KR101353993B1 - Glass remover - Google Patents

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Abstract

평면디스플레이용 유리 제거장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 평면디스플레이용 유리 제거장치는, 필름(EL)의 일면에 유리(glass)가 합착된 유리합착필름으로부터 유리가 제거된 유리제거필름으로 제작되는 작업 라인인 유리 제거작업 라인을 형성하는 유리 제거작업 유닛; 및 유리 제거작업 유닛에 이웃하게 배치되며, 유리제거필름을 부상시킨 상태에서 유리제거필름을 파지하여 후공정으로 언로딩시키는 언로딩 유닛(unloading unit)을 포함한다.Disclosed is a glass removing apparatus for a flat panel display. Glass removal apparatus for a flat panel display according to an embodiment of the present invention, the glass removal operation that is a work line made of a glass removal film from which glass is removed from a glass bonding film in which glass is bonded to one surface of the film EL. A glass removing unit forming a line; And an unloading unit disposed adjacent to the glass removing operation unit and holding the glass removing film in a state where the glass removing film is floating to unload the glass removing film in a post process.

Description

평면디스플레이용 유리 제거장치{Glass remover}Glass remover for flat panel display {Glass remover}

본 발명은, 평면디스플레이용 유리 제거장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 필름에 유리가 합착된 유리합착필름을 유리가 제거된 유리제거필름으로 제작하는 유리 제거작업 라인으로부터 예컨대, 라미네이팅 공정 등의 후공정으로 유리제거필름을 손상 없이 용이하고 효율적으로 이송시킬 수 있는 평면디스플레이용 유리 제거장치에 관한 것이다.The present invention relates to a glass removing apparatus for a flat panel display, and more particularly, from a glass removing work line for producing a glass bonding film in which glass is bonded to a film as a glass removing film from which glass is removed, for example, a laminating process or the like. The present invention relates to a glass removing device for a flat panel display which can be easily and efficiently transported without damaging the glass removing film in a post process.

평면디스플레이(FPD)는, 종전에 TV나 컴퓨터 모니터 등에 디스플레이(Display)로 주로 사용된 음극선관(CRT, Cathode Ray Tube)보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치이다.A flat panel display (FPD) is an image display device that is thinner and lighter than a cathode ray tube (CRT), which has previously been mainly used as a display for a TV or a computer monitor.

평면디스플레이에는 액정표시장치(LCD, liquid crystal display), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP, Plasma Display Panel), 유기전계발광다이오드(OLED, Organic Light Emitting Diodes) 등이 있다.Planar displays include liquid crystal displays (LCDs), plasma display panels (PDPs), organic light emitting diodes (OLEDs), and the like.

한편, 도 1a 및 도 1b는 각각 일반적인 유리기판의 필름 제거장치에 대한 동작 도면이다.On the other hand, Figures 1a and 1b is an operation diagram for the film removing apparatus of a common glass substrate, respectively.

이들 도면에 도시된 유리기판의 필름 제거장치는 회전형 진공롤(10)을 이용하여 유리기판(glass)의 표면을 보호하는 보호필름(film)을 유리기판으로부터 제거하는 장치이다. 이때의 유리기판은 LCD 또는 PDP용 기판일 수 있다.The film removing apparatus of the glass substrate shown in these figures is a device which removes the protective film which protects the surface of a glass substrate from a glass substrate using the rotating vacuum roll 10. As shown in FIG. At this time, the glass substrate may be a substrate for LCD or PDP.

즉 도 1a처럼 회전형 진공롤(10)이 보호필름에 진공으로 흡착된 후에, 도 1b처럼 회전형 진공롤(10)은 화살표 A 방향으로 회전됨과 동시에 유리기판이 화살표 B 방향으로 진행됨으로써 유리기판에 접착되어 있던 보호필름을 제거할 수 있다.That is, after the rotary vacuum roll 10 is vacuum-adsorbed to the protective film as shown in Figure 1a, the rotary vacuum roll 10 as shown in Figure 1b is rotated in the direction of the arrow A and the glass substrate proceeds in the direction of the arrow B as shown in the glass substrate The protective film adhered to can be removed.

이때, 유리기판으로부터 제거되는 보호필름은 손상이 되더라도 문제가 되지 않기 때문에 회전형 진공롤(10)을 사용할 수 있으며, 또한 빠른 속도록 보호필름을 제거할 수 있다.In this case, since the protective film removed from the glass substrate is not a problem even if damaged, the rotary vacuum roll 10 can be used, and also the protective film can be quickly removed.

하지만, 도 1a 및 도 1b에 적용되는 LCD 또는 PDP용 기판과 달리, OLED 플렉서블 셀(Flexible Cell) 물류에 적용되는 OLED용 기판의 경우에는 필름(EL)이 사용되고 유리(glass)가 제거되는 방식을 가지기 때문에 유리 제거 시 필름이 손상되지 않아야 한다.However, unlike the LCD or PDP substrates applied to FIGS. 1A and 1B, in the case of the OLED substrate applied to the OLED flexible cell logistics, the film EL is used and the glass is removed. The film must not be damaged when the glass is removed.

하지만, 이와 같은 OLED용 기판에서 유리를 제거하면서 필름을 사용하기 위해 도 1a 및 도 1b에 도시된 진공롤(10)을 이용하게 되면, 유리가 제거된 필름이 진공롤(10)이 표면을 따라 빠져나오면서 굽어지게 되므로 필름이 손상될 우려가 있다.However, when the vacuum roll 10 shown in FIGS. 1A and 1B is used to use the film while removing the glass from the OLED substrate, the film from which the glass is removed is removed along the surface of the vacuum roll 10. Since it is bent while exiting, the film may be damaged.

필름이 손상되는 것을 예방하려면 사이즈가 큰 진공롤(미도시)을 사용해야 하는데, 이 경우, 진공롤에 형성되는 진공홀에 의하여 필름에 자국이 남는 문제점이 발생된다.In order to prevent the film from being damaged, a large vacuum roll (not shown) should be used. In this case, a problem occurs that marks remain on the film due to the vacuum hole formed in the vacuum roll.

따라서 OLED용 기판에서 유리를 제거하면서 필름을 사용하고자 할 때는 전술한 도 1a 및 도 1b의 장치를 그대로 적용하기 어렵다.Therefore, when the film is to be used while removing the glass from the OLED substrate, it is difficult to apply the apparatus of FIGS. 1A and 1B described above.

이에 대한 대안으로서, 유리를 진공으로 흡착한 후, 유리의 모서리부를 들었다 놨다 한 후, 다시 중심부를 들었다 놨다 하면서 유리를 제거하는 기술이 고려되기도 하나 이처럼 유리 제거를 위해 유리에 수직 방향만으로의 힘을 가하게 되면 유리와 플렉서블 셀(Flexible Cell)의 PI층 사이에 정전기가 발생되어 필름이 손상될 소지가 여전히 존재하기 때문에 적용이 곤란하므로 새로운 대안이 요구되었고, 이에 본 출원인은 이러한 기술에 대해 특허출원을 진행하여 현재 심사 중에 있다.As an alternative to this, a technique of removing the glass by adsorbing the glass under vacuum, lifting and releasing the edge of the glass, and then lifting and releasing the center may be considered. When applied, it is difficult to apply because static electricity is generated between the glass and the PI layer of the flexible cell, and there is still a possibility of damaging the film. Therefore, a new alternative was required. It is currently under review.

한편, 필름으로부터 유리가 분리된 다음, 유리는 유리 적재부로 반출되면 되지만 필름은 후공정, 예컨대 유리가 제거된 필름(유리제거필름)의 상면에 다른 종류의 필름을 라미네이팅시키는 라미네이팅 공정으로 이송되어야 한다.On the other hand, after the glass is separated from the film, the glass should be transported to the glass stack but the film must be transferred to a later process, for example, a laminating process of laminating another kind of film on the upper surface of the glass (glass removing film). .

이때, 만약 유리를 제거시킨 후에 유리가 제거된 유리제거필름을 후공정으로 이송시키는 일련의 공정이 인라인화(In-line)되어 있지 않는 경우라면, 유리제거필름이 후공정으로 이송되기 위해서는 초기위치인 로딩 유닛(loading unit)으로 유리제거필름이 되돌아가야 한다. 즉 유리제거필름이 공정의 초기위치인 로딩 유닛으로 다시 복귀되도록 유리제거필름이 역방향으로 이송되면서 로딩 유닛으로 이송되어야 한다. 이 경우, 로딩 유닛은 언로딩(unloading)의 역할을 수행하게 되며, 유리제거필름은 언로딩 역할을 수행하는 로딩 유닛에 도달된 이후에 후공정, 예컨대 라미네이팅 공정으로 이송될 수 있다.At this time, if a series of processes for transferring the glass removing film from which glass is removed after the glass is removed to the post process is not performed in-line, the glass removing film may be transferred to the post process at an initial position. The glass removal film should be returned to the in loading unit. That is, the glass removing film should be transferred to the loading unit while being transported backward so that the glass removing film is returned to the loading unit which is the initial position of the process. In this case, the loading unit performs the role of unloading, and the glass removing film may be transferred to a post process, for example, a laminating process after reaching the loading unit performing the unloading role.

그런데, 로딩 시에는 필름에 유리가 부착된 상태, 즉 유리합착필름의 상태여서 트랜스퍼가 유리의 상면을 흡착하여 로딩 유닛으로부터 유리를 제거하는 작업 라인인 유리 제거작업 라인으로 유리합착필름을 어려움 없이 이송시키면 되지만, 유리가 제거된 이후에는 유리제거필름의 상면을 흡착할 수 없기 때문에 로딩 유닛 쪽으로 유리제거필름을 이송시킬 수 없어 유리제거필름을 후공정, 예컨대, 라미네이팅 공정으로 용이하게 이송시키기가 곤란하다.However, at the time of loading, the glass is attached to the film, that is, the state of the glass bonding film, so the transfer adsorbs the upper surface of the glass to remove the glass from the loading unit. However, since the upper surface of the glass removing film cannot be adsorbed after the glass is removed, it is difficult to transfer the glass removing film toward the loading unit, so it is difficult to easily transfer the glass removing film to a post process such as a laminating process. .

마찬가지로, 유리를 제거시킨 후에 유리가 제거된 유리제거필름을 후공정으로 이송시키는 일련의 공정이 인라인화(In-line)되어 있는 경우일지라도, 유리 제거작업 라인으로부터 예컨대, 라미네이팅 공정 등의 후공정으로 유리제거필름을 손상 없이 용이하고 효율적으로 이송시킬 수 있도록 하려면 효율적인 구조의 새로운 언로딩 유닛을 구비하는 유리 제거장치가 필요한 실정이다.Similarly, even if a series of processes for transferring the glass removing film from which glass is removed to the post process after removing the glass is in-line, from the glass removing work line to a post process such as a laminating process. In order to easily and efficiently transport the glass removing film without damage, there is a need for a glass removing apparatus having a new unloading unit having an efficient structure.

없음none

따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 필름에 유리가 합착된 유리합착필름을 유리가 제거된 유리제거필름으로 제작하는 유리 제거작업 라인으로부터 예컨대, 라미네이팅 공정 등의 후공정으로 유리제거필름을 손상 없이 용이하고 효율적으로 이송시킬 수 있는 평면디스플레이용 유리 제거장치를 제공하는 것이다.Therefore, the technical problem to be achieved by the present invention, without damaging the glass removing film in a post-process, such as a laminating process from a glass removing work line for producing a glass-bonded film in which the glass is bonded to the film as a glass removing film removed glass It is to provide a glass removing device for a flat panel display that can be easily and efficiently transferred.

본 발명의 일 측면에 따르면, 필름(EL)의 일면에 유리(glass)가 합착된 유리합착필름으로부터 상기 유리가 제거된 유리제거필름으로 제작되는 작업 라인인 유리 제거작업 라인을 형성하는 유리 제거작업 유닛; 및 상기 유리 제거작업 유닛에 이웃하게 배치되며, 상기 유리제거필름을 부상시킨 상태에서 상기 유리제거필름을 파지하여 후공정으로 언로딩시키는 언로딩 유닛(unloading unit)을 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 유리 제거장치가 제공될 수 있다.According to an aspect of the present invention, a glass removing operation for forming a glass removing operation line which is a working line made of the glass removing film from which the glass is removed from the glass bonding film in which glass is bonded to one surface of the film EL unit; And an unloading unit disposed adjacent to the glass removing operation unit and holding the glass removing film in a state of floating the glass removing film to unload the glass removing film in a post process. A glass removing device may be provided.

