JP6092710B2 - シリンダ装置 - Google Patents

Description

この発明は、ピストン等の可動部材の移動位置を検出する機能を付設したシリンダ装置に関し、より具体的にいえば、ワーク用のクランプに利用するのに好適なシリンダ装置に関する。

この種の検出機能付きシリンダ装置には、従来では、特許文献１（日本国・特開昭６０−１２９４１０号公報）に記載されたものがある。
その従来公報の第５図には、ハウジングにピストンを左右方向へ移動可能に挿入し、そのピストンの左右の移動位置を確認する検出弁を上記ハウジングの左右の端壁にそれぞれ配置し、各検出弁の検出ロッドを上記ピストンによって操作する構造が記載されている。

特開昭６０−１２９４１０号公報

上記の従来技術では、ハウジングの左右の端壁にそれぞれ検出弁を配置したので、左方の端壁をテーブル等の固定台に取付けた場合には、その左方の検出弁にアクセスすることが困難になり、その左方の検出弁のメンテナンスに手間がかかる。
また、上記の従来技術では、ピストンに対して検出弁の検出ロッドが直列状に配置されるので、その検出弁の配置上の自由度が制限されていた。
本発明の目的は、検出弁のメンテナンスが容易なシリンダ装置を提供することにある。
また、本発明の別の目的は、検出弁の配置上の自由度を向上できるシリンダ装置を提供することにある。

上記の目的を達成するため、第１発明は、例えば、図１Ａから図５Ｂに示すように、シリンダ装置を次のように構成した。
ハウジング１内に環状のピストン１０を昇降可能に挿入する。そのピストン１０の筒孔１０ａに出力ロッド１５を挿入すると共に当該出力ロッド１５を前記ハウジング１の上壁２に挿入する。前記ピストン１０の上側に配置された駆動室１１に駆動用の加圧流体が供給および排出される。そして、前記ピストン１０を前記出力ロッド１５に対して昇降させることによって当該出力ロッド１５が旋回するように構成される。また、前記出力ロッド１５の外周側で前記の上壁２に、下降検出用の第１検出弁３１及び上昇検出用の第２検出弁３２を周方向へ所定の間隔をあけて配置する。前記駆動室１１の近傍で前記第１検出弁３１及び前記第２検出弁３２に、それぞれ第１被操作部４９及び第２被操作部７９を設ける。前記出力ロッド１５と前記ピストン１０の両者のうちの一方に第１被操作部４９を連動可能に配置すると共に、前記両者のうちの他方に第２被操作部７９を連動可能に配置する。前記第１検出弁３１及び前記第２検出弁３２の各入口３１ａ，３２ａに第１供給路Ｂ１及び第２供給路Ｂ２を介して検出用の加圧エアを供給する。

上記の第１発明は、次の作用効果を奏する。
ハウジングの上壁に挿入された出力ロッドの外周側で、当該上壁に、下降検出用の第１検出弁と上昇検出用の第２検出弁との２つの検出弁を配置したので、そのハウジングの下壁をテーブル等の固定台に取付けたり、当該ハウジングの下半部を固定台の取付け穴に挿入した場合などでも、上記２つの検出弁に上横側や上側からアクセスすることが可能となる。このため、検出弁のメンテナンスに手間がかからない。
しかも、上記２つの検出弁は、上壁内に設置される際に、その上壁の余剰空間を設置スペースとして利用可能なので、シリンダ装置をコンパクトな状態に維持できる。
従って、検出弁のメンテナンスが容易でコンパクトなシリンダ装置を提供できる。

また、前記の目的を達成するため、第２発明は、例えば、図３Ａと図３Ｂに示すように、シリンダ装置を次のように構成した。
ハウジング１内にピストン１０を昇降可能に挿入し、そのピストン１０の上側に、駆動用の加圧流体が供給および排出される駆動室１１を配置する。前記ハウジング１の上壁２に出力ロッド１５を挿入し、前記駆動室１１へ供給された加圧流体が前記ピストン１０を介して前記出力ロッド１５を下降駆動するように構成する。前記出力ロッド１５の外周側で前記の上壁２に、下降検出用の第１検出弁３１及び上昇検出用の第２検出弁３２を周方向へ所定の間隔をあけて配置する。前記駆動室１１の近傍で前記第１検出弁３１及び前記第２検出弁３２に、第１被操作部４９及び第２被操作部７９をそれぞれ設ける。これら第１被操作部４９及び第２被操作部７９を、前記ピストン１０と前記出力ロッド１５とのうちのいずれか一方に連動可能に配置する。前記第１検出弁３１及び前記第２検出弁３２の各入口３１ａ，３２ａに第１供給路Ｂ１及び第２供給路Ｂ２を介して検出用の加圧エアを供給する。

上記の第２発明は、次の作用効果を奏する。
ハウジングの上壁に挿入された出力ロッドの外周側で、当該上壁に、下降検出用の第１検出弁と上昇検出用の第２検出弁との２つの検出弁を配置したので、そのハウジングの下壁をテーブル等の固定台に取付けたり、当該ハウジングの下半部を固定台の取付け穴に挿入した場合などでも、上記２つの検出弁に上横側や上側からアクセスすることが可能となる。このため、検出弁のメンテナンスに手間がかからない。
しかも、上記２つの検出弁は、上壁内に設置される際に、その上壁の余剰空間を設置スペースとして利用可能なので、シリンダ装置をコンパクトな状態に維持できる。
従って、検出弁のメンテナンスが容易でコンパクトなシリンダ装置を提供できる。

上記の各発明においては、前記の上壁２を平面視で長方形状または正方形状に形成し、その上壁２の周方向の４辺に対応する４つの壁部分のうちのいずれかの壁部分に、前記駆動室１１へ連通される給排路２１を形成し、前記４つの壁部分のうちの前記給排路２１を形成した壁部分を除いた壁部分のいずれかに、前記第１検出弁３１及び第２検出弁３２を設けることが好ましい。
上記構成によれば、シリンダ装置をさらにコンパクトに造れる。

また、上記発明においては、前記の上壁２は取付け用のフランジ７を有し、そのフランジ７の外周部の下面に形成した据付面７ａに、前記給排路２１へ連通される給排ポートＰ１を開口させることが好ましい。
上記構成によれば、駆動用の加圧流体の給排システムを簡素に構成できる。

さらに、上記発明においては、前記第１検出弁３１及び前記第２検出弁３２の下方位置で前記据付面７ａに、前記第１供給路Ｂ１及び前記第２供給路Ｂ２に連通される第１供給ポートＡ１及び第２供給ポートＡ２を開口させることが好ましい。
上記構成によれば、検出用の加圧エアの供給システムを簡素に構成できる。

