JP6089983B2 - 円筒形スパッタリングターゲットおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
この円筒形スパッタリングターゲットによれば、バッキングチューブがターゲット材の両端から突出しているので、スパッタリング装置において確実に保持されやすく、ターゲット材の全面を効率よく使用することができる。また、スペーサにより円筒形ターゲット材と円筒形バッキングチューブとの間に接合材が隙間なく充填され、熱伝達性が良好になるので、熱収縮による破損が生じにくい。
ターゲット材20が内径135mm、バッキングチューブ40が外径133mmの場合、これらの隙間gは半径で1mmとなるが、ターゲット材20の内径としては134mm〜137mmのものを適用することができ、その場合、隙間gは0.5mm〜2mmが好ましい。隙間gが0.5mm未満では、接合材30が少なくクッション性がなくなることで衝撃に対して弱くなる可能性があり、2mmを超える場合には、使用時の冷却効果が得られにくくなり、接合材30が無駄となってしまう。
なお、接合材保持部72全体の容積は、バッキングチューブ40の下端部が挿入され、ダミー栓60のの下端面が接合材保持部72の底面に達したときに、バッキングチューブ40の外周面と、接合材保持部72の内周面及びターゲット材20の内周面との間に形成される隙間の全容積以上あればよく、図2に示すようにターゲット材20の上端に接合材30が若干はみ出す程度がよい。
例えば、実施形態では、ターゲット材の内周面とバッキングチューブの外周面との間の隙間gを全周にわたって形成したが、これらターゲット材とバッキングチューブとを接合できる量の接合材が充填できれば、必ずしも全周に隙間を形成しなくても、ターゲット材の長さ方向に沿う溝状やらせん状の隙間とするなど、隙間を部分的に形成することを妨げるものではない。
20 円筒形ターゲット材
21 内周面
30 接合材
40 円筒形バッキングチューブ
41 外周面
42 封止端部
50 スペーサ
60 ダミー栓
70 接合材充填治具
71 ターゲット材保持部
72 接合材保持部
P パッキン
g 隙間
Claims (5)
- 円筒形バッキングチューブの外周面と円筒形ターゲット材の内周面とを接合材により接合して円筒形スパッタリングターゲットを製造する方法であって、
前記円筒形バッキングチューブの一方の端部をダミー栓により閉塞して封止端部としておき、
接合材充填治具に設けられた前記円筒形バッキングチューブを挿入可能な横断面略円形の凹状の接合材保持部に溶融状態の接合材を貯留させておき、
前記封止端部を下方に向けた前記円筒形バッキングチューブを、前記接合材充填治具にのせた前記円筒形ターゲット材の内部に隙間をあけて挿入し、該円筒形ターゲット材を通して前記接合材保持部に挿入することにより、溶融状態の前記接合材を前記接合材保持部から押し出して前記円筒形ターゲット材の前記内周面と前記円筒形バッキングチューブの前記外周面との間の前記隙間に充填した後に固化させ、前記接合材充填治具から取り外し、前記ダミー栓を除去することを特徴とする円筒形スパッタリングターゲットの製造方法。 - 前記円筒形バッキングチューブの前記外周面の少なくとも一部に、前記円筒形ターゲット材の前記内周面に対する一定の間隔を形成するスペーサを設けておくことを特徴とする請求項1に記載の円筒形スパッタリングターゲットの製造方法。
- 前記スペーサは銅製またはSUS製であることを特徴とする請求項2に記載の円筒形スパッタリングターゲットの製造方法。
- 前記接合材は金属系であり、前記円筒形バッキングチューブの前記外周面および前記円筒形ターゲット材の前記内周面を予めメタライズしておくことを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の円筒形スパッタリングターゲットの製造方法。
- 円筒形ターゲット材と、
この円筒形ターゲット材の両端から突出して、前記円筒形ターゲット材の内周面に接合材により接合された円筒形バッキングチューブと、
前記円筒形ターゲット材の内周面と前記円筒形バッキングチューブの外周面との間の両端部のみに配置されたワイヤーからなるスペーサとを備えることを特徴とする円筒形スパッタリングターゲット。
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