상기 언로딩 유닛은, 상기 유리 제거작업 유닛을 따라 이송되는 상기 유리제거필름을 미리 결정된 높이만큼 부상시켜 상기 유리제거필름의 처짐을 저지시키는 필름 부상 모듈; 및 상기 필름 부상 모듈에 이웃하게 배치되며, 상기 필름 부상 모듈에 의해 미리 결정된 높이만큼 부상된 상기 유리제거필름의 일 영역을 흡착하여 상기 후공정으로 이송시키는 필름 흡착용 이송 모듈을 포함할 수 있다.The unloading unit may include: a film floating module configured to lift the glass removing film conveyed along the glass removing operation unit by a predetermined height to prevent deflection of the glass removing film; And a transport module for adsorbing a film disposed adjacent to the film floating module and absorbing a region of the glass removing film floated by a predetermined height by the film floating module to be transferred to the post process.

상기 언로딩 유닛은 상기 필름 흡착용 이송 모듈을 업/다운(up/down) 구동시키는 업/다운 구동부를 더 포함할 수 있다.The unloading unit may further include an up / down driving unit for up / down driving the film adsorption transfer module.

상기 필름 부상 모듈은 상호간 이격되고 나란하게 배치되는 다수의 필름 부상 단위모듈을 포함할 수 있다.The film floating module may include a plurality of film floating unit modules spaced apart from each other and arranged side by side.

상기 필름 부상 단위모듈은, 상기 유리제거필름을 향한 일면에 압축공기가 분사되는 다수의 공기분사공이 형성되는 상부 몸체; 상기 상부 몸체와 결합되고 상기 상부 몸체와의 사이에 공기유동공간을 형성하는 하부 몸체; 및 상기 공기유동공간 내에 배치되어 상기 공기분사공을 향해 압축공기를 발생시키는 송풍팬을 포함할 수 있다.The film floating unit module, the upper body is formed with a plurality of air injection holes are injected compressed air on one surface toward the glass removing film; A lower body coupled to the upper body and forming an airflow space therebetween; And a blowing fan disposed in the air flow space to generate compressed air toward the air injection hole.

상기 상부 몸체는 상기 다수의 공기분사공이 형성되는 에어로 픽스 재질로 제작될 수 있다.The upper body may be made of an aero fix material in which the plurality of air injection holes are formed.

상기 필름 흡착용 이송 모듈은 상기 필름 부상 단위모듈들의 양쪽 사이드에 상기 필름 부상 단위모듈들과 나란하게 한 쌍으로 마련될 수 있다.The film adsorption transport module may be provided in pairs in parallel with the film floating unit modules on both sides of the film floating unit modules.

상기 언로딩 유닛에 이웃하게 배치되며, 상기 언로딩 유닛 상의 유리제거필름을 후공정인 라미네이팅 공정으로 이송시키는 필름 이송 로봇을 더 포함할 수 있다.The apparatus may further include a film transfer robot disposed adjacent to the unloading unit and transferring the glass removing film on the unloading unit to a laminating process.

상기 필름 이송 로봇은 상기 필름 부상 단위모듈들 사이사이로 진공 아암(vacuum arm)이 배치되는 포크형 필름 이송 로봇일 수 있다.The film transfer robot may be a fork-type film transfer robot in which a vacuum arm is disposed between the film floating unit modules.

상기 필름 흡착용 이송 모듈은, 상기 유리제거필름을 흡착하는 포러스 벨트(porous belt); 상기 포러스 벨트가 폐루프 형태로 권취되는 구동 스프로켓 및 피동 스프로켓; 및 상기 구동 스프로켓 쪽에 연결되는 피딩 모터를 포함할 수 있다.The film adsorption transfer module includes: a porous belt adsorbing the glass removing film; A drive sprocket and a driven sprocket on which the porous belt is wound in a closed loop shape; And a feeding motor connected to the driving sprocket.

상기 유리 제거작업 유닛과 상기 언로딩 유닛 사이에는 상기 유리제거필름의 처짐을 저지시키는 서포트 피크 플레이트(support peek plate)가 더 개재될 수 있다.A support peak plate may be interposed between the glass removing operation unit and the unloading unit to prevent sagging of the glass removing film.

상기 유리 제거작업 유닛을 사이에 두고 상기 언로딩 유닛의 반대편에 배치되어 상기 유리합착필름을 상기 유리 제거작업 유닛으로 로딩시키는 로딩 유닛(loading unit)을 더 포함할 수 있으며, 상기 로딩 유닛, 상기 유리 제거작업 유닛 및 상기 언로딩 유닛은 인라인화(In-Line)된 작업 라인을 형성할 수 있다.It may further include a loading unit disposed on the opposite side of the unloading unit with the glass removing unit therebetween for loading the glass bonding film into the glass removing unit, wherein the loading unit, the glass The removal unit and the unloading unit may form an in-line work line.

상기 로딩 유닛은 상기 언로딩 유닛과 동일한 구조를 가질 수 있으며, 상기 로딩 유닛과 상기 언로딩 유닛 중 적어도 어느 하나의 양측면에는 센터링 부재가 더 마련될 수 있다.The loading unit may have the same structure as the unloading unit, and a centering member may be further provided on both side surfaces of at least one of the loading unit and the unloading unit.

상기 언로딩 유닛은, 상기 유리 제거작업 유닛으로 상기 유리합착기판을 로딩시키고 상기 유리 제거작업 유닛으로부터 상기 유리제거필름을 다시 언로딩시키는 로딩 겸용 언로딩 유닛일 수 있다.The unloading unit may be a combined loading and unloading unit for loading the glass-bonded substrate into the glass removing operation unit and unloading the glass removing film from the glass removing operation unit again.

상기 유리 제거작업 유닛은, 상기 유리합착필름에 대하여 상기 필름으로부터 제거될 상기 유리를 파지하는 유리 파지모듈; 및 상기 유리에 대하여 상기 필름을 미리 결정된 각도로 경사지게 이송시키면서 상기 유리 파지모듈과 함께 상기 필름과 상기 유리를 분리시키는 경사 분리모듈을 포함할 수 있다.The glass removing operation unit, the glass holding module for holding the glass to be removed from the film with respect to the glass bonding film; And an inclined separation module configured to separate the film and the glass together with the glass gripping module while transferring the film inclined at a predetermined angle with respect to the glass.

상기 유리 파지모듈은, 상기 유리를 흡착하여 파지하는 유리 파지부재; 및 상기 유리 파지부재와 연결되고 상기 유리 파지부재를 이동시키는 트랜스퍼를 포함할 수 있다.The glass holding module, the glass holding member for holding and holding the glass; And a transfer member connected to the glass gripping member and moving the glass gripping member.

상기 트랜스퍼는, 상기 유리 파지부재를 상기 경사 분리모듈에 대해 상하 방향인 Z축으로 이동시키는 Z축 트랜스퍼; 상기 유리 파지부재를 상기 경사 분리모듈의 이송 방향인 X축으로 이동시키는 X축 트랜스퍼; 및 상기 X축 트랜스퍼에 교차되는 방향인 Y축으로 상기 유리 파지부재를 이동시키는 Y축 트랜스퍼를 포함할 수 있다.The transfer, the Z-axis transfer to move the glass holding member in the Z axis in the vertical direction with respect to the inclined separation module; An X axis transfer to move the glass gripping member to an X axis which is a conveying direction of the inclined separation module; And it may include a Y-axis transfer to move the glass gripping member in the Y-axis that is the direction crossing the X-axis transfer.

상기 경사 분리모듈은, 유리 분리용 포로스 경사 컨베이어일 수 있으며, 상기 유리 분리용 포로스 경사 컨베이어는, 상기 유리 파지모듈이 동작되어 상기 유리를 파지하되 상기 유리와 상기 필름이 직선형으로 함께 이동되는 직선 구간부; 및 상기 직선 구간부에 대해 미리 결정된 각도만큼 경사지게 마련되어 상기 유리가 제거된 필름이 단독으로 이동되는 경사 구간부를 포함할 수 있다.The inclined separation module may be a poros inclined conveyor for glass separation, and the insulated conveyor for glass separation may include a straight section in which the glass gripping module is operated to hold the glass but the glass and the film are moved together in a straight line. part; And an inclined section provided to be inclined by a predetermined angle with respect to the straight section, and the film from which the glass is removed is moved alone.

상기 직선 구간부와 상기 경사 구간부는 일체형으로 마련되거나 각각 별도로 마련되어 상호간 상대 회전 가능하게 연결될 수 있다.The straight section portion and the inclined section portion may be integrally provided or may be separately provided so as to be relatively rotatable with each other.

상기 유리 분리용 포로스 경사 컨베이어는, 표면에 다수의 진공홀이 형성되며, 상기 진공홀에 형성되는 진공압에 의해 상기 필름이 안착 지지되어 이송되는 다공질 이송벨트; 및 상기 다공질 이송벨트의 하부에 형성되는 진공 챔버를 포함할 수 있다.The glass separator for conveying inclination conveyor, a plurality of vacuum holes are formed on the surface, the porous conveyance belt for transporting the film is supported by seating by the vacuum pressure formed in the vacuum hole; And it may include a vacuum chamber formed in the lower portion of the porous transfer belt.

상기 유리와 플렉서블 셀(Flexible Cell)의 PI층 사이에 정전기가 발생되는 것이 방지되도록, 상기 경사 분리모듈에 인접 배치되어 상기 유리쪽으로 정전기 발생 방지유체를 분사하는 이오나이저를 더 포함할 수 있다.The ionizer may further include an ionizer disposed adjacent to the inclined separation module so as to prevent static electricity from being generated between the glass and the PI layer of the flexible cell and spraying an antistatic fluid toward the glass.

상기 필름과 상기 유리 사이로 삽입되어 상기 유리에 대해 상기 필름을 초기 박리시키는 필름 초기 박리유닛을 더 포함할 수 있다.The film may further include a film initial peeling unit inserted between the film and the glass to initially peel the film to the glass.

상기 필름 초기 박리유닛은, 상기 필름과 상기 유리 사이로 삽입되는 필름 박리용 칼날; 및 상기 유리 파지모듈에 결합되어 상기 필름 박리용 칼날을 이동 가능하게 지지하는 칼날 지지부를 포함할 수 있다.The film initial peeling unit may include a film peeling blade inserted between the film and the glass; And a blade support part coupled to the glass gripping module to move the film peeling blade.

본 발명에 따르면, 필름에 유리가 합착된 유리합착필름을 유리가 제거된 유리제거필름으로 제작하는 유리 제거작업 라인으로부터 예컨대, 라미네이팅 공정 등의 후공정으로 유리제거필름을 손상 없이 용이하고 효율적으로 이송시킬 수 있다.According to the present invention, the glass-removing film in which the glass-bonded film is bonded to the film as a glass-removing film from which glass is removed is transferred to a post-process, such as a laminating process, for example, easily and efficiently. You can.

도 1a 및 도 1b는 각각 일반적인 유리기판의 필름 제거장치에 대한 동작 도면이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 평면디스플레이용 유리 제거장치의 평면 구조도이다.
도 3은 도 2에 도시된 평면디스플레이용 유리 제거장치를 개략적으로 도시한 구성도이다.
도 4는 도 3에 도시된 유리 제거작업 유닛 영역의 측면 구조도이다.
도 5는 도 4의 부분 확대 사시도이다.
도 6은 유리 분리용 포로스 경사 컨베이어의 부분 분해 사시도이다.
도 7은 도 6의 조립 상태의 단면 구조도이다.
도 8 내지 도 10은 각각 유리 제거작업 유닛에 의해 유리합착필름이 유리제거필름으로 제작되는 과정을 단계적으로 도시한 도면들이다.
도 11은 도 2에 도시된 언로딩 유닛에 필름 이송 로봇이 배치되어 있는 상태의 사시도이다.
도 12는 언로딩 유닛의 평면 구조도이다.
도 13은 언로딩 유닛의 정면 구조도이다.
도 14는 도 13의 A-A 선에 따른 단면도이다.
도 15는 도 11에 도시된 필름 부상 단위모듈의 확대 절개 사시도이다.
도 16은 본 발명의 제2 실시예에 따른 평면디스플레이용 유리 제거장치의 사시도이다.
도 17은 필름 초기 박리유닛 영역의 확대도이다.
도 18은 도 16의 평면 구조도이다.
도 19는 도 17의 B 영역에 대한 확대도로서, 필름 박리용 칼날에 의해 필름과 유리가 초기 박리되는 상태를 도시한 도면이다.
도 20은 본 발명의 제3 실시예에 따른 평면디스플레이용 유리 제거장치의 평면 구조도이다.
1A and 1B are diagrams illustrating an operation of a film removing apparatus of a general glass substrate, respectively.
2 is a planar structural diagram of a glass removing apparatus for a flat panel display according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a schematic view illustrating the glass removing apparatus for the flat panel display of FIG. 2.
4 is a side structural view of the glass removing unit area shown in FIG.
5 is a partially enlarged perspective view of FIG. 4.
Fig. 6 is a partially exploded perspective view of the poros warp conveyor for glass separation;
7 is a cross-sectional structural view of the assembled state of FIG.
8 to 10 are diagrams showing a step-by-step process of manufacturing the glass bonding film to the glass removing film by the glass removing operation unit, respectively.
FIG. 11 is a perspective view of a state in which a film transfer robot is disposed in the unloading unit shown in FIG. 2.
12 is a plan view of the unloading unit.
13 is a front structural diagram of an unloading unit.
14 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG. 13.
FIG. 15 is an enlarged cutaway perspective view of the film floating unit module illustrated in FIG. 11.
16 is a perspective view of a glass removing apparatus for a flat panel display according to a second embodiment of the present invention.
17 is an enlarged view of the film initial peeling unit region.
18 is a plan view of FIG. 16.
FIG. 19 is an enlarged view of the region B in FIG. 17 and illustrates a state where the film and the glass are initially peeled off by the film peeling blade. FIG.
20 is a planar structural diagram of a glass removing apparatus for a flat panel display according to a third embodiment of the present invention.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, operational advantages of the present invention, and objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings and the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Like reference symbols in the drawings denote like elements.

