KR101586694B1 - Cassette transfer system - Google Patents

Cassette transfer system Download PDF

Info

Publication number
KR101586694B1
KR101586694B1 KR1020140060129A KR20140060129A KR101586694B1 KR 101586694 B1 KR101586694 B1 KR 101586694B1 KR 1020140060129 A KR1020140060129 A KR 1020140060129A KR 20140060129 A KR20140060129 A KR 20140060129A KR 101586694 B1 KR101586694 B1 KR 101586694B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cassette
port
push arm
module
centering
Prior art date
Application number
KR1020140060129A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20150133439A (en
Inventor
최호준
김상철
Original Assignee
주식회사 에스에프에이
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 에스에프에이 filed Critical 주식회사 에스에프에이
Priority to KR1020140060129A priority Critical patent/KR101586694B1/en
Publication of KR20150133439A publication Critical patent/KR20150133439A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101586694B1 publication Critical patent/KR101586694B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

카세트 이송 시스템이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 이송 시스템는, 카세트가 로딩/언로딩 되는 다수의 포트; 및 포트에 설치되며, 카세트를 다수의 포트 사이를 이동하며 하나의 포트로부터 다른 포트로 카세트를 이송시키는 카세트 이송 대차에 대하여 로딩/언로딩시키는 포트 설치형 카세트 로딩/언로딩 유닛을 포함한다.A cassette transfer system is disclosed. A cassette transfer system according to an embodiment of the present invention includes a plurality of ports through which a cassette is loaded / unloaded; And a port-mounted cassette loading / unloading unit installed in the port for loading / unloading the cassette transporting carriage which moves the cassette between the plurality of ports and transports the cassette from one port to the other port.

Description

카세트 이송 시스템{CASSETTE TRANSFER SYSTEM}[0001] CASSETTE TRANSFER SYSTEM [0002]

본 발명은, 카세트 이송 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 업/다운 유닛의 유지보수 시간 및 비용을 절감시킬 수 있고 시스템의 중량 증가 및 소비전력 증가에 따른 추가 손실을 감소시킬 수 있으며 시스템 전체의 원가를 절감시킬 수 있는 카세트 이송 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a cassette transfer system, and more particularly, to a cassette transfer system capable of reducing the maintenance time and cost of the up / down unit and reducing the additional loss due to an increase in the system weight and power consumption, To a cassette transfer system capable of reducing the cost of the cassette.

최근 들어 반도체 산업 중 전자 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 평면 디스플레이(Flat Panel Display, FPD)가 등장하기 시작하였다.Recently, as the electronic display industry has rapidly developed in the semiconductor industry, a flat panel display (FPD) has begun to emerge.

평면 디스플레이(FPD)는, TV나 컴퓨터 모니터 등에 디스플레이(Display)로 종래 주로 사용된 음극선관(CRT, Cathode Ray Tube)보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치인데, 이러한 평면 디스플레이는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), AMOLED(Active Matrix Organic Light Emitting Diodes) 등으로 그 종류가 다양하다.2. Description of the Related Art A flat panel display (FPD) is an image display device that is thinner and lighter than a cathode ray tube (CRT) conventionally used for a display such as a TV or a computer monitor. , PDP (Plasma Display Panel), and AMOLED (Active Matrix Organic Light Emitting Diodes).

평면 디스플레이는 원자재인 기판(glass)이 여러 제조 공정을 거치면서 생산되며, 수많은 단위 공정들로 이루어진 평면 디스플레이의 제조공정은 일반적으로 클린룸에서 이루어지고 있다.Flat panel displays are produced through various manufacturing processes, and flat panel displays are manufactured in a clean room.

이때 각 제조 공정이 이루어지는 공정장비 사이에서 기판(glass)을 이송할 필요가 있으며, 기판을 효율적으로 이송하기 위하여 클린룸 내부의 특정 공정장비에 의해 공정이 완료된 다수의 기판을 카세트(Cassette)에 적재하고 그 카세트를 무인 반송차(shuttle), 즉 카세트 이송 대차에 적재하여 클린룸 내의 다른 공정장비로 이송하게 된다.At this time, it is necessary to transfer the glass between the process equipment in which each manufacturing process is performed. In order to efficiently transport the substrate, a plurality of substrates, which have been processed by specific process equipment in the clean room, are loaded on a cassette And the cassette is transported to an unattended shuttle, or cassette transfer truck, to another process equipment in the clean room.

이러한 카세트 이송 시스템에 있어서 포트는 카세트가 로딩/언로딩되는 장소로서, 랙 마스터(Rack Master)나 이재 로봇(P&P) 등의 인접설비에 의해 카세트가 로딩/언로딩되는 작업위치(Interface)가 되거나 카세트를 임시로 보관하는 버퍼(Buffer)가 되는 장소이다.In such a cassette transport system, the port is the location where the cassette is loaded / unloaded and may be a working position where the cassette is loaded / unloaded by adjacent equipment such as a rack master or a moving robot (P & P) It is the place where the buffer which temporarily stores the cassette becomes (Buffer).

이때 포트는 카세트가 일정한 높이, 즉 인접 설비간의 카세트 이송이 이루어지는 패스 라인(Pass Line) 이상의 위치에서 로딩 또는 보관되도록 바닥으로부터 일정한 높이 이상으로 마련되어 카세트를 지지하는 역할을 하게 된다.At this time, the port is provided at a predetermined height or more from the floor so as to be loaded or stored at a position above a pass line where a cassette is conveyed between adjacent facilities, that is, a cassette is transferred between adjoining facilities, thereby supporting the cassette.

종래의 카세트 이송 시스템에서의 카세트 이송 대차를 살펴보면, 포트에 로딩되어 있는 카세트를 언로딩하기 위하여 카세트 이송 대차의 높이를 조절가능하도록 업/다운 유닛이 카세트 이송 대차에 마련되어있었다. 이러한 구성에 의하여 포트에 로딩되어 있는 카세트보다 낮은 높이로 접근한 후에 카세트 이송 대차의 높이를 높임으로써 포트로부터 카세트를 언로딩 할 수 있었으며, 다른 포트로 이송한 후에 카세트 이송 대차의 높이를 낮춤으로써 포트에 카세트를 로딩시킬 수 있었다.The cassette transfer bogie in the conventional cassette transfer system has an up / down unit provided on the cassette transfer bogie so as to adjust the height of the cassette transfer bogie to unload the cassette loaded in the port. With this configuration, the cassette can be unloaded from the port by raising the height of the cassette transporting carriage after reaching a lower height than the cassette loaded in the port. By lowering the height of the cassette transporting carriage after transporting the cassette to another port, To load the cassette.

그런데 이러한 종래의 카세트 이송 시스템에 있어서는 업/다운 유닛이 마련된 카세트 이송 대차에 주행 유닛, 선회 유닛들이 모두 탑재됨으로써 각 유닛들이 카세트 이송 대차의 제한된 공간에서 복잡하게 조립 또는 매립되어 있어 유지보수가 불편하며, 업/다운 유닛 고장 시 교체 등 문제 해결시까지 매우 긴 시간이 소요되는 문제점이 있다.However, in such a conventional cassette transporting system, since the traveling unit and the pivoting unit are all mounted on the cassette transporting lane provided with the up / down unit, the respective units are complicatedly assembled or buried in a limited space of the cassette transporting lane, , And a problem that it takes a very long time to solve the problem, such as replacement of the up / down unit.

또한 카세트가 대형화됨에 따라 대차 부하 중량 및 각 유닛들의 중량이 증가하여 프레임 및 건설 천장 보강의 추가 손실이 발생하였으며, 이송 설비의 소비전력량이 늘어나는 문제점이 있다.Also, as the cassette is enlarged, the weight of the load and the weight of each unit are increased, so that additional loss of frame and construction ceiling reinforcement occurs, and power consumption of the conveying facility is increased.

대한민국 등록특허 제10-0374670호, 2014.03.10.Korean Patent No. 10-0374670, Apr. 20, 2014.

따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 업/다운 유닛의 유지보수 시간 및 비용을 절감시킬 수 있고 시스템의 중량 증가 및 소비전력 증가에 따른 추가 손실을 감소시킬 수 있으며 시스템 전체의 원가를 절감시킬 수 있는 카세트 이송 시스템을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide an apparatus and a method for reducing the maintenance time and cost of an up / down unit, reducing an additional loss due to an increase in weight of a system and an increase in power consumption, And a cassette transfer system.

