JPH069905B2 - 黒鉛と金属からなる複合材 - Google Patents
黒鉛と金属からなる複合材Info
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- JPH069905B2 JPH069905B2 JP1039986A JP1039986A JPH069905B2 JP H069905 B2 JPH069905 B2 JP H069905B2 JP 1039986 A JP1039986 A JP 1039986A JP 1039986 A JP1039986 A JP 1039986A JP H069905 B2 JPH069905 B2 JP H069905B2
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- metal
- inner cylinder
- metal inner
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、各種機器の部品等に使われる黒鉛と金属から
なる複合材に関する。
なる複合材に関する。
一般に金属と黒鉛とは互いに熱膨張率が大きく異なって
いる。例えば鉄鋼系の線膨張係数は13〜18×10-6である
のに対し、黒鉛の線膨張係数は２〜５×10-6である。一
般に、ろう付けや拡散接合で熱膨張率が実用上問題にな
らない範囲は、両者の線膨張係数の差が１×10-6より小
さい場合である。
いる。例えば鉄鋼系の線膨張係数は13〜18×10-6である
のに対し、黒鉛の線膨張係数は２〜５×10-6である。一
般に、ろう付けや拡散接合で熱膨張率が実用上問題にな
らない範囲は、両者の線膨張係数の差が１×10-6より小
さい場合である。
このため、金属と黒鉛をろう付けや拡散接合などで接合
すると、接合後の冷却過程で金属の収縮率の方が大きい
ため両者に寸法差を生じて大きな残留応力が発生し、極
端な場合には黒鉛が破壊することがある。
すると、接合後の冷却過程で金属の収縮率の方が大きい
ため両者に寸法差を生じて大きな残留応力が発生し、極
端な場合には黒鉛が破壊することがある。
一例として、第３図に示されるようなカップ状あるいは
パイプ状のクロム銅からなる金属材１の外側に円筒状の
黒鉛２を被着するに当って、両者を例えばニッケル箔な
どの結合材３を介して拡散接合（または硬ろう付け）し
たと仮定する。この場合、接合時の高温状態で金属材１
の外面が黒鉛２の内面に密着するように各部の寸法が設
定されていると、接合後の冷却過程で金属材１は黒鉛２
に対して相対的に収縮する。金属材１は径方向ばかりで
なく軸方向にも収縮するため、金属材１に接合されてい
る黒鉛２は、その軸方向に撓むような力を受ける。この
ため黒鉛２の端部２ａ，２ｂなどにクラックが生じた
り、クラックが進展して破壊に至ることがある。このた
め従来は、第３図のような構造の複合材を拡散接合ある
いはろう付けによって作るのは困難であった。
パイプ状のクロム銅からなる金属材１の外側に円筒状の
黒鉛２を被着するに当って、両者を例えばニッケル箔な
どの結合材３を介して拡散接合（または硬ろう付け）し
たと仮定する。この場合、接合時の高温状態で金属材１
の外面が黒鉛２の内面に密着するように各部の寸法が設
定されていると、接合後の冷却過程で金属材１は黒鉛２
に対して相対的に収縮する。金属材１は径方向ばかりで
なく軸方向にも収縮するため、金属材１に接合されてい
る黒鉛２は、その軸方向に撓むような力を受ける。この
ため黒鉛２の端部２ａ，２ｂなどにクラックが生じた
り、クラックが進展して破壊に至ることがある。このた
め従来は、第３図のような構造の複合材を拡散接合ある
いはろう付けによって作るのは困難であった。
従って金属と黒鉛からなる複合材は、現在のところ小さ
な円柱同志の接合や小さな直方体同志の接合といった単
純形状のテストピースでの研究や、黒鉛と金属の反応性
の研究、あるいは熱膨張率の差が問題にならない程度の
ごく小さな部品での研究が行なわれているに過ぎなかっ
た。
な円柱同志の接合や小さな直方体同志の接合といった単
純形状のテストピースでの研究や、黒鉛と金属の反応性
の研究、あるいは熱膨張率の差が問題にならない程度の
ごく小さな部品での研究が行なわれているに過ぎなかっ