도 3은 도 2에 도시된 평면디스플레이용 유리 제거장치를 개략적으로 도시한 구성도이고, 도 4는 도 3에 도시된 유리 제거작업 유닛 영역의 측면 구조도이며, 도 5는 도 4의 부분 확대 사시도이고, 도 6은 유리 분리용 포로스 경사 컨베이어의 부분 분해 사시도이며, 도 7은 도 6의 조립 상태의 단면 구조도이고, 도 8 내지 도 10은 각각 유리 제거작업 유닛에 의해 유리합착필름이 유리제거필름으로 제작되는 과정을 단계적으로 도시한 도면들이며, 도 11은 도 2에 도시된 언로딩 유닛에 필름 이송 로봇이 배치되어 있는 상태의 사시도이고, 도 12는 언로딩 유닛의 평면 구조도이며, 도 13은 언로딩 유닛의 정면 구조도이고, 도 14는 도 13의 A-A 선에 따른 단면도이며, 도 15는 도 11에 도시된 필름 부상 단위모듈의 확대 절개 사시도이다.FIG. 3 is a schematic view showing the glass removing apparatus for the flat display shown in FIG. 2, FIG. 4 is a side structural view of the glass removing unit shown in FIG. 3, and FIG. 5 is a partially enlarged perspective view of FIG. 4. 6 is a partially exploded perspective view of the poros inclined conveyor for glass separation, FIG. 7 is a cross-sectional structural view of the assembled state of FIG. 6, and FIGS. 8 to 10 are glass removal films respectively formed by glass removal units. FIG. 11 is a perspective view illustrating a step of manufacturing the film, and FIG. 11 is a perspective view of a state in which a film transfer robot is disposed in the unloading unit shown in FIG. 2, FIG. 12 is a plan view of the unloading unit, and FIG. 14 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG. 13, and FIG. 15 is an enlarged cutaway perspective view of the film floating unit module illustrated in FIG. 11.

이들 도면을 참조하되 주로 도 2 및 도 3을 참조하면, 본 실시예의 평면디스플레이용 유리 제거장치는, OLED 제조 공정에서 사용되는 필름(EL)의 일면에 유리(glass)가 합착된 유리합착필름(도 8 참조)으로부터 유리가 제거된 유리제거필름(도 10 참조)으로 제작되는 작업 라인인 유리 제거작업 라인을 형성하는 유리 제거작업 유닛(100)과, 유리 제거작업 유닛(100)에 이웃하게 배치되어 유리 제거작업 유닛(100)과 인라인화(In-Line)를 이루며, 유리제거필름을 부상시킨 상태에서 유리제거필름을 파지하여 후공정으로 언로딩시키는 언로딩 유닛(170, unloading unit)을 포함한다.2 and 3, the glass removing apparatus for a flat panel display of the present embodiment includes a glass-bonded film in which glass is bonded to one surface of a film EL used in an OLED manufacturing process. 8 is disposed adjacent to the glass removing operation unit 100 and the glass removing operation unit 100 to form a glass removing operation line, which is a working line made of the glass removing film (see FIG. 10) from which the glass is removed from the glass removing film (see FIG. 10). And an in-line with the glass removing operation unit 100, and includes an unloading unit 170 for unloading the glass removing film in a post-process by holding the glass removing film in a floating state. do.

그리고 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 평면디스플레이용 유리 제거장치는, 유리 제거작업 유닛(100)을 사이에 두고 언로딩 유닛(170)의 반대편에 배치되어 유리합착필름을 유리 제거작업 유닛(100)으로 로딩시키는 로딩 유닛(101, loading unit)을 포함한다.2 and 3, the glass removing apparatus for a flat panel display of the present embodiment is disposed on the opposite side of the unloading unit 170 with the glass removing operation unit 100 interposed therebetween to glass the glass-bonded film. It includes a loading unit 101 for loading into the removal unit 100.

이처럼 본 실시예의 평면디스플레이용 유리 제거장치는, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 로딩 유닛(101), 유리 제거작업 유닛(100) 및 언로딩 유닛(170) 모두를 갖춘 구조를 가지며, 이때의 로딩 유닛(101), 유리 제거작업 유닛(100) 및 언로딩 유닛(170)은 인라인화(In-Line)된 작업 라인을 형성한다. 따라서 유리합착필름이 로딩 유닛(101)에 로딩되면, 도 2의 화살표 방향을 따라 유리합착필름이 유리 제거작업 유닛(100)으로 이송되어 유리제거필름으로 제작되며, 이후에 계속 이송되어 언로딩 유닛(170)을 통해 후공정, 예컨대 라미네이팅 공정으로 향하게 된다.As described above, the glass removing apparatus for the flat panel display of the present embodiment has a structure having all of the loading unit 101, the glass removing operation unit 100, and the unloading unit 170, as shown in FIGS. 2 and 3. At this time, the loading unit 101, the glass removing operation unit 100, and the unloading unit 170 form an in-line working line. Therefore, when the glass bonding film is loaded into the loading unit 101, the glass bonding film is transferred to the glass removing work unit 100 along the direction of the arrow of FIG. 2 to be produced as a glass removing film, and then continuously transferred to the unloading unit. Via 170 is directed to a post process, such as a laminating process.

이처럼 로딩 유닛(101), 유리 제거작업 유닛(100) 및 언로딩 유닛(170)이 인라인화(In-Line)된 작업 라인을 형성하게 되면, 특히 유리제거필름을 손상 없이 용이하고 효율적으로 후공정으로 이송시킬 수 있다. 뿐만 아니라 종래처럼 유리제거필름의 파지가 곤란함에 따라 유리제거필름을 후공정으로 이송시키기에 어려움이 따르는 종래기술 대비 공정 효율이 현저하게 향상될 수 있어 생산성 향상을 기대할 수 있다.As such, when the loading unit 101, the glass removing operation unit 100, and the unloading unit 170 form an in-line working line, in particular, the glass removing film can be easily and efficiently post-processed without damage. Can be transferred to. In addition, the process efficiency can be remarkably improved compared to the prior art, which is difficult to transfer the glass removing film to the post-process as it is difficult to hold the glass removing film as in the prior art can be expected to improve productivity.

우선, 로딩 유닛(101)에 대해 먼저 살펴보면, 로딩 유닛(101)은 도 2 및 도 3에서 좌측에 도시되어 있다. 로딩 유닛(101)은 전술한 바와 같이, 유리합착필름을 로딩시켜 유리 제거작업 유닛(100)으로 이송시키는 역할을 한다.First, with reference to the loading unit 101, the loading unit 101 is shown on the left side in Figs. As described above, the loading unit 101 loads the glass bonding film and serves to transfer the glass bonding film to the glass removing operation unit 100.

본 실시예의 경우, 장비의 간소화를 위하여 로딩 유닛(101)을 자세히 후술할 언로딩 유닛(170)과 실질적으로 동일하게 제작하고 있다. 따라서 로딩 유닛(101)의 세부 구조는 언로딩 유닛(170)의 구조로부터 쉽게 알 수 있으므로 로딩 유닛(101)에 대한 설명은 생략한다.In the present embodiment, the loading unit 101 is manufactured in substantially the same manner as the unloading unit 170 which will be described later in detail in order to simplify the equipment. Therefore, since the detailed structure of the loading unit 101 can be easily known from the structure of the unloading unit 170, description of the loading unit 101 is omitted.

다음으로, 유리 제거작업 유닛(100)은 유리합착필름(도 8 참조)을 유리제거필름(도 10 참조)으로 제작하는 작업 라인인 유리 제거작업 라인을 형성한다.Next, the glass removing operation unit 100 forms a glass removing operation line, which is a working line for manufacturing a glass bonding film (see FIG. 8) into a glass removing film (see FIG. 10).

이러한 유리 제거작업 유닛(100)은, 도 3 내지 도 10에 도시된 바와 같이, 유리합착필름에 대하여 필름으로부터 제거될 유리를 파지하는 유리 파지모듈(105)과, 유리에 대하여 필름을 미리 결정된 각도로 경사지게 이송시키는 경사 분리모듈(130)을 포함한다.The glass removing operation unit 100, as shown in Figure 3 to 10, the glass holding module 105 for holding the glass to be removed from the film with respect to the glass-bonded film, and a predetermined angle of the film with respect to the glass It includes an inclination separation module 130 for inclined transfer.

유리 파지모듈(105)은 유리와 필름이 상호 합착되어 이송되는 작업 라인 상에서 상부층을 이루는 유리를 파지하는 역할을 한다. 유리 파지모듈(105)은 진공에 의한 흡착 방식으로 유리를 파지한다. 이러한 유리 파지모듈(105)은, 유리를 흡착하여 파지하는 유리 파지부재(110)와, 유리 파지부재(110)와 연결되고 유리 파지부재(110)를 이동시키는 트랜스퍼(121,122,123)를 포함한다.The glass gripping module 105 grips the glass constituting the upper layer on the work line to which the glass and the film are bonded to each other. The glass gripping module 105 grips the glass by a vacuum suction method. The glass gripping module 105 includes a glass gripping member 110 that absorbs and grips glass, and transfers 121, 122, and 123 that are connected to the glass gripping member 110 and move the glass gripping member 110.

유리 파지부재(110)는 진공에 의해 유리를 파지할 수 있는 것으로서, 도 5의 확대 그림에 도시된 바와 같이, 몸체부(111)와, 몸체부(111)에 연결되는 다수의 노즐브래킷(112)과, 다수의 노즐브래킷(112)에 각각 결합되고 진공압에 의하여 유리를 흡착하는 다수의 흡착 노즐(113)을 구비할 수 있다.The glass gripping member 110 is capable of gripping the glass by vacuum, as shown in the enlarged view of FIG. 5, the body 111 and a plurality of nozzle brackets 112 connected to the body 111. ) And a plurality of adsorption nozzles 113 respectively coupled to the plurality of nozzle brackets 112 and adsorbing the glass by vacuum pressure.

다수의 노즐브래킷(112)은 몸체부(111)의 하부에 일정한 간격을 두고 다수 개 배치될 수 있다. 다수의 노즐브래킷(112)은 다수의 흡착 노즐(113)을 지지하는 부분이다.The plurality of nozzle brackets 112 may be arranged in a plurality at regular intervals below the body portion 111. The plurality of nozzle brackets 112 is a portion supporting the plurality of suction nozzles 113.

다수의 흡착 노즐(113)은 실질적으로 유리를 진공으로 흡착하는 부분이다. 노즐브래킷(112) 하나당 2개씩 마련될 수 있다. 이는 유리를 보다 안정적으로 파지할 수 있도록 하는 수단인데, 도면과 달리 노즐브래킷(112) 하나에 흡착 노즐(113)이 하나씩 배치되더라도 무방하다.The plurality of adsorption nozzles 113 is a portion that substantially adsorbs the glass in a vacuum. Two nozzle brackets 112 may be provided. This is a means to hold the glass more stably, unlike the drawing may be arranged one suction nozzle 113 in one nozzle bracket 112.

한편, 유리 파지부재(110)에 의해 유리가 진공으로 파지될 때, OLED를 형성하는 LTPS, EL, 박막봉지로 인하여 필름의 테두리부 영역이 컨베이어에서 이동 시 들뜰 수 있다. 이러한 경우, 유리 파지부재(110)가 유리를 잘 파지하지 못할 수도 있다. 이러한 현상을 예방하기 위해, 유리 파지모듈(105)의 전방부에는 필름의 전방부를 가압하는 가압부(미도시)가 더 마련될 수 있다. 즉 가압부로 하여금 필름을 가압하도록 하여 필름의 전방부가 경사 분리모듈(130)의 표면에 잘 흡착되도록 한 상태에서 유리 파지모듈(105)이 유리를 흡착함으로써 흡착의 실패를 줄일 수 있을 것이다.On the other hand, when the glass is held in a vacuum by the glass holding member 110, due to the LTPS, EL, thin-film encapsulation forming the OLED may be raised when the edge region of the film moves on the conveyor. In this case, the glass holding member 110 may not hold the glass well. In order to prevent such a phenomenon, a pressing part (not shown) for pressing the front part of the film may be further provided at the front part of the glass gripping module 105. That is, the glass holding module 105 may reduce the adsorption failure by allowing the pressing unit to pressurize the film so that the front portion of the film is well adsorbed on the surface of the inclined separation module 130.

