KR101570078B1

KR101570078B1 - Apparatus for turning cassette

Info

Publication number: KR101570078B1
Application number: KR1020130165271A
Authority: KR
Inventors: 이경훈; 이상문; 이석희
Original assignee: 주식회사 에스에프에이
Priority date: 2013-12-27
Filing date: 2013-12-27
Publication date: 2015-11-19
Also published as: KR20150076732A

Abstract

카세트 턴장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 턴장치는, 기판이 이송되는 물류 라인에 배치되며, 기판이 다단으로 적재되는 카세트가 내부에 배치되는 버퍼 챔버(Buffer Chamber); 및 버퍼 챔버의 내부에 배치되며, 카세트의 축 방향 하중을 지지하면서 카세트를 턴(turn) 동작시키는 카세트 지지용 턴유닛을 포함한다.A cassette turn device is disclosed. A cassette turn device according to an embodiment of the present invention includes a buffer chamber in which a cassette on which a substrate is stacked is disposed; And a cassette holding turn unit disposed inside the buffer chamber and turning the cassette while supporting the axial load of the cassette.

Description

[0001] APPARATUS FOR TURNING CASSETTE [0002]

본 발명은, 카세트 턴장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 기판이 대형화되더라도 다수의 기판이 적재되는 카세트를 용이하고 정밀하게 턴(turn) 동작시킬 수 있으며, 이에 따라 물류 보틀 넥(bottle neck) 현상이 발생되는 것을 저지하여 물류 이송의 효율을 향상시킬 수 있는 카세트 턴장치에 관한 것이다.The present invention relates to a cassette turn apparatus, and more particularly, to a cassette turn apparatus which can easily and precisely turn a cassette on which a plurality of substrates are stacked even if the substrate is enlarged, The present invention relates to a cassette turn device capable of preventing the occurrence of a phenomenon and improving the efficiency of conveying a product.

최근들어 반도체 산업 중 전자 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 평면디스플레이(Flat Panel Display, FPD)가 각광받고 있다.2. Description of the Related Art In recent years, flat panel displays (FPD) have been attracting attention as the electronic display industry has rapidly developed in the semiconductor industry.

평면디스플레이용 기판에는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등이 있다.LCDs (liquid crystal displays), plasma display panels (PDPs), and organic light emitting diodes (OLEDs) are examples of substrates for flat panel displays.

이와 같은 평면디스플레이용 기판(이하, 기판이라 함)은 유리(Glass) 재질로 이루어지는 것이 일반적이기 때문에 외부로부터 가해지는 충격에 매우 취약한 특성인 취성을 갖는다.Such a substrate for a flat display (hereinafter referred to as a substrate) is generally made of a glass material, and therefore has brittleness, which is a characteristic of being extremely vulnerable to external shocks.

따라서 기판을 제조하는 전 공정 단계로부터 후 공정 단계에 이르기까지 기판이 훼손되지 않고 효율적으로 이송되어야 한다.Therefore, the substrate must be efficiently transported from the previous process step to the post-process step for manufacturing the substrate without being damaged.

종전만하더라도 TV는 20 인치 내지 30 인치 정도의 크기를 가지며, 모니터는 17 인치 이하의 크기를 갖는 것이 주류였다. 하지만, 근자에 들어서는 40 인치 이상의 대형 TV와 20 인치 이상의 대형 모니터에 대한 선호도가 높아지고 있다.In the past, TVs were about 20 to 30 inches in size and monitors were 17 inches or less in size. However, the popularity of large-screen 40-inch and larger monitors and 20-inch and larger monitors is growing.

따라서 기판을 제조하는 제조사의 경우, 보다 큰 대형 기판을 제작하기에 이르렀으며, 현재, 가로/세로의 길이가 2.6m/2.4m에 이르는 8세대(8G) 대형 기판이 적용되고 있는 것으로 알려지고 있다.Therefore, in the case of a manufacturer of a substrate, a large-sized substrate having a larger size has been manufactured, and it is known that an 8G (8G) large-sized substrate having a length / width of 2.6 m / .

한편, 앞서 기술한 것처럼 8세대 기판은 사이즈가 거대한 대형 기판이기 때문에 이러한 대형 기판을 이송시키는 것이 쉬운 문제는 아니다.On the other hand, as described above, since the 8th generation substrate is a large size substrate, transferring such a large size substrate is not an easy problem.

실제, 대형 기판을 진공 조건 하에서 수평자세(Face-Down)로 정밀하게 물류 이송시키는 것 자체가 어려운 기술이다.Actually, it is difficult to precisely transport a large-sized substrate in a horizontal posture (face-down) under a vacuum condition.

이처럼 진공 조건 하에서 기판이 수평자세를 유지하도록 하면서 정밀하게 물류 이송되어야 하는데, 이 경우, 기판의 테두리 부분만을 접촉할 수밖에 없는 제한된 조건으로 이송해야 하기 때문에 기판 이송에의 어려움이 있다.In this case, it is difficult to transport the substrate because the substrate must be transported under a limited condition in which only the edge portion of the substrate must be contacted.

특히, 기판을 직선 이송시키는 것과 달리 교차지점 등에서 기판을 방향전환, 즉 턴(turn) 동작시키면서 주변의 제조 공정으로 기판을 이송시키려 할 때, 이송이 용이하지 않기 때문에 물류 보틀 넥(bottle neck) 현상 등이 야기되어 설비의 에러 발생 시스템이 멈추는 등의 다양한 문제가 발생된다.Particularly, unlike the case where the substrate is linearly transported, when the substrate is to be transferred to the peripheral manufacturing process while the substrate is turned or turned at an intersection, transportation is not easy, so that a bottle neck phenomenon And the like. This causes various problems such as stopping the error generating system of the facility.

이와 같은 문제점을 해결하기 위해 버퍼 챔버(Buffer Chamber)를 물류 중간에 배치하여 대처 시간을 최소화함으로써, 물류 보틀 넥 현상 등이 발생되는 것을 예방하고 있다.In order to solve such a problem, a buffer chamber is disposed in the middle of the logistics to minimize the coping time, thereby preventing the bottleneck phenomenon of the logistics bottles from being generated.

그런데, 이처럼 물류 보틀 넥 현상이 발생되는 것을 방지하기 위해 물류 중간에 배치되는 버퍼 챔버의 경우, 기판이 다단으로 적재되는 카세트를 보유하고 있는 것이 일반적인데, 기판이 대형화되면서 카세트 또한 대형화됨에 따라 부피와 무게, 특히 무게가 증가하여 카세트의 턴(turn) 동작 시 흔들리거나 주변 구조물에 많은 부하를 안겨 정밀 제어가 어려워지는 등 많은 문제점이 파생되고 있으므로 이에 대한 구조 보완이 시급한 실정이다.However, in order to prevent the occurrence of the bottleneck phenomenon in the logistics, in the case of the buffer chamber disposed in the middle of the logistics, the cassette generally has a cassette in which the substrate is stacked in multiple stages. The weight, especially weight, is increased, which causes various problems such as wobbling of the cassette turn operation, heavy load on the surrounding structure, and difficulty of precise control. Therefore, it is urgent to supplement the structure.

