제조장치에 기판을 반입하고, 평판표시소자 제조장치에 의하여 처리된 기판을 반출하는 경우, 반입될 새로운 기판과 반출된 기판을 임시로 보관할 수 있는 카세트가 평판표시소자 제조장치의 외부에 위치되어 있어서, 새로운 기판을 차례대로 평판표시소자 제조장치에 반입시키고, 처리된 기판을 차례대로 다시 카세트(10)에 적재한다. In manufacturing a flat panel display device for manufacturing such a large substrate, as shown in FIG. 1, a cassette 10 capable of storing and storing a large substrate is required. That is, when a substrate is imported into a flat panel display device manufacturing apparatus that performs a specific process on the substrate, and the substrate processed by the flat panel display device manufacturing apparatus is taken out, it is possible to temporarily store the new substrate and the exported substrate to be loaded. Since the cassette is located outside the flat panel display device manufacturing apparatus, new substrates are sequentially brought into the flat panel display device manufacturing apparatus, and the processed substrates are sequentially loaded back into the cassette 10.

상술한 바와 같이 카세트(10)를 사용하는 이유는 기판 하나 하나를 운반하는 경우 기판 운반에 매우 시간이 많이 소요되고, 또한 운반 과정에서 기판이 파손될 가능성이 많이 있기 때문에 카세트에 다수 장을 적재시킨 후 카세트(10) 자체를 운 반하는 것이다. 이렇게 카세트 단위로 기판을 운반하면, 운반 과정에서 기판이 파손되는 것을 방지할 수 있으며, 작업의 효율성도 높일 수 있는 것이다. As described above, the reason why the cassette 10 is used is that it takes a lot of time to transport the substrate when carrying the substrate one by one, and there is a possibility that the substrate may be damaged during the transportation process. Carrying the cassette 10 itself. When the substrate is transported in the cassette unit in this way, the substrate can be prevented from being damaged during the transport process, and the work efficiency can be improved.

여기서, 종래의 카세트(10)를 간단하게 살펴본다. 종래의 카세트(10)는 도 1에 도시된 바와 같이, 카세트의 전체적인 형상을 이루는 카세트 프레임(11); 상기 카세트 프레임(11)의 측부에 일정한 간격을 가지도록 이격되어 배치되는 측벽 프레임(12); 상기 측벽 프레임(12)을 가로질러 배치되는 가로바(13); 상기 가로바(13)의 상부에 일정한 간격으로 이격되어 다수개가 배치되는 기판 지지핀(14);으로 구성된다. Here, the conventional cassette 10 will be described briefly. Conventional cassette 10, as shown in Figure 1, the cassette frame 11 forming the overall shape of the cassette; Sidewall frames 12 disposed spaced apart from each other at regular intervals on the side of the cassette frame 11; Horizontal bars (13) disposed across the sidewall frames (12); The substrate support pin 14 is spaced apart at regular intervals on the horizontal bar 13 is disposed;

그리고 이 카세트(10)는 일정한 카세트 지지대(20)에 위치된다. 이때 카세트(10)와 카세트 지지대(20)는 별도로 마련되는 얼라이너(도면에 미도시)의 정확한 위치 조정에 의하여 결합된다. 이 카세트 지지대(20)의 전방에는 도 1에 도시된 바와 같이, 기판을 이동시키는 반송 로봇(30)이 배치되며, 이 반송 로봇에 의하여 카세트(10)에 적재되어 있는 기판이 외부로 반출되기도 하고, 외부에서 기판이 이동되어 카세트에 적재되기도 한다. This cassette 10 is then placed on a constant cassette support 20. At this time, the cassette 10 and the cassette support 20 are coupled by precise position adjustment of the aligner (not shown in the drawing) separately provided. In front of the cassette support 20, as shown in FIG. 1, a transfer robot 30 for moving the substrate is disposed, and the substrate loaded on the cassette 10 is sometimes carried out by the transfer robot. In addition, the substrate may be moved from the outside to be loaded into the cassette.