트랜스퍼(121,122,123)는 유리를 파지한 유리 파지부재(110)를 이동시키는 역할을 한다. 이러한 트랜스퍼(121,122,123)는, 유리 파지부재(110)를 경사 분리모듈(130)에 대해 상하 방향인 Z축(도 4 참조)으로 이동시키는 Z축 트랜스퍼(121)와, 유리 파지부재(110)를 경사 분리모듈(130)의 이송 방향인 X축(도 3 참조)으로 이동시키는 X축 트랜스퍼(122)와, X축 트랜스퍼(122)에 교차되는 방향인 Y축(도 3 참조)으로 상기 유리 파지부재를 이동시키는 Y축 트랜스퍼(123)를 포함한다. 트랜스퍼(121,122,123)는 실린더나 리니어 모터 등으로 구현될 수 있다.The transfers 121, 122, and 123 serve to move the glass gripping member 110 holding the glass. The transfer (121, 122, 123), the Z-axis transfer 121 and the glass holding member 110 for moving the glass holding member 110 to the Z axis (see Fig. 4) in the vertical direction with respect to the inclined separation module 130. The glass gripping is performed by the X-axis transfer 122 that moves in the X-axis (see FIG. 3), which is the feed direction of the inclination separation module 130, and the Y-axis (see FIG. 3), which is the direction crossing the X-axis transfer 122. And Y-axis transfer 123 to move the member. The transfers 121, 122, and 123 may be implemented as cylinders or linear motors.

경사 분리모듈(130)은 유리에 대하여 필름을 미리 결정된 각도로 경사지게 이송시키는 역할을 한다. 다시 말해, 도 8 내지 도 10과 같이, 유리 파지모듈(105)이 유리를 흡착하여 이동시키는 것에 연동하여 경사 분리모듈(130)이 필름을 흡착하여 경사진 방향으로 이동시키게 됨으로써 필름으로부터 유리가 자연스럽게 제거되어 유리제거필름으로 제작될 수 있다.The inclination separation module 130 serves to transfer the film to the glass inclined at a predetermined angle. In other words, as shown in FIGS. 8 to 10, the glass holding module 105 adsorbs and moves the glass so that the inclined separation module 130 moves the film in the inclined direction by adsorbing the glass to naturally move the glass from the film. It can be removed and produced into a glass removing film.

다만, 이 경우, 유리 파지모듈(105)과 경사 분리모듈(130) 중 어느 한 쪽이 다른 한 쪽보다 너무 빠르거나 늦으면 유리의 제거가 제대로 진행되기 어렵기 때문에, 유리 파지모듈(105)과 경사 분리모듈(130)은 도시 않은 제어부에 의해 서로 간 동기 구동을 해야 할 것이다. 이는 제어부가 경사 분리모듈(130)의 이동 속도를 트랜스퍼(121,122,123)에 맞추거나 반대로 트랜스퍼(121,122,123)의 이동 속도를 경사 분리모듈(130)에 맞추는 등의 방식으로 구현될 수 있다.However, in this case, if either one of the glass holding module 105 and the inclined separation module 130 is too fast or too late than the other, the removal of the glass is difficult to proceed properly, the glass holding module 105 and the slope Separation module 130 will have to be synchronized with each other by a control unit (not shown). This may be implemented in such a manner that the control unit adjusts the moving speed of the inclination separation module 130 to the transfers 121, 122, and 123, or conversely, adjusts the moving speed of the transfer 121, 122, 123 to the inclination separation module 130.

반드시 그러한 것은 아니지만, 본 실시예에서 경사 분리모듈(130)은 유리 분리용 포로스 경사 컨베이어(130)로 적용될 수 있다. 즉 진공이 형성되는 컨베이어로서 경사 분리모듈(130)을 적용하고 있다. 물론, 이러한 사항에 본 발명의 권리범위가 제한될 필요는 없다.In this embodiment, but not necessarily, the inclination separation module 130 may be applied to the glass separation inclination conveyor 130. That is, the inclination separation module 130 is applied as a conveyor in which a vacuum is formed. Of course, it is not necessary to limit the scope of the present invention to these matters.

도 4, 그리고 도 8 내지 도 10을 참조하면, 유리 분리용 포로스 경사 컨베이어(130)는, 유리 파지모듈(105)이 동작되어 유리를 파지하되 유리와 필름이 직선형으로 함께 이동되는 직선 구간부(130)와, 직선 구간부(130)에 대해 미리 결정된 각도만큼 경사지게 마련되어 유리가 제거된 필름이 단독으로 이동되는 경사 구간부(130b)를 포함한다.4 and 8 to 10, the glass separation POSOS conveyor 130, the glass holding module 105 is operated to hold the glass, but the straight section portion that the glass and film are moved together in a straight line ( 130 and an inclined section 130b provided to be inclined by a predetermined angle with respect to the straight section 130 and to which the film from which the glass is removed is moved alone.

본 실시예의 경우, 직선 구간부(130)와 경사 구간부(130b)는 일체형으로 마련된다. 다시 말해, 유리 분리용 포로스 경사 컨베이어(130)를 제작할 때, 후단부 쪽에 경사 구간부(130b)가 형성되도록 하고 있다.In this embodiment, the straight section 130 and the inclined section 130b is provided integrally. In other words, when fabricating the glass separating inclined conveyor 130, the inclined section 130b is formed on the rear end side.

이처럼 유리 분리용 포로스 경사 컨베이어(130)에 직선 구간부(130)와 경사 구간부(130b)가 마련됨으로써, 직선 구간부(130) 쪽에서 유리 파지모듈(105)에 의해 유리가 파지되면 경사 구간부(130b) 쪽에서는 유리가 제거된 필름만을 이송시킬 수 있게 된다. 따라서 종래의 도 1a 및 도 1b와 같은 구조를 적용하지 않더라도 필름으로부터 유리를 쉽고 간편하게 제거할 수 있으며, 특히 유리가 제거되고 난 이후의 필름이 말리는 현상이 없기 때문에 필름이 손상되는 현상을 없앨 수 있다.As such, the straight section 130 and the inclined section 130b are provided on the glass separating inclined conveyor 130, and the inclined section is formed when the glass is held by the glass gripping module 105 at the straight section 130. On the 130b side, only the film from which the glass has been removed can be transferred. Therefore, the glass can be easily and easily removed from the film even without applying the conventional structures as shown in FIGS. 1A and 1B, and in particular, since the film does not dry after the glass is removed, the film may be damaged. .

하지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되지 않으므로 직선 구간부(130)와 경사 구간부(130b)는 분리형 구조를 가질 수도 있다. 이러한 경우에는 직선 구간부(130)와 경사 구간부(130b) 사이에 이들이 상호간 상대 회전될 수 있는 힌지 구조를 적용할 수 있다. 특히, 직선 구간부(130)와 경사 구간부(130b)는 분리형 구조를 갖는 경우에는 경사 구간부(130b) 쪽에 액추에이터를 연결하여 경사 구간부(130b)의 경사도를 조절할 수도 있을 것이다.However, since the scope of the present invention is not limited thereto, the straight section 130 and the inclined section 130b may have a separate structure. In this case, a hinge structure may be applied between the straight section 130 and the inclined section 130b so that they can be relatively rotated with each other. In particular, when the straight section 130 and the inclined section 130b has a separate structure, the inclination of the inclined section 130b may be adjusted by connecting an actuator to the inclined section 130b.

유리 분리용 포로스 경사 컨베이어(130)는 진공에 의해 필름을 흡착시키면서 필름을 이송해야 하기 때문에, 유리 분리용 포로스 경사 컨베이어(130)에는 진공 구조가 적용된다. 이를 도 6 및 도 7을 참조하여 자세히 알아보도록 한다. 도 6 및 도 7은 유리 분리용 포로스 경사 컨베이어(130)의 하나의 단위유닛의 구조이다.Since the glass separation inclination conveyor 130 has to transfer the film while adsorbing the film by vacuum, the vacuum structure is applied to the glass separation inclination conveyor 130. This will be described in detail with reference to FIGS. 6 and 7. 6 and 7 show the structure of one unit of the glass inclined conveyor 130 for separating.

유리 분리용 포로스 경사 컨베이어(130)는, 표면에 다수의 진공홀(141)이 형성되며, 진공홀(141)에 형성되는 진공압에 의해 필름이 안착 지지되어 이송되는 다공질 이송벨트(140)와, 다공질 이송벨트(140)의 하부에 형성되는 진공 챔버(150)를 포함한다.Porous inclined conveyor 130 for glass separation has a plurality of vacuum holes 141 is formed on the surface, the porous conveying belt 140 is seated and supported by the vacuum pressure formed in the vacuum hole 141 and transported; The vacuum chamber 150 is formed below the porous transfer belt 140.

진공 챔버(150)는 본 장치의 하부 영역에 고정되는 부분인데 반해, 다공질 이송벨트(140)는 실질적으로 필름에 직접 접촉되어 필름을 이송시키는 역할을 한다. 이러한 다공질 이송벨트(140)는, 진공 챔버(105)의 상부에서 진공 챔버(105)에 대해 필름의 이송 방향을 따라 상대 이동 가능하게 결합될 수 있다.While the vacuum chamber 150 is a portion fixed to the lower region of the apparatus, the porous transfer belt 140 serves to transfer the film by being in direct contact with the film. The porous transfer belt 140 may be coupled relative to the vacuum chamber 105 in the upper portion of the vacuum chamber 105 along the transfer direction of the film so as to be relatively movable.

다공질 이송벨트(140)는 통상의 컨베이어 벨트와 같이 폐루프 형상을 가질 수 있다. 이러한 다공질 이송벨트(140)가 회전되면서 필름을 강제로 이송시킬 수 있도록 유리 분리용 포로스 경사 컨베이어(130)에는 모터(미도시)가 갖춰질 수 있다.The porous transfer belt 140 may have a closed loop shape like a conventional conveyor belt. As the porous transfer belt 140 is rotated, the pores inclined conveyor 130 for separating the glass may be provided with a motor (not shown) to force the film to be forcibly transferred.

진공 챔버(150)의 상면에는 다공질 이송벨트(140)에 형성된 다수의 진공홀(141)과 연통되는 진공슬롯(152)이 형성된다. 진공슬롯(152)은 진공 챔버(150)의 상면에서 하방으로 낮게 단차진 단차부(154)에 형성된다. 그리고 진공슬롯(152)과 대향된 진공 챔버(150)의 하면에는 공기순환통로(153)가 형성된다.On the upper surface of the vacuum chamber 150 is formed a vacuum slot 152 in communication with a plurality of vacuum holes 141 formed in the porous transfer belt 140. The vacuum slot 152 is formed in the stepped portion 154 stepped downward from the upper surface of the vacuum chamber 150. An air circulation passage 153 is formed on the bottom surface of the vacuum chamber 150 facing the vacuum slot 152.

진공 챔버(150) 내의 공기유동공간(151)은 상호간 개별적으로 진공이 형성되는 다수의 존(Z1,Z2,Z3,,,zone)으로 구획될 수 있는데, 진공슬롯(152)은 각 존(Z1,Z2,Z3,,,)에 하나씩 대응되도록 진공 챔버(150)의 상면에 마련될 수 있다. 이처럼 진공 챔버(150) 내의 공기유동공간(151)이 상호간 개별적으로 진공이 형성되는 다수의 존(Z1,Z2,Z3)으로 형성되고 각 존(Z1,Z2,Z3,,,)에 하나씩 대응되도록 진공슬롯(152)이 분할되어 형성되는 경우, 어느 한 존(Z1,Z2,Z3,,,)에 진공의 리크(leak)가 발생된다 하더라도 다른 존(Z1,Z2,Z3,,,)들을 통해 진공이 제공될 수 있기 때문에, 다공질 이송벨트(140)와 필름 간의 진공 흡착이 해제되어 필름의 이송이 실패로 돌아가는 현상을 예방할 수 있게 된다.The air flow space 151 in the vacuum chamber 150 may be divided into a plurality of zones Z1, Z2, Z3, and zones in which vacuums are formed separately from each other, and the vacuum slot 152 may be divided into each zone Z1. It may be provided on the upper surface of the vacuum chamber 150 so as to correspond to each of the, Z2, Z3 ,,,). As such, the air flow space 151 in the vacuum chamber 150 is formed of a plurality of zones Z1, Z2, Z3 in which vacuums are formed separately from each other, and correspond to each zone Z1, Z2, Z3,. When the vacuum slot 152 is formed in a divided manner, even if a leak of vacuum is generated in one of the zones Z1, Z2, Z3, ..., the other zones Z1, Z2, Z3, ... Since the vacuum can be provided, vacuum adsorption between the porous transfer belt 140 and the film is released, thereby preventing the transfer of the film to failure.

