KR100793137B1 - Buffer station of lcd mother glass transport line - Google Patents
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Abstract
Description
도 1 내지 도 3은 본 발명의 엘시디 마더글라스 이송라인의 버퍼스테이션의 사시도1 to 3 are perspective views of a buffer station of an LCD mother glass transfer line of the present invention
도 4는 엘시디 마더글라스의 평면도4 is a plan view of an LCD mother glass
도 5는 본 발명의 실시예에 있어서 평면형 버퍼스테이션의 평면도5 is a plan view of a planar buffer station in an embodiment of the present invention.
도 6은 본 발명의 실시예에 있어서 수직형 이송라인의 개념도6 is a conceptual diagram of a vertical transfer line in an embodiment of the present invention
도 7은 본 발명의 실시예에 있어서 수평형 이송라인의 개념도7 is a conceptual diagram of a horizontal transfer line in the embodiment of the present invention
도 8은 본 발명의 실시예에 있어서 수평형 버퍼스테이션의 측면도8 is a side view of a horizontal buffer station in an embodiment of the present invention
도 9는 본 발명의 실시예에 있어서 수직형 버퍼스테이션의 사시도Figure 9 is a perspective view of a vertical buffer station in an embodiment of the present invention.
도 10은 본 발명의 실시예에 있어서 수직형 버퍼스테이션의 측면도10 is a side view of a vertical buffer station in an embodiment of the present invention
*도면의 주요부분에 관한 부호의 설명*Description of the Related Art
1 : 엘시디 마더글라스의 분할선 10 : 엘시디 마더글라스1: Elastic mother glass splitting line 10: Elastic mother glass
20 : 입고부 30 : 출고부 20: Receiving section 30: Receiving section
100 : 스테이션 몸체 111 : 공기토출노즐부 100: station body 111: air discharge nozzle part
120 : 파레트 125 : 지지프레임120: pallet 125: support frame
130 : 가이드 롤러 200 : 엘시디 마더글라스 이송라인130: Guide roller 200: Elastic mother glass transfer line
본 발명은 엘시디 마더글라스의 입고와 출고가 이루어지는 입 출고 부분이 형성되며 엘시디 마더글라스의 이송라인 중간에 형성되는 스테이션 몸체와, 상기 스테이션 몸체로 이송되어 오는 엘시디 마더글라스를 공기부양시키는 장치로서, 공기 토출 노즐부가 상기 엘시디 마더글라스의 이송라인과 동일 위치까지 다수개 격자형으로 돌설 형성된 공기분사수단과, 상기 공기분사수단의 공기 토출 노즐부를 관통시키며 상기 스테이션 몸체 내부에 적층되며, 상기 엘시디 마더글라스의 분할선을 따라 내부 지지 프레임이 형성되어 이송되어온 엘시디 마더글라스를 지지하는 파레트와, 상기 스테이션 몸체에 형성되며, 상기 파레트를 엘시디 마더글라스의 이송라인과 동일 위치로 이송시켜 엘시디 마더글라스가 파레트로 수납되도록 하며, 엘시디 마더글라스를 수납한 파레트는 상기 프레스 몸체 내, 상기 엘시디 마더글라스의 이송라인과 다른 위치로 이송시켜 보관되도록 하는 이송수단으로 구성되어, 엘시디 이송라인에서 단위 이송된 엘시디 마더글라스를 일시 저장하여 후속공정의 수요에 따라 단위 출고시키는 것을 특징으로 하는 엘시디 마더글라스 이송라인의 버퍼스테이션에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for lifting air from a station body formed in the middle of a transfer line of an LCD mother glass and having an inlet and an outlet for receiving and dispensing an LCD mother glass and an LCD mother glass transferred to the station body, An air injecting unit having an ejection nozzle part protruding in a plurality of lattice shapes to the same position as the conveying line of the LCD mother glass, and an air discharging nozzle part of the air injecting unit being stacked in the inside of the station body, A pallet for supporting an LCD mother glass having an inner supporting frame formed along a dividing line, and a pallet formed on the station body, the pallet being transported to the same position as the transfer line of the LCD mother glass, And, Wherein the pallet accommodating the glass is temporarily stored in the press body so as to be transferred to a position different from the transfer line of the LCD mother glass and temporarily stores the LCD mother glass unit transferred from the LCD transfer line, To a buffer station of an LCD mother glass transfer line characterized in that the unit is shipped according to demand.
일반적으로 엘시디 마더글라스의 대형화는 수율 향상과 단가 절감 요인으로 인해 경쟁력의 핵심이 된다. 이러한 대형화에 발맞추어 엘시디 마더글라스의 생산 시스템도 연동되어 개발되고 있는데, 종래의 마더 글라스 이송 장치는 글라스를 25장씩 수납시킨 카세트 방식이다.Generally, the enlargement of LCD glass is the key to competitiveness due to the improvement of yield and the reduction of unit cost. In parallel with this enlargement, the production system of the LCD mother glass is also developed in cooperation with the conventional mother glass transfer apparatus, which is a cassette system in which 25 glasses are stored.
그런데, 7 또는 8세대 기판의 경우에는 크기가 매우 크고 중량이 무겁기 때문에 반도체에서와 같은 반송용 로봇의 사용이 거의 불가능하며, 특히 마더 글라스가 넓은 판형이므로 카세트에 수납시 패널의 처짐 현상이 크게 발생하여 카세트 내에서의 지지점 설계가 큰 난제로 부각하였다.However, in the case of the 7th or 8th generation substrate, since the size is very large and the weight is heavy, it is almost impossible to use the transportation robot as in the semiconductor. Especially, since the mother glass is a wide plate type, And the design of the supporting point in the cassette is a big problem.