た。
一方、従来よりパイプ状の材料にしばしば適用されてい
る焼き嵌めや冷やし嵌めによる機械的な締結では、黒鉛
の強度が低いこともあって充分な締結強度が得られなか
った。
る焼き嵌めや冷やし嵌めによる機械的な締結では、黒鉛
の強度が低いこともあって充分な締結強度が得られなか
った。
また、特開昭60-187546号公報に記載されているよう
に、黒鉛板と銅板との間にＴｉ層とＮｉ層を介在させる
ことによって、黒鉛と銅の熱膨張差を順次緩和させるこ
とも提案されている。しかしながらＴｉあるいはＮｉは
それ自体が比較的硬い金属（耐力の大きい材料）である
ため、特に筒状複合材のように内層と外層が互いに軸線
方向と径方向に拘束し合うものにあっては、各層間にあ
る程度の熱膨張差が生じた時にＴｉあるいはＮｉ製のイ
ンサート材が変形する前に黒鉛が破損してしまうことが
ある。
に、黒鉛板と銅板との間にＴｉ層とＮｉ層を介在させる
ことによって、黒鉛と銅の熱膨張差を順次緩和させるこ
とも提案されている。しかしながらＴｉあるいはＮｉは
それ自体が比較的硬い金属（耐力の大きい材料）である
ため、特に筒状複合材のように内層と外層が互いに軸線
方向と径方向に拘束し合うものにあっては、各層間にあ
る程度の熱膨張差が生じた時にＴｉあるいはＮｉ製のイ
ンサート材が変形する前に黒鉛が破損してしまうことが
ある。
また、接着剤によって金属と黒鉛を接合させることも考
えられるが、接着剤を用いつ接合では耐熱性に難点があ
り、しかも真空や特殊雰囲気中での使用の場合に、接着
剤からのガスの発生が問題となる。
えられるが、接着剤を用いつ接合では耐熱性に難点があ
り、しかも真空や特殊雰囲気中での使用の場合に、接着
剤からのガスの発生が問題となる。
本発明は、黒鉛製の外筒と、この外筒の内部に挿入され
る金属製の内筒と、この金属内筒と上記黒鉛外筒との間
に介在させられかつ上記金属内筒よりも柔らかい純銅ま
たは純アルミニウムのいずれか一方からなり上記黒鉛外
筒と金属内筒との熱膨張率の差に基く両者間の寸法差を
塑性変形によって吸収可能な筒状のインサート材とを具
備し、かつ上記黒鉛外筒と金属内筒を拡散接合あるいは
硬ろう付け等の高温で行なう接合手段により上記インサ
ート材を介して互いに接合させたことを特徴とする黒鉛
と金属からなる複合材である。上記インサート材は例え
ば純銅あるいは純アルミニウムなどの軟質な金属が適す
る。純銅あるいは純アルミニウムの純度は理論適には10
0％であるが、工業的には金属データブック（日本金属
学会編・丸善株式会社発行）に掲載されているように、
純アルミニウムの純度の一例が99.996％以上、純銅の一
例が99.95％以上と、多少の不純物を含んでいても差支
えない。
る金属製の内筒と、この金属内筒と上記黒鉛外筒との間
に介在させられかつ上記金属内筒よりも柔らかい純銅ま
たは純アルミニウムのいずれか一方からなり上記黒鉛外
筒と金属内筒との熱膨張率の差に基く両者間の寸法差を
塑性変形によって吸収可能な筒状のインサート材とを具
備し、かつ上記黒鉛外筒と金属内筒を拡散接合あるいは
硬ろう付け等の高温で行なう接合手段により上記インサ
ート材を介して互いに接合させたことを特徴とする黒鉛
と金属からなる複合材である。上記インサート材は例え
ば純銅あるいは純アルミニウムなどの軟質な金属が適す
る。純銅あるいは純アルミニウムの純度は理論適には10
0％であるが、工業的には金属データブック（日本金属
学会編・丸善株式会社発行）に掲載されているように、
純アルミニウムの純度の一例が99.996％以上、純銅の一
例が99.95％以上と、多少の不純物を含んでいても差支
えない。
上記構成の複合材において、金属内筒は黒鉛外筒との間
に軟質金属からなるインサート材を介して接合されてお
り、黒鉛と金属の熱膨張率の差がこのインサート材の塑
性沿変形によって緩和されるので、筒状複合材のように
内筒と外筒とが互いに軸線方向と径方向に拘束し合うた
めに変位しにくいものにあっても、例えば冷却過程で黒
鉛が破損することを防止できる。
に軟質金属からなるインサート材を介して接合されてお
り、黒鉛と金属の熱膨張率の差がこのインサート材の塑
性沿変形によって緩和されるので、筒状複合材のように
内筒と外筒とが互いに軸線方向と径方向に拘束し合うた