그런데 종래의 카세트(10)에서는 기판 지지핀(14)이 배치되는 간격이 반송 로봇의 엔드 이펙트(32)가 삽입되는 공간을 확보하기 위하여 일정 간격 이상을 유지하여야 한다. 따라서 도 2에 도시된 바와 같이, 기판 지지핀(14) 사이의 간격이 커져서 기판의 특정 부분이 하측으로 처지는 현상이 발생한다. 이렇게 기판이 하측으로 처지는 경우에는 엔드 이펙트(32)가 기판의 반송을 위하여 진입하다가 기판과 충돌하여 기판이 파손되는 문제점이 발생한다. By the way, in the conventional cassette 10, the interval at which the substrate support pin 14 is disposed should be maintained at a predetermined interval or more to secure a space in which the end effect 32 of the transfer robot is inserted. Therefore, as shown in FIG. 2, the gap between the substrate support pins 14 is increased to cause a certain portion of the substrate to sag downward. In this case, when the substrate sags downward, the end effect 32 enters for the transfer of the substrate and collides with the substrate, thereby causing the substrate to be broken.

이러한 문제점을 해결하기 위하여 기판 지지핀(14)의 높이를 높이는 경우에는 상하 측으로 이웃한 가로바(13) 사이의 간격이 커져서 하나의 카세트에 적재가능한 기판의 수가 적어지는 문제점이 있다. 또한 기판의 일정한 부분이 처지는 현상은 계속하여 발생하므로 기판에 특정한 패턴 등이 형성되어 있는 경우에는 그 패턴이 손상될 수 있는 문제점도 있다. In order to solve this problem, when the height of the substrate support pin 14 is increased, there is a problem in that the number of substrates that can be loaded in one cassette is increased by increasing the distance between the horizontal bars 13 adjacent to the upper and lower sides. In addition, the phenomenon in which a certain portion of the substrate is sagging continuously occurs, there is also a problem that the pattern may be damaged when a specific pattern is formed on the substrate.

본 발명의 목적은 기판의 처짐 현상 없이 대형 기판을 적재하며 반송할 수 있는 카세트 시스템을 제공함에 있다. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a cassette system capable of carrying and carrying a large substrate without sagging of the substrate.

전술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 기판의 전면에 걸쳐서 고르게 다수 지점을 지지한 채로 기판을 일정한 방향으로 이동시킬 수 있는 컨베이어형 카세트; 상기 컨베이어형 카세트 다수개가 일정한 간격 이격되어 적층되도록 각 컨베이어형 카세트를 지지하는 카세트 프레임; 상기 카세트 프레임의 하부에 결합되어 마련되며, 상기 카세트 프레임의 높이를 조정하는 높이 조정부; 상기 카세트 프레임의 일측에 마련되며, 상기 높이 조정부에 의하여 동일한 높이로 이동되는 컨베이어형 카세트를 구동시키는 구동부;를 포함하는 카세트 시스템을 제공한다. In order to achieve the above object, the present invention is a conveyor-type cassette capable of moving the substrate in a constant direction while supporting a plurality of points evenly over the front surface of the substrate; A cassette frame for supporting each conveyor cassette such that the plurality of conveyor cassettes are stacked at regular intervals; A height adjustment unit coupled to a lower portion of the cassette frame and adjusting a height of the cassette frame; It is provided on one side of the cassette frame, the drive unit for driving a conveyor-type cassette moved to the same height by the height adjustment unit; provides a cassette system comprising a.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 일 실시예를 상세하게 설명한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a specific embodiment of the present invention.

본 실시예에 따른 카세트 시스템(100)은, 도 3에 도시된 바와 같이, 컨베이어형 카세트(110); 카세트 프레임(120); 높이 조정부(130); 구동부140);를 포함하여 구성된다. Cassette system 100 according to the present embodiment, as shown in Figure 3, a conveyor cassette 110; Cassette frame 120; Height adjusting unit 130; The driving unit 140; is configured to include.