대한민국특허청 출원번호 제10-2006-0058222호Korea Patent Office Application No. 10-2006-0058222

따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 기판이 대형화되더라도 다수의 기판이 적재되는 카세트를 용이하고 정밀하게 턴(turn) 동작시킬 수 있으며, 이에 따라 물류 보틀 넥(bottle neck) 현상이 발생되는 것을 저지하여 물류 이송의 효율을 향상시킬 수 있는 카세트 턴장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide an apparatus and a method for manufacturing a cassette that can easily and precisely turn a cassette on which a plurality of substrates are stacked, To thereby improve the efficiency of the conveyance of the goods.

본 발명의 일 측면에 따르면, 기판이 이송되는 물류 라인에 배치되며, 상기 기판이 다단으로 적재되는 카세트가 내부에 배치되는 버퍼 챔버(Buffer Chamber); 및 상기 버퍼 챔버의 내부에 배치되며, 상기 카세트의 축 방향 하중을 지지하면서 상기 카세트를 턴(turn) 동작시키는 카세트 지지용 턴유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 턴장치가 제공될 수 있다.According to an aspect of the present invention, a buffer chamber is disposed in a distribution line through which a substrate is transferred, and a cassette in which the substrate is stacked is disposed in a buffer chamber; And a cassette holding turn unit disposed inside the buffer chamber and configured to turn the cassette while supporting an axial load of the cassette.

상기 카세트 지지용 턴유닛은, 상기 버퍼 챔버 내의 진공(VAC) 영역에 위치 고정되는 턴 고정 플레이트; 및 상기 카세트를 하부에서 지지하며, 상기 턴 고정 플레이트의 상부에서 상기 턴 고정 플레이트와 나란하게 배치되면서 상기 카세트와 함께 턴(turn) 동작되는 턴 동작 플레이트를 포함할 수 있다.Wherein the cassette supporting turn unit comprises: a turn fixing plate which is fixed in a vacuum (VAC) region in the buffer chamber; And a turn operation plate that supports the cassette at a lower portion and is disposed in parallel with the turn fixing plate at an upper portion of the turn holding plate and turned with the cassette.

상기 카세트 지지용 턴유닛은, 상기 버퍼 챔버 내에서 상하 방향을 따라 상기 진공(VAC) 영역과 대기(ATM) 영역에 걸쳐 배치되며, 상기 진공(VAC) 영역에서 상기 턴 동작 플레이트와 연결되어 상기 턴 동작 플레이트를 턴(turn) 동작시키는 메인 턴 샤프트(Main Turn Shaft)를 포함할 수 있다.Wherein the cassette supporting turn unit is disposed in the vacuum chamber (VAC) region and the atmospheric (ATM) region along the vertical direction in the buffer chamber and connected to the turn operation plate in the vacuum (VAC) And a main turn shaft for turning the operation plate to rotate.

상기 카세트 지지용 턴유닛은, 상기 버퍼 챔버 내의 대기(ATM) 영역에서 상기 메인 턴 샤프트와 연결되어 상기 메인 턴 샤프트를 회전구동시키는 샤프트 회전구동부를 더 포함할 수 있다.The cassette supporting turn unit may further include a shaft rotation driving unit connected to the main turn shaft in the atmospheric (ATM) area of the buffer chamber to rotationally drive the main turn shaft.

상기 카세트 지지용 턴유닛은, 상기 턴 동작 플레이트에 연결되는 플레이트 연결체; 상단부는 상기 플레이트 연결체와 고정되고 하단부는 상기 메인 턴 샤프트와 고정되는 샤프트 연결체; 및 상기 턴 동작 플레이트에 마련되어 상기 샤프트 연결체를 회전 가능하게 지지하는 베어링을 더 포함할 수 있다.Wherein the cassette supporting turn unit includes: a plate connecting body connected to the turn operation plate; A shaft connecting body having an upper end fixed to the plate connecting body and a lower end fixed to the main turn shaft; And a bearing provided on the turn operation plate for rotatably supporting the shaft coupling body.

상기 카세트 지지용 턴유닛은, 상기 턴 고정 플레이트와 상기 턴 동작 플레이트 사이에 배치되며, 상기 턴 고정 플레이트에 대하여 상기 턴 동작 플레이트를 턴(turn) 동작시키는 턴 모듈을 더 포함할 수 있다.The cassette supporting turn unit may further include a turn module disposed between the turn fixing plate and the turn operation plate and configured to turn the turn operation plate with respect to the turn fixing plate.

상기 턴 모듈은, 상기 턴 고정 플레이트의 상면에서 원주 방향을 따라 형성되는 턴 레일; 및 상기 턴 레일에 연결되어 상기 턴 레일의 궤적을 따라 이동 가능하며, 일측이 상기 턴 동작 플레이트의 하면에 연결되는 다수의 턴 레일 블록을 포함할 수 있다.The turn module includes: a turn rail formed along a circumferential direction on an upper surface of the turn fixing plate; And a plurality of turn-rail blocks connected to the turn-rail and movable along the locus of the turn-rail, and one side of which is connected to a lower surface of the turn-action plate.

상기 다수의 턴 레일 블록은 상기 턴 레일의 원주 방향을 따라 등간격으로 배치되어 상기 턴 동작 플레이트의 하면에 연결될 수 있다.The plurality of turn-rail blocks may be disposed at regular intervals along the circumferential direction of the turn-rail and connected to a lower surface of the turn-action plate.

상기 턴 모듈은 R-가이드(R-Guide)일 수 있다.The turn module may be an R-guide.

상기 메인 턴 샤프트의 주변에 배치되며, 상기 카세트의 업/다운(up/down) 이동을 가이드하는 카세트 업/다운 가이드유닛을 더 포함할 수 있다.And a cassette up / down guide unit disposed around the main turn shaft for guiding up / down movement of the cassette.