또, 마더 글라스가 매우 크고 얇기 때문에 굽힘, 충격 등에 치명적인 단점을 나타내므로 이러한 특성을 고려한 새로운 물류시스템의 설계를 요구하게 되었다.In addition, since the mother glass is very large and thin, it is disadvantageous to bending, impact, and the like. Therefore, it is required to design a new logistics system considering such characteristics.
본 발명은 그와 같은 새로운 요구에 부합하기 위한 발명으로서, 차세대 마더 글라스의 생산에 있어서, 패널 표면에 부착되는 파티클은 생산성을 저하시키는 최대요인의 하나로서 이에 대한 관리인 청정도 유지가 생산성 향상의 필수조건임에 주목하며, 또한, 글라스의 두께가 0.7mm 내외라는 것에 유의하여, 이와 같이 매우 얇으면서 대면적을 가지는 글라스의 청정도를 만족시키면서 어떻게 손상없이 이송시킬 것에 대한 문제점을 인식하고 연구하였다.In order to meet such a new demand, the present invention is one of the greatest factors that deteriorate the productivity of particles attached to the surface of the panel in the production of the next generation mother glass, Attention is paid to the condition that the thickness of the glass is about 0.7 mm and the problem of how to transport the glass without damaging it while satisfying the cleanliness of the glass having such a very thin and large area has been recognized and studied.
차세대의 대형 글라스 이송 장치가 요구하는 사양은 글라스의 오염 및 훼손을 획기적으로 제거시키고, 휨과 진동에 의한 글라스 충격을 최소화시키며, 정전기 문제를 해결하고, 물류저장시스템의 청정도 유지시키며, 설비 비용 대비 생산성을 향상시키며, 최단거리를 최소시간으로 반송시키는 것이다.The specifications required by the next-generation large-sized glass conveying device dramatically eliminate the contamination and damage of the glass, minimize the glass impact caused by bending and vibration, solve the static electricity problem, maintain the cleanliness of the logistics storage system, Improve contrast productivity, and return the shortest distance to the minimum time.
이와 같은 요구사항을 만족시키기 위하여 최근 개발되고 있는 기술로서, 낱장의 글라스를 필요한 프로세서 장비로 직접 이송시키되, 글라스의 접촉기회를 최 소화시키기 위하여 글라스를 공기로 부양시켜 이송하는 방법이 대두되었다.To meet these requirements, recently developed technology has been to transport a sheet of glass directly to the necessary processor equipment, and to transfer the glass to the air in order to minimize the chance of contact with the glass.
상기 비접촉식 낱장 글라스 이송방식은 초청정 공기로 가득 찬 터널 모양의 이송관을 프로세서 장비와 연결시키고, 글라스는 공기로 부양시켜 공기막이 아주 얇게 글라스의 아랫부분과 이송판 상부 사이에 막을 형성하도록 하여 글라스가 공기막에 의하여 이송되도록 하는 것이다.In the non-contact type single glass transfer system, a tunnel-shaped transfer tube filled with super clean air is connected to the processor equipment, and the glass is floated by air to form a film between the lower part of the glass and the upper part of the transfer plate, To be transported by the air film.
이와 같은 비접촉식 낱장 글라스 이송방식은 오염을 발생할 수 있는 물리적인 접촉이 없으며, 고속이송이 가능하고, 공기 부양에 의한 글라스 전면의 지지에 의하여 이송시 처짐이 발생되지 않는 장점이 있다.Such a non-contact type single-glass transfer system has no physical contact that may cause contamination, enables high-speed transfer, and is advantageous in that deflection does not occur during transportation due to the support of the front surface of the glass due to air lift.
상기 비접촉식 낱장 이송방식은 크게 2가지 방식으로 그 개발이 진행되고 있는데, 하나는 글라스를 수평으로 눕힌 상태에서 공기로 부양시켜 이송시키는 수평 컨베이어 이송방식과 슬라스를 80도 정도 기울여 공기로 부양시켜 이송하는 수직형 컨베이어 이송방식이 있다.The non-contact type single sheet conveying method is being developed in two ways. One is a horizontal conveyer conveying method in which the glass is horizontally laid down and is lifted by air, and the slurry is conveyed by air at an angle of about 80 degrees There is a vertical conveyor conveying system.
그런데, 상기 비접촉식 낱장 이송방식과 같은 낱장 이송의 경우에는, 마더 글라스 설비라인에서 각 프로세스 장비간의 작업시간이 다르므로 라인에서 이송되는 낱장의 글라스가 각 프로세서 앞단에서 일시적으로 정체되어 버리므로 설비에서 원활한 물류의 흐름이 발생되지 않는 문제점이 있다.However, in the case of the single sheet feed such as the non-contact type sheet feed method, since the working time between the respective process equipments in the mother glass facility line is different, the single glass conveyed from the line is temporarily stagnated from the front of each processor, There is a problem that the flow of the logistics is not generated.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여, 공기부양에 의한 비접촉식 낱장 이송방식의 마더 글라스 설비라인에서 각 프로세스 장비간에 각 마더 글라스가 일시적으로 정류하는 엘시디 마더글라스 이송라인의 버퍼스테이션을 제공하는 것을 목적으로 한다.In order to solve the above problems, it is an object of the present invention to provide a buffer station of an LCD mother glass transfer line in which mother glass is temporarily rectified between respective process equipments in a mother glass installation line of a non- .