めに変位しにくいものにあっても、例えば冷却過程で黒
鉛が破損することを防止できる。
上記複合材の黒鉛外筒と金属内筒は互いに硬ろう付けあ
るいは拡散接合などの高温接合によって行なわれている
から、焼き嵌め、冷やし嵌め等の機械的な締結と比較す
ると接合強度が高く耐熱性がある。また、接着剤による
接合と比較すると耐熱性がはるかに優れており、かつ真
空雰囲気中でガスの放出を生じるおそれもない。
るいは拡散接合などの高温接合によって行なわれている
から、焼き嵌め、冷やし嵌め等の機械的な締結と比較す
ると接合強度が高く耐熱性がある。また、接着剤による
接合と比較すると耐熱性がはるかに優れており、かつ真
空雰囲気中でガスの放出を生じるおそれもない。
第１図に示された一実施例において、複合材５は黒鉛製
の外筒６と、この黒鉛外筒６の内側に挿入される金属製
の内筒７と、これら黒鉛外筒６と金属内筒７との間に設
けられたインサート材８を備えている。黒鉛外筒６は、
両端が開口する円筒形状である。
の外筒６と、この黒鉛外筒６の内側に挿入される金属製
の内筒７と、これら黒鉛外筒６と金属内筒７との間に設
けられたインサート材８を備えている。黒鉛外筒６は、
両端が開口する円筒形状である。
金属内筒７は本実施例の場合、一端側が開口するカップ
型である。この金属内筒７は、黒鉛よりも熱膨張率の大
きな金属、例えば銅合金、ニッケル、チタン、鉄鋼、あ
るいはこれらの合金が用いられる。金属内筒７はカップ
型に限るものではなく、例えば両端が開口したパイプ状
であってもよい。
型である。この金属内筒７は、黒鉛よりも熱膨張率の大
きな金属、例えば銅合金、ニッケル、チタン、鉄鋼、あ
るいはこれらの合金が用いられる。金属内筒７はカップ
型に限るものではなく、例えば両端が開口したパイプ状
であってもよい。
インサート材８は円筒状をなし、厚さは例えば0.5mmな
いし2.0ｍｍ位である。このインサート材８は、黒鉛外
筒６と金属内筒７との熱膨張率の差を塑性変形で緩和す
るためのもので、例えば純銅あるいは純アルミニウムな
どのような軟質金属からなる。
いし2.0ｍｍ位である。このインサート材８は、黒鉛外
筒６と金属内筒７との熱膨張率の差を塑性変形で緩和す
るためのもので、例えば純銅あるいは純アルミニウムな
どのような軟質金属からなる。
そして黒鉛外筒６と金属内筒７は、上記インサート材８
を介して、結合材９により互いに接合されている。この
場合、拡散接合あるいは硬ろう付けなどのように高温度
で行なわれる接合手段が採用される。結合材９は例えば
円筒状のニッケル箔やチタン箔であるが、適宜の硬ろう
材を使用することが可能である。結合材９の厚みは数十
μ程度である。
を介して、結合材９により互いに接合されている。この
場合、拡散接合あるいは硬ろう付けなどのように高温度
で行なわれる接合手段が採用される。結合材９は例えば
円筒状のニッケル箔やチタン箔であるが、適宜の硬ろう
材を使用することが可能である。結合材９の厚みは数十
μ程度である。
上記黒鉛外筒６と金属内筒７の外径、およびインサート
材８と結合材９の各部の寸法は、接合温度まで加熱され
た時に互いに密着できるように、各材質の熱膨張係数に
もとづいて予め算出しておく。
材８と結合材９の各部の寸法は、接合温度まで加熱され
た時に互いに密着できるように、各材質の熱膨張係数に
もとづいて予め算出しておく。
上記構成の複合材５は、金属内筒７にインサート材８と
結合材９をセットし、黒鉛外筒６に挿入したのち、接合
温度まで加熱する。加熱により金属内筒７は相対的に径
が拡大し、インサート材８および結合材９を介して黒鉛
外筒６に拡散接合（または硬ろう付け）によって接合さ
せられる。
結合材９をセットし、黒鉛外筒６に挿入したのち、接合
温度まで加熱する。加熱により金属内筒７は相対的に径
が拡大し、インサート材８および結合材９を介して黒鉛
外筒６に拡散接合（または硬ろう付け）によって接合さ
せられる。
こうして金属内筒７に接合された黒鉛外筒６は、接合後
の冷却過程で金属との熱膨張率の差によって径方向ある
いは軸方向等に力を受ける。軸方向の熱膨張率の差は、
インサート材８が塑性変形することにより緩和されるた
め、黒鉛外筒６の両端部６ａ，６ｂ等が冷却過程で破損
することを防止できる。なお第２図中に想像線で示すよ