また、前記の第１発明においては、下記のように構成することが好ましい。
即ち、前記出力ロッド１５は第１操作部２３ａを有し、その第１操作部２３ａは、前記出力ロッド１５が下降位置から上限位置またはその近傍位置へ移動したときに前記第１被操作部４９を外方へ押して当該第１検出弁３１を開弁させると共に、前記出力ロッド１５が前記の上限位置から所定の第１ストロークＳ１下降したときに前記第１被操作部４９が内方へ移動するのを許容して前記第１検出弁３１を閉弁させる。また、前記ピストン１０は第２操作部１０ｂを有し、その第２操作部１０ｂは、前記ピストン１０が下降位置から上限位置またはその近傍位置へ移動したときに前記第２被操作部７９を外方へ押して当該第２検出弁３２を閉弁させると共に、前記ピストン１０が前記の上限位置から所定の第２ストロークＳ２下降したときに前記被操作部７９が内方へ移動するのを許容して当該第２検出弁３２を開弁させる。
上記構成によれば、下降位置と上昇位置とを確実に区分けして検出できる。

また、前記の第２発明においては、下記のように構成してもよい。
前記出力ロッド１５とピストン１０とのいずれか一方に、第１操作部２３ａ及び第２操作部１０ｂを設ける。当該出力ロッド１５とピストン１０とのいずれか一方が上限位置またはその近傍位置から所定量だけ下降したときに、前記第１操作部２３ａは前記第１検出弁３１が閉じるのを許容するように構成する。また、当該出力ロッド１５とピストン１０とのいずれか一方が下降位置から所定量だけ上昇したときに、前記第２操作部１０ｂが前記第２被操作部７９を介して前記第２検出弁３２を閉じるように構成する。

さらに、上記各発明においては、下記のように構成することが好ましい。
前記の第１被操作部４９と前記の第１操作部２３ａとの間に、その第１操作部２３ａの上昇移動を横方向への移動に変換する第１伝動部材４０を設ける。また、前記の第２被操作部７９と前記の第２操作部１０ｂとの間に、その第２操作部１０ｂの上昇移動を横方向への移動に変換する第２伝動部材７０を設ける。
上記構成によれば、各操作部が各伝動部材と各被操作部とを介して各検出弁を確実に操作できる。

また、上記発明においては、前記駆動室１１の上部に連通される第１伝動室３７及び第２伝動室６７に、ボールからなる前記第１伝動部材４０及び第２伝動部材７０をそれぞれ挿入し、前記第１伝動部材４０及び第２伝動部材７０が前記第１伝動室３７及び第２伝動室６７から前記駆動室１１へ脱落するのを防止するためのストッパー部３７ａ，６７ａを設けることが好ましい。
上記構成によれば、伝動部材を伝動室に保持する構造を簡素にできる。

また、前記の別の目的を達成するため、第３発明は、例えば図１Ａから図５Ｂに示すように、シリンダ装置を次のように構成した。
ハウジング１内に昇降可能に挿入された環状のピストン１０と、そのピストン１０の筒孔１０ａに挿入されると共に前記ハウジング１の上壁２に挿入された出力ロッド１５と、前記ピストン１０の上側に配置されると共に駆動用の加圧流体が供給および排出される駆動室１１とを備え、前記ピストン１０を前記出力ロッド１５に対して昇降させることによって当該出力ロッド１５が旋回するように構成する。また、前記ハウジング１の上部に横向きに配置された上昇検出用の検出弁３２と、前記ピストン１０と前記出力ロッド１５との一方に設けた操作部１０ｂと、前記駆動室１１の近傍で前記操作部１０ｂに連動可能なように前記検出弁３２に設けた被操作部７９と、前記駆動室１１の上部へ連通する伝動室６７に挿入されると共に前記操作部１０ｂの上昇移動を前記被操作部７９の横方向への移動に変換する伝動部材７０と、前記検出弁３２の入口３２ａに検出用の加圧エアを供給する供給路Ｂ２と、を備える。
上記の第３発明によれば、操作部の上昇移動が伝動部材を介して被操作部の横方向への移動に変換されるので、検出弁を横向きに配置することが可能となり、その検出弁の配置上の自由度が向上する。

さらに、前記の別の目的を達成するため、第４発明は、例えば図３Ａと図３Ｂに示すように、シリンダ装置を次のように構成した。
ハウジング１内に昇降可能に挿入されたピストン１０と、そのピストン１０の上側に配置されると共に駆動用の加圧流体が供給および排出される駆動室１１と、前記ハウジング１の上壁２に挿入された出力ロッド１５とを備える。前記駆動室１１へ供給された加圧流体が前記ピストン１０を介して前記出力ロッド１５を下降駆動するように構成する。また、前記ハウジング１の上部に横向きに配置された上昇検出用の検出弁３２と、前記ピストン１０と前記出力ロッド１５との一方に設けた操作部１０ｂと、前記駆動室１１の近傍で前記操作部１０ｂに連動可能なように前記検出弁３２に設けた被操作部７９と、前記駆動室１１の上部へ連通する伝動室６７に挿入されると共に前記操作部１０ｂの上昇移動を前記被操作部７９の横方向への移動に変換する伝動部材７０と、前記検出弁３２の入口３２ａに検出用の加圧エアを供給する供給路Ｂ２と、を備える。
上記の第４発明は、前記の第３発明と同様の作用効果を奏する。

前記の第３発明または第４発明においては、ボールからなる前記伝動部材（７０）が前記伝動室（６７）から前記駆動室（１１）へ脱落するのを防止するためのストッパー部（６７ａ）を設けることが好ましい。