또한, 상기 버퍼 스테이션은 비접촉식 낱장 글라스 이송방식과 같이 오염을 발생할 수 있는 물리적인 접촉이 없으며, 고속이송이 가능하고, 공기 부양에 의한 글라스 전면의 지지에 의하여 버퍼 스테이션 내 보관시 처짐이 발생되지 않는 엘시디 마더글라스 이송라인의 버퍼스테이션을 제공하는 것을 목적으로 한다.Also, since the buffer station is free from physical contact that can cause contamination, such as a non-contact type single glass transfer system, can be transported at a high speed, and is not deflected during storage in a buffer station It is an object of the present invention to provide a buffer station of an LCD mother glass transfer line.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 엘시디 마더글라스의 이송라인 중간에 형성되어 엘시디 마더글라스의 입고부와 출고부가 부분이 형성된 격자형 스테이션 몸체와, 상기 스테이션 몸체 내측에, 상기 스테이션 몸체의 입고부로 이송되어 온 엘시디 마더글라스를 공기부양시키는 다수개의 공기 토출 노즐부가 상기 엘시디 마더글라스의 이송라인 형성선과 동일 선상까지 돌설 형성된 공기분사수단과, 사각형 프레임 내측에 상기 엘시디 마더글라스의 분할선을 지지시키는 지지 프레임이 형성된 것으로서, 상기 공기 토출 노즐부를 상기 각 프레임 사이로 인입시키면서 상기 스테이션 몸체 내부에 적층되는 복수개의 파레트와, 상기 스테이션 몸체에 형성되어 상기 복수개의 파레트를 각각 독립적으로 이송시키는 장치로서, 상기 엘시디 마더글라스가 입고되면 상기 파레트를 엘시디 마더글라스의 이송라인과 동일 위치로 이송시켜 상기 공기분사수단에 의하여 부양되고 있는 상기 엘시디 마더글라스를 파레트로 받도록 하며, 엘시디 마더글라스를 수납한 파레트는 추가이송시켜 상기 스테이션 몸체 내에 상기 엘시디 마더글라스의 이송라인과 다른 위치에 보관되도록 하며, 후속라인의 엘시디 마더글라스의 요청이 있으면 상기 파레트를 이송 라인과 동일위치로 재이송시켜 상기 엘시디 마더글라스가 후속라인으로 공기부양 이송될수 있도록 하는 이송수단으로 구성되어, 엘시디 이송라인에서 단위 이송된 엘시디 마더글라스를 일시 저장하여 후속공정의 수요에 따라 단위 출고시키는 것을 특징으로 하는 엘시디 마더글라스 이송라인의 버퍼스테이션을 기술적 요지로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a lattice-shaped station body formed in the middle of a conveying line of an LCD mother glass, the lattice-shaped station body having an inlet and an outlet of an LCD mother glass, A plurality of air discharging nozzles for air-lifting the transferred LCD mother glass, air injecting means formed to extend in line with the transfer line forming line of the LCD mother glass, and a support for supporting the dividing line of the LCD mother glass A plurality of pallets stacked in the station body while drawing the air discharge nozzle part between the frames and an apparatus for independently transporting the plurality of pallets formed on the station body, Glare The pallet is transported to the same position as the transfer line of the LCD mother glass so that the LCD mother glass which is lifted by the air injection means is received by the pallet, and the pallet containing the LCD mother glass is further transferred, The pallet is retransferred to the same position as the transfer line when a request for the next line of the LCD mother glass is made so that the LCD mother glass is transferred to the next line And temporarily storing an LCD mother glass unit transferred from the LCD conveying line and unitarily discharging the glass mother glass according to a demand of a subsequent process. The present invention is directed to a buffer station of an LCD mother glass transfer line.
여기서 상기 이송수단은 상기 엘시디 마더글라스 이송라인에서의 엘시디 마더글라스 입고, 저장, 출력 조건에 따라 필요한 제어신호를 발생시키는 제어부와, 상기 스테이션 몸체에 수직으로 평행 설치된 가이드 레일과, 상기 제어부의 제어신호에 따라 상기 가이드 레일에 슬라이딩되는 슬라이딩 롤러와, 상기 제어부의 제어신호에 따라 상기 슬라이딩 롤러와 상기 파레트를 연결 또는 분리시키는 연결수단으로 구성되어 엘시디 마더글라스 입고, 저장, 출력 조건에 따라 각 단위 파레트를 승강 이송시키는 것을 특징으로 하는 엘시디 마더글라스 이송라인의 버퍼스테이션으로 되는 것이 바람직하다.The conveying means includes a controller for generating a necessary control signal according to the conditions of receipt, storage, and output of the LCD mother glass in the LCD conveying line, a guide rail provided parallel to the vertical direction of the station body, And a connecting means for connecting or disconnecting the sliding roller and the pallet in accordance with a control signal of the control unit. The unit pallet may be formed in accordance with conditions of wearing, storing, and / or outputting an LCD mother glass And the lifting and transporting of the glass substrate is carried out.
여기서 상기 연결수단은 상기 파레트에 형성되는 고리와, 상기 제어부의 제어신호에 따라 구동되는 걸림쇠로 구성되는 것을 특징으로 하는 엘시디 마더글라스 이송라인의 버퍼스테이션으로 되는 것이 바람직하다.Wherein the connection means comprises a ring formed on the pallet and a latch driven according to a control signal of the control unit.