うに、黒鉛外筒６の両端部５ａ，６ｂを全周にわたって
テーパ状または曲面状に面取りすることにより、更にク
ラックを発生しにくいものにしてもよい。
の冷却過程で金属との熱膨張率の差によって径方向ある
いは軸方向等に力を受ける。軸方向の熱膨張率の差は、
インサート材８が塑性変形することにより緩和されるた
め、黒鉛外筒６の両端部６ａ，６ｂ等が冷却過程で破損
することを防止できる。なお第２図中に想像線で示すよ
うに、黒鉛外筒６の両端部５ａ，６ｂを全周にわたって
テーパ状または曲面状に面取りすることにより、更にク
ラックを発生しにくいものにしてもよい。
熱膨張率の差は径方向にも現われる。しかし黒鉛外筒６
の径が例えば数mmないし数十ｍｍ程度と小さい場合に
は、特に対策を講じなくとも黒鉛外筒６は金属内筒７に
対して比較的安定した接合状態を維持できる。しかし黒
鉛外筒６の径が比較的大きく、金属内筒７に対する径方
向の熱膨張率の差が問題になる場合には、以下述べるよ
うな手段を講じることが望ましい。
の径が例えば数mmないし数十ｍｍ程度と小さい場合に
は、特に対策を講じなくとも黒鉛外筒６は金属内筒７に
対して比較的安定した接合状態を維持できる。しかし黒
鉛外筒６の径が比較的大きく、金属内筒７に対する径方
向の熱膨張率の差が問題になる場合には、以下述べるよ
うな手段を講じることが望ましい。
すなわち、第２図に示されるように金属内筒７の内面７
ａをテーパ状にする。このテーパ状内面７ａには、黒鉛
または黒鉛と同等の熱膨張率の材料からなる押え部材１
０が挿入される。押え部材１０は円錐台状をなし、その
外面は上記テーパ状内面７ａと一致するようにテーパ状
をなしている。
ａをテーパ状にする。このテーパ状内面７ａには、黒鉛
または黒鉛と同等の熱膨張率の材料からなる押え部材１
０が挿入される。押え部材１０は円錐台状をなし、その
外面は上記テーパ状内面７ａと一致するようにテーパ状
をなしている。
第２図に示されるように常温で黒鉛外筒６に金属内筒７
とインサート材８および押え部材１０等をセットし、接
合温度まで加熱する。この加熱によって、金属内筒７の
外径と内径が相対的に広がるから、押え部材１０に矢印
Ｆ方向から適当な荷重を付加することによって、押え部
材１０を奥まで圧入する。
とインサート材８および押え部材１０等をセットし、接
合温度まで加熱する。この加熱によって、金属内筒７の
外径と内径が相対的に広がるから、押え部材１０に矢印
Ｆ方向から適当な荷重を付加することによって、押え部
材１０を奥まで圧入する。
このように押え部材１０を押込みつつ接合温度まで加熱
することにより、黒鉛外筒６と金属内筒７はインサート
材８および結合材９を介して拡散接合（または硬ろう付
け）によって接合させられる。そして押え部材１０に荷
重を付加し続けながら冷却すると、押え部材１０は金属
内筒７から押出されることなく嵌合状態を維持する。
することにより、黒鉛外筒６と金属内筒７はインサート
材８および結合材９を介して拡散接合（または硬ろう付
け）によって接合させられる。そして押え部材１０に荷
重を付加し続けながら冷却すると、押え部材１０は金属
内筒７から押出されることなく嵌合状態を維持する。
こうして金属内筒７は内部の押え部材１０によって収縮
が阻止され、径が広がった状態のまま常温まで戻される
から、冷却過程で一種の塑性変形を生じ、押え部材を除
去しても金属内筒７は拡径したままとなる。従って、黒
鉛外筒６と金属内筒７との接合面に剥離方向の過剰な力
が生じることを防げる。押え部材１０は通常は冷却後に
適宜の方法で除去するが、特に問題がなければ除去しな
いで挿入したまま残してもよい。
が阻止され、径が広がった状態のまま常温まで戻される
から、冷却過程で一種の塑性変形を生じ、押え部材を除
去しても金属内筒７は拡径したままとなる。従って、黒
鉛外筒６と金属内筒７との接合面に剥離方向の過剰な力
が生じることを防げる。押え部材１０は通常は冷却後に
適宜の方法で除去するが、特に問題がなければ除去しな
いで挿入したまま残してもよい。
上述した複合材５によれば、単なる焼き嵌めや冷やし嵌
め等の機械的嵌合に比べて耐熱性と接合強度が高い。し
かも接着剤を使用した場合のような汚染物質の放出も生
じないため、例えば次に述べるような用途に使用でき
る。
め等の機械的嵌合に比べて耐熱性と接合強度が高い。し
