JP6091959B2 - ウエハ切断装置、およびウエハ切断方法 - Google Patents
ウエハ切断装置、およびウエハ切断方法 Download PDFInfo
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Description
図1は、ウエハ切断装置の概略構成を示すブロック図である。
図2の(a)〜(c)は、本実施の形態に係るウエハ切断の概略を示す断面図である。
図5の(a)〜(c)は、本実施の形態に係るウエハ切断の概略を示す断面図である。
図6の(a)〜(c)は、本実施の形態に係るウエハ切断の概略を示す断面図である。
図7の(a)〜(c)は、本実施の形態に係るウエハ切断の概略を示す断面図である。
図8の(a)〜(c)は、本実施の形態に係るウエハ切断の概略を示す断面図である。
図9は、一般的なウエハ切断方法を説明する斜視図である。
本発明の態様1に係るウエハ切断装置は、ウエハの表面に設けられたダイシングラインに沿って、該ウエハを切断するダイシングブレードを備えているウエハ切断装置であって、互いに接触させた上記ウエハおよび上記ダイシングブレードの少なくとも一方を進行させ、上記ウエハに対する上記ダイシングブレードの位置を予め定められた第1距離移動させる順進行部を備えており、上記第1距離は、上記ダイシングブレードの直下に位置する上記ダイシングラインの長さより短い距離に、かつ、上記ウエハの切断時に該ウエハが上記ダイシングブレードに対して与えるダメージを低減する距離に予め決定されており、1つの上記ダイシングラインに沿った切断につき、上記ウエハ切断装置が複数回動作する。
2 ウエハ
3 ダイシングライン
4 第1距離
10 ダイシングブレード
11 順進行部
12 逆進行部
13 ブレード非接触部
14 ブレード接触部
Claims (2)
- ウエハの表面に設けられたダイシングラインに沿って、該ウエハを切断するダイシングブレードを備えているウエハ切断装置であって、
互いに接触させた上記ウエハおよび上記ダイシングブレードの少なくとも一方を進行させ、上記ウエハに対する上記ダイシングブレードの位置を予め定められた第1距離移動させる順進行部を備えており、
上記第1距離は、上記ダイシングブレードの直下に位置する上記ダイシングラインの長さより短い距離に、かつ、上記ウエハの切断時に該ウエハが上記ダイシングブレードに対して与えるダメージを低減する距離に予め決定されており、
1つの上記ダイシングラインに沿った切断につき、上記ウエハ切断装置が複数回動作し、
上記順進行部の動作後、上記ウエハおよび上記ダイシングブレードの少なくとも一方を、該順進行部による進行と反対の方向に進行させる逆進行部と、
上記順進行部の動作後、上記ダイシングブレードを上記ウエハに対して非接触とするブレード非接触部と、
上記ブレード非接触部の動作後、上記順進行部による進行の経路上にて、上記ダイシングブレードを上記ウエハに対して接触させるブレード接触部とを備えており、
上記ブレード非接触部の動作後または上記ブレード非接触部の動作と同時に、上記逆進行部が動作することを特徴とするウエハ切断装置。 - ウエハの表面に設けられたダイシングラインに沿って、ダイシングブレードにより該ウエハを切断するウエハ切断方法であって、
互いに接触させた上記ウエハおよび上記ダイシングブレードの少なくとも一方を進行させ、上記ウエハに対する上記ダイシングブレードの位置を予め定められた第1距離移動させる順進行工程を含んでおり、
上記第1距離は、上記ダイシングブレードの直下に位置する上記ダイシングラインの長さより短い距離に、かつ、上記ウエハの切断時に該ウエハが上記ダイシングブレードに対して与えるダメージを低減する距離に予め決定されており、
1つの上記ダイシングラインに沿った切断につき、上記ウエハ切断方法を複数回行い、
上記順進行工程の後、上記ウエハおよび上記ダイシングブレードの少なくとも一方を、該順進行工程による進行と反対の方向に進行させる逆進行工程と、
上記順進行工程の後、上記ダイシングブレードを上記ウエハに対して非接触とするブレード非接触工程と、
上記ブレード非接触工程の後、上記順進行工程による進行の経路上にて、上記ダイシングブレードを上記ウエハに対して接触させるブレード接触工程とを含んでおり、
上記ブレード非接触工程の後または上記ブレード非接触工程と同時に、上記逆進行工程を行うことを特徴とするウエハ切断方法。
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