상기 카세트 업/다운 가이드유닛은, 상기 메인 턴 샤프트의 주변에서 상기 메인 턴 샤프트의 둘레 방향을 따라 상기 메인 턴 샤프트와 나란하게 배치되며, 상기 턴 고정 플레이트와 상기 턴 동작 플레이트의 업/다운(up/down) 이동을 가이드하는 다수의 업/다운 가이드 샤프트; 및 상기 버퍼 챔버의 대기(ATM) 영역에 배치되어 상기 메인 턴 샤프트 및 상기 다수의 업/다운 가이드 샤프트와 연결되는 업/다운 슬라이더를 더 포함할 수 있다.Down guide unit is disposed in parallel with the main turn shaft along a circumferential direction of the main turn shaft at a periphery of the main turn shaft, and the up / down operation of the turn fixing plate and the turn operation plate a plurality of up / down guide shafts guiding movement of the up / down guide; And an up / down slider disposed in an atmospheric (ATM) area of the buffer chamber and connected to the main turn shaft and the plurality of up / down guide shafts.

상기 카세트 업/다운 가이드유닛은, 상기 업/다운 슬라이더와 연결되어 상기 업/다운 슬라이더를 업/다운(up/down) 구동시키는 업/다운 구동부를 더 포함할 수 있다.The cassette up / down guide unit may further include an up / down driver connected to the up / down slider to drive up / down the up / down slider.

상기 업/다운 구동부는, 업/다운 구동용 모터; 상기 업/다운 구동용 모터에 연결되며, 상기 업/다운 구동용 모터에 의해 정역 방향으로 회전되는 볼 스크루; 일측은 상기 볼 스크루와 연결되어 상기 볼 스크루의 길이 방향을 따라 이동되고, 타측은 상기 업/다운 슬라이더에 연결되는 볼 너트; 및 상기 볼 너트의 이동을 안내하는 LM 가이드를 포함할 수 있다.The up / down driving unit includes: an up / down driving motor; A ball screw connected to the motor for up / down driving and rotated in the forward and reverse directions by the motor for up / down driving; A ball nut connected to the ball screw on one side and moved along the longitudinal direction of the ball screw, and the other side connected to the up / down slider; And an LM guide for guiding the movement of the ball nut.

상기 버퍼 챔버의 벽면에 결합되며, 상기 버퍼 챔버 내의 카세트로 인입되는 기판을 센터링시키는 센터링 모듈을 더 포함할 수 있다.And a centering module coupled to a wall surface of the buffer chamber and centering a substrate drawn into the cassette in the buffer chamber.

상기 센터링 모듈은 상기 버퍼 챔버의 벽면 둘레 방향을 따라 다수 개 배치될 수 있다.A plurality of centering modules may be disposed along the circumferential direction of the wall surface of the buffer chamber.

상기 센터링 모듈은, 상기 버퍼 챔버의 내부에 배치되며, 상기 기판과 접촉되어 상기 기판을 센터링시키는 기판 센터링부; 및 상기 기판 센터링부와 연결되며, 상기 버퍼 챔버의 외부에 배치되는 센터링 구동부를 포함할 수 있다.The centering module includes: a substrate centering unit disposed inside the buffer chamber and contacting the substrate to center the substrate; And a centering driver connected to the substrate centering unit and disposed outside the buffer chamber.

상기 기판은 가로/세로의 길이가 2m를 넘는 8세대(8G) 대형 기판일 수 있다.The substrate may be an 8th generation (8G) large substrate having a width of 2m or more.

본 발명에 따르면, 기판이 대형화되더라도 다수의 기판이 적재되는 카세트를 용이하고 정밀하게 턴(turn) 동작시킬 수 있으며, 이에 따라 물류 보틀 넥(bottle neck) 현상이 발생되는 것을 저지하여 물류 이송의 효율을 향상시킬 수 있다.According to the present invention, even if the substrate is enlarged, the cassette on which a plurality of substrates are stacked can be easily and accurately turned, thereby preventing the bottleneck phenomenon of the logistics bottles from occurring, Can be improved.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 턴장치가 적용되는 순환식 진공물류에서의 턴(turn) 구간을 도시한 도면이다.
도 2는 카세트의 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 턴장치의 절개 사시도이다.
도 4는 도 3의 정면도이다.
도 5는 카세트 지지용 턴유닛과 카세트 업/다운 가이드유닛의 확대 사시도이다.
도 6은 도 5의 요부 확대도이다.
도 7은 턴 고정 플레이트와 턴 동작 플레이트 간의 평면 구조도이다.
도 8은 턴 고정 플레이트와 턴 동작 플레이트 간의 사시도이다.
도 9는 도 6의 부분 단면 구조도이다.
도 10은 도 6의 측면 구조도이다.
도 11은 도 10의 B 영역의 확대도이다.
도 12는 도 3의 A 영역의 확대도로서 센터링 모듈에 대한 도면이다.1 is a view showing a turn section in a circulating vacuum logistics to which a cassette turn device according to an embodiment of the present invention is applied.
2 is a perspective view of the cassette.
3 is an exploded perspective view of the cassette turn device according to an embodiment of the present invention.
4 is a front view of Fig.
5 is an enlarged perspective view of the cassette supporting turn unit and the cassette up / down guide unit.
6 is an enlarged view of the main part of Fig.
7 is a plan view of the structure between the turn fixing plate and the turn operation plate.
8 is a perspective view between the turn fixing plate and the turn operation plate.
Fig. 9 is a partially sectional structural view of Fig. 6. Fig.
10 is a side structural view of Fig.
11 is an enlarged view of the area B in Fig.
FIG. 12 is an enlarged view of the area A in FIG. 3, showing the centering module.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, operational advantages of the present invention, and objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings and the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Like reference symbols in the drawings denote like elements.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 턴장치가 적용되는 순환식 진공물류에서의 턴(turn) 구간을 도시한 도면이다.1 is a view showing a turn section in a circulating vacuum logistics to which a cassette turn device according to an embodiment of the present invention is applied.

이 도면에 도시된 바와 같이, 순환방식(Circulation) 진공물류에서 대형 기판은 90도 또는 180도로 방향전환, 즉 턴(turn) 동작되면서 이송될 수 있다.As shown in this figure, in a circulation vacuum logistics, a large substrate can be transported while being turned or turned on at 90 or 180 degrees.

앞서 기술한 것처럼 대형 기판은 가로/세로의 길이가 2m를 넘는 8세대(8G)의 기판을 가리키는데, 이러한 단순한 이재기 등을 이용해서는 대형 기판의 턴(turn) 동작 구현이 용이하지 않다.As described above, a large-sized substrate refers to an 8th-generation (8G) substrate having a length of 2 m or more and a turn-on operation of a large-sized substrate is not easy using such a simple transfer unit.

특히, 기판을 직선 이송시키는 것과 달리 교차지점 등에서 기판을 방향전환, 즉 턴(turn) 동작시키면서 주변의 제조 공정으로 기판을 이송시키려 할 때, 이송이 용이하지 않기 때문에 물류 보틀 넥(bottle neck) 현상 등이 야기되어 설비의 에러 발생 시스템이 멈추는 등의 다양한 문제가 발생될 수 있다.Particularly, unlike the case where the substrate is linearly transported, when the substrate is to be transferred to the peripheral manufacturing process while the substrate is turned or turned at an intersection, transportation is not easy, so that a bottle neck phenomenon Etc. may be caused and various problems may occur such that the error generating system of the facility is stopped.