하지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한될 필요는 없으므로, 도면과 달리 진공슬롯(152)은 다공질 이송벨트(140)의 길이 방향을 따라 진공 챔버(150)의 상면에서 연속적으로 형성되어도 무방하며, 또한 진공 챔버(150) 내의 공기유동공간(151) 역시 반드시 개별적으로 진공이 형성되는 다수의 존(Z1,Z2,Z3)으로 형성될 필요는 없다.However, since the scope of the present invention does not need to be limited thereto, unlike the drawing, the vacuum slot 152 may be continuously formed on the upper surface of the vacuum chamber 150 along the longitudinal direction of the porous transfer belt 140. In addition, the air flow space 151 in the vacuum chamber 150 does not necessarily need to be formed of a plurality of zones Z1, Z2, and Z3 in which vacuum is individually formed.

이에, 도시 않은 진공펌프(미도시)가 동작되면, 도 7의 화살표 방향과 같이, 진공홀(141)의 외부에서 진공홀(141) 및 진공슬롯(152)을 경유하여 진공 챔버(150) 내의 공기유동공간(151) 및 공기순환통로(153) 쪽으로 진공이 형성됨에 따라 다공질 이송벨트(140)의 표면에서 필름은 진공으로 흡착될 수 있게 된다. 실제로 실험을 실시해보면, 가로/세로의 길이가 1.5 미터(m) 내외의 필름이라 하더라도 다공질 이송벨트(140)에 의한 진공 흡착력이 강해 필름을 고속으로 이송시키는데 아무런 무리가 없는 것으로 확인된 바 있다.Thus, when the vacuum pump (not shown) is operated, as shown by the arrow in FIG. 7, the vacuum pump 141 and the vacuum slot 152 in the vacuum chamber 150 are located outside the vacuum hole 141. As the vacuum is formed toward the air flow space 151 and the air circulation passage 153, the film may be adsorbed by the vacuum on the surface of the porous transfer belt 140. In fact, the experiments, even if the length of the film in the width / length of about 1.5 meters (m), the vacuum adsorption force by the porous transfer belt 140 has been confirmed that there is no difficulty in transferring the film at high speed.

도 5를 참조하면, 본 실시예의 평면디스플레이용 유리 제거장치에는 경사 분리모듈(130)에 인접 배치되어 유리쪽으로 정전기 발생 방지유체를 분사하는 이오나이저(160)가 마련된다. 이오나이저(160)는 필름으로부터 유리가 제거되는 동작 중에 필름과 유리 쪽을 향해 정전기 발생 방지유체를 분사함으로써, 유리와 플렉서블 셀(Flexible Cell)의 PI층 사이에 정전기가 발생되는 것을 방지한다. 이오나이저(160)는 도 3처럼 경사 분리모듈(130)의 양측에 배치되어 유리의 양쪽으로 정전기 발생 방지유체를 분사할 수 있다.Referring to FIG. 5, the flat panel display glass removing device of the present embodiment is provided with an ionizer 160 disposed adjacent to the inclined separation module 130 to inject an antistatic fluid into the glass. The ionizer 160 prevents static electricity from being generated between the glass and the PI layer of the flexible cell by spraying an antistatic fluid toward the film and the glass during the operation of removing the glass from the film. The ionizer 160 may be disposed on both sides of the inclined separation module 130 as shown in FIG. 3 to inject antistatic fluid into both sides of the glass.

한편, 언로딩 유닛(170)은, 도 2, 도 3, 도 11 내지 도 13에 도시된 바와 같이, 유리 제거작업 유닛(100)과 인라인화(In-Line)를 이루며, 유리제거필름을 부상시킨 상태에서 유리제거필름을 파지하여 후공정, 예컨대 라미네이팅 공정으로 이송시키는 역할을 한다. 앞서도 기술한 바와 같이, 로딩 유닛(101)은 언로딩 유닛(170)과 구조가 실질적으로 동일하기 때문에 로딩 유닛(101)의 세부 구조는 언로딩 유닛(170)의 세부 구조를 참조하도록 한다.Meanwhile, as shown in FIGS. 2, 3, and 11 to 13, the unloading unit 170 forms an in-line with the glass removing operation unit 100, and floats the glass removing film. In this state, the glass removing film is gripped to serve as a post process, for example, a laminating process. As described above, since the loading unit 101 has substantially the same structure as the unloading unit 170, the detailed structure of the loading unit 101 refers to the detailed structure of the unloading unit 170.

언로딩 유닛(170)은, 도 11 내지 도 13에 자세히 도시된 바와 같이, 유리 제거작업 유닛(100)을 따라 이송되는 유리제거필름을 미리 결정된 높이만큼 부상시켜 유리제거필름의 처짐을 저지시키는 필름 부상 모듈(180)과, 필름 부상 모듈(180)에 이웃하게 배치되며, 필름 부상 모듈(180)에 의해 미리 결정된 높이만큼 부상된 유리제거필름의 일 영역을 흡착하여 후공정으로 이송시키는 필름 흡착용 이송 모듈(190)을 포함한다.As shown in detail in FIGS. 11 to 13, the unloading unit 170 floats the glass removing film transferred along the glass removing operation unit 100 by a predetermined height to prevent deflection of the glass removing film. Adjacent to the floating module 180 and the film floating module 180, the film adsorption for adsorbing one area of the glass removal film that is floated by a predetermined height by the film floating module 180 to transfer to the post-process A transfer module 190.

이때, 유리 제거작업 유닛(100)과 언로딩 유닛(170) 사이에는 유리제거필름의 처짐을 저지시키는 서포트 피크 플레이트(173, support peek plate)가 마련된다. 다공성 구조의 서포트 피크 플레이트(173)는 압축공기의 상향 분사를 통해 유리 제거작업 유닛(100)과 언로딩 유닛(170) 사이를 지나는 유리제거필름의 처짐을 저지시킨다.In this case, a support peak plate 173 may be provided between the glass removing operation unit 100 and the unloading unit 170 to prevent sagging of the glass removing film. The support peak plate 173 of the porous structure prevents the sagging of the glass removing film passing between the glass removing unit 100 and the unloading unit 170 through upward spraying of compressed air.

본 실시예에서 필름 부상 모듈(180)은 상호간 이격되고 나란하게 배치되는 다수의 필름 부상 단위모듈(181)로 적용되고 있다. 도면에는 3개의 필름 부상 단위모듈(181)이 도시되어 있지만 이러한 사항에 본 발명의 권리범위가 제한되지 않는다.In this embodiment, the film floating module 180 is applied as a plurality of film floating unit modules 181 spaced apart from each other and arranged side by side. Although three film floating unit modules 181 are shown in the drawings, the scope of the present invention is not limited thereto.

도 17를 참조하여 필름 부상 단위모듈(181)들에 대해 살펴본다. 필름 부상 단위모듈(181)은, 유리제거필름을 향한 일면에 압축공기가 분사되는 다수의 공기분사공(181d)이 형성되는 상부 몸체(181a)와, 상부 몸체(181a)와 결합되고 상부 몸체(181a)와의 사이에 공기유동공간(181e)을 형성하는 하부 몸체(181b)와, 공기유동공간(181e) 내에 배치되어 공기분사공(181d)들을 향해 압축공기를 발생시키는 송풍팬(181c)을 포함한다.Referring to Figure 17 looks at the film floating unit module 181. The film floating unit module 181 is coupled to the upper body 181a and the upper body 181a, and the upper body 181a is formed with a plurality of air injection holes 181d into which compressed air is injected to one surface facing the glass removing film. A lower body 181b defining an airflow space 181e between the air flow space 181a and a blowing fan 181c disposed in the airflow space 181e to generate compressed air toward the air injection holes 181d. do.

상부 몸체(181a)는 그 하면이 개방된 통 구조를 이룬다. 즉, 내부가 빈 거의 직육면체 형상을 이루되 그 하면 일부분은 개방되어 있다. 상부 몸체(181a)의 상면에 형성되는 공기분사공(181d)들은 천공에 의한 방법으로 가공될 수도 있지만 상부 몸체(181a)를 공기분사공(181d)들이 형성되는 에어로 픽스 재질로 제작할 수도 있다. 상부 몸체(181a)의 내부, 공기유동공간(181e)에는 송풍팬(181c)에서 발생된 압축공기 중의 이물질을 필터링하는 필터(181f)가 마련될 수 있다. 필터(181f)는 헤파필터나 프리필터 등 어떠한 것이 적용되어도 좋다.The upper body 181a forms a tubular structure with its lower surface opened. That is, the inside is formed of an almost rectangular parallelepiped shape, with a part of which is open. The air injection holes 181d formed on the upper surface of the upper body 181a may be processed by a punching method, but the upper body 181a may be made of an aero fix material in which the air injection holes 181d are formed. A filter 181f may be provided in the upper body 181a and in the air flow space 181e to filter foreign matter in the compressed air generated by the blowing fan 181c. Any filter such as a hepa filter or a prefilter may be applied to the filter 181f.

하부 몸체(181b)는 상부 몸체(181a)와 거의 유사한 형태를 가지되 다소 작은 부피로 형성된다. 즉, 상부 몸체(181a)를 뒤집어 놓은 상태를 하부 몸체(181b)가 간주해도 실질적으로 무방하다. 이러한 하부 몸체(181b)는 상부 몸체(181a)와 결합되어 내부에 공기유동공간(181e)을 형성한다.The lower body 181b has a shape substantially similar to that of the upper body 181a, but is formed in a somewhat small volume. That is, the lower body 181b may consider the state which turned the upper body 181a upside down substantially. The lower body 181b is combined with the upper body 181a to form an air flow space 181e therein.

송풍팬(181c)은 공기유동공간(181e) 내에 배치되어 공기분사공(181d)들을 향해 압축공기를 발생시킨다. 필름 부상 단위모듈(181)은 그 길이가 충분히 길게 형성되기 때문에 하부 몸체(181b) 내에 마련된 송풍팬(181c)은 적당한 이격 간격을 두고 다수 개 배치될 수 있다. 도면에는 송풍팬(181c))이라는 것을 부각시키기 위해 마치 선풍기 날개와 같은 형상으로 송풍팬(181c)을 도시하고 있지만, 송풍팬(181c)은 도시된 축류팬 외에도 횡류팬이 적용될 수 있다.The blowing fan 181c is disposed in the air flow space 181e to generate compressed air toward the air injection holes 181d. Since the film floating unit module 181 is formed to have a sufficiently long length, a plurality of blower fans 181c provided in the lower body 181b may be disposed at appropriate intervals. In the drawing, the blower fan 181c is illustrated in the shape of a fan blade to highlight the blower fan 181c. However, the blower fan 181c may have a cross flow fan in addition to the axial fan shown.

필름 흡착용 이송 모듈(190)은, 필름 부상 모듈(180)에 이웃하게 배치되며, 필름 부상 모듈(180)에 의해 미리 결정된 높이만큼 부상된 유리제거필름의 일 영역을 흡착하여 후공정, 예컨대 라미네이팅 공정으로 이송시키는 역할을 한다.The film adsorption transfer module 190 is disposed adjacent to the film floating module 180 and adsorbs a region of the glass removing film floating by a predetermined height by the film floating module 180 to post-process, for example, laminating. It serves to transfer to the process.

필름 흡착용 이송 모듈(190)은 도 12에 도시된 바와 같이, 필름 부상 단위모듈(181)들의 양쪽 사이드에 필름 부상 단위모듈(181)들과 나란하게 한 쌍으로 마련될 수 있다. 따라서 필름 부상 단위모듈(181)들에 의해 일정 높이 부상된 유리제거필름은 그 하단부의 양 사이드가 한 쌍의 필름 흡착용 이송 모듈(190)에 의해 흡착된 후, 후공정으로 이송될 수 있다.As shown in FIG. 12, the film adsorption transport module 190 may be provided in pairs in parallel with the film floating unit modules 181 on both sides of the film floating unit modules 181. Therefore, the glass removing film wound up to a certain height by the film floating unit modules 181 may be transferred to a later process after both sides of the lower end thereof are adsorbed by a pair of film adsorption transfer modules 190.