なお、上述した各発明において、前記第１検出弁と第２検出弁（検出弁）などの各開閉弁は、ポペット弁とスプール弁とのいずれかによって構成することが好ましい。

図１Ａは、本発明のシリンダ装置を利用したワーク用クランプを示し、そのクランプのアンクランプ状態の立面図であって、図２Ａ中の１Ａ−１Ａ線の断面図に相当する図である。図１Ｂは、前記図２Ａ中の１Ｂ−１Ｂ線の断面図に相当する図であって、前記図１Ａに類似する図である。図１Ｃは、前記図１Ｂ中の１Ｃ−１Ｃ線の断面図である。 図２Ａは、前記図１Ａの平面図である。図２Ｂは、図２Ａの右側面に相当する図である。図２Ｃは、前記図１Ａ中の２Ｃ−２Ｃ線の断面図に相当すると共に、図１Ｂ中の２Ｃ−２Ｃ線の断面図に相当する図である。 図３Ａは、前記クランプのクランプ状態を示し、前記図１Ａに類似する図である。図３Ｂも、当該クランプのクランプ状態を示し、前記図１Ｂに類似する図である。図３Ｃは、前記図３Ｂ中の３Ｃ−３Ｃ線の断面図である。 図４Ａは、前記図１Ａの部分拡大図であって、前記アンクランプ状態における下降検出用の第１検出弁を示している。図４Ｂは、前記図３Ａの部分拡大図であって、前記クランプ状態における第１検出弁を示している。 図５Ａは、前記図１Ｂの部分拡大図であって、前記アンクランプ状態における上昇検出用の第２検出弁を示している。図５Ｂは、前記図３Ｂの部分拡大図であって、前記クランプ状態における第２検出弁を示している。

以下、本発明の一実施形態を図１Ａから図５Ｂによって説明する。
この実施形態では、シリンダ装置をワーク固定用の水平スイングクランプに適用した場合を例示してある。まず、主として図１Ａから図２Ｃに基づいて上記クランプの全体構造を説明する。

固定台としてのテーブルＴにハウジング１が取付けられる。そのハウジング１は、一端壁としての上壁２と、他端壁としての下壁３と、上下方向へ延びる胴壁４と、その胴壁４及び上壁２の内側に形成されたシリンダ孔５とを備える。上壁２は、その外周部に取付け用のフランジ７を有し、平面視で長方形状に形成される。上記フランジ７の４隅部分にボルト孔８が上下方向に貫通される。各ボルト孔８に挿入した締結ボルト（図示せず）により、上記フランジ７の下面に形成した据付面７ａがテーブルＴの上面に固定される。

シリンダ孔５に環状のピストン１０が昇降可能で保密状に挿入される。そのピストン１０の上側と下側には、クランプ用の第１駆動室１１とアンクランプ用の第２駆動室１２とが配置される。
また、上壁２の周方向の４辺に対応する４つの壁部分のうちの平面視で左側の壁部分には、第１駆動室１１へ連通される第１給排路２１が形成されると共に、第２駆動室１２へ連通される第２給排路２２が形成される。
さらに、上壁２の上記の左側の壁部分において、前記据付面７ａに、第１給排路２１へ連通される第１給排ポートＰ１が開口されると共に、第２給排路２２へ連通される第２給排ポートＰ２が開口される。上記の第１駆動室１１及び第２駆動室１２に対して、それぞれ、第１給排ポートＰ１及び第２給排ポートＰ２と、第１給排路２１及び第２給排路２２とを介して、圧油（駆動用の加圧流体）が供給および排出される。

上壁２の中央部に設けた貫通孔１４と前記ピストン１０の筒孔１０ａとに出力ロッド１５が挿入される。その出力ロッド１５の上部にクランプアーム１６がナット１７で固定される。上記出力ロッド１５の外周側で前記の上壁２には、封止部材１８とスクレーパ１９とが装着されている。また、上記出力ロッド１５の途中高さ部に設けたフランジ２３が上壁２の下面に回転自在に受け止め可能とされる。
前記シリンダ孔５は、上半部の小径孔５ａと下半部の大径孔５ｂとを備える。そのシリンダ孔５と上記出力ロッド１５との間の環状空間に、前記ピストン１０が、外封止部材２４及び内封止部材２５を介して、軸心方向（ここでは上下方向）へ移動可能かつ軸心回りに回転可能で保密状に挿入される。

ピストン１０の外周部には、３つのガイド溝２６が周方向へほぼ等間隔に形成される。また、各ガイド溝２６に嵌合する係合ボール（係合具）２７が、前記小径孔５ａの内周壁の下部に形成した凹穴２８に支持される。上記ガイド溝２６は、螺旋状の旋回溝２６ｂと直進溝２６ａとを上向きに連ねて形成されている（図３Ａを参照）。

出力ロッド１５とピストン１０との間に伝動機構２９が設けられる。その伝動機構２９は、上記出力ロッド１５とピストン１０とが軸心回りに相対回転するのを防止すると共に軸心方向へ相対移動するのを許容するように配置されており、この実施形態では次のように構成されている。
図３Ａ及び図３Ｂに示すように、上記出力ロッド１５の下寄り部の外周部に、上下方向へ延びる３つの伝動溝２９ａが周方向へほぼ等間隔に形成される。各伝動溝２９ａに嵌合される伝動ボール２９ｂが前記ピストン１０に設けられる。また、出力ロッド１５の下寄り部には、ピストン１０の下部に対面する被駆動部１５ａが設けられる。

上記出力ロッド１５において、前記の封止部材１８によって前記の上壁２に封止された部分の直径を、前記の内封止部材２５によってピストン１０に封止された部分の直径よりも大きい値に設定している。これにより、出力ロッド１５の上寄り部の受圧断面積が下寄り部の受圧断面積よりも大きい値になり、前記第１駆動室１１の圧油から作用する上下方向の差力によって、出力ロッド１５が図１Ａ及び図１Ｂに示すアンクランプ上昇位置に押上げられる。即ち、この実施形態では、上記出力ロッド１５に作用する上記の上向き差力によって、その出力ロッド１５をアンクランプ上昇位置に保持する機構が構成されている。
また、ピストン１０の環状の受圧断面積は、それに作用する下向き力が、出力ロッド１５に作用する上記の上向きの差力よりも大きくなるように設定されている。

上記出力ロッド１５のアンクランプ上昇位置での旋回中に当該出力ロッド１５が下降するのを阻止すると共に上記出力ロッド１５が後述の直進下降時に下降するのを許容する誤動作防止機構Ｅが設けられる。この誤動作防止機構Ｅは次のように構成されている。

前記ハウジング１の前記の下壁３に平面視で円形の収容穴３ａと長円形状に形成した嵌合穴３ｂとが上下に設けられる。前記出力ロッド１５の下端部には、上記の嵌合穴３ｂに対応して、平面視で長円形状に形成した嵌合部１５ｂが設けられる。そして、図１Ａ及び図１Ｂのアンクランプ状態では、上記の嵌合穴３ｂの長軸に対して嵌合部１５ｂの長軸が直交するようになっている（図１Ｃ参照）。また、その図１Ａ及び図１Ｂのアンクランプ状態では、上記の嵌合部１５ｂの下面と上記の嵌合穴３ｂの周壁の上面との間には僅かな隙間Ｇが形成されている。