이와 같은 문제점을 해결하기 위해 버퍼 챔버(100, Buffer Chamber, 도 3 및 도 4 참조)를 물류 중간에 배치하여 대처 시간을 최소화함으로써, 물류 보틀 넥 현상 등이 발생되는 것을 예방하고 있다.In order to solve such a problem, the buffer chamber 100 (see FIG. 3 and FIG. 4) is disposed in the middle of the logistics to minimize the handling time, thereby preventing the bottleneck phenomenon of the logistics bottle.

다만, 종전에는 기판이 적재되는 카세트(110)를 버퍼 챔버(100) 내에서 턴(turn) 동작시키려 할 때, 전술한 대형 기판이 다수 개 적재되는 대형 카세트(110)가 흔들리거나 주변 구조물에 많은 부하를 안겨 정밀 제어가 어려워지는 등 많은 문제점이 야기되어 왔으므로 본 실시예의 카세트 턴장치가 요구된다.However, in the past, when the cassette 110 on which the substrate is loaded is to be turned in the buffer chamber 100, when the large cassette 110 on which a large number of the above-mentioned large substrates are loaded is shaken or many There are many problems such as difficulty in precise control due to load, and therefore, a cassette turn device of this embodiment is required.

카세트 턴장치의 설명에 앞서 도 2를 참조하여 카세트(110)에 대해 알아본다.Prior to the description of the cassette turn device, the cassette 110 will be described with reference to Fig.

도 2는 카세트의 사시도로서, 도 2를 참조하면, 카세트(110)는 외곽틀을 이루는 카세트 프레임(111)과, 카세트 프레임(111) 내에 상하 방향으로 배치되는 다수의 선반 플레이트(112)를 구비한다.2, the cassette 110 includes a cassette frame 111 forming an outer frame, and a plurality of shelf plates 112 arranged in the vertical direction in the cassette frame 111 do.

카세트 프레임(111)은 강성 유지를 위해 금속 프레임으로 제작된다. 다만, 카세트 프레임(111)에는 무게 감소를 위한 다수의 통공(111a)이 형성된다.The cassette frame 111 is made of a metal frame for maintaining rigidity. However, the cassette frame 111 has a plurality of through holes 111a for weight reduction.

다수의 선반 플레이트(112)는 카세트 프레임(111) 내에서 그 높이 방향을 따라 상호간 이격간격을 두고 배열된다. 이격간격들 하나당 한 장의 기판이 적재될 수 있다.The plurality of shelf plates 112 are arranged in the cassette frame 111 along the height direction at mutually spaced intervals. One substrate can be loaded per spacing interval.

반복해서 설명하는 것처럼 본 실시예에 적용되는 기판은 가로/세로의 길이가 2m를 넘는 8세대(8G)의 대형 기판이기 때문에 이와 같은 대형 기판 몇 장이 적재되는 카세트(110) 역시 대형의 구조물일 수밖에 없다.As will be described repeatedly, since the substrate used in the present embodiment is a large-sized 8G (8G) substrate having a length of 2m or more, the cassette 110 on which such a large number of substrates are stacked is also a large structure none.

따라서 이와 같은 대형 구조물인 카세트(110)를 용이하게 턴(turn) 동작시키기 위해 아래의 카세트 턴장치가 제안된다.Therefore, in order to easily turn the cassette 110, which is a large structure as described above, the following cassette turn device is proposed.

카세트 턴장치의 세부적인 구조들에 대해 도 3 내지 도 12를 참조하여 자세히 알아보도록 한다.Detailed structures of the cassette turn device will be described in detail with reference to FIGS. 3 to 12. FIG.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 턴장치의 절개 사시도, 도 4는 도 3의 정면도, 도 5는 카세트 지지용 턴유닛과 카세트 업/다운 가이드유닛의 확대 사시도, 도 6은 도 5의 요부 확대도, 도 7은 턴 고정 플레이트와 턴 동작 플레이트 간의 평면 구조도, 도 8은 턴 고정 플레이트와 턴 동작 플레이트 간의 사시도, 도 9는 도 6의 부분 단면 구조도, 도 10은 도 6의 측면 구조도, 도 11은 도 10의 B 영역의 확대도, 그리고 도 12는 도 3의 A 영역의 확대도로서 센터링 모듈에 대한 도면이다.Fig. 3 is an exploded perspective view of the cassette turn device according to the embodiment of the present invention, Fig. 4 is a front view of Fig. 3, Fig. 5 is an enlarged perspective view of the cassette- 7 is a plan view of the structure between the turn fixing plate and the turn operation plate, FIG. 8 is a perspective view between the turn fixing plate and the turn operation plate, FIG. 9 is a partial sectional structure view of FIG. Fig. 11 is an enlarged view of the area B of Fig. 10, and Fig. 12 is a view of the centering module as an enlarged view of the area A of Fig.

이들 도면을 참조하면, 본 실시예에 따른 카세트 턴장치는 기판이 대형화되더라도 다수의 기판이 적재되는 카세트(110, 도 2 참조)를 용이하고 정밀하게 턴(turn) 동작시킬 수 있으며, 이에 따라 물류 보틀 넥(bottle neck) 현상이 발생되는 것을 저지하여 물류 이송의 효율을 향상시킬 수 있도록 한 것으로서, 버퍼 챔버(100)와, 버퍼 챔버(100) 내에 갖춰지는 카세트 지지용 턴유닛(120) 및 카세트 업/다운 가이드유닛(160)을 포함한다.Referring to these drawings, the cassette turn apparatus according to the present embodiment can easily and precisely turn the cassette 110 (see FIG. 2) on which a plurality of substrates are stacked even if the substrate is enlarged, The buffer chamber 100 is provided with a cassette holding unit 120 and a cassette holding unit 120. The cassette holding unit 120 includes a buffer chamber 100, And an up / down guide unit 160.

우선, 버퍼 챔버(100)는 앞서 기술한 것처럼 물류 보틀 넥(bottle neck) 현상 등이 야기되지 않도록 물류 이송라인에 배치되는 일종의 대형 진공챔버이다.First, the buffer chamber 100 is a kind of large vacuum chamber that is disposed in the material transfer line so as not to cause a bottleneck phenomenon of a logistic bottle as described above.