본 발명의 일 측면에 따르면, 카세트가 로딩/언로딩 되는 다수의 포트; 및 상기 포트에 설치되며, 상기 카세트를 상기 다수의 포트 사이를 이동하며 하나의 포트로부터 다른 포트로 상기 카세트를 이송시키는 카세트 이송 대차에 대하여 로딩/언로딩시키는 포트 설치형 카세트 로딩/언로딩 유닛을 포함하는 카세트 이송 시스템이 제공될 수 있다.According to an aspect of the invention, there is provided a cassette comprising: a plurality of ports through which a cassette is loaded / unloaded; And a port-mounted cassette loading / unloading unit installed in the port for loading / unloading the cassette transporting carriage moving between the plurality of ports and transferring the cassette from one port to another port A cassette transfer system may be provided.

상기 포트 설치형 카세트 로딩/언로딩 유닛은, 상기 카세트가 상기 포트에 로딩되는 제1 높이와 상기 제1 높이로부터 상부로 이격된 제2 높이 사이를 이동하도록, 상기 카세트를 업/다운시키는 카세트 업/다운 모듈을 포함할 수 있다.Wherein the cassette loading / unloading unit is provided with a cassette up / down unit for moving the cassette up / down so as to move between a first height at which the cassette is loaded into the port and a second height spaced upward from the first height, Down module.

상기 카세트 업/다운 모듈은, 상기 카세트를 에어부상 또는 자기부상에 의해 업/다운시키는 카세트 업/다운 부상 모듈인 것을 특징으로 할 수 있다.The cassette up / down module may be a cassette up / down floating module for up / down the cassette by air levitation or magnetic levitation.

상기 카세트 업/다운 부상 모듈은 압축 공기에 의해 상기 카세트를 업/다운시키는 에어 마운트(air mount)인 것을 특징으로 할 수 있다.The cassette up / down flotation module may be an air mount for up / down the cassette by compressed air.

상기 포트 설치형 카세트 로딩/언로딩 유닛은, 상기 카세트 업/다운 모듈의 일측에 상기 카세트와 접촉가능하도록 배치되어, 상기 카세트를 상기 카세트 이송 대차에 대하여 센터링시키는 카세트 센터링 모듈을 더 포함할 수 있다.The port-mounted cassette loading / unloading unit may further include a cassette centering module disposed on one side of the cassette up / down module so as to be able to contact the cassette, and centering the cassette with respect to the cassette transfer carriage.

상기 포트 설치형 카세트 로딩/언로딩 유닛은, 상기 카세트 센터링 모듈의 일측에 마련되어 상기 카세트의 센터링 여부를 감지하는 센서부를 더 포함할 수 있다.The port-installed cassette loading / unloading unit may further include a sensor unit provided at one side of the cassette centering module to sense whether the cassette is centered.

상기 카세트 센터링 모듈은, 상기 카세트와 접촉되도록 상대운동가능하게 마련되어 상기 카세트를 가압하여 이동시키는 카세트 푸쉬암; 및 상기 카세트 푸쉬암의 일측에 마련되어 상기 카세트 푸쉬암을 상기 카세트에 대하여 상대운동시키는 푸쉬암 구동부를 포함할 수 있다.Wherein the cassette centering module comprises: a cassette push arm provided to be movable relative to the cassette so as to be in contact with the cassette so as to pressurize and move the cassette; And a push arm driving unit provided at one side of the cassette push arm to relatively move the cassette push arm relative to the cassette.

상기 카세트 센터링 모듈은, 상기 카세트 푸쉬암의 상대운동방향이 상기 카세트의 모서리 각도를 이등분하는 가상의 라인과 일치하도록, 상기 카세트의 모서리 바깥쪽에 배치되는 것을 특징으로 할 수 있다.And the cassette centering module is disposed outside the edge of the cassette so that the relative movement direction of the cassette push arm coincides with an imaginary line bisecting the corner angle of the cassette.

상기 카세트 푸쉬암은, 상기 카세트의 모서리에서 인접하는 두 면에 동시에 접촉하도록 두 개의 돌출부가 마련되는 푸쉬 블록; 및 상기 두 개의 돌출부에 각각 마련되어, 상기 카세트의 인접하는 두 면에 각각 접촉하는 제1 롤러 및 제2 롤러를 포함할 수 있다.Wherein the cassette push arm is provided with two projections so that the cassette push arm simultaneously contacts two adjacent sides of the cassette at an edge thereof; And a first roller and a second roller respectively provided on the two protrusions to respectively contact adjacent two surfaces of the cassette.

상기 카세트 푸쉬암은, 상기 푸쉬 블록의 일측에 마련되되, 상기 푸쉬암 구동부에 대하여 상대이동가능하게 결합되는 푸쉬암 구동바를 더 포함하며, 상기 푸쉬암 구동바는 상기 푸쉬 블록에서 상기 두 개의 돌출부에 대응하는 각각의 위치에 한 쌍으로 마련되는 것을 특징으로 할 수 있다.Wherein the cassette push arm further comprises a push arm drive bar provided at one side of the push block and coupled to the push arm drive portion so as to be relatively movable with respect to the push arm drive portion, And are provided in pairs at respective corresponding positions.

상기 카세트 센터링 모듈은 한 쌍으로 배치되며, 상기 카세트의 대각방향과 일치하도록 상기 카세트의 네 모서리 중 서로 마주보는 한 쌍의 모서리 바깥쪽에 서로 마주보게 배치되는 것을 특징으로 할 수 있다.The cassette centering modules may be arranged in pairs and are arranged to face each other out of a pair of opposite corners of four corners of the cassette so as to coincide with the diagonal direction of the cassette.

상기 카세트 업/다운 모듈은, 상기 포트의 일측에 설치되되, 상기 카세트의 네 모서리 하부에 대응하는 위치에 각각 배치되는 것을 특징으로 할 수 있다.The cassette up / down module is disposed at one side of the port, and is disposed at a position corresponding to a lower portion of the four corners of the cassette.

상기 카세트 이송 대차는, 상기 카세트 이송 대차의 일측에 마련되어 상기 카세트를 선회시키는 카세트 선회 유닛을 포함할 수 있다.The cassette transporting bogie may include a cassette turning unit provided on one side of the cassette transporting bogie to turn the cassette.

상기 다수의 포트 사이에 배치되며, 상기 카세트 이송 대차를 지지하되 상기 카세트 이송 대차의 이동을 가이드하는 대차 주행용 레일이 마련되는 대차 이송 프레임; 및 상기 대차 이송 프레임의 일측에 마련되어 파티클의 유입 및 유출을 방지하기 위한 부스(booth)를 더 포함할 수 있다.A cart transporting frame disposed between the plurality of ports, the cart transporting frame supporting the cassette transporting cart and provided with a cart driving rail for guiding movement of the cartridging cart; And a booth provided at one side of the truck transport frame to prevent inflow and outflow of the particles.

