JP2014192397A - ウエハ切断装置、およびウエハ切断方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウエハ(2)およびダイシングブレード(10)の少なくとも一方を進行させ、ウエハ(2)に対するダイシングブレード(10)の位置を第1距離(4)移動させる順進行部(11)を備え、第1距離(4)は、ダイシングライン(3)より短い距離であり、ウエハ(2)切断時におけるダイシングブレード(10)へのダメージを低減する距離に予め決定される。
【選択図】図1
Description
図1は、ウエハ切断装置の概略構成を示すブロック図である。
図2の(a)〜(c)は、本実施の形態に係るウエハ切断の概略を示す断面図である。
図5の(a)〜(c)は、本実施の形態に係るウエハ切断の概略を示す断面図である。
図6の(a)〜(c)は、本実施の形態に係るウエハ切断の概略を示す断面図である。
図7の(a)〜(c)は、本実施の形態に係るウエハ切断の概略を示す断面図である。
図8の(a)〜(c)は、本実施の形態に係るウエハ切断の概略を示す断面図である。
図9は、一般的なウエハ切断方法を説明する斜視図である。
本発明の態様1に係るウエハ切断装置は、ウエハの表面に設けられたダイシングラインに沿って、該ウエハを切断するダイシングブレードを備えているウエハ切断装置であって、互いに接触させた上記ウエハおよび上記ダイシングブレードの少なくとも一方を進行させ、上記ウエハに対する上記ダイシングブレードの位置を予め定められた第1距離移動させる順進行部を備えており、上記第1距離は、上記ダイシングブレードの直下に位置する上記ダイシングラインの長さより短い距離に、かつ、上記ウエハの切断時に該ウエハが上記ダイシングブレードに対して与えるダメージを低減する距離に予め決定されており、1つの上記ダイシングラインに沿った切断につき、上記ウエハ切断装置が複数回動作する。
2 ウエハ
3 ダイシングライン
4 第1距離
10 ダイシングブレード
11 順進行部
12 逆進行部
13 ブレード非接触部
14 ブレード接触部
Claims (6)
- ウエハの表面に設けられたダイシングラインに沿って、該ウエハを切断するダイシングブレードを備えているウエハ切断装置であって、
互いに接触させた上記ウエハおよび上記ダイシングブレードの少なくとも一方を進行させ、上記ウエハに対する上記ダイシングブレードの位置を予め定められた第1距離移動させる順進行部を備えており、
上記第1距離は、上記ダイシングブレードの直下に位置する上記ダイシングラインの長さより短い距離に、かつ、上記ウエハの切断時に該ウエハが上記ダイシングブレードに対して与えるダメージを低減する距離に予め決定されており、
1つの上記ダイシングラインに沿った切断につき、上記ウエハ切断装置が複数回動作することを特徴とするウエハ切断装置。 - 上記順進行部の動作後、上記ウエハおよび上記ダイシングブレードの少なくとも一方を、該順進行部による進行と反対の方向に進行させる逆進行部を備えていることを特徴とする請求項1に記載のウエハ切断装置。
- 上記順進行部の動作後、上記ダイシングブレードを上記ウエハに対して非接触とするブレード非接触部と、
上記ブレード非接触部の動作後、上記順進行部による進行の経路上にて、上記ダイシングブレードを上記ウエハに対して接触させるブレード接触部とを備えていることを特徴とする請求項2に記載のウエハ切断装置。 - ウエハの表面に設けられたダイシングラインに沿って、ダイシングブレードにより該ウエハを切断するウエハ切断方法であって、
互いに接触させた上記ウエハおよび上記ダイシングブレードの少なくとも一方を進行させ、上記ウエハに対する上記ダイシングブレードの位置を予め定められた第1距離移動させる順進行工程を含んでおり、
上記第1距離は、上記ダイシングブレードの直下に位置する上記ダイシングラインの長さより短い距離に、かつ、上記ウエハの切断時に該ウエハが上記ダイシングブレードに対して与えるダメージを低減する距離に予め決定されており、
1つの上記ダイシングラインに沿った切断につき、上記ウエハ切断方法を複数回行うことを特徴とするウエハ切断方法。 - 上記順進行工程の後、上記ウエハおよび上記ダイシングブレードの少なくとも一方を、該順進行工程による進行と反対の方向に進行させる逆進行工程を含んでいることを特徴とする請求項4に記載のウエハ切断方法。
- 上記順進行工程の後、上記ダイシングブレードを上記ウエハに対して非接触とするブレード非接触工程と、
上記ブレード非接触工程の後、上記順進行工程による進行の経路上にて、上記ダイシングブレードを上記ウエハに対して接触させるブレード接触工程とを含んでいることを特徴とする請求項5に記載のウエハ切断方法。
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