그리고 상기 엘시디 마더글라스 이송라인의 버퍼스테이션은, 수평형 엘시디 마더글라스 이송라인에서 상기 이송라인의 형태에 상기 파레트를 형성시킴에 따라 상기 공기분사수단은 상기 스테이션 몸체 저부에 형성되고 상기 공기분사수단의 공기 토출 노즐부는 상기 엘시디 마더글라스의 이송라인 형성선과 동일 높이까지 돌설 형성되며, 상기 복수개의 파레트는 상기 스테이션 몸체 저부에 적층되며, 상기 이송수단은 상기 엘시디 마더글라스가 수평 입고되면 상기 파레트를 엘시디 마더글라스의 이송라인과 동일 높이로 이송시켜 상기 입고된 엘시디 마더글라스를 받은 후, 상기 파레트는 추가 상승시켜 상기 스테이션 몸체 내에 상기 엘시디 마더글라스의 이송라인과 다른 높이에 보관되도록 하는 것을 특징으로 하는 엘시디 마더글라스 이송라인의 버퍼스테이션으로 되는 것이 바람직하다.In addition, the buffer station of the LCD mother glass transfer line may form the pallet in the form of the transfer line in the horizontal liquid crystal glass transfer line, the air injection means is formed at the bottom of the station body, The pallet is stacked on the bottom of the station body, and when the LCD mother glass is horizontally received, the pallet is guided to the LCD main body Wherein the pallet is further raised so as to be stored in the station body at a height different from the transfer line of the LCD mother glass after the glass substrate is transferred at the same height as the transfer line of the glass, Glass transfer line It is preferable that the buffer station.
또한 상기 스테이션 몸체 내측 측면에는 상기 엘시디 마더글라스 이송라인과 동일선상에 가이드 롤러를 형성시켜, 공기부양되어 이송되는 상기 엘시디 마더글라스의 입고 또는 출고를 보조하도록 하는 것을 특징으로 하는 엘시디 마더글라스 이송라인의 버퍼스테이션으로 되는 것이 바람직하다.And a guide roller is formed on an inner side surface of the station body so as to be in line with the transporting line of the LCD mother glass so as to assist in loading or unloading of the LCD mother glass transported by air, It is preferable to be a buffer station.
그리고 상기 엘시디 마더글라스 이송라인의 버퍼스테이션은, 수직형 엘시디 마더글라스 이송라인에서 상기 이송라인의 형태에 상기 파레트를 형성시킴에 따라 상기 공기분사수단은 상기 스테이션 몸체 측부에 형성되고 상기 공기분사수단의 공기 토출 노즐부는 상기 엘시디 마더글라스의 이송라인 형성선과 동일선까지 돌설 형성되며, 상기 복수개의 파레트는 상기 스테이션 몸체 측부에 적층되며, 상기 이송수단은 상기 엘시디 마더글라스가 수직 입고되면 상기 파레트를 엘시디 마더글라스의 이송라인과 동일선상으로 전진시켜 상기 입고된 엘시디 마더글라스를 받은 후, 상기 파레트는 추가 전진시켜 상기 스테이션 몸체 내에 상기 엘시디 마더글라스의 이송라인과 다른 위치에 보관되도록 하는 것을 특징으로 하는 엘시디 마더글라스 이송라인의 버퍼스테이션으로 되는 것이 바람직하다.The buffer station of the LCD mother glass transfer line may be configured such that the pallet is formed in the shape of the transfer line in a vertical type LCD mother glass transfer line so that the air injection means is formed on the side of the station body, And a plurality of pallets are stacked on the side of the station body, and when the LCD mother glass is vertically received, the pallet is mounted on an LCD mother glass Wherein the pallet is further advanced so as to be stored in a position different from the transfer line of the LCD mother glass in the station body after advancing to the same line as the transfer line of the LCD mother glass and receiving the received LCD mother glass, Transfer line It is preferable to be a buffer station.
그리고 상기 스테이션 몸체 내측 저면에는 상기 엘시디 마더글라스 이송라인 과 동일선상에 가이드 롤러를 형성시켜, 공기부양되어 이송되는 상기 엘시디 마더글라스의 입고 또는 출고를 보조하도록 하는 것을 특징으로 하는 엘시디 마더글라스 이송라인의 버퍼스테이션으로 되는 것이 바람직하다.And a guide roller is formed on the inner bottom surface of the station body coaxially with the LCD conveying line so as to assist in the loading or unloading of the LCD mother glass conveyed by the air. It is preferable to be a buffer station.
이하 도면을 참조하여 본 발명에 관하여 살펴보기로 하며, 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지기술 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 것이다. Hereinafter, the present invention will be described with reference to the drawings. In the following description of the present invention, a detailed description of related arts or configurations will be omitted when it is determined that the gist of the present invention may be unnecessarily obscured will be.
그리고 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있으므로 그 정의는 본 발명을 설명하는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다. It is to be understood that both the foregoing general description and the following detailed description are exemplary and explanatory and are intended to be exemplary, self-explanatory, allowing for equivalent explanations of the present invention.