본 발명의 실시예들은, 포트 설치형 카세트 로딩/언로딩 유닛을 마련하여 카세트를 업/다운함으로써, 카세트 이송 대차의 업/다운 유닛뿐만 아니라 이재 로봇(P&P) 등의 인접설비의 업/다운 유닛까지 생략할 수 있어, 업/다운 유닛의 유지보수 시간 및 비용을 절감시킬 수 있고 시스템의 중량 증가 및 소비전력 증가에 따른 추가 손실을 감소시킬 수 있으며 시스템 전체의 원가를 절감시킬 수 있다.Embodiments of the present invention provide a cassette loading / unloading unit of a port-mounted cassette loading / unloading unit to up / down the cassette so that not only an up / down unit of a cassette transfer bogie but also an up / down unit of a neighboring facility such as a portable robot The maintenance time and cost of the up / down unit can be reduced, the weight of the system can be increased, the additional loss due to an increase in power consumption can be reduced, and the cost of the entire system can be reduced.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 이송 시스템의 개략적인 평면도이다.
도 2는 도 1의 카세트 이송 시스템을 A방향에서 바라본 정면도이다.
도 3은 도 1의 카세트 이송 시스템의 일부분을 나타낸 사시도이다.
도 4는 도 3의 포트 설치형 카세트 로딩/언로딩 유닛을 나타낸 사시도이다.
도 5는 도 4의 카세트 업/다운 모듈의 작동을 설명하기 위한 도면이다.
도 6 및 도 7은 도 4의 카세트 센터링 모듈의 작동을 설명하기 위한 도면이다.1 is a schematic plan view of a cassette transfer system according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a front view of the cassette transfer system of Fig. 1 as viewed from direction A. Fig.
3 is a perspective view showing a portion of the cassette delivery system of FIG.
FIG. 4 is a perspective view of the cassette loading / unloading unit of FIG.
5 is a view for explaining the operation of the cassette up / down module of FIG.
FIGS. 6 and 7 are views for explaining the operation of the cassette centering module of FIG.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, operational advantages of the present invention, and objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings and the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Like reference symbols in the drawings denote like elements.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 이송 시스템의 개략적인 평면도이고, 도 2는 도 1의 카세트 이송 시스템을 A방향에서 바라본 정면도이며, 도 3은 도 1의 카세트 이송 시스템의 일부분을 나타낸 사시도이고, 도 4는 도 3의 포트 설치형 카세트 로딩/언로딩 유닛을 나타낸 사시도이며, 도 5는 도 4의 카세트 업/다운 모듈의 작동을 설명하기 위한 도면이고, 도 6 및 도 7은 도 4의 카세트 센터링 모듈의 작동을 설명하기 위한 도면이다.1 is a schematic plan view of a cassette transfer system according to an embodiment of the present invention, Fig. 2 is a front view of the cassette transfer system of Fig. 1 viewed from direction A, Fig. 3 is a partial view of the cassette transfer system of Fig. 5 is a view for explaining the operation of the cassette up / down module of FIG. 4, and FIGS. 6 and 7 are sectional views of the cassette loading / unloading unit of FIG. Fig. 3 is a view for explaining the operation of the cassette centering module of Fig.

이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 카세트 이송 시스템(1)은, 다수의 포트(10a, 10b)와, 포트 설치형 카세트 로딩/언로딩 유닛(30)과, 카세트 이송 대차(20)와, 대차 이송 프레임(60)과, 부스(booth, 70)를 포함한다.As shown in these drawings, the cassette transfer system 1 according to the present embodiment includes a plurality of ports 10a and 10b, a cassette loading / unloading unit 30 with a port, a cassette transfer carriage 20, A bill transfer frame 60, and a booth 70. As shown in Fig.

포트(10a, 10b)는 카세트(C)가 로딩/언로딩되는 장소로서, 랙 마스터(Rack Master, 미도시)나 이재 로봇(P&P, 미도시) 등의 인접설비에 의해 카세트(C)가 로딩/언로딩되는 작업위치(Interface)가 되거나 카세트(C)를 임시로 보관하는 버퍼(Buffer)가 되는 장소이다.The ports 10a and 10b are places where the cassette C is loaded and unloaded and the cassette C is loaded by adjacent equipment such as a rack master (not shown) or a moving robot (not shown) / Is an unloaded work position (Interface) or a buffer for temporarily holding the cassette (C).

이러한 포트는 카세트가 일정한 높이 이상의 위치에서 로딩 또는 보관되도록 바닥으로부터 일정한 높이 이상으로 마련되어 카세트를 지지하는 역할을 하게 된다. These ports are provided at a predetermined height or more from the floor so as to support the cassette so that the cassette is loaded or stored at a position above a predetermined height.

하나의 포트(10a)에 대하여 살펴보면, 카세트의 크기에 대응하여 카세트의 네 모서리를 받칠 수 있도록 네 부분으로 나뉘어서 마련되었으며, 카세트 이송 대차(20)의 진행을 방해하지 않게 하기 위하여 대차 주행용 레일(R)의 양측에 카세트 이송 대차(20)의 폭보다 넓은 위치에 수직 프레임(11a)이 설치되고, 수직 프레임(11a)의 상부에 카세트를 지지할 수 있도록 포트 설치형 카세트 로딩/언로딩 유닛(30)이 마련되는 수평 프레임(12a)이 설치되어 있다.One port 10a is divided into four parts so as to support four corners of the cassette corresponding to the size of the cassette. In order to prevent the movement of the cassette transporting carriage 20, The vertical frame 11a is provided on both sides of the vertical frame 11a at positions wider than the width of the cassette transporting carriage 20 and the cassette loading / unloading unit 30 And a horizontal frame 12a is provided.

다만 이러한 형태에 제한되지 않고, 카세트가 일정한 높이 이상의 위치에서 로딩 또는 보관되도록 바닥으로부터 일정한 높이 이상으로 마련되어 카세트를 지지하는 여러 형태로 변형 가능할 것이다.However, the present invention is not limited to such a form, and the cassette may be provided at a predetermined height or more from the floor so as to be loaded or stored at a position higher than a certain height, and may be deformed into various forms supporting the cassette.

본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 이송 시스템(1)은 설명을 용이하게 하기 위하여 두 개의 포트(10a, 10b)만을 도시하였으나, 일반적인 카세트 이송 시스템에서는 세 개 이상의 포트가 마련될 수 있으며, 본 발명은 그러한 시스템에도 적용 가능하다.Although only two ports 10a and 10b have been illustrated for ease of illustration, the cassette transfer system 1 according to an embodiment of the present invention may have three or more ports in a general cassette transfer system, Is also applicable to such systems.

카세트 이송 대차(20)는 다수의 포트(10a, 10b) 사이를 이동하며 하나의 포트(10a)에 로딩되어있는 카세트(C)를 다른 포트(10b)로 이송시키는 역할을 한다.The cassette transporting carriage 20 moves between the plurality of ports 10a and 10b and serves to transport the cassette C loaded in one port 10a to the other port 10b.

또한, 카세트 이송 대차(20)는 카세트를 이송하면서 카세트의 방향을 전환할 수 있도록 카세트(C)를 선회시키는 카세트 선회 유닛(21)을 포함할 수 있다.Further, the cassette transporting carriage 20 may include a cassette pivoting unit 21 for pivoting the cassette C so as to switch the direction of the cassette while transporting the cassette.

종래의 카세트 이송 시스템에서의 카세트 이송 대차는, 포트에 로딩되어 있는 카세트를 언로딩하기 위하여 카세트 이송 대차의 높이를 조절가능하도록 업/다운 유닛이 마련되어 있었다. 즉 포트에 로딩되어 있는 카세트보다 낮은 높이로 접근한 후에 카세트 이송 대차의 높이를 높임으로써 포트로부터 카세트를 언로딩 할 수 있었으며, 다른 포트로 이송한 후에 카세트 이송 대차의 높이를 낮춤으로써 포트에 카세트를 로딩시킬 수 있었다.The cassette transfer bogie in the conventional cassette transfer system is provided with an up / down unit for adjusting the height of the cassette transfer bogie to unload the cassette loaded in the port. In other words, the cassette could be unloaded from the port by raising the height of the cassette transport bogie after approaching a lower height than the cassette loaded in the port. By lowering the height of the cassette transport bogie after transporting it to another port, It could be loaded.

그런데 이러한 종래의 카세트 이송 시스템에 있어서는 업/다운 유닛이 마련된 카세트 이송 대차에 주행 유닛, 선회 유닛들이 모두 탑재됨으로써 각 유닛들이 카세트 이송 대차의 제한된 공간에서 복잡하게 조립 또는 매립되어 있어 유지보수가 불편하며, 업/다운 유닛 고장 시 교체 등 문제해결시까지 매우 긴 시간이 소요되는 문제점이 있다.However, in such a conventional cassette transporting system, since the traveling unit and the pivoting unit are all mounted on the cassette transporting lane provided with the up / down unit, the respective units are complicatedly assembled or buried in a limited space of the cassette transporting lane, , And a problem that it takes a very long time to solve the problem, such as replacement of the up / down unit.

또한 카세트가 대형화됨에 따라 대차 부하 중량 및 각 유닛들의 중량이 증가하여 프레임 및 건설 천장 보강의 추가 손실이 발생하였으며, 이송 설비의 소비전력량이 늘어나는 문제점이 있다.Also, as the cassette is enlarged, the weight of the load and the weight of each unit are increased, so that additional loss of frame and construction ceiling reinforcement occurs, and power consumption of the conveying facility is increased.