이러한 필름 흡착용 이송 모듈(190)은 유리제거필름을 흡착하는 포러스 벨트(191, porous belt)와, 포러스 벨트(191)가 폐루프 형태로 권취되는 구동 스프로켓(192) 및 피동 스프로켓(193)과, 구동 스프로켓(192) 쪽에 연결되는 피딩 모터(194)를 포함한다.The film adsorption transfer module 190 includes a porous belt 191 for adsorbing a glass removing film, a driving sprocket 192 and a driven sprocket 193 in which the porous belt 191 is wound in a closed loop shape, and And a feeding motor 194 connected to the driving sprocket 192 side.

이에, 피딩 모터(194)가 구동되면 구동 스프로켓(192) 및 피동 스프로켓(193)에 권취된 포러스 벨트(191)가 일방향으로 이동되면서 유리제거필름을 이송시킬 수 있다. 참고로, 포러스 벨트(191)란 다공성 홀이 형성된 흡착성 패드의 일종으로 유리제거필름에 접촉될 때 유리제거필름을 흡착할 수 있다.Thus, when the feeding motor 194 is driven, the porous sprocket 191 wound around the driving sprocket 192 and the driven sprocket 193 may be moved in one direction, thereby transferring the glass removing film. For reference, the porous belt 191 is a kind of adsorptive pad having a porous hole, and may adsorb the glass removing film when contacted with the glass removing film.

한편, 필름 흡착용 이송 모듈(190)이 유리제거필름을 흡착하여 이송시키려 하는 경우, 유리제거필름은 필름 부상 모듈(180)에 의해 일정 높이 부상된 상태이기 때문에 그 높이만큼 필름 흡착용 이송 모듈(190)이 업(up)되어야 하며, 유리제거필름을 이송시킨 이후에는 필름 흡착용 이송 모듈(190)이 다시 원위치로 다운(down)되어야 한다.On the other hand, when the film adsorption transport module 190 is to adsorb the glass removal film to transport, since the glass removal film is in a state of a certain height by the film floating module 180, the film adsorption transport module ( 190 should be up, and after transporting the glass removing film, the film adsorption transfer module 190 should be down to its original position.

이러한 동작이 가능해질 수 있도록 본 실시예의 언로딩 유닛(170)은 필름 흡착용 이송 모듈(190)을 업/다운(up/down) 구동시키는 업/다운 구동부(175)를 구비하고 있다. 도면에는 업/다운 구동부(175)가 리니어 모터(linear motor)로 적용되어 있지만 업/다운 구동부(175)는 실린더일 수도 있다.In order to enable such an operation, the unloading unit 170 of the present embodiment includes an up / down driving unit 175 for up / down driving the film adsorption transfer module 190. Although the up / down driving unit 175 is applied as a linear motor in the drawing, the up / down driving unit 175 may be a cylinder.

언로딩 유닛(170)에는 센터링 부재(174)가 더 마련될 수 있다. 센터링 부재(174)는 언로딩 유닛(170)과 그 구조가 동일한 로딩 유닛(101)에만 적용되고 언로딩 유닛(170)에는 적용이 안 될 수도 있다. 즉 로딩 유닛(101)의 경우, 유리가 합착된 유리합착필름이 후공정으로 로딩되어야 하기 때문에 로딩을 위한 센터링이 필요하나 언로딩 유닛(170)의 경우에는 유리가 제거된 상태이기 때문에 굳이 센터링 부재(174)가 필요치 않을 수도 있다. 다만, 동일한 장비를 로딩 유닛(101)과 언로딩 유닛(170)으로 사용하고 있다는 점을 감안하면, 언로딩 유닛(170)에 센터링 부재(174)가 마련되어 있더라도 큰 이상은 없다.The unloading unit 170 may further include a centering member 174. The centering member 174 may be applied only to the loading unit 101 having the same structure as the unloading unit 170 and not to the unloading unit 170. That is, in the case of the loading unit 101, since the glass-bonded film to which the glass is bonded must be loaded in a later process, centering for loading is necessary, but in the case of the unloading unit 170, the centering member is dared because the glass is removed. 174 may not be necessary. However, considering that the same equipment is used as the loading unit 101 and the unloading unit 170, even if the centering member 174 is provided in the unloading unit 170, there is no significant abnormality.

언로딩 유닛(170)의 주변에는 유리제거필름을 언로딩 유닛(170)으로부터 전달 받아 후공정인 라미네이팅 공정으로 이송시키는 필름 이송 로봇(197)이 마련된다.A film transfer robot 197 is provided around the unloading unit 170 to receive the glass removing film from the unloading unit 170 and transfer the glass removal film to a laminating process, which is a post process.

본 실시예에서 필름 이송 로봇(197)은 필름 부상 단위모듈(181)들 사이사이로 다수의 진공 아암(197a, vacuum arm)이 배치되는 포크형 필름 이송 로봇(197)으로 적용될 수 있다.In this embodiment, the film transfer robot 197 may be applied as a fork-type film transfer robot 197 in which a plurality of vacuum arms 197a are disposed between the film floating unit modules 181.

이러한 구성을 갖는 평면디스플레이용 유리 제거장치의 작용에 대해 설명한다.The operation of the glass removing apparatus for flat panel displays having such a configuration will be described.

로딩 유닛(101)을 통해 유리가 상면에 합착된 유리합착필름은 유리 분리용 포로스 경사 컨베이어(130)의 직선 구간부(130a)를 따라 흡착된 상태로 이송된다.The glass bonding film in which the glass is bonded to the upper surface through the loading unit 101 is transported in the adsorbed state along the straight section 130a of the glass separation inclined conveyor 130.

유리합착필름이 유리 제거를 위한 작업 위치에 도달되면, 트랜스퍼(121,122,123)에 의해 유리 파지모듈(105)이 동작되며, 이후 유리 파지모듈(105)의 유리 파지부재(110)가 진공에 의해 유리를 파지한다(도 8 참조).When the glass bonding film reaches the working position for removing the glass, the glass holding module 105 is operated by the transfers 121, 122, and 123, and then the glass holding member 110 of the glass holding module 105 receives the glass by vacuum. Gripping (see FIG. 8).

이때는 유리 파지모듈(105)에 마련되는 가압부(미도시)로 하여금 필름을 가압하도록 하여 필름의 전방부가 경사 분리모듈(130)의 표면에 잘 흡착되도록 한 상태에서 유리 파지모듈(105)이 유리를 흡착함으로써 흡착의 실패를 줄인다.At this time, the glass holding module 105 is glass in a state in which the pressing portion (not shown) provided in the glass holding module 105 presses the film so that the front portion of the film is well adsorbed on the surface of the inclined separation module 130. Adsorption reduces the failure of adsorption.

유리 파지모듈(105)이 유리를 파지한 상태일지라도 유리 분리용 포로스 경사 컨베이어(130)는 계속해서 필름을 이동시키고 있으므로, 유리 파지모듈(105)이 유리를 파지하는 동작과 유리 분리용 포로스 경사 컨베이어(130)의 경사 구간부(130b)가 필름을 경사진 방향으로 이동시키는 동작이 함께 진행되어 도 9처럼 필름으로부터 유리가 제거되기 시작한다.Even though the glass gripping module 105 holds the glass, the glass separating module inclined conveyor 130 continues to move the film, so that the glass holding module 105 grasps the glass and the glass separating module is inclined conveyor. An operation of moving the film in the inclined direction by the inclined section 130b of 130 proceeds with the glass to be removed from the film as shown in FIG. 9.

필름으로부터 유리가 완전히 제거되고 나면, 도 10처럼 유리 파지모듈(105)은 트랜스퍼(121,122,123)에 의해 별도의 유리 적재부(미도시)로 유리를 적재시킨 후 원위치로 복귀되고, 유리가 제거된 유리제거필름은 서포트 피크 플레이트(173)를 통해 언로딩 유닛(170)으로 향한다.After the glass is completely removed from the film, the glass gripping module 105, as shown in Figure 10 by the transfer (121, 122, 123) by loading the glass to a separate glass stacking portion (not shown) and return to the original position, the glass is removed The removal film is directed to the unloading unit 170 through the support peak plate 173.

한편, 언로딩 유닛(170)에서는 필름 부상 모듈(180)이 동작되어 유리제거필름을 일정 높이 부상시키고, 이어 필름 흡착용 이송 모듈(190)이 유리제거필름의 위치만큼 업(up)되어 유리제거필름을 흡착한다. 이후에, 피딩 모터(194)가 구동되면 구동 스프로켓(192) 및 피동 스프로켓(193)에 권취된 포러스 벨트(191)가 일방향으로 이동되면서 유리제거필름을 이송시킨다.On the other hand, in the unloading unit 170, the film floating module 180 is operated to raise the glass removing film to a certain height, and then the film adsorption transfer module 190 is up (up) by the position of the glass removing film to remove the glass. Adsorb the film. Thereafter, when the feeding motor 194 is driven, the porous belt 191 wound around the driving sprocket 192 and the driven sprocket 193 is moved in one direction to transfer the glass removing film.

유리제거필름이 언로딩 유닛(170)의 후단으로 위치되면, 포크형 필름 이송 로봇(197)이 동작되어 유리제거필름을 후공정인 라미네이팅 공정으로 이송시킨다. 이때는 포크형 필름 이송 로봇(197)의 진공 아암(197a)들이 필름 부상 단위모듈(181)들 사이사이로 배치되어 유리제거필름을 진공으로 떠받친 후에, 유리제거필름을 후공정인 라미네이팅 공정으로 이송시킨다.When the glass removing film is positioned at the rear end of the unloading unit 170, the fork-type film transfer robot 197 is operated to transfer the glass removing film to a laminating process, which is a later process. At this time, the vacuum arms 197a of the fork-type film transfer robot 197 are disposed between the film floating unit modules 181 to hold the glass removing film under vacuum, and then transfer the glass removing film to a laminating process, which is a later process. .

유리제거필름이 후공정인 라미네이팅 공정으로 이송되고 나면 필름 부상 모듈(180)의 동작은 정지되고 필름 흡착용 이송 모듈(190)은 원위치로 복귀되어 다운(down)된다.After the glass removing film is transferred to a laminating process, which is a post process, the operation of the film floating module 180 is stopped and the film adsorption transfer module 190 is returned to its original position and is down.

이와 같은 구조와 동작을 갖는 본 실시예의 평면디스플레이용 유리 제거장치에 따르면, 필름에 유리가 합착된 유리합착필름을 유리가 제거된 유리제거필름으로 제작하는 유리 제거작업 라인으로부터 예컨대, 라미네이팅 공정 등의 후공정으로 유리제거필름을 손상 없이 용이하고 효율적으로 이송시킬 수 있게 된다.According to the glass removing device for a flat panel display of this embodiment having such a structure and operation, for example, a laminating process or the like from a glass removing work line for manufacturing a glass-bonding film in which glass is bonded to a film as a glass removing film from which glass is removed. In the post process, the glass removing film can be easily and efficiently transferred without damage.

도 16은 본 발명의 제2 실시예에 따른 평면디스플레이용 유리 제거장치의 사시도이고, 도 17은 필름 초기 박리유닛 영역의 확대도이며, 도 18은 도 16의 평면 구조도이고, 도 19는 도 17의 B 영역에 대한 확대도로서, 필름 박리용 칼날에 의해 필름과 유리가 초기 박리되는 상태를 도시한 도면이다.FIG. 16 is a perspective view of a glass removing apparatus for a flat display according to a second embodiment of the present invention, FIG. 17 is an enlarged view of a film initial peeling unit region, FIG. 18 is a plan view of FIG. 16, and FIG. 19 is FIG. It is an enlarged view with respect to the B area | region, and is a figure which shows the state in which film and glass are initially peeled by the film peeling blade.

이들 도면을 참조하면, 본 실시예의 평면디스플레이용 유리 제거장치에서 유리 제거작업 유닛(100a)은, OLED 제조 공정에서 사용되는 필름(EL)으로부터 제거될 유리(glass)를 파지하는 유리 파지모듈(105)과, 유리에 대하여 필름을 미리 결정된 각도로 경사지게 이송시키는 경사 분리모듈(130) 외에, 필름 초기 박리유닛(350)을 더 포함하고 있다.Referring to these drawings, in the glass removing apparatus for a flat panel display of the present embodiment, the glass removing operation unit 100a is a glass holding module 105 for holding glass to be removed from the film EL used in the OLED manufacturing process. And, in addition to the inclination separation module 130 for transferring the film inclined at a predetermined angle with respect to the glass, it further comprises a film initial peeling unit 350.

유리 파지모듈(105)과 경사 분리모듈(130)의 상세 구조는 전술한 실시예의 설명을 그대로 인용하도록 하고 여기서는 중복 설명을 생략한다.Detailed structures of the glass gripping module 105 and the inclination separation module 130 will be referred to as described above, and the description thereof will not be repeated here.

한편, 필름 초기 박리유닛(350)은 필름과 유리 사이로 삽입되어 유리에 대해 필름을 초기 박리시키는 역할을 한다.On the other hand, the film initial peeling unit 350 is inserted between the film and the glass serves to initial peel the film to the glass.