먼저 컨베이어형 카세트(110)는, 기판(S)의 전면에 걸쳐서 고르게 다수 지점을 지지한 채로 기판을 일정한 방향으로 이동시킬 수 있는 구성요소이다. 즉, 도 4에 도시된 바와 같이, 기판의 다수 지점을 매우 촘촘하게 지지하여, 기판 중 지지되지 않는 부분이 하측으로 처지는 것을 방지한다. 그리고 이 컨베이어형 카세트(110)는 막대형 롤링바(111); 동력수취 수단(112); 동력전달 부재(113);로 구성된다. 여기에서 막대형 롤링바(111)는 일단에 동력 수취수단(112)이 마련되며, 회전가능한 구조로 마련된다. 그리고 상기 컨베이어형 카세트(110)는 다수층으로 마련되는 데 한 층에는 이 막대형 롤링바(111) 다수개가 수평 방향으로 나란하게 배치되어 한 장의 기판을 지지할 수 있는 한층을 이룬다. First, the conveyor cassette 110 is a component capable of moving the substrate in a constant direction while supporting a plurality of points evenly over the entire surface of the substrate S. That is, as shown in FIG. 4, the plurality of points of the substrate are supported very tightly to prevent the unsupported portion of the substrate from sagging downward. And the conveyor cassette 110 is a bar-shaped rolling bar 111; Power receiving means 112; It is composed of a power transmission member 113. Here, the rod-shaped rolling bar 111 is provided with a power receiving means 112 at one end, it is provided in a rotatable structure. In addition, the conveyor cassette 110 is provided in a plurality of layers, and a plurality of rod-shaped rolling bars 111 are arranged side by side in a horizontal direction in one layer to form a layer capable of supporting a single substrate.

그리고 상기 동력 수취수단(112)은 상기 막대형 롤링바(111)의 일단에 마련되며, 외부로 부터 전달되는 동력을 수취하여 상기 막대형 롤링바가 회전하도록 한다. 물론 이 동력 수취수단(112)이 막대형 롤링바(111)의 양 단에 각각 마련될 수도 있다. And the power receiving means 112 is provided at one end of the rod-shaped rolling bar 111, and receives the power transmitted from the outside to allow the rod-shaped rolling bar to rotate. Of course, the power receiving means 112 may be provided at both ends of the rod-shaped rolling bar 111, respectively.

또한 이 막대형 롤링바(111)의 외주면에는 도 4에 도시된 바와 같이 일정한 간격으로 기판 접촉부재(114)가 배치된다. 이 기판 접촉부재(114)는 실제로 기판(S)의 하면과 접촉하여 기판을 지지하는 구성요소로서 기판과의 접촉 과정에서 기판을 손상시키지 않도록 기판보다 경도가 약한 소재로 구성된다. 그리고 기판의 여러지점을 지지함으로써 기판의 일정한 부분이 하측을 처지는 현상을 방지하기 위하여, 많은 수의 기판 접촉부재(114)가 좁은 간격을 가지면서 하나의 막대형 롤링바(111)에 배치될 수도 있다. In addition, the substrate contact member 114 is disposed on the outer circumferential surface of the rod-shaped rolling bar 111 at regular intervals as shown in FIG. 4. The substrate contact member 114 is a component that actually contacts the lower surface of the substrate S to support the substrate, and is made of a material having a lower hardness than the substrate so as not to damage the substrate during contact with the substrate. In addition, in order to prevent a certain portion of the substrate from sagging downward by supporting various points of the substrate, a large number of substrate contact members 114 may be disposed in one bar-shaped rolling bar 111 with a narrow gap. have.