そして、上記出力ロッド１５が上記アンクランプ上昇位置での旋回中に何らかの原因によって下降したときには、上記の嵌合部１５ｂの下面が上記の嵌合穴３ｂの周壁によって受け止められ、上記出力ロッド１５の下降が阻止される。これに対して、上記出力ロッド１５の後述の直進下降時には、嵌合部１５ｂが嵌合穴３ｂに嵌入されるようになっている（後述の図３Ｂと図３Ｃを参照）。

前記の上壁２において、前記４つの壁部分のうちの平面視で右側の壁部分で出力ロッド１５の外周側に、下降検出用の第１検出弁３１と上昇検出用の第２検出弁３２とが周方向へ所定の間隔をあけて設けられる。これら第１検出弁３１及び第２検出弁３２の各軸心は、この実施形態では、ほぼ水平に配置されているが、下方へ向かうにつれてピストン１０の軸心に近づくように傾斜させてもよい。
また、上記の右側の壁部分において、前記据付面７ａには、検出用の加圧エアを供給するように、第１供給ポートＡ１と第２供給ポートＡ２とが開口される。第１供給ポートＡ１及び第２供給ポートＡ２は、それぞれ、第１供給路Ｂ１及び第２供給路Ｂ２を介して、前記第１検出弁３１及び第２検出弁３２の各入口３１ａ，３２ａに連通される。

以下、上記の第１検出弁３１と第２検出弁３２について詳しく説明する。
まず、下降検出用の第１検出弁３１について、主として図４Ａ及び図４Ｂに基づいて説明する。図４Ａは、前記図１Ａの部分拡大図である。図４Ｂは、前記図３Ａの部分拡大図である。

下降検出用の第１検出弁３１は、前記出力ロッド１５が図４Ｂの下降位置から図４Ａの上限位置へ移動する途中で前記フランジ２３に設けた第１操作部２３ａによって開弁される（図４Ａは、第１検出弁３１が既に全開された状態を示している）。また、その第１検出弁３１は、出力ロッド１５が図４Ａの上限位置から所定の第１ストロークＳ１だけ下降したときに閉弁される。より具体的にいえば、第１検出弁３１は、図４Ａ及び図４Ｂに示すように、次のように構成されている。

前記の上壁２に段付きの第１装着孔Ｍ１がほぼ水平に貫通される。その第１装着孔Ｍ１は、半径方向の外側から内側へ順に連通されたメネジ孔３４と大径孔３５と中径孔３６と小径の第１伝動室３７とを備える。第１装着孔Ｍ１に取付けられる第１ケーシングＣ１は、大径孔３５の下部に装着された弁筒３８と、メネジ孔３４に螺合された押筒３９とを備える。その押筒３９が弁筒３８を大径孔３５の底部に押し付けている。
第１伝動室３７には、ボールからなる第１伝動部材４０が水平方向へ移動自在に挿入される。

上記第１ケーシングＣ１に第１検出ロッド４１が挿入される。その第１検出ロッド４１は、中径孔３６に内封止部材４４を介して保密状に挿入された小径の内受圧部４５と、押筒３９の筒孔に外封止部材４６を介して保密状に挿入された大径の外受圧部４７と、これら内受圧部４５と外受圧部４７との間に設けた連結ロッド４８とを備える。外受圧部４７の受圧面積は、内受圧部４５の受圧面積よりも大きい値に設定されている。
内受圧部４５の左端部には第１被操作部４９が設けられる。外受圧部４７の右側に圧力室５１が形成される。その圧力室５１は、第１検出ロッド４１の軸心に沿って形成した貫通孔５２と第１伝動室３７とを介して、第１駆動室１１へ連通される。第１伝動室３７に挿入した前記第１伝動部材４０が第１駆動室１１へ脱落することは、第１伝動室３７の内周壁に設けたストッパー部３７ａによって防止されている。

前記の弁筒３８の筒孔の右部の周囲に環状の弁座５４が形成されると共に、前記の外受圧部４７の左部にポペット形の弁面５５が形成される。図４Ｂに示すように、前記第１検出ロッド４１が左方へ移動したときに前記弁面５５が弁座５４に接当可能に構成される。また、弁筒３８の筒孔と連結ロッド４８の外周面との間に環状の入口路５６が形成される。さらに、弁筒３８の周壁に縦孔５７が貫通され、その縦孔５７の上端部によって前記第１検出弁３１の入口３１ａが構成される。その入口３１ａは、前記の第１供給路Ｂ１を介して第１供給ポートＡ１へ連通される。

前記押筒３９の左端面には、周方向へ所定の間隔をあけて複数の放射溝５９が形成される。また、その押筒３９の外周面の左部と前記の大径孔３５の内周面との間に環状流路６０が形成され、その環状流路６０の途中部によって前記第１検出弁３１の出口３１ｂが構成される。主として図２Ｃに示すように、上記出口３１ｂが、排出路６１に設けた逆止弁６２を介して外気側へ連通される。その逆止弁６２は、弁座６２ａと、その弁座６２ａにボール６２ｂを付勢するバネ６２ｃとを備える。

上昇検出用の前記第２検出弁３２は、前記ピストン１０が下降位置から図５Ａの上限位置又はその近傍位置へ移動したときに当該ピストン１０によって閉弁される（図５Ａは、第２検出弁３２が既に全閉された状態を示している）。また、その第２検出弁３２は、前記ピストン１０が図５Ａの上限位置から所定の第２ストロークＳ２下降したときに（図５Ｂ中の一点鎖線図と二点鎖線図を参照）開弁される。
上記第２検出弁３２は、図５Ａ及び図５Ｂに示すように、前記の第１検出弁３１とほぼ同様に次のように構成されている。

前記の上壁２に段付きの第２装着孔Ｍ２がほぼ水平に貫通される。その第２装着孔Ｍ２は、半径方向の外方から内方へ順に連通されたメネジ孔６４と大径孔６５と中径孔６６と小径の第２伝動室６７とを備える。
第２装着孔Ｍ２に取付けられる第２ケーシングＣ２は、大径孔６５の左部に装着された弁筒６８と、メネジ孔６４に螺合された押筒６９とを備える。その押筒６９が弁筒６８を大径孔６５の底部に押し付けている。
第２伝動室６７には、ボールからなる第２伝動部材７０が水平方向へ移動自在に挿入される。

