JP5291679B2 - 中空ターゲット組立体 - Google Patents
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Description
先端及び末端と、該先端及び末端の近傍位置で外面にそれぞれ形成された凹所とを有する支持管と、
少なくとも第1の中空ターゲット材と、第2の中空ターゲット材と、前記第1及び第2のターゲット材の内面にそれらの一端から軸線方向にわたってそれぞれ形成された溝とを有し、前記第1及び第2のターゲット材の前記端に開口が形成されたターゲット本体と、複数の弾性部材とを含み
前記第1及び第2の中空ターゲット材の内面の前記溝と前記支持管の前記先端及び末端の対応する前記凹所とにより空間が形成され、各空間に1つの弾性要素が偏倚して置かれるように、前記第1及び第2の中空ターゲット材は、順次前記支持管の外周囲面を覆い、前記第1及び第2の中空ターゲット材で前記先端及び末端にそれぞれ面して開口する、中空ターゲット組立体を提供する。ここに、前記各弾性部材は、弾性のあるV字形状をしたシートであり、前記弾性のあるV字形状をしたシートは2つのシート要素からなり、該2つのシート要素は互いに斜めに接合し、接合端を形成する。該接合端を第1の接合端(301)とし、前記2つのシート要素は、前記第1の接合端の反対側に第2の端(302)を有する。前記第1の接合端(301)は前記溝(23)を押し、前記第2の端(302)の1つが前記支持管(1)の外面の凹所(12)を押すことにより、前記支持管(1)が前記中空ターゲット本体(2)に対して支持管の軸線方向にずれが生じるのを防ぐ。
アルミニウム酸化亜鉛が、スパッタリング材料として選ばれ、ターゲット本体2を形成する。ターゲット本体2は、1つの第1の中空のターゲット材20、1つの第2の中空のターゲット材21及び3つの第3の中空のターゲット材25を含む。前記三種類の中空のターゲット材の外径及び内径は、それぞれ160mm及び133mmである。前記ターゲット材の軸線方向の各長さは280mmであり、その結果ターゲット本体2の全長は1400mmである。溝23は、第1の中空ターゲット材20及び前記第2の中空ターゲット材の一端22からの該ターゲット部材の前記内面への機械加工により、軸線方向に深さ10mm及び円周方向に2mmの深さを有する連続的な環として作られる。支持管1は、ステンレスSUS304で作られる。内張管1の外径及び内径は、それぞれ132.5mm及び125mmである。支持管1の長さ1450mmである。ターゲット本体2が容易に支持管1の前記周面を覆うことができるように、支持管1の外径はターゲット本体2の内径より0.5mm小さい。凹所12は、先端10及び末端11に近い位置から支持管1の外面への機械加工によって作られる。凹所12は、三角形の断面形状を有し、前記軸線方向に3mmの長さ及び前記円周方向に1mmの深さを有する。弾性要素3は、1mmの厚さを有する純銅によって作られる。第1、第2及び第3の中空ターゲット材20、21、25の前記外面と、支持管1の内面とは、溶融インジウムによる予備的処置によって金属被覆されている。
2 ターゲット本体
3 弾性要素
4 空間
10 先端
11 末端
12 凹所
20 第1の中空ターゲット材
21 第2の中空ターゲット材
23 溝
24 開口
25 第3の中空ターゲット材
Claims (7)
- 先端及び末端と、該先端及び末端の近傍位置で外面にそれぞれ形成された凹所とを有する支持管と、
少なくとも内面と2つの端を有する第1の中空ターゲット材と、少なくとも内面と2つの端を有する第2の中空ターゲット材と、該第1の中空ターゲット材と該第2の中空ターゲット材は、2つの端の1つから、それぞれのターゲット材の軸線の方向にわたってそれぞれ形成された溝とを有し、前記第1及び第2のターゲット材のそれぞれの前記端に開口が形成されたターゲット本体と、
複数の弾性部材とを含み
前記第1及び第2の中空ターゲット材の内面の前記溝と前記支持管の前記先端及び末端の対応する前記凹所とにより空間が形成され、各空間に1つの弾性要素が偏倚して置かれるように、前記第1及び第2の中空ターゲット材は、順次前記支持管の外周囲面を覆い、前記第1及び第2のターゲット材で前記先端及び末端にそれぞれ面して開口し、
前記弾性部材は、V字形状をした弾力のあるシートであり、前記V字形状をした弾力のあるシートは2つのシート要素からなり、前記シート要素は第1の接合端で互いに斜交しており、前記各シート要素は前記第1の接合端の反対側に第2の端を有しており、前記支持管がターゲット本体に対して支持管の軸線の方向に動くことを防止するために、前記第1の接合端は前記溝の1つを押すように置かれ、前記第2の端の1つが前記凹所を押すように置かれた、中空ターゲット組立体。 - 前記ターゲット本体は、さらに、少なくとも1つの第3の中空ターゲット材を含み、前記第3の中空ターゲット材が前記第1及び第2のターゲット材間に置かれている、請求項1に記載の中空ターゲット組立体。
- 前記第3のターゲット材には一端から軸線方向にわたって内面に溝が形成され、また対応する凹所が前記支持管の外面に形成されており、前記弾性部材が前記溝及び対応する凹所により形成された前記空間に入れられている、請求項2に記載の中空ターゲット組立体。
- 前記第1の中空ターゲット材には、さらに、軸線方向にわたって前記第3の中空ターゲット材への近接端に溝が形成されており、前記支持管の外面には対応する凹所が形成されており、前記弾性要素が前記溝と対応する凹所とにより形成される前記空間に入れられている、請求項3に記載の中空ターゲット組立体。
- 前記第1、第2及び第3ターゲット材の前記溝は、それぞれ連続する環を形成し、前記支持管の前記凹所は連続する環を形成する、請求項1から4のいずれか一項に記載の中空ターゲット組立体。
- 前記第1、第2及び第3ターゲット材の前記溝は、それぞれ断続的な環を形成し、前記支持管の前記凹所は連続的な環を形成する、請求項1から4のいずれか一項に記載の中空ターゲット組立体。
- 前記支持管に対して前記ターゲット本体が、支持管の軸線方向に沿った動きを阻止するために、前記第1の中空ターゲット材中の弾性部材が、前記第2の中空ターゲット材中の前記弾性部材に対して、対称的に置かれることにより、前記第1の中空ターゲット材中の前記弾性部材の前記第1の接合端が、前記第1の中空ターゲット材から前記第2の中空ターゲット材方向へ向かう第1の軸線方向に向かって置かれ、前記第2の中空ターゲット材中の前記弾性部材の前記第1の接合端が、前記第1の軸線方向と反対方向の第2の軸線方向に向かって置かれた、請求項1に記載の中空ターゲット組立体。
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