그리고 카세트 프레임(120)은 상기 컨베이어형 카세트의 전체적인 형상을 이루며, 상기 막대형 롤링바(111)가 다층으로 배치될 때 고정되는 구조물 역할을 한다. 상기 막대형 롤링바(111)는 이 카세트 프레임(120)에 회전 가능한 상태로 결합된다. 즉, 카세트 프레임(120)과의 결합 지점에 베어링과 같은 윤활부재가 배치되어 원활한 회전운동을 할 수 있도록 구성된다. And the cassette frame 120 forms the overall shape of the conveyor-type cassette, and serves as a structure that is fixed when the rod-shaped rolling bar 111 is arranged in a multi-layer. The rod-shaped rolling bar 111 is coupled to the cassette frame 120 in a rotatable state. That is, a lubrication member such as a bearing is disposed at the coupling point with the cassette frame 120 so as to allow smooth rotational movement.

또한 전술한 바와 같이 각 막대형 롤링바(111)의 일측에는 도 3, 4에 도시된 바와 같이, 각 층마다 동력전달부재(113)가 마련된다. 이 동력전달부재(113)는 각 막대형 롤링바(111) 중 상기 동력 수취수단(112)이 마련되는 쪽에 배치되어 하나의 층에 배치되는 모든 막대형 롤링바에 동일한 회전동력을 전달하는 구성요소이다. 즉, 하나의 동력전달부재(113)가 한 층에 마련된 다수개의 막대형 롤링바에 마련되는 다수개의 동력 수취수단에 동일한 회전 동력을 제공하여 한층에 배치되는 모든 막대형 롤링바가 동일한 속도로 회전하게 하는 것이다. 이렇게 한 층의 모든 막대형 롤링바가 동일한 속도로 회전하면 그 상부에 지지된 기판이 일정한 방향으로 이동하게 된다. In addition, as described above, as shown in FIGS. 3 and 4, one side of each bar-shaped rolling bar 111 is provided with a power transmission member 113 for each floor. The power transmission member 113 is a component that transmits the same rotational power to all the rod-shaped rolling bar arranged on one side of the rod-shaped rolling bar 111 is arranged on the side where the power receiving means 112 is provided. . That is, one power transmission member 113 provides the same rotational power to the plurality of power receiving means provided on the plurality of rod-shaped rolling bars provided on one layer, so that all the rod-shaped rolling bars arranged on the one layer rotate at the same speed. will be. Thus, when all the bar-shaped rolling bars of one layer rotate at the same speed, the substrate supported thereon moves in a constant direction.

본 실시예에서는 상기 동력 수취수단(112)과 동력전달 부재(113)는 비접촉식 마그네틱 기어 구조로 마련된다. 여기에서 비접촉식 마그네틱 기어 구조라 함은, 도 5에 도시된 바와 같이, 서로 접촉되지 않은 상태에서 자기력에 의하여 동력을 전달하고 전달받는 기어구조를 말한다. 본 실시예에 따른 카세트 시스템(100)에서 다루는 기판은 평판표시소자의 재료로 사용되는 유리 기판으로서 매우 정교한 작업을 요한다. 따라서 그 이동과정 또는 취급과정에서 발생하는 미세한 파티클이 불량의 원인이 될 수 있다. 따라서 취급과정에서 파티클이 발생하지 않도록 동력 전달 과정에서도 비접촉식 기어를 사용하는 것이다. In this embodiment, the power receiving means 112 and the power transmission member 113 is provided in a non-contact magnetic gear structure. Here, the non-contact magnetic gear structure refers to a gear structure in which power is transmitted and received by magnetic force in a state in which it is not in contact with each other, as shown in FIG. 5. The substrate handled in the cassette system 100 according to the present embodiment requires a very sophisticated work as a glass substrate used as a material of the flat panel display element. Therefore, the fine particles generated during the movement or handling process may be the cause of the defect. Therefore, the contactless gear is also used in the power transmission process so that no particles are generated during handling.