이하의 도 1 내지 도 3은 본 발명의 엘시디 마더글라스 이송라인의 버퍼스테이션의 사시도로서, 엘시디 마더글라스의 이송상태가 도시되어 있으며, 도 4는 엘시디 마더글라스의 평면도이며, 도 5는 본 발명의 실시예에 있어서 평면형 버퍼스테이션의 평면도이며, 도 6은 본 발명의 실시예에 있어서 수직형 이송라인의 개념도이며, 도 7은 본 발명의 실시예에 있어서 수평형 이송라인의 개념도이며, 도 8은 본 발명의 실시예에 있어서 수평형 버퍼스테이션의 측면도이며, 도 9는 본 발명의 실시예에 있어서 수직형 버퍼스테이션의 사시도이며, 도 10은 본 발명의 실시예에 있어서 수직형 버퍼스테이션의 측면도이다.1 to 3 are perspective views of a buffer station of an LCD mother glass transfer line according to the present invention, in which the state of transfer of an LCD mother glass is shown, FIG. 4 is a plan view of an LCD mother glass, 6 is a conceptual diagram of a vertical transfer line in an embodiment of the present invention, FIG. 7 is a conceptual view of a horizontal transfer line in the embodiment of the present invention, and FIG. 8 is a cross- FIG. 9 is a perspective view of a vertical buffer station in an embodiment of the present invention, and FIG. 10 is a side view of a vertical buffer station in an embodiment of the present invention .
도면에 도시된 바와 같이 본 발명은 크게 스테이션 몸체(100)와 공기분사수단(110)과 파레트(120)와 이송수단(300)으로 구성된다.As shown in the drawing, the present invention mainly comprises a
도 1에 도시된 바와 같이 본 발명은 입고되는 엘시디 마더글라스(10)를, 도 2에 도시된 바와 같이 안전하게 수납하여, 도 3에 도시된 바와 같이 일시 보관하였다가 후속 라인의 공급요청이 있으면 후속 라인으로 안전하게 발송하는 곳으로서, 상기 본 발명의 스테이션 몸체(100)는 엘시디 마더글라스(10)의 입고와 출고가 이루어지는 입고부(20)와 출고부(30)가 형성되며 엘시디 마더글라스(10)의 이송라인(200) 중간에 위치된다.As shown in FIG. 1, the present invention securely stores an incoming
본 발명의 공기분사수단(110)은 상기 엘시디 마더글라스(10)의 안전 수납을 위한 것으로서, 상기 스테이션 몸체(100)로 이송되어 오는 엘시디 마더글라스(10)를 공기부양시키는 장치이다.The air injecting means 110 of the present invention is a device for safely storing the
본 발명은 공기부양방식의 엘시디 마더글라스 이송라인(200)의 버퍼 스테이션을 구성하는 것을 주목적으로 하므로, 본 발명의 버퍼 스테이션 역시 비접촉 공기부양방식의 엘시디 마더글라스(10)의 이송을 진행하며, 상기 공기분사수단(110)이 이러한 목적을 수행한다.Since the present invention mainly aims at constituting the buffer station of the air lifting type LCD mother
상기 비접촉 공기부양방식 엘시디 마더글라스 이송라인(200)의 공기부양방식 및 장치는 라인에 연속 밀집 배열된 미세분사 노즐과 이에 연결된 공기분사 펌프에 의한 것으로서, 이미 실제의 공정에 사용되고 있으며, 활발한 연구가 계속되고 있는 분야로서 공지의 기술 내용이므로 이하 이에 대한 자세한 설명을 생략하기로 한다.The air lifting system and apparatus of the noncontact air lifting type LCD mother
또한 본 발명의 공기분사수단에 있어서도 공기를 부양시키기 위하여 노즐 후단으로부터 연속되어 결합되어 공기의 분사경로를 이루는 파이프관, 이음체, 펌프, 모터 등의 공지의 기술적 내용에 대한 설명은 생략하기로 한다.Also, in the air injection means of the present invention, description of known technical contents of a pipe pipe, a joint, a pump, a motor, and the like, which are continuously connected from the rear end of the nozzle to float the air and form the injection path of air, will be omitted .