따라서 본 발명의 일 실시예에 따르면, 종래의 카세트 이송 시스템에서 카세트 이송 대차에 업/다운 유닛을 설치하는 것을 생략하고 후술할 포트 설치형 카세트 로딩/언로딩 유닛(30)을 포트(10a, 10b)에 마련함으로써, 카세트를 업/다운시키는 기능을 대신할 수 있어 업/다운 유닛의 유지보수 시간 및 비용을 절감할 수 있고, 시스템의 중량 증가 및 소비전력 증가에 따른 추가 손실을 감소시키는 효과를 얻을 수 있게 된다. Therefore, according to the embodiment of the present invention, the installation of the up / down unit in the cassette transporting truck in the conventional cassette transporting system is omitted, and the port-mounted cassette loading / unloading unit 30 to be described later is connected to the ports 10a, It is possible to substitute for the function of up / down the cassette, so that the maintenance time and cost of the up / down unit can be reduced, and the effect of reducing the additional loss due to the increase in the weight of the system and the increase in power consumption can be obtained .

나아가 랙 마스터(Rack Master, 미도시)나 이재 로봇(P&P, 미도시) 등의 인접설비의 업/다운 유닛도 불필요하게 되어 전체 카세트 이송 시스템의 원가를 절감할 수 있게 된다. Furthermore, the up / down units of adjacent facilities such as a rack master (not shown) and a portable robot (P & P, not shown) are also unnecessary, and the cost of the entire cassette transport system can be reduced.

포트 설치형 카세트 로딩/언로딩 유닛(30)은 카세트(C)를 카세트 이송 대차(20)에 대하여 로딩/언로딩시키는 역할을 하는데, 이러한 포트 설치형 카세트 로딩/언로딩 유닛(30)은 카세트 업/다운 모듈(300)과, 카세트 센터링 모듈(400)과, 센서부(500)를 포함한다.The port-mounted cassette loading / unloading unit 30 serves to load / unload the cassette C with respect to the cassette transfer bobbin 20. The port-mounted cassette loading / unloading unit 30 includes a cassette- Down module 300, a cassette centering module 400, and a sensor unit 500.

카세트 업/다운 모듈(300)은, 도 5에 자세히 도시된 바와 같이, 포트(10a)와 카세트(C) 사이에 배치되어 카세트를 지지하는 역할을 하는 동시에, 카세트(C)가 포트(10)에 로딩되는 제1 높이(h1)와 제1 높이(h1)로부터 상부로 이격된 제2 높이(h2) 사이를 이동하도록 카세트(C)를 업/다운시키는 역할을 한다. 5, the cassette up / down module 300 is disposed between the port 10a and the cassette C to support the cassette, and at the same time, the cassette C is connected to the port 10, And moves up and down the cassette C so as to move between the first height h1 loaded on the first height h1 and the second height h2 spaced upward from the first height h1.

즉, 종래의 카세트 이송 대차에 마련되었던 카세트를 업/다운시키는 업/다운 유닛의 기능을 대신함으로써 카세트(C)를 포트(10a, 10b)로부터 로딩/언로딩할 수 있게 해준다.That is, it enables the cassette C to be loaded / unloaded from the ports 10a and 10b by replacing the function of the up / down unit for up / down the cassette provided in the conventional cassette transportation bogie.

카세트 업/다운 모듈(300)은 카세트의 바닥면과 직접 접촉하여 카세트를 업/다운시킬 수 있는 실린더 등을 이용하는 접촉 방식으로 제작될 수도 있으며, 이와 다르게 카세트의 바닥면과 직접 접촉하지 않고 카세트를 업/다운시킬 수 있는 에어부상 또는 자기부상을 이용하는 비접촉 방식의 카세트 업/다운 부상 모듈(310, 도 3 및 도 4)로 제작될 수 있다.The cassette up / down module 300 may be manufactured in a contact manner using a cylinder or the like that can directly contact the bottom surface of the cassette to raise / lower the cassette, or alternatively, Contact type cassette up / down lifting module 310 (Figs. 3 and 4) using an air floating or magnetic levitation capable of up / down operation.

비접촉식으로 제작되는 경우에는 카세트를 센터링할 때에 카세트의 바닥면 마찰을 피할 수 있기 때문에, 파티클의 발생을 줄일 수 있으며 작은 힘으로도 더욱 효율적으로 센터링할 수 있다는 이점이 있다.Since the bottom surface friction of the cassette can be avoided when centering the cassette, it is possible to reduce the occurrence of particles and to center more efficiently with a small force.

본 실시예에서 카세트 업/다운 부상 모듈(310)은, 도 5 및 도 6에 자세히 도시된 바와 같이, 압축 공기에 의해 카세트를 업/다운시키는 에어 마운트(air mount, 311)가 적용된다.In this embodiment, the cassette up / down lifting module 310 is applied with an air mount 311 for lifting / lowering the cassette by the compressed air as shown in Figs. 5 and 6 in detail.

카세트 업/다운 모듈(300)은 포트(10a)의 일측에 설치되며 카세트(C)의 모양과 중량에 따라 카세트(C)를 효율적으로 업/다운시킬 수 있는 숫자만큼 배치될 수 있으나, 본 실시예에서는 카세트(C)의 네 모서리 하부에 대응하는 위치에 각각 배치된다.The cassette up / down module 300 may be disposed at one side of the port 10a and may be arranged by a number that can efficiently up / down the cassette C according to the shape and weight of the cassette C, In the example, are disposed at positions corresponding to the lower four corners of the cassette C, respectively.

이렇게 네 모서리 하부에 대응하는 위치에 각각 배치되는 경우에는 카세트(C)를 업/다운시키기 위한 최소한의 숫자의 카세트 업/다운 모듈(300)이 마련됨으로써 장비의 설치 비용을 줄일 수 있는 이점이 있다.In the case where the cassette C is disposed at a position corresponding to the bottom of the four corners, the cassette up / down module 300 having the minimum number of units for up / down the cassette C is provided, .

카세트 센터링 모듈(400)은 카세트 업/다운 모듈(300)의 일측에 카세트(C)와 접촉가능하도록 배치되며, 카세트를 가압하여 이동시킴으로써 카세트(C)를 카세트 이송 대차(20)에 대하여 센터링시키는 역할을 한다.The cassette centering module 400 is disposed at one side of the cassette up / down module 300 so as to be in contact with the cassette C and presses and moves the cassette to center the cassette C with respect to the cassette transfer carriage 20 It plays a role.

카세트 이송 대차(20)를 비롯하여 랙 마스터(Rack Master, 미도시)나 이재 로봇(P&P, 미도시) 등의 인접설비 사이에 카세트 인터페이스(interface)의 차이가 있으므로, 카세트(C)가 포트(10)에 로딩될 때에는 항상 정확한 위치에 로딩될 수 없게 된다. There is a difference in the cassette interface between the cassette transporting carriage 20 and adjacent equipment such as a rack master (not shown) and a remote robot (not shown), so that the cassette C is moved to the port 10 , It can not always be loaded at the correct position.

따라서, 정확한 위치에 안정적인 로딩/언로딩 작업이 이루어질 수 있도록 포트(10a, 10b)에서 로딩/언로딩시킬 때 센터링 위치(C3, 도 6)로 이동시킬 필요가 있다. Therefore, it is necessary to move to the centering position (C3, Fig. 6) when loading / unloading from the ports 10a, 10b so that a stable loading / unloading operation can be performed at an accurate position.

즉, 도 6에 자세히 도시된 바와 같이, 카세트(C)가 로딩된 카세트 위치(C4)는 에어 마운트(311)에 대하여 중심에서 벗어난 위치에 놓여있으므로, 카세트를 센터링 위치(C3)로 이동시켜 에어 마운트(311)에 대하여 센터링시킴으로써, 결과적으로 카세트(C)를 카세트 이송 대차(20)에 로딩시킬 때 카세트 이송 대차(20)에 대하여 센터링시킬 수 있게 된다. 6, since the cassette position C4 at which the cassette C is loaded lies at a position deviated from the center with respect to the air mount 311, the cassette is moved to the centering position C3, Centering with respect to the mount 311 makes it possible to center the cassette C with respect to the cassette conveyance carriage 20 when the cassette C is loaded on the cassette conveyance carriage 20 as a result.