다음으로 높이 조정부(130)는 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 프레임(120)의 하부에 결합되어 마련되며, 상기 프레임의 높이를 조정하는 구성요소이다. 본 실시예에서 상기 컨베이어형 카세트(110)는 다층으로 구성하면서도, 이 다수개의 컨베이어형 카세트를 구동시키는 구동부(140)는 일정한 위치에 고정된 상태로 하나를 구비한다. 따라서 상기 구동부(140)의 위치로 각 컨베이어형 카세트(110)를 이동시킨 후 구동시켜야 한다. 상기 높이 조정부(130)가 각 컨베이어형 카세트(140)의 높이를 조정하여 상기 구동부(140)와 결합되도록 하여 구동시키는 것이다. 본 실시예에서는 이 높이 조정부(130)를 도 3에 도시된 바와 같이, 시저(scissor)형 상하 구동부로 구성한다. 이렇게 시저형 상하 구동부로 구성하면, 간단한 구조로 큰 하중을 부담할 수 있으며, 미세하게 높이를 조정할 수 있는 장점이 있다. Next, as shown in FIG. 3, the height adjusting unit 130 is provided to be coupled to the lower portion of the frame 120 and adjusts the height of the frame. In this embodiment, the conveyor cassette 110 is configured in a multi-layer, but the driving unit 140 for driving the plurality of conveyor cassettes is provided with a fixed state at a predetermined position. Therefore, the conveyor-type cassette 110 must be moved to the position of the driving unit 140 and then driven. The height adjustment unit 130 is driven by adjusting the height of each conveyor-type cassette 140 to be coupled to the drive unit 140. In the present embodiment, the height adjusting unit 130 is configured as a scissor type vertical drive unit as shown in FIG. 3. When configured as a scissor type up and down drive unit, it can bear a large load with a simple structure, there is an advantage that the height can be finely adjusted.

다음으로 구동부(140)는 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 카세트 프레임(120)의 일측에 마련되며, 상기 높이 조정부(130)에 의하여 동일한 높이로 이동되는 컨베이어형 카세트(110)를 구동시키는 구성요소이다. 이 구동부는 상기 프레임의 일측에 마련될 수도 있고, 양측에 마련될 수도 있다. 이 구동부(140)는, 상기 높이 조정부(130)에 의하여 상기 프레임이 가장 낮게 하강하였을 때 최상측의 컨베이어 형 카세트의 높이와 동일한 높이에 배치된다. 따라서 이 구동부(140)는 그 높이에 고정된 상태로 배치되고, 상기 높이조정부에 의하여 기판의 반입 또는 반출이 요구되는 층의 컨베이어형 카세트가 이동되어 오면 그 컨베이어형 카세트의 동력 전달부재와 대응되어 동력을 전달한다. Next, as shown in FIG. 3, the driving unit 140 is provided at one side of the cassette frame 120 and drives the conveyor-type cassette 110 moved to the same height by the height adjusting unit 130. Element. The driving unit may be provided on one side of the frame or on both sides. The drive unit 140 is disposed at the same height as the height of the conveyor-type cassette on the uppermost side when the frame is lowered by the height adjusting unit 130. Therefore, the driving unit 140 is disposed fixed to the height, and when the conveyor cassette of the layer requiring the loading or unloading of the substrate is moved by the height adjusting unit, the driving unit 140 corresponds to the power transmission member of the conveyor cassette. Transmits power.