도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 버퍼 챔버(100)의 내부에는 기판이 다단으로 적재되는 카세트(110)가 배치된다. 카세트(110)는 도 2를 통해 설명한 것이 사용될 수 있다.As shown in FIGS. 3 and 4, a cassette 110 in which a plurality of substrates are stacked is disposed in the buffer chamber 100. The cassette 110 may be the one described with reference to Fig.

버퍼 챔버(100)는 격판(101)을 사이에 두고 상부의 진공(VAC) 영역과, 하부의 대기(ATM) 영역으로 구획될 수 있다.The buffer chamber 100 can be partitioned into an upper vacuum (VAC) region and a lower atmosphere (ATM) region with the partition 101 therebetween.

이와 같은 구조에서 카세트(110)의 턴(turn) 동작과 업/다운(up/down) 동작을 위한 부분, 예컨대 턴 고정 플레이트(121), 턴 동작 플레이트(122) 및 샤프트(130,170)들의 일부만이 진공(VAC) 영역에 배치되고, 카세트(110)의 턴(turn) 동작과 업/다운(up/down) 동작을 위한 구동수단들은 대기(ATM) 영역에 배치된다. 이와 같은 배치구조를 가짐에 따라 구동수단들로부터의 파티클(particle)을 발생을 최대로 감소시킬 수 있으며, 버퍼 챔버(100)의 공간적이 효율성까지 해결할 수 있도록 하고 있다.In this structure, only a portion of the cassette 110 for the turn operation and up / down operation, such as the turn fixation plate 121, the turn operation plate 122, and the shafts 130 and 170, And the driving means for the turn operation and the up / down operation of the cassette 110 are disposed in the atmospheric (ATM) area. With such an arrangement, the generation of particles from the driving means can be minimized and the spatial efficiency of the buffer chamber 100 can be solved.

버퍼 챔버(100)의 양측에는 다수의 게이트(102)가 형성된다. 게이트(102)를 통해 기판이 출입될 수 있다.A plurality of gates 102 are formed on both sides of the buffer chamber 100. The substrate can be moved in and out through the gate 102.

본 실시예의 경우, 버퍼 챔버(100)가 개략적인 8각 구조를 가지고 있으나 버퍼 챔버(100)의 형상은 도시된 것과 다를 수 있다. 따라서 본 발명의 권리범위가 도시된 도면 형상에 제한되지 않는다.In this embodiment, although the buffer chamber 100 has a schematic octagonal structure, the shape of the buffer chamber 100 may be different from that shown in the figure. Accordingly, the scope of the present invention is not limited to the illustrated shapes.

다음으로, 카세트 지지용 턴유닛(120)은 버퍼 챔버(100)의 내부에 배치되며, 카세트(110)의 축 방향 하중을 지지하면서 카세트(110)를 턴(turn) 동작시키는 역할을 한다.Next, the cassette holding turn unit 120 is disposed inside the buffer chamber 100 and serves to turn the cassette 110 while supporting the axial load of the cassette 110.

버퍼 챔버(100)에 마련되는 게이트(102)는 고정된 위치를 가지기 때문에, 이 위치로 기판을 출입시키기 위해서는 카세트(110)를 턴(turn) 또는 업/다운(up/down)시켜야 하는데, 특히, 카세트(110)를 턴(turn) 동작시키기 위해 카세트 지지용 턴유닛(120)이 마련된다.Since the gate 102 provided in the buffer chamber 100 has a fixed position, the cassette 110 must be turned or up / down in order to move the substrate into or out of this position. , A cassette holding turn unit 120 is provided for turning the cassette 110 to turn.

이러한 카세트 지지용 턴유닛(120)은 도 5 내지 도 10에 도시된 바와 같이, 턴 고정 플레이트(121)와 턴 동작 플레이트(122)를 포함한다.The cassette holding turn unit 120 includes a turn fixing plate 121 and a turn operation plate 122, as shown in FIGS.

턴 고정 플레이트(121)는 버퍼 챔버(100) 내의 진공(VAC) 영역에 위치 고정되는 구조물이다. 턴 고정 플레이트(121)는 평평한 판상형 구조물로 마련된다.The turn fixing plate 121 is a structure that is fixed in a vacuum (VAC) region in the buffer chamber 100. The turn fixing plate 121 is provided as a flat plate-like structure.

턴 동작 플레이트(122)는 카세트(110)를 하부에서 지지하는 역시, 평평한 판상형 구조물이다.The turn operation plate 122 is also a flat plate-like structure supporting the cassette 110 from below.

이러한 턴 동작 플레이트(122)는 턴 고정 플레이트(121)의 상부에서 턴 고정 플레이트(121)와 나란하게 배치되면서 카세트(110)와 함께 턴(turn) 동작된다. 즉 카세트(110)를 턴(turn) 동작시키면 카세트(110)와 함께 턴 동작 플레이트(122)는 턴(turn) 동작되지만 턴 고정 플레이트(121)는 움직이지 않는다.This turn operation plate 122 is turned on with the cassette 110 while being arranged side by side with the turn fixing plate 121 at the upper part of the turn fixing plate 121. That is, when the cassette 110 is turned, the turn operation plate 122 is turned together with the cassette 110, but the turn fixation plate 121 is not moved.

턴 동작 플레이트(122)의 턴(turn) 동작을 위해 메인 턴 샤프트(130, Main Turn Shaft), 샤프트 회전구동부(140), 그리고 턴 모듈(150)이 마련된다.A main turn shaft 130, a shaft rotation driving unit 140, and a turn module 150 are provided for the turn operation of the turn operation plate 122.

메인 턴 샤프트(130)는 버퍼 챔버(100) 내에서 상하 방향을 따라 진공(VAC) 영역과 대기(ATM) 영역에 걸쳐 배치되며, 진공(VAC) 영역에서 턴 동작 플레이트(122)와 연결되어 턴 동작 플레이트(122)를 턴(turn) 동작시키는 역할을 한다.The main turn shaft 130 is disposed in the vacuum chamber 100 along the up and down direction in the vacuum (VAC) region and the atmospheric (ATM) region and is connected to the turn operation plate 122 in the vacuum (VAC) And serves to turn the operation plate 122.

메인 턴 샤프트(130)는 버퍼 챔버(100) 내의 중앙 영역에서 상하 방향을 따라 배치된다. 주변의 업/다운 가이드 샤프트(170)보다 직경이 두꺼운 것으로 적용되어 휨 없이 카세트(110)의 축 방향 하중을 잘 지지할 수 있도록 한다.The main turn shaft 130 is disposed along the vertical direction in the central region in the buffer chamber 100. Down guide shaft 170 to be supported in the axial direction load of the cassette 110 without any warping.