이러한 카세트 센터링 모듈(400)은 카세트와 접촉되도록 상대운동가능하게 마련되어 카세트를 가압하여 이동시키는 카세트 푸쉬암(410)과, 카세트 푸쉬암(410)의 일측에 마련되어 카세트 푸쉬암(410)을 카세트(C)에 대하여 상대운동시키는 푸쉬암 구동부(420)를 포함한다.The cassette centering module 400 includes a cassette push arm 410 which is provided so as to be able to move relative to the cassette so as to press and move the cassette and a cassette push arm 410 provided on one side of the cassette push arm 410, C) of the push-arm driving unit 420. The push-

카세트 푸쉬암(410)은 푸쉬 블록(411)과, 제1 롤러(412a) 및 제2 롤러(412b)와, 푸쉬암 구동바(414)를 포함한다.The cassette push arm 410 includes a push block 411, a first roller 412a and a second roller 412b, and a push arm drive bar 414.

푸쉬 블록(411)은 카세트(C)의 모서리에서 인접하는 두 면에 동시에 접촉하도록 두 개의 돌출부(411a, 411b)가 마련되는데, 이렇게 두 개의 돌출부(411a, 411b)가 마련되어 카세트(C)의 인접하는 두 면에 동시에 접촉함으로써 카세트(C)의 인접하는 두 면과 수직한 방향으로 동시에 가압할 수 있게 된다. 즉, 하나의 카세트 센터링 모듈(400)로 두 방향에서 카세트(C)를 가압할 수 있다는 이점이 있다.The push block 411 is provided with two protrusions 411a and 411b so as to simultaneously contact two adjacent surfaces of the cassette C so that the two protrusions 411a and 411b are provided, It is possible to simultaneously press the cassette C in the direction perpendicular to the two adjacent sides of the cassette C. That is, there is an advantage that one cassette centering module 400 can press the cassette C in two directions.

푸쉬암 구동부(420)는 전기력, 유압 및 공압 등의 힘을 이용하여 카세트 푸쉬암(410)을 구동할 수 있도록 제작될 수 있다.The push arm driving unit 420 can be manufactured to drive the cassette push arm 410 using a force such as an electric force, a hydraulic pressure, and a pneumatic force.

제1 롤러(412a) 및 제2 롤러(412b)는 두 개의 돌출부(411a, 411b)에 각각 마련되어, 카세트(C)의 인접하는 두 면에 각각 접촉하는데, 이러한 롤러가 마련됨으로써 카세트를 가압하면서 이동시킬 때 카세트에 손상을 주는 것을 방지할 수 있는 이점이 있다.The first roller 412a and the second roller 412b are provided on the two projections 411a and 411b respectively and contact the two adjacent sides of the cassette C, There is an advantage that it is possible to prevent the cassette from being damaged.

이러한 제1 롤러(412a) 및 제2 롤러(412b)는 탄성을 가지는 고무, 우레탄, 테프론 등의 탄성체로 제작될 수 있다.The first roller 412a and the second roller 412b may be made of an elastic material such as rubber, urethane, or Teflon having elasticity.

푸쉬암 구동바(414)는 푸쉬 블록(411)의 일측에 마련되되, 푸쉬암 구동부(420)에 대하여 상대이동가능하게 결합되고 푸쉬암 구동부(420)에서 전달되는 힘을 푸쉬 블록(411)으로 전달하여 푸쉬 블록(411)을 움직임을 제어하는 역할을 한다.The push arm driving bar 414 is provided on one side of the push block 411 and is coupled to the push arm driving part 420 so as to be movable relative to the push block 411. The push arm driving bar 414 is connected to the push block 411 And controls the movement of the push block 411.

본 실시예에서 푸쉬암 구동바(414a, 414b)는 푸쉬 블록(411)에서 두 개의 돌출부(411a, 411b)에 대응하는 각각의 위치에 한 쌍으로 마련되는데, 이렇게 마련됨으로써 두 개의 돌출부(411a, 411b)에 각각 마련되는 제1 롤러(412a) 및 제2 롤러(412b)에 균등하게 힘을 가할 수 있다는 이점이 있다.In this embodiment, the push-arm driving bars 414a and 414b are provided in pairs at the positions corresponding to the two projecting portions 411a and 411b in the push block 411. By this, the two projecting portions 411a, The first roller 412a and the second roller 412b, which are provided on the first roller 411a and the second roller 411b, respectively.

다만 본 발명의 권리범위는 이와 같이 한 쌍으로 마련되는 것에 한정되지 않고 카세트의 중량에 따라 필요한 개수만큼의 다수개의 푸쉬암 구동바가 마련될 수도 있다.However, the scope of the present invention is not limited to such a pair, and a plurality of push-bar drive bars may be provided as many as necessary according to the weight of the cassette.

이러한 구조를 가지는 카세트 센터링 모듈(400)은 카세트 푸쉬암(410)의 상대운동방향이 카세트(C)의 모서리 각도를 이등분하는 가상의 라인과 일치하도록, 카세트(C)의 모서리 바깥쪽에 배치된다.The cassette centering module 400 having such a structure is disposed outside the edge of the cassette C so that the relative movement direction of the cassette push arm 410 coincides with an imaginary line bisecting the corner angle of the cassette C.

카세트 센터링 모듈(400)은 카세트 푸쉬암(410)의 상대운동방향이 카세트(C)의 면과 수직방향으로 배치될 수도 있으나, 위와 같이 모서리 바깥쪽에 배치되는 경우에는 전술한 카세트 푸쉬암(410)의 구조에 의해 카세트의 모서리에서 인접하는 두 면을 동시에 가압할 수 있는 이점이 있다.The cassette centering module 400 may be arranged such that the relative movement direction of the cassette push arm 410 is perpendicular to the surface of the cassette C. When the cassette pushing arm 410 is disposed outside the corner as described above, There is an advantage in that it is possible to simultaneously press the two adjoining faces at the corners of the cassette.

이 경우에 카세트 센터링 모듈(400)은 카세트의 모든 모서리의 바깥쪽에 배치될 수 있지만, 본 실시예와 같이 카세트(C)가 사각형인 경우에는 한 쌍으로 배치되며 카세트(C)의 대각방향과 일치하도록 카세트(C)의 네 모서리 중 서로 마주보는 한 쌍의 모서리 바깥쪽에 서로 마주보게 배치될 수도 있다. In this case, the cassette centering module 400 may be disposed outside all the corners of the cassette, but when the cassettes C are rectangular as in the present embodiment, they are arranged in pairs and coincide with the diagonal direction of the cassette C And may be arranged to face each other on the outside of a pair of opposite corners of the four corners of the cassette C.

즉 두 개의 카세트 센터링 모듈(400)이 마주보며 배치되어도 카세트(C)의 모든 면을 가압할 수 있으므로 장비의 설치 비용을 절감할 수 있다는 이점이 있다. That is, even when the two cassette centering modules 400 are arranged facing each other, all the surfaces of the cassette C can be pressed, which can reduce the installation cost of the equipment.

센서부(500)는 카세트 센터링 모듈(400)의 일측에 마련되어 카세트(C)의 센터링 여부를 감지하는 역할을 한다.The sensor unit 500 is provided on one side of the cassette centering module 400 and detects whether the cassette C is centered.

본 실시예에서는, 도 4에 자세히 도시된 바와 같이, 두 개의 센서부(500)가 설치되어 카세트 푸시암(410)의 전/후진 위치를 감지하고 카세트 푸시암(410)이 정해진 위치에서 정지하도록 하여 카세트(C)의 센터링이 이루어지도록 구성되어 있으나, 본 발명의 권리범위는 이에 한정되지 않고 다양한 구성으로 카세트(C)의 센터링 여부를 감지하고 제어할 수 있도록 마련될 수 있다.4, two sensor units 500 are installed to detect the forward / backward position of the cassette push arm 410 and to stop the cassette push arm 410 at a predetermined position However, the scope of the present invention is not limited to this, and it is possible to detect the centering of the cassette C in various configurations and to control the centering of the cassette C.