본 실시예에 따른 카세트 시스템(100)에서는, 상기 프레임(120)의 전방에 상기 구동부(140)와 동일한 높이에 배치되며, 상기 컨베이어형 카세트에 의하여 수평 이동되는 기판을 수취하여 일정한 방향으로 전달하는 기판 전달부(도면에 미도시)가 더 마련되는 것이 바람직하다. 본 실시예에 따른 카세트 시스템(100)에서는 기판이 컨베이어에 의하여 외부로 이동되거나 수취된다. 따라서 이 카세트 시스템의 전방에 동일한 이동방식을 가지는 기판 전달부가 배치되어 카세트 시스템으로부터 배출되는 기판을 받아서 공정 위치로 이동시키고, 공정 위치에서 이동되는 기판을 카세트로 공급하는 역할을 할 필요가 있는 것이다. 이 기판 전달부가 종래의 반송 로봇 역할을 하는 것이다. In the cassette system 100 according to the present embodiment, the substrate 120 is disposed at the same height as the driving unit 140 in front of the frame 120, and receives a substrate that is horizontally moved by the conveyor-type cassette to transfer the substrate in a predetermined direction. It is preferable that a substrate transfer part (not shown in the figure) is further provided. In the cassette system 100 according to the present embodiment, the substrate is moved or received outside by the conveyor. Therefore, the substrate transfer unit having the same movement method is disposed in front of the cassette system to receive the substrate discharged from the cassette system and to move it to the process position, and to supply the substrate moved from the process position to the cassette. This substrate transfer part acts as a conventional transfer robot.

이하에서는 본 실시예에 따른 카세트 시스템의 작동 과정을 설명한다. Hereinafter, an operation process of the cassette system according to the present embodiment will be described.

먼저 기판을 반출하는 과정을 설명한다. 우선 기판이 반출될 층을 정한다. 기판이 반출될 층이 정해지면 도 6에 도시된 바와 같이, 높이 조정부(130)를 구동시켜, 그 층의 컨베이어형 카세트(110)가 구동부(140)와 동일한 높이가 되도록 프레임의 높이를 조정한다. 기판이 반출될 층의 컨베이어형 카세트가 구동부로 이동되면 구동부(140)를 작동시켜 막대형 롤링바(111)를 회전 구동시킨다. 그러면 이 컨베이어형 카세트에 지지되어 있는 기판(S)이 외측으로 이동된다. First, the process of carrying out a board | substrate is demonstrated. First, the layer to which the substrate is to be carried out is determined. When the layer to which the substrate is to be carried out is determined, as shown in FIG. 6, the height adjusting unit 130 is driven to adjust the height of the frame such that the conveyor type cassette 110 of the layer is the same height as the driving unit 140. . When the conveyor-type cassette of the layer to which the substrate is to be moved is moved to the driving unit, the driving unit 140 is operated to rotate and drive the rod-shaped rolling bar 111. Then, the board | substrate S supported by this conveyor-type cassette is moved outward.

다음으로 기판을 반입하는 과정을 설명한다. 먼저 기판이 반입될 층을 정하다. 기판이 반입될 층이 정해지면 높이 조정부(130)를 구동시켜 그 층의 컨베이어형 카세트(110)가 구동부(140) 높이에 오도록 높이를 조정한다. 그리고 나서 구동부(140)를 구동시켜 막대형 롤링바를 회전구동시키고 기판을 전달 받는다. Next, the process of carrying in a board | substrate is demonstrated. First determine the layer into which the substrate is to be loaded. When the layer into which the substrate is to be loaded is determined, the height adjusting unit 130 is driven to adjust the height so that the conveyor type cassette 110 of the layer is at the height of the driving unit 140. Then, the driving unit 140 is driven to rotate the rod-shaped rolling bar and receive the substrate.

본 발명에 따르면 대면적 기판을 처지지 않게 적재할 수 있으며, 원하는 층에서 자유롭게 기판을 반출하고 반입할 수 있는 장점이 있다. According to the present invention, a large area substrate can be loaded without sagging, and there is an advantage in that the substrate can be freely taken out and brought in from a desired layer.

또한 본 발명에 따르면 카세트 시스템은 인라인형 제조라인에 삽입되어 안정적으로 기판을 공급할 수 있는 장점이 있다. In addition, according to the present invention, the cassette system has an advantage of being able to be stably supplied with a substrate inserted into an inline manufacturing line.