메인 턴 샤프트(130)를 회전시키기 위해 샤프트 회전구동부(140)가 마련된다. 샤프트 회전구동부(140)는 버퍼 챔버(100) 내의 대기(ATM) 영역에서 메인 턴 샤프트(130)와 연결되어 메인 턴 샤프트(130)를 회전구동시키는 역할을 한다.A shaft rotation driving unit 140 is provided to rotate the main turn shaft 130. [ The shaft rotation driving unit 140 is connected to the main turn shaft 130 in the atmospheric (ATM) area of the buffer chamber 100 to rotationally drive the main turn shaft 130.

이러한 샤프트 회전구동부(140)는 모터와, 이를 지지하는 다수의 모터 구조물로 마련되는데, 이에 대해서는 생략했다.The shaft rotation driving unit 140 is provided with a motor and a plurality of motor structures for supporting the motor, which are omitted.

메인 턴 샤프트(130)의 하단부가 샤프트 회전구동부(140)와 연결되는데 반해, 메인 턴 샤프트(130)의 상단부는 턴 동작 플레이트(122)와 연결된다.The lower end of the main turn shaft 130 is connected to the shaft rotation driving unit 140 while the upper end of the main turn shaft 130 is connected to the turn operation plate 122.

이를 위해, 플레이트 연결체(123), 샤프트 연결체(124), 그리고 베어링(125)이 마련된다.To this end, a plate connecting body 123, a shaft connecting body 124, and a bearing 125 are provided.

플레이트 연결체(123)는 턴 동작 플레이트(122)에 연결되는 구조물이다. 샤프트 연결체(124)는 그 상단부는 플레이트 연결체(123)와 고정되고 하단부는 메인 턴 샤프트(130)와 고정된다. 그리고 베어링(125)은 턴 동작 플레이트(122)에 마련되어 샤프트 연결체(124)를 회전 가능하게 지지하는 역할을 한다.The plate connecting body 123 is a structure connected to the turn operation plate 122. The upper end of the shaft connecting body 124 is fixed to the plate connecting body 123 and the lower end of the shaft connecting body 124 is fixed to the main turn shaft 130. The bearing 125 is provided on the turn operation plate 122 and serves to rotatably support the shaft connector 124.

이에, 샤프트 회전구동부(140)가 동작되어 메인 턴 샤프트(130)를 회전시키면 메인 턴 샤프트(130)는 베어링(125)에 의해 그 회전이 안내되면서 턴 동작 플레이트(122)와 그 상단부에 안착되는 카세트(110)를 턴(turn) 동작시킬 수 있다.When the shaft rotation driving unit 140 is operated to rotate the main turn shaft 130, the rotation of the main turn shaft 130 is guided by the bearing 125, The cassette 110 can be turned on.

한편, 턴 고정 플레이트(121)에 대한 턴 동작 플레이트(122)의 원활한 턴(turn) 동작 구현을 위해 턴 모듈(150)이 더 갖춰진다. 본 실시예에서 턴 모듈(150)은 R-가이드(R-Guide)로 적용되나 반드시 그러한 것은 아니다.On the other hand, a turn module 150 is further provided for smooth turn operation of the turn operation plate 122 with respect to the turn fixing plate 121. In this embodiment, the turn module 150 is applied as an R-guide, but not necessarily.

즉 턴 모듈(150)은 턴 고정 플레이트(121)와 턴 동작 플레이트(122) 사이에 배치되며, 턴 고정 플레이트(121)에 대하여 턴 동작 플레이트(122)를 턴(turn) 동작시키는 역할을 한다.That is, the turn module 150 is disposed between the turn fixing plate 121 and the turn operation plate 122 and serves to turn the turn operation plate 122 about the turn fixing plate 121.

이러한 턴 모듈(150)은 턴 고정 플레이트(121)의 상면에서 원주 방향을 따라 형성되는 턴 레일(151)과, 턴 레일(151)에 연결되어 턴 레일(151)의 궤적을 따라 이동 가능하며, 일측이 턴 동작 플레이트(122)의 하면에 연결되는 다수의 턴 레일 블록(152)을 포함한다.The turn module 150 includes a turn rail 151 formed along the circumferential direction on the upper surface of the turn fixing plate 121 and a turn rail 151 connected to the turn rail 151 and movable along the locus of the turn rail 151, And a plurality of turn-rail blocks 152, one side of which is connected to the underside of the turn-action plate 122.

이때, 다수의 턴 레일 블록(152)은 턴 레일(151)의 원주 방향을 따라 등간격으로 배치되어 턴 동작 플레이트(122)의 하면에 연결될 수 있는데, 이와 같은 구조로 인해 턴 동작 플레이트(122)의 안정적인 턴(turn) 동작을 구현시킬 수 있다.At this time, the plurality of turn-rail blocks 152 may be arranged at regular intervals along the circumferential direction of the turn rail 151 and connected to the lower surface of the turn operation plate 122, A stable turn operation can be realized.

마지막으로, 카세트 업/다운 가이드유닛(160)은 도 9 내지 도 11에 도시된 바와 같이, 메인 턴 샤프트(130)의 주변에 배치되며, 카세트(110)의 업/다운(up/down) 이동을 가이드하는 역할을 한다.9 to 11, the cassette up / down guide unit 160 is disposed around the main turn shaft 130 and moves up / down (down / down) As shown in FIG.

앞서 기술한 것처럼 버퍼 챔버(100)에 마련되는 게이트(102)는 고정된 위치를 가지기 때문에, 이 위치로 기판을 출입시키기 위해서는 카세트(110)를 턴(turn) 또는 업/다운(up/down)시켜야 하는데, 특히, 카세트(110)를 업/다운(up/down) 동작시키기 위해 카세트 업/다운 가이드유닛(160)이 마련된다.As described above, since the gate 102 provided in the buffer chamber 100 has a fixed position, the cassette 110 can be turned or up / down in order to move the substrate to / In particular, a cassette up / down guide unit 160 is provided to operate the cassette 110 up / down.

본 실시예에서 카세트 업/다운 가이드유닛(160)은 다수의 업/다운 가이드 샤프트(170), 업/다운 슬라이더(175), 그리고 업/다운 구동부(180)를 포함한다.In this embodiment, the cassette up / down guide unit 160 includes a plurality of up / down guide shafts 170, an up / down slider 175, and an up / down driving unit 180.

다수의 업/다운 가이드 샤프트(170)는 메인 턴 샤프트(130)의 주변에서 메인 턴 샤프트(130)의 둘레 방향을 따라 메인 턴 샤프트(130)와 나란하게 배치되며, 턴 고정 플레이트(121)와 턴 동작 플레이트(122)의 업/다운(up/down) 이동을 가이드하는 역할을 한다.The plurality of up / down guide shafts 170 are arranged in parallel with the main turn shaft 130 along the circumferential direction of the main turn shaft 130 in the periphery of the main turn shaft 130, And serves to guide up / down movement of the turn operation plate 122.