대차 이송 프레임(60)은 다수의 포트(10a, 10b) 사이에 배치되며, 대차 주행용 레일(R)이 마련되어 카세트 이송 대차(20)를 지지하되 카세트 이송 대차(20)의 이동을 가이드하는 역할을 한다.The cart transport frame 60 is disposed between the plurality of ports 10a and 10b and is provided with a rail for transporting carts R to guide the movement of the cassette transport cart 20 while supporting the cart 20 .

또한 대차 이송 프레임(60)은 카세트 이송 시스템(1)이 천장에 마련되는 경우에 전체적인 카세트 이송 시스템(1)을 지지하는 중요한 역할을 하게 된다.In addition, the truck transport frame 60 plays an important role in supporting the entire cassette transport system 1 when the cassette transport system 1 is provided on the ceiling.

본 발명에 따르면, 종래의 카세트 이송 시스템에서 카세트 이송 대차에 업/다운 유닛을 설치하는 것을 생략할 수 있기 때문에 카세트 이송 대차의 중량을 감소시켜 대차 이송 프레임(60)에 가해지는 중량부담을 줄일 수 있어 보다 안정적인 카세트 이송 시스템을 마련할 수 있다는 이점이 있다.According to the present invention, since it is possible to omit the installation of the up / down unit in the cassette transport bogie in the conventional cassette transport system, the weight of the cassette transport bogie can be reduced to reduce the weight load applied to the bogie transport frame So that a more stable cassette transfer system can be provided.

부스(70)는 대차 이송 프레임(60)의 일측에 마련되어 파티클의 유입 및 유출을 방지하기 위한 역할을 한다. 즉, 카세트 이송 시스템(1) 전체를 밀봉시키는 역할을 함으로써 외부 파티클의 유입을 방지하는 동시에 카세트 이송 시스템(1)에서 발생되는 파티클이 외부로 유출되는 것을 방지한다.The booth 70 is provided at one side of the truck transport frame 60 and serves to prevent inflow and outflow of particles. That is, it functions to seal the entire cassette transport system 1, thereby preventing the inflow of the external particles and preventing the particles generated in the cassette transport system 1 from flowing out.

이하에서는, 도 5 내지 도 7을 참조하여, 이러한 구성을 갖는 카세트 이송 시스템(1)의 작용 및 효과를 설명한다. Hereinafter, the operation and effect of the cassette transport system 1 having such a configuration will be described with reference to Figs. 5 to 7. Fig.

도 5는 도 4의 카세트 업/다운 모듈의 작동을 설명하기 위한 도면이고, 도 6 및 도 7은 도 4의 카세트 센터링 모듈의 작동을 설명하기 위한 도면이다. FIG. 5 is a view for explaining the operation of the cassette up / down module of FIG. 4, and FIGS. 6 and 7 are views for explaining the operation of the cassette centering module of FIG.

우선, 카세트 업/다운 모듈(300)의 작동을 설명하기에 앞서, 본 실시예에서는 카세트 업/다운 모듈(300)로서 에어 마운트(311)이 사용되었으므로 이를 중심으로 설명할 것이나, 다른 비접촉 방식의 카세트 업/다운 모듈(300)이 사용되어도 카세트 이송 시스템(1)의 작용 및 효과는 유사하다. Before describing the operation of the cassette up / down module 300, an air mount 311 is used as the cassette up / down module 300 in the present embodiment. Even if the cassette up / down module 300 is used, the operation and effects of the cassette transfer system 1 are similar.

에어 마운트(311)의 작동 방식은 단동식 및 복동식 중 어느 것이나 적용될 수 있다.The operation of the air mount 311 can be applied to either single acting or double acting.

에어 마운트(311)의 작동을 설명하자면, 도 5에 자세히 도시된 바와 같이, 포트(10a)에 로딩된 카세트는 에어 마운트(311)에 의해 지지되고, 이때 에어 마운트(311)에 의해 지지되는 로딩된 카세트(C1)의 아랫면의 높이를 제1 높이(h1)라 한다.To explain the operation of the air mount 311, the cassette loaded in the port 10a is supported by an air mount 311, as shown in detail in FIG. 5, The height of the lower surface of the cassette C1 is referred to as a first height h1.

에어 마운트(311)가 압축 공기에 의해 카세트를 부상시켰을 때의 부상된 카세트(C2)의 아랫면의 높이를 제2 높이(h2)라 하고, 카세트 이송 대차(20)의 높이를 대차 높이(h3)라고 한다. The height of the lower surface of the floating cassette C2 when the air mount 311 floats the cassette by the compressed air is referred to as a second height h2 and the height of the cassette transporting carriage 20 is referred to as a rack height h3, .

포트(10a)에 로딩되어 에어 마운트(311)에 의해 지지되고 있는 로딩된 카세트(C1)를 카세트 이송 대차(20)로 언로딩하기 위해, 카세트 이송 대차(20)가 포트(10a) 쪽으로 진입할 때에는 로딩된 카세트(C1)가 위치한 제1 높이(h1)가 대차 높이(h3)보다 낮으므로, 카세트 이송 대차(20)와 로딩된 카세트(C1)가 충돌하게 되어 카세트 이송 대차(20)가 진입할 수 없게 된다.In order to unload the loaded cassette C1 loaded on the port 10a and supported by the air mount 311 to the cassette transport bogie 20, the cassette transport bogie 20 enters the port 10a The first height h1 at which the loaded cassette C1 is positioned is lower than the height h3 of the carriage so that the cassette transport bogie 20 and the loaded cassette C1 collide with each other, I can not do it.

따라서 카세트 이송 대차(20)가 포트(10a) 쪽으로 진입하기 전에 에어 마운트(311)가 카세트를 향해 상방으로 압축 공기의 분사를 시작하여 로딩된 카세트(C1)를 부상된 카세트(C2)의 제2 높이(h2)로 부상시키면 카세트 이송 대차(20)가 부상된 카세트(C2)의 아래로 진입할 수 있게 된다.The air mount 311 starts spraying the compressed air upward toward the cassette before the cassette transporting bogie 20 enters the port 10a and moves the loaded cassette C1 to the second position of the lifted cassette C2 , The cassette transporting carriage 20 can be moved below the lifted cassette C2 when lifted up to the height h2.

카세트 이송 대차(20)가 진입하여 부상된 카세트(C2)의 아래에 위치한 후에, 에어 마운트(311)가 부상된 카세트(C2)가 하강시키면 카세트(C2)가 카세트 이송 대차(20)에 로딩되어 대차 높이(H3)에 위치하게 된다.When the cassette C2 on which the air mount 311 floats is lowered after the cassette transporting carriage 20 enters and is positioned below the floated cassette C2, the cassette C2 is loaded on the cassette transporting carriage 20 And is located at the vehicle height H3.

이후에 카세트 이송 대차(20)는 카세트(C)를 로딩한 채로 포트(10a)를 빠져나갈 수 있게 된다.Thereafter, the cassette transporting carriage 20 can exit the port 10a with the cassette C loaded.

카세트(C)를 로딩한 카세트 이송 대차(20)가 다른 포트(10b)로 이동하여 카세트(C)를 다른 포트(10b)에 언로딩 하기 위해 다른 포트(10b)로 진입한 후에는, 에어 마운트(311)가 카세트를 향해 상방으로 압축 공기의 분사를 시작하여 로딩된 카세트(C1)를 부상된 카세트(C2)의 제2 높이(h2)로 부상시킨 후 카세트 이송 대차(20)가 포트(10b)로부터 빠져나가고, 마지막으로 에어 마운트(311)가 부상된 카세트(C2)를 하강시키면 카세트(C2)가 로딩된 카세트(C1)의 제1 높이(11)에 위치하게 되어 포트(10b)로 로딩된다.After the cassette transporting carriage 20 loaded with the cassette C moves to the other port 10b and enters the other port 10b to unload the cassette C to the other port 10b, The cassette transporting carriage 31 starts to inject compressed air upward toward the cassette so that the loaded cassette C1 floats at the second height h2 of the floated cassette C2 and then the cassette transporting carriage 20 moves to the port 10b And finally when the cassette C2 on which the air mount 311 floats is lowered, the cassette C2 is positioned at the first height 11 of the loaded cassette C1 to be loaded into the port 10b do.