Claims (7)

기판의 전면에 걸쳐서 고르게 다수 지점을 지지한 채로 기판을 일정한 방향으로 이동시킬 수 있는 컨베이어형 카세트;A conveyor cassette capable of moving the substrate in a constant direction while supporting a plurality of points evenly over the front surface of the substrate; 상기 컨베이어형 카세트 다수개가 일정한 간격 이격되어 적층되도록 각 컨베이어형 카세트를 지지하는 카세트 프레임;A cassette frame for supporting each conveyor cassette such that the plurality of conveyor cassettes are stacked at regular intervals; 상기 카세트 프레임의 하부에 결합되어 마련되며, 상기 카세트 프레임의 높이를 조정하는 높이 조정부;A height adjusting unit coupled to a lower portion of the cassette frame and adjusting a height of the cassette frame; 상기 카세트 프레임의 일측에 마련되며, 상기 높이 조정부에 의하여 동일한 높이로 이동되는 컨베이어형 카세트를 구동시키는 구동부;를 포함하는 카세트 시스템. And a driving unit provided at one side of the cassette frame and driving the conveyor-type cassette moved to the same height by the height adjusting unit. 제1항에 있어서, 상기 컨베이어형 카세트는, The method of claim 1, wherein the conveyor cassette, 일단에 동력 수취수단이 마련되며, 회전가능한 다수개의 막대형 롤링바;Power receiving means is provided at one end, a plurality of rod-type rolling bar rotatable; 각 막대형 롤링바의 일측에 배치되어 각 동력수취 수단에 동일한 회전동력을 전달하는 동력전달부재;로 구성되는 것을 특징으로 하는 카세트 시스템.And a power transmission member disposed at one side of each rod-shaped rolling bar to transmit the same rotational power to each power receiving means. 제2항에 있어서, 상기 막대형 롤링바의 외주면에는, The outer peripheral surface of the bar-shaped rolling bar, 기판과 접촉하는 기판 접촉부재 다수개가 일정한 간격으로 이격되어 배치되는 것을 특징으로 하는 카세트 시스템.A cassette system, characterized in that a plurality of substrate contact members in contact with the substrate are arranged spaced apart at regular intervals. 제2항에 있어서, The method of claim 2, 상기 동력 수취수단과 동력 전달부재는 비접촉식 마그네틱 기어 구조인 것을 특징으로 하는 카세트 시스템.The power receiving means and the power transmission member are cassette systems, characterized in that the non-contact magnetic gear structure. 제1항에 있어서, 상기 높이 조정부는, The method of claim 1, wherein the height adjustment unit, 시저형 상하 구동부인 것을 특징으로 하는 카세트 시스템.Cassette system characterized in that the vertical drive unit. 제3항에 있어서, 상기 기판 접촉부재는, The method of claim 3, wherein the substrate contact member, 경도가 기판보다 작은 연성 부재인 것을 특징으로 하는 카세트 시스템.A cassette system, characterized in that the hardness is a flexible member smaller than the substrate. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 카세트 프레임의 전방에 상기 구동부와 동일한 높이에 배치되며, 상기 컨베이어형 카세트에 의하여 수평 이동되는 기판을 수취하여 일정한 방향으로 전달하는 기판 전달부가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 카세트 시스템.And a substrate transfer unit disposed at the same height as the driving unit in front of the cassette frame, the substrate transfer unit receiving the substrate horizontally moved by the conveyor-type cassette and delivering the substrate in a predetermined direction.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100899135B1 (en) * 2008-10-14 2009-05-25 주식회사 톱텍 Glass transporting system
KR101421435B1 (en) * 2013-03-05 2014-08-13 주식회사 선익시스템 Chamber for Storaging Substrates
CN107884964A (en) * 2017-12-21 2018-04-06 武汉华星光电技术有限公司 Substrate loading device with elevating function

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