上記第２ケーシングＣ２に第２検出ロッド４２が挿入される。その第２検出ロッド４２は、中径孔６６に内封止部材７４を介して保密状に挿入された小径の内受圧部７５と、押筒６９の筒孔に外封止部材７６を介して保密状に挿入された大径の外受圧部７７と、これら内受圧部７５と外受圧部７７との間に設けた連結ロッド７８とを備える。外受圧部７７の受圧面積は、内受圧部７５の受圧面積よりも大きい値に設定されている。
内受圧部７５の左端部には第２被操作部７９が設けられる。外受圧部７７の右側に圧力室８１が形成される。その圧力室８１は、第２検出ロッド４２の軸心に沿って形成した貫通孔８２と第２伝動室６７とを介して、第１駆動室１１へ連通される。第２伝動室６７に挿入した前記第２伝動部材７０が第１駆動室１１へ脱落することは、その第２伝動室６７の内周壁に設けたストッパー部６７ａによって防止されている。

前記の弁筒６８の周壁に弁孔８４が上下方向へ貫通されると共に、連結ロッド７８の外周面にスプール形の弁面８５と環状の出口溝８６とが左右に形成される。図５Ａに示すように、第２検出ロッド４２が右方へ移動したときに弁面８５が弁孔８４を閉じるように構成される。
前記の弁孔８４の上端部によって第２検出弁３２の入口３２ａが構成される。その入口３２ａは、前記の第２供給路Ｂ２を介して第２供給ポートＡ２へ連通される。

前記弁筒６８の右端面に、周方向へ所定の間隔をあけて複数の放射溝８７が形成される。また、前記押筒６９の左端面に、周方向へ所定の間隔をあけて複数の放射溝８９が形成される。その押筒６９の外周面の左部と前記の大径孔６５の内周面との間に環状流路９０が形成され、その環状流路９０の途中部によって第２検出弁３２の出口３２ｂが構成される。その出口３２ｂが、前記排出路６１と前記逆止弁６２（図２Ｃを参照）を介して外気側へ連通される。

上記構成のクランプ装置は次のように作動する。
図１Ａから図１Ｃのアンクランプ状態では、上側の第１駆動室１１の圧油が排出されると共に下側の第２駆動室１２に圧油が供給されている。これにより、ピストン１０が上昇し、そのピストン１０の肩部１０ｃがシリンダ孔５の段部５ｃで受け止められ、当該ピストン１０が上限位置へ上昇されている。また、出力ロッド１５は、内封止部材２５の封止断面積に相当する受圧面積に作用する上向き力によって図１Ａのアンクランプ上昇位置に保持されている。

上記アンクランプ状態では、図１Ａに示す下降検出用の第１検出弁３１が開弁されている。より詳しくいえば、図４Ａに示すように、出力ロッド１５のフランジ２３に設けた第１操作部２３ａが第１伝動部材４０と被操作部４９を介して第１検出ロッド４１を右方へ押し、外受圧部４７の弁面５５が弁座５４から離れている。このため、第１供給ポートＡ１へ供給された加圧エアは、第１供給路Ｂ１と入口３１ａと環状の入口路５６と放射溝５９と出口３１ｂとを通って排出路６１へ流れ、その排出路６１の加圧エアが逆止弁６２のボール６２ｂを押し開いて外気側へ排出される（図２Ｃを参照）。

また、上記アンクランプ状態では、図１Ｂに示す上昇検出用の第２検出弁３２が閉弁されている。より詳しくいえば、図５Ａに示すように、ピストン１０の第２操作部１０ｂが第２伝動部材７０と被操作部７９を介して第２検出ロッド４２を右方へ押し、連結ロッド７８の弁面８５が弁孔８４を閉じている。このため、第２供給ポートＡ２の圧力が設定値に上昇し、その圧力上昇をセンサで検出することにより、クランプがアンクランプ状態であることを確認できる。

上記の図１Ａから図１Ｃのアンクランプ状態からクランプ状態に切り換えるときには、上記アンクランプ状態において、下側の第２駆動室１２の圧油を第２給排ポートＰ２から排出すると共に、第１給排ポートＰ１の圧油を上側の第１駆動室１１へ供給する。

すると、上記第１駆動室１１の圧力により、ピストン１０が前記ガイド溝２６の旋回溝２６ｂに沿って平面視で時計回りの方向へ旋回しながら下降していく。これにより、上記アンクランプ上昇位置に保持された出力ロッド１５（及びクランプアーム１６）が前記伝動ボール２９ｂ及び伝動溝２９ａを介して平面視で時計回りの方向へ水平旋回される。
次いで、上記ピストン１０が旋回用ストローク下降したときに、上記出力ロッド１５（及びクランプアーム１６）がほぼ９０度旋回すると共に、上記ピストン１０の下部が前記の被駆動部１５ａに接当する。これと同時に、上記出力ロッド１５の下端に設けた前記の嵌合部１５ｂと前記の嵌合穴３ｂとの位相が合致し（図３Ｃを参照）、その嵌合穴３ｂに上記の嵌合部１５ｂが対面する。

引き続いて、第１駆動室１１の圧力により、ピストン１０が前記ガイド溝２６の直進溝２６ａに沿って真っ直ぐに下降するので、図３Ａ（及び図３Ｂ）に示すように、そのピストン１０が被駆動部１５ａを介して出力ロッド１５を真っ直ぐに下降させていく。これにより、クランプアーム１６がワークピースを固定台の上面に押圧する（いずれも図示せず）。

上記ピストン１０及び出力ロッド１５の下降時には、下降検出用の第１検出弁３１と上昇検出用の第２検出弁３２とが次のように動作する。

第１駆動室１１へ供給された圧油がピストン１０を図５Ａの上限位置から下降させていくと、その第１駆動室１１の圧油が第２検出ロッド４２の貫通孔８２を通って圧力室８１へ供給され、その圧力室８１の圧油が第２検出ロッド４２を図５Ａの位置から左方へ移動させていく。
引き続いて、図５Ｂの二点鎖線図に示すように、ピストン１０が第２ストロークＳ２だけ下降したときに、連結ロッド７８の環状の出口溝８６が弁孔８４に対面して、第２検出弁３２が全開される。このため、第２供給ポートＡ２へ供給された加圧エアは、第２供給路Ｂ２と弁孔８４と出口溝８６と２つの放射溝８７，８９と環状流路９０とを通って前記排出路６１へ流れる。その排出路６１の加圧エアが逆止弁６２のボール６２ｂを押し開いて外気へ排出される（図２Ｃを参照）。