다음으로, 카세트 센터링 모듈(400)의 작동을 설명하자면, 도 6에 자세히 도시된 바와 같이, 랙 마스터(Rack Master, 미도시)나 이재 로봇(P&P, 미도시) 등의 인접설비에 의해 카세트가 로딩될 때에 로딩된 카세트 위치(C4)와 안정적인 로딩/언로딩 작업이 이루어질 수 있는 센터링 위치(C3)가 정확하게 일치하지 않게 되는 것이 일반적이다.Next, the operation of the cassette centering module 400 will be described. As shown in detail in FIG. 6, by the adjacent equipment such as a rack master (not shown) or a remote robot (not shown) It is general that the cassette position C4 loaded when loaded and the centering position C3 where a stable loading / unloading operation can be performed do not coincide exactly.

이렇게 로딩된 카세트 위치(C4)와 센터링 위치(C3)가 일치하지 않는 문제를 해결하기 위하여 카세트 센터링 모듈(400)이 작동하게 된다.The cassette centering module 400 is operated to solve the problem that the loaded cassette position C4 and the centering position C3 do not coincide with each other.

카세트가 로딩되는 동안에는 카세트 로딩 작업을 방해하지 않기 위하여 카세트 센터링 모듈(400)의 카세트 푸쉬암(400)이 카세트에서 멀어지는 방향으로 푸쉬암 구동부(420)에 대하여 상대이동되어 있다.The cassette pushing arm 400 of the cassette centering module 400 is moved relative to the push arm driving part 420 in the direction away from the cassette so as not to interfere with the cassette loading operation while the cassette is being loaded.

카세트가 로딩된 카세트 위치(C4)에 위치하면 카세트 푸쉬암(400)이 푸쉬암 구동부(420)에 대하여 상대이동되면서 카세트를 향해 접근하기 시작하고, 두 개의 돌출부(411a, 411b)에 각각 마련된 제1 롤러(412a) 및 제2 롤러(412b)가 카세트(C)의 인접하는 두 면에 각각 접촉하게 되며 동시에 두 방향에서 가압을 시작하게 된다.When the cassette pusher arm 400 is moved relative to the push arm drive unit 420, the cassette pusher arm 400 starts to approach the cassette and the two protrusions 411a and 411b The first roller 412a and the second roller 412b come into contact with two adjacent sides of the cassette C, respectively, and start to pressurize in both directions at the same time.

제1 롤러(412a) 및 제2 롤러(412b)는 카세트를 가압하면서 이동시키고 결국, 도 7에 자세히 도시된 바와 같이, 카세트(C)는 에어 마운트(311)에 대하여 정확하게 센터링된 위치에서 멈추게 된다.The first roller 412a and the second roller 412b pressurize and move the cassette and eventually the cassette C stops at a precisely centered position with respect to the air mount 311 .

이때 카세트 센터링 모듈(400)은 에어 마운트(311)가 작동하여 카세트를 부상시킨 상태에서 작동하게 되는데, 이렇게 카세트 센터링 모듈(400)과 에어 마운트(311)가 동시에 작동함으로써 카세트의 바닥면이 접촉하지 않은 상태에서 카세트가 이동하기 때문에, 카세트의 바닥면 마찰을 피하면서 카세트의 센터링이 가능하여 파티클의 발생을 줄일 수 있고 작은 힘으로도 더욱 효율적으로 센터링할 수 있게 된다.At this time, the cassette centering module 400 operates in a state where the air mount 311 is operated to float the cassette. By operating the cassette centering module 400 and the air mount 311 simultaneously, the bottom surface of the cassette does not contact The center of the cassette can be centered while avoiding the bottom surface friction of the cassette, thereby reducing the generation of particles and enabling more efficient centering with a small force.

이와 같이, 본 실시예에 따르면, 포트 설치형 카세트 로딩/언로딩 유닛을 마련하여 카세트를 업/다운함으로써, 카세트 이송 대차의 업/다운 유닛뿐만 아니라 랙 마스터(Rack Master)나 이재 로봇(P&P) 등의 인접설비의 업/다운 유닛까지 생략할 수 있어, 업/다운 유닛의 유지보수 시간 및 비용을 절감시킬 수 있고 시스템의 중량 증가 및 소비전력 증가에 따른 추가 손실을 감소시킬 수 있으며 시스템 전체의 원가를 절감시킬 수 있다.As described above, according to the present embodiment, the cassette loading / unloading unit is provided to raise / lower the cassette so that the cassette loading / unloading unit can be mounted on a rack master, a P & Down unit of the adjacent equipment can be omitted, the maintenance time and cost of the up / down unit can be reduced, the increase in weight of the system and the additional loss due to an increase in power consumption can be reduced, Can be saved.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Accordingly, such modifications or variations are intended to fall within the scope of the appended claims.

C : 카세트 R : 대차 주행용 레일
h1 : 제1 높이 h2 : 제2 높이
10a, 10b : 포트 20 : 카세트 이송 대차
21 : 카세트 선회 유닛 30 : 포트 설치형 카세트 로딩/언로딩 유닛
60 : 대차 이송 프레임 70 : 부스
300 : 카세트 업/다운 모듈 311 : 에어 마운트
400 : 카세트 센터링 모듈 410 : 카세트 푸쉬암
411 : 푸쉬 블록 411a, 411b : 돌출부
412a, 412b : 제1 롤러 및 제2 롤러 414a, 414b : 푸쉬암 구동바
420 : 푸쉬암 구동부 500 : 센서부C: Cassette R: Rail for truck
h1: first height h2: second height
10a, 10b: Port 20: Cassette transfer truck
21: Cassette turning unit 30: Port-mounted cassette loading / unloading unit
60: Balance transfer frame 70: Booth
300: cassette up / down module 311: air mount
400: cassette centering module 410: cassette push arm
411: Push block 411a, 411b:
412a, 412b: first roller and second roller 414a, 414b: push arm drive bar
420: push-arm driving part 500:

Claims (14)