도 1 등에 도시된 바와 같이 본 발명은 상기 공기분사수단(110)은 상기 스테이션 몸체(100) 일측에 형성되는데, 상기 공기분사수단(110)의 공기토출노즐부(111)가 상기 엘시디 마더글라스(10)의 이송라인(200)과 동일 위치까지 다수개가 격자형으로 돌설 형성되는 특징이 있다.1, the present invention is characterized in that the
상기 이송라인(200)과 동일위치란 가령 예를 들어 도 1과 같이 상기 엘시디 마더글라스 이송라인(200)이 수평 이송라인을 형성시키고 있는 경우에, 상기 공기토출 노즐부()가 상기 이송라인과 동일 연장선을 이룰 수 있는 높이를 의미하는 것으로서, 이는 상기 엘시디 마더글라스 이송라인(200)의 전단부와 본 발명의 상기 공기토출노즐부(111)와 상기 엘시디 마더글라스 이송라인(200)의 후단부가 연속된 라인을 형성시키는 구성임을 의미한다. 도 9에 도시된 바와 같은 수직형 라인인 경우에도 동일한 구성임은 물론이다.The same position as the
이에 따라, 상기 엘시디 마더글라스(10)는 이송라인(200)에서 공기부양되어 이송되는 상태가 연속되면서, 본 발명의 스테이션 몸체(100) 내부로 입고되거나 출고된다.Accordingly, the
그런데, 상기한 바와 같이 상기 엘시디 마더글라스 이송라인(200)과 본 발명의 상기 공기토출노즐부(111)은 연속된 라인을 형성시켜 상기 엘시디 마더글라스(10)를 입 출고시키는데, 본 발명에서는 상기 엘시디 마더글라스(10)의 입 출고를 공기분사 이외의 물리적 방법으로 보조하기 위하여, 상기 스테이션 몸체(100) 내측, 상기 엘시디 마더글라스 이송라인(200)과 동일선상에 도 5에 도시된 바와 같이 가이드 롤러(130)를 추가 형성시킨다.However, as described above, the LCD mother
상기 가이드 롤러(130)는 상기 엘시디 마더글라스(10)의 변을 지지하면서 이송시킬 수 있도록 상기 스테이션 몸체(100) 내측 측면(수평형 이송라인)또는 저부(수직형 이송라인)에 형성되며, 이에 대한 자세한 설명은 후술하기로 한다.The
한편, 도 5를 참조하여 살펴보면 상기 공기토출노즐부(111)는 전체가 하나의 면으로 상기 스테이션 몸체(100) 내부에 형성되는 것이 아니라, 바둑판 모양처럼 여러 개로 분리된 격자면이 상기 스테이션 몸체 내부에 형성된다.5, the air discharging
따라서 상기 공기토출노즐부(111)의 가운데에는 마치 바둑판 모양의 격자형 틈이 형성되는 것에 주목한다.Therefore, it is noted that a checkerboard-shaped grid-like gap is formed in the center of the air
본 발명의 상기 파레트(120)는 상기 스테이션 몸체 내부에 적층되는 프레임 구조체이다. 상기 파레트(120)는 사각형 프레임 내측에 도 4에 도시된 바와 같은 상기 엘시디 마더글라스(10)의 분할선(1)을 지지시키는 지지프레임(125)이 격자형으로 형성된 것으로서, 상기 지지프레임(125)이 상기 공기토출노즐부(111)의 격자형 틈으로 삽입되면서 상기 스테이션 몸체(100) 내부에 적층된다.The
따라서 상기 공기토출노즐부(111)와 파레트(120)의 지지프레임(125), 엘시디 마더글라스(10)의 분할선(1)은 서로 상관관계를 가지는데, 상기 엘시디 마더글라스(10)의 분할선(1)은 공정 완료 후 엘시디 글라스로 분할시키는 선으로서, 이 부분은 나중에 제거되는 부분이다.Therefore, the supporting
따라서 접촉이 어느 정도 허용되는 부분으로서, 본 발명에 있어서는 엘시디 마더글라스(10)의 전면을 지지하기 위하여 이 부분을 이용한다.Therefore, in the present invention, this portion is used to support the front surface of the
상기 파레트(120)는 상기 엘시디 마더글라스(10)가 스테이션 몸체(100)로 이 송되어 오면 이를 받아 보관하는 엘시디 받침대가 되는데, 이때, 상기 엘시디 마더글라스(10)는 상기한 바와 같이 매우 얇고 오염에 대한 특별한 주의가 필요하므로, 상기 파레트(120)가 상기 엘시디 마더글라스(10)의 분할선을 따라 지지하면서 수납할 수 있도록 마련한 구조가 상기 지지프레임(125)이다.The
따라서 상기 지지프레임(125)은 상기 엘시디 마더글라스(10)의 분할선(1)과 동일한 모양과 크기로 파레트(120) 내측에 설계되어야 하며, 상기 공기토출노즐부(111)의 격자형 배치도 상기 파레트(120)의 적층 또는 이송에 방해되지 않도록 상기 지지프레임(125)이 있는 위치는 공간으로 비워두어야 하므로 격자형 틈이 형성되는 것이다. Therefore, the
즉, 상기 파레트(120)는 상기 엘시디 마더글라스(10)를 각각 독립적으로 수납하는 개별받침으로서, 상기 공기토출노즐부(111)의 격자형 틈 사이사이에 끼워지면서 상기 스테이션 몸체에 적층된 상태로 구동을 준비한다.That is, the
본 발명의 상기 이송수단(300)은 도 1, 도 8 등에 도시된 바와 같이 상기 스테이션 몸체(100)에 형성되며, 상기 파레트(120)를 상기 스테이션 몸체 내부에서 이송되도록 하는 수단이다.The conveying means 300 of the present invention is formed on the
상기 이송수단(300)은 도 1에서와 같이 상기 스테이션 몸체(100)에 엘시디 마더글라스(10)가 이송되어 들어오면, 도 3에 도시된 바와 같이 상기 파레트(120)를 엘시디 마더글라스(10)의 이송라인(200)과 동일 위치로 이송시켜(도 8의 A구동구간), 상기 파레트(120)로 엘시디 마더글라스(10)를 수납하며, 상기 엘시디 마더글라스(10)가 거치된 파레트(120)를 추가 이송시켜(도 8의 B 구동구간) 상기 엘시 디 마더글라스(10)의 이송라인과 다른 위치에 보관되도록 한다.3, the