また、上記の下降駆動時には、第１駆動室１１から圧力室５１へ供給された圧油が第１検出ロッド４１を図４Ａの位置から左方へ移動させていく。引き続いて、図４Ｂの二点鎖線図に示すように、上記出力ロッド１５が第１ストロークＳ１だけ下降したときに、内受圧部４５の弁面５５が弁座５４に接当して、第１検出弁３１が全閉される。このため、第１供給ポートＡ１の加圧エアの圧力が設定値に上昇し、その圧力上昇をセンサで検出することにより、クランプがクランプ状態へ移行することを確認できる。

図３Ａから図３Ｃのクランプ状態から図１Ａから図１Ｃのアンクランプ状態へ切り換えるときには、上記クランプ状態において、上側の第１駆動室１１の圧油を排出すると共に下側の第２駆動室１２へ圧油を供給すればよい。これにより、前記の手順とは逆の手順でクランプ装置が作動する。
即ち、まず、上記ピストン１０及び出力ロッド１５が第２駆動室１２の油圧力によって真っ直ぐに上昇し、その出力ロッド１５の前記フランジ２３が前記の上壁２に受け止められる。次いで、図１Ａに示すように、回転しながら上昇する上記ピストン１０が出力ロッド１５を平面視で反時計回りの方向へ旋回させるのである。

上記ピストン１０及び出力ロッド１５の上昇時には、下降検出用の第１検出弁３１と上昇検出用の第２検出弁３２とが次のように動作する。

第２駆動室１２へ供給された圧油がピストン１０及び出力ロッド１５を下降位置から上昇させていくと、まず、図４Ｂの二点鎖線図に示すように、出力ロッド１５のフランジ２３に設けた第１操作部２３ａが第１伝動部材４０に接当する。引き続いて、図４Ａに示すように、第１操作部２３ａが第１伝動部材４０と第１検出弁３１の被操作部４９とを介して第１検出ロッド４１を右方へ移動させ、弁面５５を弁座５４から離間させる。このため、第１検出弁３１が全開し、第１供給ポートＡ１の加圧エアが外気側へ排出されるので、その第１供給ポートＡ１の圧力が低下する。

また、上記ピストン１０の上昇時には、図５Ｂの二点鎖線図に示すように、まず、ピストン１０の第２操作部１０ｂが第２伝動部材７０に接当する。引き続いて、図５Ａに示すように、第２操作部１０ｂが第２伝動部材７０と第２検出弁３２の被操作部７９とを介して第２検出ロッド４２を右方へ移動させ、その第２検出ロッド４２の弁面８５が弁孔８４に対面する。このため、第２検出弁３２が全閉し、第２供給ポートＡ２の加圧エアの圧力が設定値に上昇する。その圧力上昇をセンサで検出することにより、クランプがアンクランプ状態であることを確認できる。

上記の実施形態は次の長所を奏する。
ハウジング１の上壁２に挿入された出力ロッド１５の外周側で、当該上壁２に、下降検出用の第１検出弁３１と上昇検出用の第２検出弁３２との２つの検出弁を配置したので、そのハウジング１の下壁３をテーブル等の固定台に取付けたり、当該ハウジング１の下半部を固定台の取付け穴に挿入した場合などでも、上記２つの検出弁３１，３２に上横側や上側からアクセスすることが可能となる。このため、検出弁３１，３２のメンテナンスに手間がかからない。
また、上記２つの検出弁３１，３２に検出用の加圧エアを供給する第１供給路Ｂ１及び第２供給路Ｂ２を上壁２内に設けると共に、第１供給ポートＡ１及び第２供給ポートＡ２を上壁２のフランジ７の据付面７ａに開口させたので、加圧エアの供給システムを簡素に構成できる。
さらに、上記２つの検出弁３１，３２は、上壁２内に設置される際に、その上壁２の余剰空間を設置スペースとして利用可能なので、クランプの主要構成要素としてのシリンダ装置をコンパクトに造れる。

上記の実施形態は次のように変更可能である。
下降検出用の前記第１検出弁３１は、前記出力ロッド１５が下降位置から上限位置へ移動する途中で当該出力ロッド１５によって開弁されると共に、その出力ロッド１５が前記の上限位置から所定の第１ストロークＳ１下降したときに閉弁されるように構成すればよい。従って、その第１検出弁３１は、出力ロッド１５が上限位置からクランプストローク領域（前記の直進溝２６ａのストローク領域に相当する領域）に下降したときに全閉される場合や、当該出力ロッド１５が上限位置から上記クランプストローク領域の近傍に下降したときに全閉される場合などが考えられる。
また、上昇検出用の前記第２検出弁３２は、前記ピストン１０が下降位置から上限位置又はその近傍位置へ移動したときに当該ピストン１０によって閉弁されると共に、そのピストン１０が前記の上限位置から所定の第２ストロークＳ２下降したときに開弁されるように構成すればよい。従って、その第２検出弁３２は、上限位置で全閉されることに代えて、上限位置の近傍に上昇したときに全閉されるように構成してもよい。

第１検出弁３１及び第２検出弁３２は、水平姿勢で配置することに代えて斜め姿勢で配置してもよい。
また、上記２つの検出弁３１，３２の設置箇所は、ハウジング１の上壁２の４辺に対応する４つの壁部分のうちの平面視で右側の壁部分に配置するとしたが、これに代えて、平面視で上側の壁部分や下側の壁部分に配置してもよい。その上壁２は、平面視で長方形状に形成することに代えて正方形状に形成してもよい。
上記の各検出弁３１，３２の弁構造は、ポペット形とスプール形とのいずれかの構造を任意に選択可能である。
第１検出弁３１を操作する第１操作部２３ａは、出力ロッド１５に設けることに代えて、ピストン１０に設けてもよい。また、第２検出弁３２を操作する第２操作部１０ｂは、ピストン１０に設けることに代えて、出力ロッド１５に設けてもよい。

ハウジング１とピストン１０との間に出力ロッド１５の旋回機構を設けた例示の構造に代えて、その旋回機構をピストン１０と出力ロッド１５との間に設けることも可能である。この場合、上記ピストン１０は、ハウジング１に対して軸心方向へ移動可能で軸心回りの回転が阻止されるように構成される。