카세트가 로딩/언로딩 되는 다수의 포트;
상기 포트에 설치되며, 상기 카세트를 상기 다수의 포트 사이를 이동하며 하나의 포트로부터 다른 포트로 상기 카세트를 이송시키는 카세트 이송 대차에 대하여 로딩/언로딩시키는 포트 설치형 카세트 로딩/언로딩 유닛;
상기 다수의 포트 사이에 배치되며, 상기 카세트 이송 대차를 지지하되 상기 카세트 이송 대차의 이동을 가이드하는 대차 주행용 레일이 마련되는 대차 이송 프레임; 및
상기 대차 이송 프레임의 일측에 마련되어 파티클의 유입 및 유출을 방지하기 위한 부스(booth)을 포함하며,
상기 포트 설치형 카세트 로딩/언로딩 유닛은,
상기 카세트가 상기 포트에 로딩되는 제1 높이와 상기 제1 높이로부터 상부로 이격된 제2 높이 사이를 이동하도록, 상기 카세트를 업/다운시키는 카세트 업/다운 모듈; 및
상기 카세트 업/다운 모듈의 일측에 상기 카세트와 접촉가능하도록 배치되어, 상기 카세트를 상기 카세트 이송 대차에 대하여 센터링시키는 카세트 센터링 모듈을 포함하고,
상기 카세트 업/다운 모듈은,
상기 카세트를 에어부상 또는 자기부상에 의해 업/다운시키는 카세트 업/다운 부상 모듈인 것을 특징으로 하는 카세트 이송 시스템.A plurality of ports through which cassettes are loaded / unloaded;
A port installed cassette loading / unloading unit installed in the port for loading / unloading the cassette transporting carriage moving between the plurality of ports and transferring the cassette from one port to another port;
A cart transporting frame disposed between the plurality of ports, the cart transporting frame supporting the cassette transporting cart and provided with a cart driving rail for guiding movement of the cartridging cart; And
And a booth provided at one side of the truck transport frame to prevent inflow and outflow of the particles,
The port-installed cassette loading / unloading unit comprises:
A cassette up / down module for moving the cassette up / down so as to move between a first height at which the cassette is loaded in the port and a second height at an upper distance from the first height; And
And a cassette centering module disposed on one side of the cassette up / down module so as to be in contact with the cassette, for centering the cassette with respect to the cassette transfer carriage,
The cassette up / down module comprises:
Up / down lifting module for lifting / lowering the cassette by air levitation or magnetic levitation. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 카세트 업/다운 부상 모듈은 압축 공기에 의해 상기 카세트를 업/다운시키는 에어 마운트(air mount)인 것을 특징으로 하는 카세트 이송 시스템.The method according to claim 1,
Wherein the cassette up / down flotation module is an air mount for up / down the cassette by compressed air. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 포트 설치형 카세트 로딩/언로딩 유닛은,
상기 카세트 센터링 모듈의 일측에 마련되어 상기 카세트의 센터링 여부를 감지하는 센서부를 더 포함하는 카세트 이송 시스템.The method according to claim 1,
The port-installed cassette loading / unloading unit comprises:
And a sensor unit provided at one side of the cassette centering module to sense whether the cassette is centered. 제1항에 있어서,
상기 카세트 센터링 모듈은,
상기 카세트와 접촉되도록 상대운동가능하게 마련되어 상기 카세트를 가압하여 이동시키는 카세트 푸쉬암; 및
상기 카세트 푸쉬암의 일측에 마련되어 상기 카세트 푸쉬암을 상기 카세트에 대하여 상대운동시키는 푸쉬암 구동부를 포함하는 카세트 이송 시스템.The method according to claim 1,
The cassette centering module comprises:
A cassette push arm provided movably relative to the cassette for pressing and moving the cassette; And
And a push arm driving unit provided at one side of the cassette push arm to move the cassette push arm relative to the cassette. 제7항에 있어서,
상기 카세트 센터링 모듈은,
상기 카세트 푸쉬암의 상대운동방향이 상기 카세트의 모서리 각도를 이등분하는 가상의 라인과 일치하도록, 상기 카세트의 모서리 바깥쪽에 배치되는 것을 특징으로 하는 카세트 이송 시스템.8. The method of claim 7,
The cassette centering module comprises:
Wherein the cassette push arm is disposed outside the edge of the cassette so that the relative movement direction of the cassette push arm coincides with a virtual line bisecting the corner angle of the cassette. 제8항에 있어서,
상기 카세트 푸쉬암은,
상기 카세트의 모서리에서 인접하는 두 면에 동시에 접촉하도록 두 개의 돌출부가 마련되는 푸쉬 블록; 및
상기 두 개의 돌출부에 각각 마련되어, 상기 카세트의 인접하는 두 면에 각각 접촉하는 제1 롤러 및 제2 롤러를 포함하는 카세트 이송 시스템.9. The method of claim 8,
The cassette push arm includes:
A push block provided with two protrusions so as to simultaneously contact two adjacent surfaces at an edge of the cassette; And
And a first roller and a second roller, each of which is provided on the two protrusions, respectively contacting the two adjacent sides of the cassette. 제9항에 있어서,
상기 카세트 푸쉬암은,
상기 푸쉬 블록의 일측에 마련되되, 상기 푸쉬암 구동부에 대하여 상대이동가능하게 결합되는 푸쉬암 구동바를 더 포함하며,
상기 푸쉬암 구동바는 상기 푸쉬 블록에서 상기 두 개의 돌출부에 대응하는 각각의 위치에 한 쌍으로 마련되는 것을 특징으로 하는 카세트 이송 시스템.10. The method of claim 9,
The cassette push arm includes:
Further comprising a push arm drive bar provided at one side of the push block and coupled to the push arm drive portion so as to be relatively movable,
Wherein the push arm drive bar is provided in a pair in each position corresponding to the two protrusions in the push block. 제8항에 있어서,
상기 카세트 센터링 모듈은 한 쌍으로 배치되며,
상기 카세트의 대각방향과 일치하도록 상기 카세트의 네 모서리 중 서로 마주보는 한 쌍의 모서리 바깥쪽에 서로 마주보게 배치되는 것을 특징으로 하는 카세트 이송 시스템.9. The method of claim 8,
The cassette centering modules are arranged in pairs,
Wherein the cassettes are arranged to face each other outwardly of a pair of opposite corners of the four corners of the cassette so as to coincide with the diagonal direction of the cassette. 제1항에 있어서,
상기 카세트 업/다운 모듈은,
상기 포트의 일측에 설치되되, 상기 카세트의 네 모서리 하부에 대응하는 위치에 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 카세트 이송 시스템.The method according to claim 1,
The cassette up / down module comprises:
Wherein the cassette is disposed at one side of the port, and is disposed at a position corresponding to the lower four corners of the cassette. 제1항에 있어서,
상기 카세트 이송 대차는,
상기 카세트 이송 대차의 일측에 마련되어 상기 카세트를 선회시키는 카세트 선회 유닛을 포함하는 카세트 이송 시스템.The method according to claim 1,
The cassette transfer carriage
And a cassette pivoting unit provided on one side of the cassette transporting carriage to pivot the cassette. 삭제delete
KR1020140060129A 2014-05-20 2014-05-20 Cassette transfer system KR101586694B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140060129A KR101586694B1 (en) 2014-05-20 2014-05-20 Cassette transfer system

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140060129A KR101586694B1 (en) 2014-05-20 2014-05-20 Cassette transfer system

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20150133439A KR20150133439A (en) 2015-11-30
KR101586694B1 true KR101586694B1 (en) 2016-01-19

Family

ID=54867908

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140060129A KR101586694B1 (en) 2014-05-20 2014-05-20 Cassette transfer system

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101586694B1 (en)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4805258B2 (en) * 2005-04-22 2011-11-02 ローツェ株式会社 Cassette transport system

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH085258B2 (en) * 1990-08-28 1996-01-24 株式会社リコー Method for producing plate for heat-sensitive stencil printing
FR2740034B1 (en) 1995-10-23 1997-11-21 Oreal COMPOSITION FOR THE TREATMENT OF KERATINIC MATERIALS COMPRISING AT LEAST ONE FIXING POLYMER AND AT LEAST ONE CERAMID-LIKE COMPOUND AND METHODS
KR200196422Y1 (en) * 2000-03-08 2000-09-15 김용완 Shoe
KR20090020783A (en) * 2007-08-24 2009-02-27 엘지디스플레이 주식회사 Apparatus for transportation of substrate
KR101385588B1 (en) * 2011-12-30 2014-04-17 주식회사 에스에프에이 Mask unmanned transfer system

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4805258B2 (en) * 2005-04-22 2011-11-02 ローツェ株式会社 Cassette transport system

Also Published As

Publication number Publication date
KR20150133439A (en) 2015-11-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8590688B2 (en) Method and device for conveying large-area, thin glass plates
WO2013190800A1 (en) Substrate transport system
KR20100095839A (en) Transferring system
EP1845552B1 (en) Transportation system and transportation method
JP2010143733A (en) Substrate handling system and substrate handling method
KR101737816B1 (en) Apparatus for transferring glass
KR101890160B1 (en) Maint lifter for transport carriage
KR101586694B1 (en) Cassette transfer system
KR101991889B1 (en) Substrate horizontal rotation module, and substrate transfer method
KR100959680B1 (en) System for transferring the substrate
KR101387657B1 (en) Cassette Alignment Device
JP5365302B2 (en) Traveling vehicle system
CN107799449A (en) Substrate transports clip and substrate transfer method adopted therein
WO2005045920A1 (en) Device for carrying in and out boards, board carrying method and device therefor
KR20160081619A (en) Apparatus for aligning transport carriage
KR20080074275A (en) Cassette system
KR20220026360A (en) Carrier storage apparatus
KR101051283B1 (en) Dumper and stocker system with it
KR101666803B1 (en) Apparatus for alinging mask and cassette and cassette supplying system having thereof
KR100793137B1 (en) Buffer station of lcd mother glass transport line
KR102467792B1 (en) Conveyor apparatus to prevent damage that occurs during transfer of glass substrate
KR200429672Y1 (en) Saddle type loading and unloading system of PCB Laminating press
KR102178615B1 (en) Centering apparatus
KR101014748B1 (en) Apparatus for transferring substrate
KR200469263Y1 (en) Glass substrate transport apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190102

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200102

Year of fee payment: 5