상기 이송수단(300)은 제어부(미도시)와 가이드 레일(310)과 슬라이딩 롤러(320)와 상기 파레트에 형성되는 고리와 상기 제어부의 제어신호에 따라 구동되는 걸림쇠 등으로 구성되는 연결수단(330)으로 구성될 수 있으며, 자세하게는 상기 제어부는 상기 엘시디 마더글라스 이송라인(200)에서의 엘시디 마더글라스 입고, 저장, 출력 조건에 따라 필요한 제어신호를 발생시키는 회로부이며, 상기 가이드 레일(310)은 상기 스테이션 몸체(100)에 수직으로 평행 설치된 이동 가이드이며, 상기 슬라이딩 롤러(320)는 상기 제어부(미도시)의 제어신호에 따라 상기 가이드 레일(310)에 슬라이딩되는 이동부이다.The conveying means 300 includes connecting means 330 including a control unit (not shown), a
상기 이송수단(300)은 상기의 예시 이외에도, 상기 스테이션 몸체(100)의 양측에 형성된 걸림쇠와 각 파레트(120)의 상기 걸림쇠측 프레임에 형성된 고리와 상기 걸림쇠의 걸림구동제어, 이송제어를 담당하는 모터 및 제어장치로 구성할 수도 있으며, 상기 스테이션 몸체(100)를 연결시키는 체인 또는 롤러와 모터의 결합 등으로도 구성할 수 있는 등, 기타 스테이션 몸체(100)에서 파레트(120)를 이송시킬 수 있는 여타한 구성도 가능하다. In addition to the above example, the conveying means 300 may include a latch formed on both sides of the
따라서 상기 이송수단(300)은 상기 스테이션 몸체(100)에 적층된 복수개의 파레트(120)를 각각 독립적으로 이송시키는 장치로서, 상기 엘시디 마더글라스(10)가 입고되면 상기 파레트(120)를 엘시디 마더글라스(10)의 이송라인(200)과 동일 위치로 이송시켜 상기 공기분사수단(110)에 의하여 부양되고 있는 상기 엘시디 마더글라스(10)를 파레트(120)로 수납하며, 엘시디 마더글라스(10)를 수납한 파레 트(120)는 추가이송시켜 상기 스테이션 몸체(100) 내에 상기 엘시디 마더글라스(10)의 이송라인(200)과 다른 위치에 보관되도록 하며, 후속라인의 엘시디 마더글라스(10)의 요청이 있으면 상기 파레트(120)를 이송라인(200)과 동일위치로 재이송시켜 상기 엘시디 마더글라스(10)가 후속라인으로 공기부양 이송될 수 있도록 하는 이송수단(300)이라면, 상기의 예시에 한정되지 않는 구성이라도 본 발명의 범위에 속한다 할 것이다.The
한편, 상기 예시에서 일부 기재된 바와 같이 상기 엘시디 마더글라스 이송라인(200)의 버퍼 스테이션은 이송되어오는 엘시디 마더글라스(10)의 라인 형태에 따라 그 형태가 결정되어야 한다. 즉, 도 6에 도시된 바와 같이 수직으로 엘시디 마더글라스(10)를 이송하는 라인(엘시디 마더글라스를 수직으로 세워서 이송하는 방식의 라인)에서는 상기 공기토출노즐부(111)도 이에 일치되어야 하므로 도 9에 도시된 바와 같이 수직형으로 구성되어야 하며, 이송라인(200)은 전후, 또는 좌우의 이송궤도를 가져야 하고, 도 7에 도시된 바와 같이 수평으로 엘시디 마더글라스(10)를 이송하는 라인에서는 도 1, 도 8등에 도시된 바와 같이 이에 부합되는 수평형으로 구성되어야 한다.Meanwhile, as described in some of the above examples, the shape of the buffer station of the LCD mother
따라서 수직형 라인과 수평형 라인의 형태에 따라 상기 엘시디 마더글라스(10)의 스테이션 몸체(100) 내 이송을 보조하는 가이드 롤러(130)의 설치 위치 등, 여러 구성들이 그 방향을 달리할 것인데 이를 자세히 살펴보면, 상기 본 발명의 엘시디 마더글라스 이송라인(200)의 버퍼스테이션은, 수평형 엘시디 마더글라스 이송라인에서 상기 이송라인(200)의 형태에 상기 파레트(120)를 형성시킴에 따라 상기 공기분사수단(110)은 상기 스테이션 몸체(100) 저부에 형성되고 상기 공기분사수단(110)의 공기토출노즐부(111)는 상기 엘시디 마더글라스(10)의 이송라인선과 동일 높이까지 돌설 형성되며, 상기 복수개의 파레트(120)는 상기 스테이션 몸체(100) 저부에 적층되며, 상기 이송수단(300)은 상기 엘시디 마더글라스(10)가 수평 입고되면 상기 파레트(120)를 엘시디 마더글라스(10)의 이송라인(200)과 동일 높이로 이송시켜 상기 입고된 엘시디 마더글라스(10)를 받은 후, 상기 파레트(120)를 추가 상승시켜 상기 스테이션 몸체(100) 내에 상기 엘시디 마더글라스(10)의 이송라인(200)과 다른 높이에 보관되도록 형성될 것이다. 또한, 상기 스테이션 몸체(100) 내측 측면에는 상기 엘시디 마더글라스 이송라인(200)과 동일선상에 가이드 롤러(130)를 형성시켜, 공기부양되어 이송되는 상기 엘시디 마더글라스(10)의 입고 또는 출고를 보조하도록 구성된다.Therefore, various configurations such as the installation position of the
그리고 수직형 엘시디 마더글라스 이송라인에서 상기 엘시디 마더글라스 이송라인(200)의 버퍼스테이션은, 상기 이송라인(200)의 형태로 상기 파레트(120)를 형성시킴에 따라 상기 공기분사수단(110)은 상기 스테이션 몸체(100) 측부에 형성되고 상기 공기분사수단(110)의 공기토출노즐부(111)는 상기 엘시디 마더글라스(10)의 이송라인 형성선과 동일선까지 돌설 형성되며, 상기 복수개의 파레트(120)는 상기 스테이션 몸체(100) 측부에 적층되며, 상기 이송수단(300)은 상기 엘시디 마더글라스(10)가 수직 입고되면 상기 파레트(120)를 엘시디 마더글라스(10)의 이송라인(200)과 동일선상으로 전진시켜 상기 입고된 엘시디 마더글라스(10)를 받은 후, 상기 파레트(120)는 추가 전진시켜 상기 스테이션 몸체(100) 내 에 상기 엘시디 마더글라스의 이송라인(200)과 다른 위치에 보관되도록 하는 것을 특징으로 하는 엘시디 마더글라스 이송라인(200)의 버퍼스테이션으로 구성되며, 상기 스테이션 몸체(100) 내측 저면에 상기 엘시디 마더글라스 이송라인(200)과 동일선상에 가이드 롤러(130)를 형성시켜, 공기부양되어 이송되는 상기 엘시디 마더글라스의 입고 또는 출고를 보조하도록 구성된다.The buffer station of the LCD mother