本発明のシリンダ装置は、出力ロッド１５が上昇位置で水平旋回する構造に限定されるものではなく、その出力ロッド１５が旋回しながら昇降する構造に利用してもよく、また、当該出力ロッド１５が旋回せずに昇降する構造にも利用可能である。なお、これら別の構造にはおいては、各検出弁３１，３２を次のように開閉させることが考えられる。
出力ロッド１５とピストン１０とのいずれか一方に、第１操作部２３ａ及び第２操作部１０ｂを設ける。当該出力ロッド１５とピストン１０とのいずれか一方が上限位置またはその近傍位置から所定量だけ下降したときに、前記第１操作部２３ａは下降検出用の第１検出弁３１が閉じるのを許容すると共に、前記一方が下降位置から所定量だけ上昇したときに、第１操作部２３ａが第１被操作部４９を介して第１検出弁３１を開くように構成する。また、出力ロッド１５とピストン１０とのいずれか一方が下降位置から所定量だけ上昇したときに、第２操作部１０ｂが第２被操作部７９を介して上昇検出用の第２検出弁３２を閉じるように構成すると共に、前記一方が上限位置またはその近傍位置から所定量だけ下降したときに、第２操作部１０ｂは第２検出弁３２が開くのを許容するように構成する。
上記２つの検出弁３１，３２のいずれか一方を省略してもよい。

また、本発明のシリンダ装置は、例示の複動式に代えて、単動バネ復帰式に構成してもよい。そのシリンダ装置に使用される駆動用の加圧流体は、例示した圧油に代えて圧縮空気等のガス体であってもよい。
さらに、本発明のシリンダ装置は、クランプの技術分野とは異なる技術分野に利用することも可能である。
その他に、当業者が想定できる範囲で種々の変更を行えることは勿論である。

１：ハウジング，２：上壁，７：フランジ，７ａ：据付面，１０：ピストン，１０ａ：筒孔，１０ｂ：第２操作部（操作部），１１：駆動室（第１駆動室），１５：出力ロッド，２１：給排路（第１給排路），２３：フランジ，２３ａ：第１操作部，３１：第１検出弁，３１ａ：入口，３２：第２検出弁（検出弁），３２ａ：入口，３７：第１伝動室，３７ａ：ストッパー部，４０：第１伝動部材，４９：第１被操作部，６７：第２伝動室（伝動室），６７ａ：ストッパー部，７０：第２伝動部材（伝動部材），７９：第２被操作部（被操作部），Ｂ１：第１供給路，Ｂ２：第２供給路（供給路），Ｐ１：給排ポート（第１給排ポート），Ｓ１：第１ストローク，Ｓ２：第２ストローク．

Claims (18)