이처럼 메인 턴 샤프트(130)의 주변에 방사상으로 다수의 업/다운 가이드 샤프트(170)가 마련되어 메인 턴 샤프트(130)와 함께 동작됨에 따라 결과적으로 카세트(110)의 업/다운 동작을 원활하게 진행시킬 수 있다.As described above, since a plurality of up / down guide shafts 170 are provided radially around the main turn shaft 130 and operated together with the main turn shaft 130, the up / down operation of the cassette 110 is smoothly progressed .

업/다운 슬라이더(175)는 버퍼 챔버(100)의 대기(ATM) 영역에 배치되어 메인 턴 샤프트(130) 및 다수의 업/다운 가이드 샤프트(170)와 연결된다. 업/다운 슬라이더(175)가 업/다운(up/down) 동작됨에 따라 이에 연결되는 메인 턴 샤프트(130)와 다수의 업/다운 가이드 샤프트(170)가 업/다운(up/down) 동작될 수 있다.The up / down slider 175 is disposed in the atmospheric (ATM) region of the buffer chamber 100 and is connected to the main turn shaft 130 and the plurality of up / down guide shafts 170. As the up / down slider 175 is operated up / down, the main turn shaft 130 connected to the up / down slider 175 and a plurality of up / down guide shafts 170 are up / down operated .

참고로, 메인 턴 샤프트(130)와 다수의 업/다운 가이드 샤프트(170)에는 진공과 대기의 경계 영역에 벨로우즈(B)가 마련된다. 메인 턴 샤프트(130)와 다수의 업/다운 가이드 샤프트(170)는 상하로 업/다운(up/down) 동작되어야 하는 구조물이기 때문에 진공과 대기의 경계 영역에서 진공이 자동으로 해제되지 않도록 벨로우즈(B)가 마련되는 것이다. 벨로우즈(B)는 내구성 향상을 위해 금속 벨로우즈(B)로 적용될 수도 있다.For reference, the bellows B is provided in the boundary region between the vacuum and the air in the main turn shaft 130 and the plurality of up / down guide shafts 170. Since the main turn shaft 130 and the plurality of up / down guide shafts 170 are to be operated up and down in the up and down directions, the bellows B) is provided. The bellows (B) may be applied as a metal bellows (B) for improving durability.

업/다운 구동부(180)는 업/다운 슬라이더(175)와 연결되어 업/다운 슬라이더(175)를 업/다운(up/down) 구동시키는 실질적인 구동체이다.The up / down driving unit 180 is a substantial driving unit connected to the up / down slider 175 to drive the up / down slider 175 up / down.

이러한 업/다운 구동부(180)는 업/다운 구동용 모터(181)와, 업/다운 구동용 모터(181)에 연결되며, 업/다운 구동용 모터(181)에 의해 정역 방향으로 회전되는 볼 스크루(182)와, 일측은 볼 스크루(182)와 연결되어 볼 스크루(182)의 길이 방향을 따라 이동되고, 타측은 업/다운 슬라이더(175)에 연결되는 볼 너트(183)와, 볼 너트(183)의 이동을 안내하는 LM 가이드(184)를 포함한다.The up / down driving unit 180 is connected to the up / down driving motor 181 and the up / down driving motor 181, and is driven by a motor 181 for up / The ball screw 182 is connected to the ball screw 182 and is moved along the longitudinal direction of the ball screw 182. The ball screw 182 is connected to the up / And an LM guide 184 for guiding the movement of the guide member 183.

이에, 업/다운 구동용 모터(181)가 동작되어 볼 스크루(182)를 정 방향 혹은 역 방향으로 회전시키면 이에 연결되어 있는 볼 너트(183)가 LM 가이드(184)에 의해 가이드되면서 볼 스크루(182)의 길이 방향을 따라 이동될 수 있게 됨으로써 업/다운 슬라이더(175)의 업/다운(up/down) 동작을 구현시킬 수 있으며, 이의 동작에 의해 업/다운 슬라이더(175)에 연결되는 메인 턴 샤프트(130)와 다수의 업/다운 가이드 샤프트(170) 역시 업/다운(up/down) 동작되면서 카세트(110)를 핸들링할 수 있다.When the up / down driving motor 181 is operated to rotate the ball screw 182 in the forward or reverse direction, the ball nut 183 connected to the ball screw 182 is guided by the LM guide 184, Down slider 175 can be moved along the longitudinal direction of the up / down slider 175 by the movement of the up / down slider 175, The turn shaft 130 and the plurality of up / down guide shafts 170 may also be operated up / down to handle the cassette 110. [

한편, 도 3, 도 4 및 도 12를 참조하면, 본 실시예의 카세트 턴장치에는 다수의 센터링 모듈(190)이 더 마련될 수 있다.3, 4, and 12, a plurality of centering modules 190 may be further provided in the cassette turn device of the present embodiment.

센터링 모듈(190)은 버퍼 챔버(100)의 벽면에 결합되며, 버퍼 챔버(100) 내의 카세트(110)로 인입되는 기판을 센터링시키는 역할을 한다.The centering module 190 is coupled to the wall surface of the buffer chamber 100 and functions to center the substrate that is introduced into the cassette 110 in the buffer chamber 100.

대형 기판을 센터링해야 하기 때문에 센터링 모듈(190)은 버퍼 챔버(100)의 벽면 둘레 방향을 따라 다수 개 배치되며, 해당 위치에서 기판을 센터링한다.Since a large substrate needs to be centered, a plurality of centering modules 190 are arranged along the circumferential direction of the wall of the buffer chamber 100 to center the substrate at the corresponding positions.

이러한 센터링 모듈(190)은 버퍼 챔버(100)의 내부에 배치되며, 기판과 접촉되어 기판을 센터링시키는 기판 센터링부(191)와, 기판 센터링부(191)와 연결되며, 버퍼 챔버(100)의 외부에 배치되는 센터링 구동부(192)를 포함한다.The centering module 190 is disposed inside the buffer chamber 100 and includes a substrate centering unit 191 for centering the substrate in contact with the substrate, And a centering driving unit 192 disposed outside.

센터링 구동부(192)는 예컨대, 실린더일 수 있는데, 이와 같이 센터링 구동부(192)를 버퍼 챔버(100)의 외부 대기(ATM) 영역에 배치하고, 실질적인 기판 센터링부(191)만을 버퍼 챔버(100)의 내부 진공(VAC) 영역에 배치함으로써, 파티클(particle)을 발생을 최대로 감소시킬 수 있고, 버퍼 챔버(100)의 진공 공간을 효율적으로 사용할 수 있게 된다.The centering drive unit 192 may be disposed in the external atmosphere (ATM) region of the buffer chamber 100 and only the substantial substrate centering unit 191 may be disposed in the buffer chamber 100. [ The generation of particles can be minimized and the vacuum space of the buffer chamber 100 can be efficiently used.