이러한 필름 초기 박리유닛(350)은, 필름과 유리 사이로 삽입되는 필름 박리용 칼날(360)과, 유리 파지모듈(105)에 결합되어 필름 박리용 칼날(360)을 이동 가능하게 지지하는 칼날 지지부(370)를 포함할 수 있다.The film initial peeling unit 350 is a blade support portion for moving the film peeling blade 360 is inserted between the film and the glass, and the glass holding module 105 is coupled to the film holding blade (movable) ( 370).

필름 박리용 칼날(360)은 실질적으로 필름과 유리 사이로 삽입되는 것으로서, 도 19의 (a)에서 (b)처럼 필름과 유리 사이로 삽입됨에 따라 필름과 유리 간의 초기 박리가 진행되도록 한다.The film peeling blade 360 is substantially inserted between the film and the glass, so that the initial peeling between the film and the glass proceeds as the film is inserted between the film and the glass as shown in FIG.

실제, 필름과 유리 사이의 표면장력이 큰 경우에는 필름과 유리 간의 초기 박리가 잘 이루어지지 않을 수도 있다는 점을 고려해볼 때, 본 실시예처럼 필름 박리용 칼날(360)의 선단부를 필름과 유리 사이로 삽입시켜 이동시키면 물리적인 힘에 의해 필름과 유리 간의 초기 박리가 잘 진행될 수 있게 된다.In fact, when the surface tension between the film and the glass is large, considering that the initial peeling between the film and the glass may not be made well, as in this embodiment, the tip of the film peeling blade 360 between the film and the glass When inserted and moved, the initial peeling between the film and the glass can be facilitated by the physical force.

칼날 지지부(370)는 필름 박리용 칼날(360)을 이동 가능하게 지지하는 부분이다. 이러한 칼날 지지부(370)는, 도 17에 도시된 바와 같이, 유리 파지모듈(105) 쪽에 연결되는 연결부(371)와, 필름 박리용 칼날(360)을 지지하는 지지부(372)와, 필름 박리용 칼날(360)을 경사 분리모듈(130)의 이송 방향에 교차되는 방향인 X축 방향(도 18 참조)으로 이송시키는 X축 이송부(373)와, 필름 박리용 칼날(360)을 경사 분리모듈(130)의 이송 방향인 Y축 방향(도 17 참조)으로 이송시키는 Y축 이송부(374)와, 필름 박리용 칼날(360)을 상하 방향인 Z축 방향(도 17 참조)으로 이송시키는 Z축 이송부(375)를 포함한다.The blade support part 370 is a part which supports the film peeling blade 360 so that a movement is possible. The blade support portion 370, as shown in Figure 17, the connection portion 371 connected to the glass holding module 105 side, the support portion 372 for supporting the film peeling blade 360, and the film peeling An X-axis transfer part 373 for transferring the blade 360 in the X-axis direction (see FIG. 18), which is a direction intersecting the transfer direction of the inclined separation module 130, and the film peeling blade 360, the inclined separation module ( Y-axis feeder 374 for feeding in the Y-axis direction (see FIG. 17), which is the feeding direction of 130, and Z-axis feeder, for feeding the film peeling blade 360 in the Z-axis direction (see FIG. 17), which is the up-down direction. 375.

본 실시예의 경우, 연결부(371)에 의해 필름 초기 박리유닛(350)이 유리 파지모듈(105) 쪽에 연결되고 있으나 이는 하나의 실시예에 불과하다. 예컨대, 별도의 프레임을 설치한 후, 이 프레임에 필름 초기 박리유닛(350)이 연결되어 해당 기능을 수행하도록 구현할 수도 있다. 따라서 필름 초기 박리유닛(350)의 설치 위치는 본 발명의 권리범위를 제한하지 못한다 하여야 할 것이다.In the present embodiment, the film initial peeling unit 350 is connected to the glass gripping module 105 by the connection part 371, but this is only one embodiment. For example, after installing a separate frame, the film initial peeling unit 350 may be connected to the frame to perform the function. Therefore, the installation position of the film initial peeling unit 350 should not limit the scope of the present invention.

지지부(372)는 필름 박리용 칼날(360)이 지지되는 장소이다. 반복적으로 사용되어 그 단부가 무뎌진 필름 박리용 칼날(360)의 교체를 위해, 지지부(372)는 필름 박리용 칼날(360)의 교체를 용이하게 하는 구조를 가질 수 있다.The support part 372 is a place where the film peeling blade 360 is supported. In order to replace the film peeling blade 360, which has been repeatedly used to blunt its end, the support part 372 may have a structure that facilitates the replacement of the film peeling blade 360.

X축 이송부(373)는 필름 박리용 칼날(360)을 비롯하여 필름 박리용 칼날(360)이 지지되는 지지부(372)를 경사 분리모듈(130)의 이송 방향에 교차되는 방향인 X축 방향(도 18 참조)으로 이송시키는 역할을 한다. 도 19의 (b)처럼 필름 박리용 칼날(360)의 날카로운 선단부가 필름과 유리 사이에 삽입된 상태에서 X축 이송부(373)가 동작되어 필름 박리용 칼날(360)을 X축 방향(도 18 참조)으로 이송시킴으로써 필름과 유리의 앞쪽 변의 전체 영역이 초기 박리될 수 있다.The X-axis transfer part 373 includes a film peeling blade 360 and an X-axis direction that is a direction crossing the support part 372 on which the film peeling blade 360 is supported to the conveying direction of the inclined separation module 130 (FIG. (See 18). As shown in (b) of FIG. 19, the X-axis feed part 373 is operated in a state where the sharp tip of the film peeling blade 360 is inserted between the film and the glass to move the film peeling blade 360 in the X-axis direction (FIG. 18). The entire area of the front side of the film and the glass may be initially peeled off.

Y축 이송부(374)는 필름 박리용 칼날(360)을 경사 분리모듈(130)의 이송 방향인 Y축 방향(도 17 참조)으로 이송시키는 역할을 한다. 이러한 Y축 이송부(374)로 인해 도 19의 (b)처럼 필름 박리용 칼날(360)의 선단부가 필름과 유리 사이로 진입될 수 있다.The Y-axis feeder 374 serves to transfer the film peeling blade 360 in the Y-axis direction (see FIG. 17), which is the feed direction of the inclined separation module 130. Due to the Y-axis transfer part 374, the front end portion of the film peeling blade 360 may enter between the film and the glass as shown in FIG. 19 (b).

Z축 이송부(375)는 필름 박리용 칼날(360)의 선단부가 필름과 유리 사이에 배치될 수 있도록, 필름 박리용 칼날(360)을 비롯하여 필름 박리용 칼날(360)이 지지되는 지지부(372)를 상하 방향인 Z축 방향(도 17 참조)으로 이송시키는 역할을 한다. Z축 이송부(375)는 한번 세팅된 정해진 거리를 반복적으로 업/다운(up/down) 구동할 수 있다.The Z-axis feeder 375 is a support part 372 on which the film peeling blade 360 is supported, including the film peeling blade 360, so that the tip of the film peeling blade 360 may be disposed between the film and the glass. It serves to transfer in the Z-axis direction (see Fig. 17) that is the up and down direction. The Z-axis feeder 375 may repeatedly drive up / down a predetermined distance set once.

본 실시예에서 X축 이송부(373), Y축 이송부(374) 및 Z축 이송부(375)는 모두 리니어 모터(linear motor)로 마련되고 있지만 이들은 실린더 등으로 변경 적용될 수도 있다.In the present embodiment, the X-axis feeder 373, the Y-axis feeder 374, and the Z-axis feeder 375 are all provided as linear motors, but they may be changed to cylinders or the like.

이러한 구성을 갖는 본 실시예의 평면디스플레이용 유리 제거장치의 동작을 간략하게 설명하면 다음과 같다.The operation of the glass removing apparatus for a flat panel display of this embodiment having such a configuration will be briefly described as follows.

유리와 필름이 유리 파지모듈(105)과 경사 분리모듈(130)에 각각 흡착된 상태에서, 필름과 유리 간의 박리 공정이 개시되면 우선, Z축 이송부(375)에 의해 필름 박리용 칼날(360)의 선단부가 도 19의 (a)처럼 필름과 유리 사이의 앞쪽에 배치된다.In the state where the glass and the film are respectively adsorbed by the glass gripping module 105 and the inclined separation module 130, when the peeling process between the film and the glass is started, the blade 360 for peeling the film is first performed by the Z-axis transfer part 375. The tip of is placed in front of the film and the glass as shown in Fig. 19A.

다음, Y축 이송부(374)에 인해 도 19의 (b)처럼 필름 박리용 칼날(360)의 선단부가 필름과 유리 사이로 진입되며, 이후에 X축 이송부(373)에 인해 필름과 유리의 앞쪽 변의 전체 영역이 초기 박리된다.Next, the front end of the film peeling blade 360 enters between the film and the glass as shown in FIG. 19B due to the Y-axis feeder 374, and then the front side of the film and the glass due to the X-axis feeder 373. The entire area is initially peeled off.

필름과 유리 간의 초기 박리가 진행된 이후, 유리 파지모듈(105)과 경사 분리모듈(130)이 해당 경로를 따라 구동되면, 특히, 필름을 흡착한 경사 분리모듈(130)이 유리 파지모듈(105)에 대하여 경사진 방향으로 필름을 끌고 가면, 초기 박리가 완료된 유리와 필름은 유리 파지모듈(105)과 경사 분리모듈(130)의 동작에 의해 완전 박리될 수 있게 된다.After the initial peeling between the film and the glass, the glass gripping module 105 and the inclined separation module 130 is driven along the path, in particular, the inclined separation module 130 that adsorbed the film is the glass gripping module 105 When the film is dragged in an inclined direction with respect to the film, the glass and the film in which the initial peeling is completed may be completely peeled off by the operation of the glass gripping module 105 and the inclined separation module 130.

이와 같은 동작에 의해 유리가 제거된 유리제거필름은 전술한 실시예의 설명처럼 서포트 피크 플레이트(173)를 통해 언로딩 유닛(170)으로 향한 후에, 언로딩 유닛(170) 및 포크형 필름 이송 로봇(197)의 동작에 기초하여 후공정인 라미네이팅 공정으로 이송된다.The glass removing film from which the glass is removed by such an operation is directed to the unloading unit 170 through the support peak plate 173 as described in the above-described embodiment, and then the unloading unit 170 and the fork-type film transfer robot ( Based on the operation of 197, the process is transferred to a laminating process, which is a post process.

이와 같은 구조의 유리 제거작업 유닛(100a)이 적용되더라도 본 발명의 효과를 제공할 수 있다.Even if the glass removing operation unit 100a of such a structure is applied, the effect of the present invention can be provided.

도 20은 본 발명의 제3 실시예에 따른 평면디스플레이용 유리 제거장치의 평면 구조도이다.20 is a planar structural diagram of a glass removing apparatus for a flat panel display according to a third embodiment of the present invention.

전술한 제1 실시예의 경우, 로딩 유닛(101), 유리 제거작업 유닛(100) 및 언로딩 유닛(170) 모두가 갖춰진 구조였지만 본 실시예의 평면디스플레이용 유리 제거장치는, 유리 제거작업 유닛(100)과 언로딩 유닛(170a)만이 갖춰진 구조를 갖는다.In the first embodiment described above, the loading unit 101, the glass removing unit 100 and the unloading unit 170 were all equipped, but the glass removing unit for the flat panel display of the present embodiment is the glass removing unit 100 ) And the unloading unit 170a only.

이 경우, 언로딩 유닛(170a)은, 유리 제거작업 유닛(100)으로 유리합착기판을 로딩시키고(화살표 B 참조) 유리 제거작업 유닛(100)으로부터 유리제거필름을 다시 언로딩시키는(화살표 C 참조) 로딩 겸용 언로딩 유닛(170a)으로 적용된다.In this case, the unloading unit 170a loads the glass-bonded substrate into the glass removing unit 100 (see arrow B) and unloads the glass removing film from the glass removing unit 100 again (see arrow C). ) Is applied to the unloading unit 170a.

도 20과 같은 구조가 적용되더라도 필름에 유리가 합착된 유리합착필름을 유리가 제거된 유리제거필름으로 제작하는 유리 제거작업 라인으로부터 예컨대, 라미네이팅 공정 등의 후공정으로 유리제거필름을 손상 없이 용이하고 효율적으로 이송시킬 수 있다.Even if the structure shown in FIG. 20 is applied, the glass removal film is easily removed without damaging the glass removing film by a post-process, such as a laminating process, from a glass removing work line for producing a glass-bonded film in which glass is bonded to the film as a glass removing film. It can be transported efficiently.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Accordingly, such modifications or variations are intended to fall within the scope of the appended claims.