상기 수평형 이송라인의 경우를 예로 들어 본 발명의 구동에 관하여 설명하자면, 상기 파레트(120)는 스테이션 몸체(100)의 아랫부분에 이송라인(200)보다 낮은 위치로 적층되어 구동준비 상태로 대기하여 있고 상기 공기토출노즐부(111)의 단부는 상기 이송라인과 동일 높이가 되도록 구성되어, 상기 이송라인(200)에서 공기 부양 방식으로 엘시디 마더글라스(10)가 이송되어 오면, 상기 공기토출노즐부(111)는 이를 공기 부양시키고 상기 이송라인(200)은 제일 위에 적층된 파레트(120)를 공기토출노즐부(111)까지 상승시켜 상기 파레트(120)로 엘시디 마더글라스(10)를 수납한다.The
엘시디 마더글라스(10)를 거치한 파레트(120)는 다시 이송수단(300)에 의하여 상측으로 추가이송되어 상측에서 적층보관된다.The
이후, 후속 라인의 엘시디 마더글라스(10) 요청신호가 오면 상기 파레트(120)는 공기토출노즐부(111)로 다시 이송되어오며,공기토출노즐부(111)에 엘시디 마더글라스(10)를 올려 놓은 후 하강 적층되며, 상기 엘시디 마더글라스(10)를 공기토출노즐부(111)의 공기부양과 후속 이송라인의 공기부양에 의하여 후속 라인으로 이송된다.Thereafter, when a signal for requesting the
이러한 구성에 의하여 본 발명은 엘시디 이송라인(200)에서 단위 이송된 엘시디 마더글라스(10)를 일시 저장하여 후속공정의 수요에 따라 단위 출고시키는 특징을 가진다.According to the present invention, the
이상 본 발명의 설명을 위하여 도시된 실시예는 본 발명이 구체화되는 하나의 실시예에 불과하며, 도면에 도시된 바와 같이 본 발명의 요지가 실현되기 위하여 다양한 형태의 조합이 가능함을 알 수 있다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention.
따라서 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. It is to be understood that the technical spirit of the present invention is to the extent possible.
이상 설명한 본 발명에 의하여 공기부양에 의한 비접촉식 낱장 이송방식의 마더 글라스 설비라인에서 각 프로세스 장비 간에 각 마더 글라스가 일시적으로 정류하는 엘시디 마더글라스 이송라인의 버퍼스테이션이 제공되는 이점이 있다.According to the present invention, there is an advantage that a buffer station of an LCD mother glass transfer line, in which each mother glass is temporally rectified between respective process equipments, is provided in a mother glass facility line of a non-contact type single transfer method by air levitation.
또한, 상기 버퍼 스테이션은 비접촉식 낱장 글라스 이송방식과 같이 오염을 발생할 수 있는 물리적인 접촉이 없으며, 고속이송이 가능하고, 공기 부양에 의한 글라스 전면의 지지에 의하여 버퍼 스테이션 내 보관시 처짐이 발생되지 않는 엘시디 마더글라스 이송라인의 버퍼스테이션이 제공되는 이점이 있다.Also, since the buffer station is free from physical contact that can cause contamination, such as a non-contact type single glass transfer system, can be transported at a high speed, and is not deflected during storage in a buffer station There is an advantage that a buffer station of an LCD mother glass transfer line is provided.
Claims (7)
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KR1020060085404A KR100793137B1 (en) | 2006-09-06 | 2006-09-06 | Buffer station of lcd mother glass transport line |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR101422449B1 (en) | 2014-06-11 | 2014-07-24 | 주식회사 야스 | Adhesive chuck with masking area limited |
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KR970003770A (en) * | 1995-06-15 | 1997-01-28 | 시바타 쇼타로 | Semiconductor manufacturing apparatus and method for correcting position of wafer in wafer cassette and wafer conveyance method in semiconductor manufacturing apparatus |
KR20050001482A (en) * | 2003-06-25 | 2005-01-07 | 주식회사 디엠에스 | Apparatus for horizontal and up-down transporting of works |
-
2006
- 2006-09-06 KR KR1020060085404A patent/KR100793137B1/en active IP Right Grant
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