기판 센터링부(191)의 단부에는 실질적으로 기판과 접촉되어 기판을 센터링시키는 센터링 롤(191a)이 마련된다.At the end of the substrate centering portion 191, a centering roll 191a is provided which substantially contacts the substrate to center the substrate.

센터링 롤(191a)은 해당 위치에서 자유 회전되면서 기판과 접촉되어 기판을 센터링시키는 역할을 한다. 센터링 롤(191a)의 외면은 탄성이 있는 재질로 제작됨에 따라 기판에 손상이 발생되는 것을 저지시킨다.The centering roll 191a freely rotates at the corresponding position and contacts the substrate to center the substrate. The outer surface of the centering roll 191a is made of an elastic material to prevent damage to the substrate.

이상 설명한 바와 같은 구조와 작용을 갖는 본 실시예의 카세트 턴장치에 따르면, 기판이 대형화되더라도 다수의 기판이 적재되는 카세트(110)를 용이하고 정밀하게 턴(turn) 동작시킬 수 있으며, 이에 따라 물류 보틀 넥(bottle neck) 현상이 발생되는 것을 저지하여 물류 이송의 효율을 향상시킬 수 있게 된다.According to the cassette turn device of the present embodiment having the structure and function as described above, even if the substrate is enlarged, the cassette 110 on which a plurality of substrates are stacked can be easily and accurately turned, It is possible to prevent the bottle neck phenomenon from occurring and to improve the efficiency of transporting the goods.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Accordingly, such modifications or variations are intended to fall within the scope of the appended claims.

100 : 버퍼 챔버 110 : 카세트
120 : 카세트 지지용 턴유닛 121 : 턴 고정 플레이트
122 : 턴 동작 플레이트 123 : 플레이트 연결체
124 : 샤프트 연결체 125 : 베어링
130 : 메인 턴 샤프트 140 : 샤프트 회전구동부
150 : 턴 모듈 151 : 턴 레일
152 : 턴 레일 블록 160 : 카세트 업/다운 가이드유닛
170 : 업/다운 가이드 샤프트 175 : 업/다운 슬라이더
180 : 업/다운 구동부 181 : 업/다운 구동용 모터
182 : 볼 스크루 183 : 볼 너트
184 : LM 가이드 190 : 센터링 모듈
191 : 기판 센터링부 192 : 센터링 구동부100: buffer chamber 110: cassette
120: Cassette holding turn unit 121: Turn fixing plate
122: turn operation plate 123: plate connecting body
124: shaft coupling body 125: bearing
130: main turn shaft 140: shaft rotation driving part
150: turn module 151: turn rail
152: Turn-rail block 160: Cassette up / down guide unit
170: Up / down guide shaft 175: Up / down slider
180: up / down driving unit 181: up / down driving motor
182: ball screw 183: ball nut
184: LM Guide 190: Centering module
191: substrate centering unit 192: centering drive unit

Claims

A buffer chamber in which a cassette on which the substrate is stacked is disposed; And
And a cassette holding turn unit disposed inside the buffer chamber for turning the cassette while supporting an axial load of the cassette,
The cassette supporting turn unit includes:
A turn fixing plate which is fixed in a vacuum (VAC) region in the buffer chamber;
A turn operation plate which supports the cassette from the lower side and which is disposed in parallel with the turn fixing plate at an upper portion of the turn holding plate and turns with the cassette; And
And a turn module disposed between the turn fixing plate and the turn operation plate for turning the turn operation plate about the turn fixing plate,
The turn module includes:
A turn rail formed along the circumferential direction on the upper surface of the turn fixing plate; And
And a plurality of turn-rail blocks connected to the turn-rail and movable along a locus of the turn-rail, and one side of which is connected to a lower surface of the turn-action plate.

delete

The method according to claim 1,
The cassette supporting turn unit includes:
(EN) A vacuum cleaner is provided which is disposed in the vacuum chamber (VAC) region and in an atmospheric (ATM) region along a vertical direction in the buffer chamber and connected to the turn operation plate in the vacuum (VAC) (Main Turn Shaft) which is provided in the cassette holder.

The method of claim 3,
The cassette supporting turn unit includes:
Further comprising a shaft rotation driving unit connected to the main turn shaft in an atmospheric (ATM) area in the buffer chamber to rotationally drive the main turn shaft.

The method of claim 3,
The cassette supporting turn unit includes:
A plate connecting body connected to the turn operation plate;
A shaft connecting body having an upper end fixed to the plate connecting body and a lower end fixed to the main turn shaft; And
Further comprising a bearing provided on the turn operation plate for rotatably supporting the shaft coupling body.

delete

The method according to claim 1,
Wherein the plurality of turn-rail blocks are arranged at regular intervals along the circumferential direction of the turn-rail and connected to a lower surface of the turn-action plate.

The method according to claim 1,
Wherein the turn module is an R-guide (R-guide).

The method of claim 3,
And a cassette up / down guide unit disposed around the main turn shaft for guiding up / down movement of the cassette.

11. The method of claim 10,
The cassette up / down guide unit includes:
And a plurality of guide rods arranged parallel to the main turn shaft along the circumferential direction of the main turn shaft at the periphery of the main turn shaft and guiding up / down movement of the turn fixing plate and the turn operation plate Up / down guide shaft; And
Further comprising an up / down slider disposed in an atmospheric (ATM) area of the buffer chamber and connected to the main turn shaft and the plurality of up / down guide shafts.

12. The method of claim 11,
The cassette up / down guide unit includes:
And an up / down driving unit connected to the up / down slider to up / down the up / down slider.

13. The method of claim 12,
Wherein the up /
Motor for up / down driving;
A ball screw connected to the motor for up / down driving and rotated in the forward and reverse directions by the motor for up / down driving;
A ball nut connected to the ball screw on one side and moved along the longitudinal direction of the ball screw, and the other side connected to the up / down slider; And
And an LM guide for guiding movement of the ball nut.

The method according to claim 1,
Further comprising a centering module coupled to a wall surface of the buffer chamber and centering the substrate to be drawn into the cassette in the buffer chamber.

15. The method of claim 14,
And a plurality of centering modules are disposed along a circumferential direction of a wall surface of the buffer chamber.

15. The method of claim 14,
The centering module includes:
A substrate centering unit disposed inside the buffer chamber and contacting the substrate to center the substrate; And
And a centering driving unit connected to the substrate centering unit and disposed outside the buffer chamber.

The method according to claim 1,
Wherein the substrate is an 8th-generation (8G) large-sized substrate having a length / width of longer than 2 m.