100,100a : 유리 제거작업 유닛 101 : 로딩 유닛
105 : 유리 파지모듈 110 : 유리 파지부재
121 : Z축 트랜스퍼 122 : X축 트랜스퍼
123 : Y축 트랜스퍼 130 : 경사 분리모듈
130a : 직선 구간부 130b : 경사 구간부
140 : 다공질 이송벨트 141 : 진공홀
150 : 진공 챔버 160 : 이오나이저
170 : 언로딩 유닛 173 : 서포트 피크 플레이트
175 : 업/다운 구동부 180 : 필름 부상 모듈
181 : 필름 부상 단위모듈 190 : 필름 흡착용 이송 모듈
197 : 필름 이송 로봇
100,100a: glass removing unit 101: loading unit
105: glass holding module 110: glass holding member
121: Z-axis transfer 122: X-axis transfer
123: Y-axis transfer 130: inclined separation module
130a: straight section 130b: inclined section
140: porous transfer belt 141: vacuum hole
150: vacuum chamber 160: ionizer
170: unloading unit 173: support peak plate
175: up / down drive unit 180: film floating module
181: film floating unit module 190: film adsorption transfer module
197: film transfer robot

Claims (23)

필름(EL)의 일면에 유리(glass)가 합착된 유리합착필름으로부터 상기 유리가 제거된 유리제거필름으로 제작되는 작업 라인인 유리 제거작업 라인을 형성하는 유리 제거작업 유닛; 및
상기 유리 제거작업 유닛을 따라 이송되는 상기 유리제거필름을 미리 결정된 높이만큼 부상시켜 상기 유리제거필름의 처짐을 저지시키는 필름 부상 모듈과, 상기 필름 부상 모듈에 이웃하게 배치되고 상기 필름 부상 모듈에 의해 미리 결정된 높이만큼 부상된 상기 유리제거필름의 일 영역을 흡착하여 후공정으로 이송시키는 필름 흡착용 이송 모듈을 구비하는 언로딩 유닛(unloading unit)을 포함하며,
상기 필름 흡착용 이송 모듈은,
상기 유리제거필름을 흡착하는 포러스 벨트(porous belt);
상기 포러스 벨트가 폐루프 형태로 권취되는 구동 스프로켓 및 피동 스프로켓; 및
상기 구동 스프로켓 쪽에 연결되는 피딩 모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 유리 제거장치.
A glass removing operation unit forming a glass removing operation line which is a working line made of the glass removing film from which the glass is removed from the glass bonding film in which glass is bonded to one surface of the film EL; And
A film floating module which floats the glass removing film conveyed along the glass removing operation unit by a predetermined height to prevent the deflection of the glass removing film, and is disposed adjacent to the film floating module and is in advance by the film floating module. And an unloading unit having a film adsorption transport module for adsorbing a region of the glass removing film floated by a determined height and transporting it to a post process.
The film adsorption transfer module,
A porous belt adsorbing the glass removing film;
A drive sprocket and a driven sprocket on which the porous belt is wound in a closed loop shape; And
And a feeding motor connected to the drive sprocket.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 언로딩 유닛은 상기 필름 흡착용 이송 모듈을 업/다운(up/down) 구동시키는 업/다운 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 유리 제거장치.
The method of claim 1,
The unloading unit further comprises an up / down driving unit for up / down driving the transport module for adsorption of the film.
제1항에 있어서,
상기 필름 부상 모듈은 상호간 이격되고 나란하게 배치되는 다수의 필름 부상 단위모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 유리 제거장치.
The method of claim 1,
The film floating module is a glass removing device for a flat display, characterized in that it comprises a plurality of film floating unit modules spaced apart from each other and arranged side by side.
제4항에 있어서,
상기 필름 부상 단위모듈은,
상기 유리제거필름을 향한 일면에 압축공기가 분사되는 다수의 공기분사공이 형성되는 상부 몸체;
상기 상부 몸체와 결합되고 상기 상부 몸체와의 사이에 공기유동공간을 형성하는 하부 몸체; 및
상기 공기유동공간 내에 배치되어 상기 공기분사공을 향해 압축공기를 발생시키는 송풍팬을 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 유리 제거장치.
5. The method of claim 4,
The film floating unit module,
An upper body having a plurality of air spraying holes through which compressed air is sprayed on one surface of the glass removing film;
A lower body coupled to the upper body and forming an airflow space therebetween; And
And a blower fan disposed in the air flow space to generate compressed air toward the air spraying hole.
제5항에 있어서,
상기 상부 몸체는 상기 다수의 공기분사공이 형성되는 에어로 픽스 재질로 제작되는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 유리 제거장치.
The method of claim 5,
The upper body is a glass removal device for a flat display, characterized in that the aero-fix material is formed a plurality of air injection holes are formed.
제4항에 있어서,
상기 필름 흡착용 이송 모듈은 상기 필름 부상 단위모듈들의 양쪽 사이드에 상기 필름 부상 단위모듈들과 나란하게 한 쌍으로 마련되는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 유리 제거장치.
5. The method of claim 4,
The film adsorption transfer module is a glass removing device for a flat panel display, characterized in that provided on both sides of the film floating unit modules in pairs in parallel with the film floating unit modules.
제4항에 있어서,
상기 언로딩 유닛에 이웃하게 배치되며, 상기 언로딩 유닛 상의 유리제거필름을 후공정인 라미네이팅 공정으로 이송시키는 필름 이송 로봇을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 유리 제거장치.
5. The method of claim 4,
And a film transfer robot disposed adjacent to the unloading unit and transferring the glass removing film on the unloading unit to a laminating process, which is a post-process.
제8항에 있어서,
상기 필름 이송 로봇은 상기 필름 부상 단위모듈들 사이사이로 진공 아암(vacuum arm)이 배치되는 포크형 필름 이송 로봇인 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 유리 제거장치.
9. The method of claim 8,
And the film transfer robot is a fork-type film transfer robot having a vacuum arm disposed between the film floating unit modules.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 유리 제거작업 유닛과 상기 언로딩 유닛 사이에는 상기 유리제거필름의 처짐을 저지시키는 서포트 피크 플레이트(support peek plate)가 더 개재되는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 유리 제거장치.
The method of claim 1,
And a support peak plate for preventing deflection of the glass removing film between the glass removing operation unit and the unloading unit.
제1항에 있어서,
상기 유리 제거작업 유닛을 사이에 두고 상기 언로딩 유닛의 반대편에 배치되어 상기 유리합착필름을 상기 유리 제거작업 유닛으로 로딩시키는 로딩 유닛(loading unit)을 더 포함하며,
상기 로딩 유닛, 상기 유리 제거작업 유닛 및 상기 언로딩 유닛은 인라인화(In-Line)된 작업 라인을 형성하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 유리 제거장치.
The method of claim 1,
And a loading unit disposed opposite the unloading unit with the glass removing unit interposed therebetween to load the glass bonding film into the glass removing unit.
And said loading unit, said glass removing operation unit and said unloading unit form an in-line working line.
제12항에 있어서,
상기 로딩 유닛은 상기 언로딩 유닛과 동일한 구조를 가지며,
상기 로딩 유닛과 상기 언로딩 유닛 중 적어도 어느 하나의 양측면에는 센터링 부재가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 유리 제거장치.
The method of claim 12,
The loading unit has the same structure as the unloading unit,
And at least one side surface of at least one of the loading unit and the unloading unit is further provided with a centering member.
제1항에 있어서
상기 언로딩 유닛은, 상기 유리 제거작업 유닛으로 유리합착기판을 로딩시키고 상기 유리 제거작업 유닛으로부터 상기 유리제거필름을 다시 언로딩시키는 로딩 겸용 언로딩 유닛인 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 유리 제거장치.
The method of claim 1, wherein
And said unloading unit is a loading and unloading unit for loading and unloading a glass bonding substrate into said glass removing operation unit and unloading said glass removing film again from said glass removing operation unit.
제1항에 있어서,
상기 유리 제거작업 유닛은,
상기 유리합착필름에 대하여 상기 필름으로부터 제거될 상기 유리를 파지하는 유리 파지모듈; 및
상기 유리에 대하여 상기 필름을 미리 결정된 각도로 경사지게 이송시키면서 상기 유리 파지모듈과 함께 상기 필름과 상기 유리를 분리시키는 경사 분리모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 유리 제거장치.
The method of claim 1,
The glass removal unit,
A glass holding module for holding the glass to be removed from the film with respect to the glass-bonded film; And
And an inclined separation module for separating the film and the glass together with the glass gripping module while transferring the film inclined at a predetermined angle with respect to the glass.
제15항에 있어서,
상기 유리 파지모듈은,
상기 유리를 흡착하여 파지하는 유리 파지부재; 및
상기 유리 파지부재와 연결되고 상기 유리 파지부재를 이동시키는 트랜스퍼를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 유리 제거장치.
16. The method of claim 15,
The glass gripping module,
A glass gripping member for absorbing and gripping the glass; And
And a transfer member connected to the glass gripping member and moving the glass gripping member.
제16항에 있어서,
상기 트랜스퍼는,
상기 유리 파지부재를 상기 경사 분리모듈에 대해 상하 방향인 Z축으로 이동시키는 Z축 트랜스퍼;
상기 유리 파지부재를 상기 경사 분리모듈의 이송 방향인 X축으로 이동시키는 X축 트랜스퍼; 및
상기 X축 트랜스퍼에 교차되는 방향인 Y축으로 상기 유리 파지부재를 이동시키는 Y축 트랜스퍼를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 유리 제거장치.
17. The method of claim 16,
Wherein the transfer comprises:
Z-axis transfer to move the glass holding member to the Z axis in the vertical direction with respect to the inclined separation module;
An X axis transfer to move the glass gripping member to an X axis which is a conveying direction of the inclined separation module; And
And a Y axis transfer to move the glass gripping member in a Y axis that is a direction crossing the X axis transfer.
제15항에 있어서,
상기 경사 분리모듈은, 유리 분리용 포로스 경사 컨베이어이며,
상기 유리 분리용 포로스 경사 컨베이어는,
상기 유리 파지모듈이 동작되어 상기 유리를 파지하되 상기 유리와 상기 필름이 직선형으로 함께 이동되는 직선 구간부; 및
상기 직선 구간부에 대해 미리 결정된 각도만큼 경사지게 마련되어 상기 유리가 제거된 필름이 단독으로 이동되는 경사 구간부를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 유리 제거장치.
16. The method of claim 15,
The inclined separation module is a glass inclined conveyor for separating,
The glass separating inclined conveyor,
A straight section portion in which the glass gripping module is operated to hold the glass but the glass and the film are moved together in a straight line; And
And an inclined section portion provided to be inclined by a predetermined angle with respect to the straight section portion, wherein the film from which the glass is removed is moved alone.
제18항에 있어서,
상기 직선 구간부와 상기 경사 구간부는 일체형으로 마련되거나 각각 별도로 마련되어 상호간 상대 회전 가능하게 연결되는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 유리 제거장치.
19. The method of claim 18,
The straight section portion and the inclined section portion is provided in one piece or separately provided for each of the flat display glass removal device, characterized in that connected to each other rotatably.
제18항에 있어서,
상기 유리 분리용 포로스 경사 컨베이어는,
표면에 다수의 진공홀이 형성되며, 상기 진공홀에 형성되는 진공압에 의해 상기 필름이 안착 지지되어 이송되는 다공질 이송벨트; 및
상기 다공질 이송벨트의 하부에 형성되는 진공 챔버를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 유리 제거장치.
19. The method of claim 18,
The glass separating inclined conveyor,
A porous conveyance belt having a plurality of vacuum holes formed on a surface thereof, wherein the film is seated and supported by a vacuum pressure formed in the vacuum hole; And
And a vacuum chamber formed under the porous transport belt.
제15항에 있어서,
상기 경사 분리모듈에 인접 배치되어 상기 유리쪽으로 정전기 발생 방지유체를 분사하는 이오나이저를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 유리 제거장치.
16. The method of claim 15,
And an ionizer disposed adjacent to the inclined separation module and injecting an antistatic fluid into the glass.
제15항에 있어서,
상기 필름과 상기 유리 사이로 삽입되어 상기 유리에 대해 상기 필름을 초기 박리시키는 필름 초기 박리유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 유리 제거장치.
16. The method of claim 15,
And a film initial peeling unit inserted between the film and the glass to initially peel the film to the glass.
제22항에 있어서,
상기 필름 초기 박리유닛은,
상기 필름과 상기 유리 사이로 삽입되는 필름 박리용 칼날; 및
상기 유리 파지모듈에 결합되어 상기 필름 박리용 칼날을 이동 가능하게 지지하는 칼날 지지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이용 유리 제거장치.
The method of claim 22,
The film initial peeling unit,
A film peeling blade inserted between the film and the glass; And
And a blade support portion coupled to the glass gripping module to move the film peeling blade.
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