1. ハウジング（１）内に昇降可能に挿入された環状のピストン（１０）と、そのピストン（１０）の筒孔（１０ａ）に挿入されると共に前記ハウジング（１）の上壁（２）に挿入された出力ロッド（１５）と、前記ピストン（１０）の上側に配置されると共に駆動用の加圧流体が供給および排出される駆動室（１１）とを備え、前記ピストン（１０）を前記出力ロッド（１５）に対して昇降させることによって当該出力ロッド（１５）が旋回するように構成したシリンダ装置において、
   前記出力ロッド（１５）の外周側で前記の上壁（２）に周方向へ所定の間隔をあけて配置された下降検出用の第１検出弁（３１）及び上昇検出用の第２検出弁（３２）と、
   前記駆動室（１１）の近傍で前記第１検出弁（３１）及び前記第２検出弁（３２）にそれぞれ設けた第１被操作部（４９）及び第２被操作部（７９）であって、前記出力ロッド（１５）と前記ピストン（１０）の両者のうちの一方に連動可能に配置された第１被操作部（４９）及び前記両者のうちの他方に連動可能に配置された第２被操作部（７９）と、
   前記第１検出弁（３１）及び前記第２検出弁（３２）の各入口（３１ａ）（３２ａ）に検出用の加圧エアを供給する第１供給路（Ｂ１）及び第２供給路（Ｂ２）と、
   を備えることを特徴とするシリンダ装置。
2. ハウジング（１）内に昇降可能に挿入されたピストン（１０）と、そのピストン（１０）の上側に配置されると共に駆動用の加圧流体が供給および排出される駆動室（１１）と、前記ハウジング（１）の上壁（２）に挿入された出力ロッド（１５）とを備え、前記駆動室（１１）へ供給された加圧流体が前記ピストン（１０）を介して前記出力ロッド（１５）を下降駆動するように構成したシリンダ装置において、
   前記出力ロッド（１５）の外周側で前記の上壁（２）に周方向へ所定の間隔をあけて配置された下降検出用の第１検出弁（３１）及び上昇検出用の第２検出弁（３２）と、
   前記駆動室（１１）の近傍で前記第１検出弁（３１）及び前記第２検出弁（３２）にそれぞれ設けた第１被操作部（４９）及び第２被操作部（７９）であって、前記ピストン（１０）と前記出力ロッド（１５）とのうちのいずれか一方に連動可能に配置された第１被操作部（４９）及び第２被操作部（７９）と、
   前記第１検出弁（３１）及び前記第２検出弁（３２）の各入口（３１ａ）（３２ａ）に検出用の加圧エアを供給する第１供給路（Ｂ１）及び第２供給路（Ｂ２）と、
   を備えることを特徴とするシリンダ装置。
3. 請求項１又は２のシリンダ装置において、
   前記の上壁（２）を平面視で長方形状または正方形状に形成し、その上壁（２）の周方向の４辺に対応する４つの壁部分のうちのいずれかの壁部分に、前記駆動室（１１）へ連通される給排路（２１）を形成し、
   前記４つの壁部分のうちの前記給排路（２１）を形成した壁部分を除いた壁部分のいずれかに、前記第１検出弁（３１）及び第２検出弁（３２）を設けた、
   ことを特徴とするシリンダ装置。
4. 請求項３のシリンダ装置において、
   前記の上壁（２）は取付け用のフランジ（７）を有し、そのフランジ（７）の外周部の下面に形成した据付面（７ａ）に、前記給排路（２１）へ連通される給排ポート（Ｐ１）を開口させた、
   ことを特徴とするシリンダ装置。
5. 請求項４のシリンダ装置において、
   前記第１検出弁（３１）及び前記第２検出弁（３２）の下方位置で前記据付面（７ａ）に、前記第１供給路（Ｂ１）及び前記第２供給路（Ｂ２）に連通される第１供給ポート（Ａ１）及び第２供給ポート（Ａ２）を開口させた、
   ことを特徴とするシリンダ装置。
6. 請求項１のシリンダ装置において、
   前記出力ロッド（１５）は第１操作部（２３ａ）を有し、その第１操作部（２３ａ）は、前記出力ロッド（１５）が下降位置から上限位置またはその近傍位置へ移動したときに前記第１被操作部（４９）を外方へ押して当該第１検出弁（３１）を開弁させると共に、前記出力ロッド（１５）が前記の上限位置から所定の第１ストローク（Ｓ１）下降したときに前記第１被操作部（４９）が内方へ移動するのを許容して前記第１検出弁（３１）を閉弁させ、
   前記ピストン（１０）は第２操作部（１０ｂ）を有し、その第２操作部（１０ｂ）は、前記ピストン（１０）が下降位置から上限位置またはその近傍位置へ移動したときに前記第２被操作部（７９）を外方へ押して当該第２検出弁（３２）を閉弁させると共に、前記ピストン（１０）が前記の上限位置から所定の第２ストローク（Ｓ２）下降したときに前記第２被操作部（７９）が内方へ移動するのを許容して当該第２検出弁（３２）を開弁させる、
   ことを特徴とするシリンダ装置。
7. 請求項２のシリンダ装置において、
   前記出力ロッド（１５）とピストン（１０）とのいずれか一方に、第１操作部（２３ａ）及び第２操作部（１０ｂ）を設け、
   当該出力ロッド（１５）とピストン（１０）とのいずれか一方が上限位置またはその近傍位置から所定量だけ下降したときに、前記第１操作部（２３ａ）は前記第１検出弁（３１）が閉じるのを許容するように構成し、
   当該出力ロッド（１５）とピストン（１０）とのいずれか一方が下降位置から所定量だけ上昇したときに、前記第２操作部（１０ｂ）が前記第２被操作部（７９）を介して前記第２検出弁（３２）を閉じるように構成した、
   ことを特徴とするシリンダ装置。
8. 請求項６又は７のシリンダ装置において、
   前記の第１被操作部（４９）と前記の第１操作部（２３ａ）との間に、その第１操作部（２３ａ）の上昇移動を横方向への移動に変換する第１伝動部材（４０）を設け、
   前記の第２被操作部（７９）と前記の第２操作部（１０ｂ）との間に、その第２操作部（１０ｂ）の上昇移動を横方向への移動に変換する第２伝動部材（７０）を設けた、
   ことを特徴とするシリンダ装置。
9. 請求項８のシリンダ装置において、
   前記駆動室（１１）の上部に連通される第１伝動室（３７）及び第２伝動室（６７）に、ボールからなる前記第１伝動部材（４０）及び第２伝動部材（７０）をそれぞれ挿入し、
   前記第１伝動部材（４０）及び第２伝動部材（７０）が前記第１伝動室（３７）及び第２伝動室（６７）から前記駆動室（１１）へ脱落するのを防止するためのストッパー部（３７ａ）（６７ａ）を設けた、
   ことを特徴とするシリンダ装置。
10. ハウジング（１）内に昇降可能に挿入された環状のピストン（１０）と、そのピストン（１０）の筒孔（１０ａ）に挿入されると共に前記ハウジング（１）の上壁（２）に挿入された出力ロッド（１５）と、前記ピストン（１０）の上側に配置されると共に駆動用の加圧流体が供給および排出される駆動室（１１）とを備え、前記ピストン（１０）を前記出力ロッド（１５）に対して昇降させることによって当該出力ロッド（１５）が旋回するように構成したシリンダ装置において、
    前記ハウジング（１）の上部に横向きに配置された上昇検出用の検出弁（３２）と、
    前記ピストン（１０）と前記出力ロッド（１５）との一方に設けた操作部（１０ｂ）と、
    前記駆動室（１１）の近傍で前記操作部（１０ｂ）に連動可能なように前記検出弁（３２）に設けた被操作部（７９）と、
    前記駆動室（１１）の上部へ連通する伝動室（６７）に挿入されると共に前記操作部（１０ｂ）の上昇移動を前記被操作部（７９）の横方向への移動に変換する伝動部材（７０）と、
    前記検出弁（３２）の入口（３２ａ）に検出用の加圧エアを供給する供給路（Ｂ２）と、
    を備えることを特徴とするシリンダ装置。
11. ハウジング（１）内に昇降可能に挿入されたピストン（１０）と、そのピストン（１０）の上側に配置されると共に駆動用の加圧流体が供給および排出される駆動室（１１）と、前記ハウジング（１）の上壁（２）に挿入された出力ロッド（１５）とを備え、前記駆動室（１１）へ供給された加圧流体が前記ピストン（１０）を介して前記出力ロッド（１５）を下降駆動するように構成したシリンダ装置において、
    前記ハウジング（１）の上部に横向きに配置された上昇検出用の検出弁（３２）と、
    前記ピストン（１０）と前記出力ロッド（１５）との一方に設けた操作部（１０ｂ）と、
    前記駆動室（１１）の近傍で前記操作部（１０ｂ）に連動可能なように前記検出弁（３２）に設けた被操作部（７９）と、
    前記駆動室（１１）の上部へ連通する伝動室（６７）に挿入されると共に前記操作部（１０ｂ）の上昇移動を前記被操作部（７９）の横方向への移動に変換する伝動部材（７０）と、
    前記検出弁（３２）の入口（３２ａ）に検出用の加圧エアを供給する供給路（Ｂ２）と、
    を備えることを特徴とするシリンダ装置。
12. 請求項１０又は１１のシリンダ装置において、
    ボールからなる前記伝動部材（７０）が前記伝動室（６７）から前記駆動室（１１）へ脱落するのを防止するためのストッパー部（６７ａ）を設けた、
    ことを特徴とするシリンダ装置。
13. 請求項１又は２のシリンダ装置において、
    前記第１検出弁をポペット弁によって構成すると共に、前記第２検出弁をスプール弁によって構成した、ことを特徴とするシリンダ装置。
14. 請求項１又は２のシリンダ装置において、
    前記第１検出弁をスプール弁によって構成すると共に、前記第２検出弁をポペット弁によって構成した、ことを特徴とするシリンダ装置。
15. 請求項１又は２のシリンダ装置において、
    前記第１検出弁と前記第２検出弁とをポペット弁によって構成した、ことを特徴とするシリンダ装置。
16. 請求項１又は２のシリンダ装置において、
    前記第１検出弁と前記第２検出弁とをスプール弁によって構成した、ことを特徴とするシリンダ装置。
17. 請求項１０又は１１のシリンダ装置において、
    前記検出弁をスプール弁によって構成した、ことを特徴とするシリンダ装置。
18. 請求項１０又は１１のシリンダ装置において、
    前記検出弁をポペット弁によって構成した、ことを特徴とするシリンダ装置。

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