かも接着剤を使用した場合のような汚染物質の放出も生
じないため、例えば次に述べるような用途に使用でき
る。
黒鉛の耐熱性は非酸化性雰囲気では約2500℃と優れてい
るため、金属内筒７の内側を適宜の手段によって冷却す
ることにより、優れた高温耐熱性を発揮する。しかも黒
鉛外筒６と金属内筒７との機械的接合強度が高いため、
従来の接着や焼き嵌めでは強度的に使用できなかった条
件下で、メカニカルシールや軸受け等の摺動部材に使用
することが可能である。この場合、金属内筒７の材質は
鉄鋼系金属が適する。黒鉛は自己潤滑性があり、しかも
摩擦抵抗が小さいので無給油の軸受として使用すること
ができる。
るため、金属内筒７の内側を適宜の手段によって冷却す
ることにより、優れた高温耐熱性を発揮する。しかも黒
鉛外筒６と金属内筒７との機械的接合強度が高いため、
従来の接着や焼き嵌めでは強度的に使用できなかった条
件下で、メカニカルシールや軸受け等の摺動部材に使用
することが可能である。この場合、金属内筒７の材質は
鉄鋼系金属が適する。黒鉛は自己潤滑性があり、しかも
摩擦抵抗が小さいので無給油の軸受として使用すること
ができる。
しかも上記方法によって得られた複合材５は耐熱性が高
く、かつ高温でも汚染ガスの放出が無いので、例えばＸ
線発生用ターゲットやスパッタリングターゲットとして
炭素を用いる場合に、従来よりも高温度で使用可能であ
る。Ｘ線発生用のターゲットは真空中で使用され、しか
も電子線が照射させられて高温となるため耐熱性が要求
されるとともに、真空雰囲気の汚染のない接合が必要で
あるから、本発明の複合材はこの種の用途に好適であ
る。この場合、金属内筒７には例えば銅合金等が使用さ
れる。
く、かつ高温でも汚染ガスの放出が無いので、例えばＸ
線発生用ターゲットやスパッタリングターゲットとして
炭素を用いる場合に、従来よりも高温度で使用可能であ
る。Ｘ線発生用のターゲットは真空中で使用され、しか
も電子線が照射させられて高温となるため耐熱性が要求
されるとともに、真空雰囲気の汚染のない接合が必要で
あるから、本発明の複合材はこの種の用途に好適であ
る。この場合、金属内筒７には例えば銅合金等が使用さ
れる。
本発明によれば、互いに熱膨張率の異なる黒鉛外筒と金
属内筒を拡散接合や硬ろう付けなどのような高温接合に
よって互いに接合した場合に、黒鉛が破損することを防
止できる。しかも本発明の複合材は耐熱性があり、かつ
雰囲気中へのガスの放出の心配もない。
属内筒を拡散接合や硬ろう付けなどのような高温接合に
よって互いに接合した場合に、黒鉛が破損することを防
止できる。しかも本発明の複合材は耐熱性があり、かつ
雰囲気中へのガスの放出の心配もない。
第１図は本発明の一実施例を示す複合材の断面図、第２
図は第１図に示された複合材の製造過程において押え部
材を用いた場合の断面図、第３図は従来の複合材を例示
する断面図である。 ５…複合材、６…黒鉛外筒、７…金属内筒、８…インサ
ート材、９…結合材。
図は第１図に示された複合材の製造過程において押え部
材を用いた場合の断面図、第３図は従来の複合材を例示
する断面図である。 ５…複合材、６…黒鉛外筒、７…金属内筒、８…インサ
ート材、９…結合材。
Claims (1)
- 【請求項１】黒鉛製の外筒と、この外筒の内部に挿入さ
れる金属製の内筒と、この金属内筒と上記黒鉛外筒との
間に介在させられかつ上記金属内筒よりも柔らかい純銅
または純アルミニウムのいずれか一方からなり上記黒鉛
外筒と金属内筒との熱膨張率の差に基く両者間の寸法差
を塑性変形によって吸収可能な筒状のインサート材とを
具備し、かつ上記黒鉛外筒と金属内筒を拡散接合あるい
は硬ろう付け等の高温で行なう接合手段により上記イン
サート材を介して互いに接合させたことを特徴とする黒
鉛と金属からなる複合材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1039986A JPH069905B2 (ja) | 1986-01-21 | 1986-01-21 | 黒鉛と金属からなる複合材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1039986A JPH069905B2 (ja) | 1986-01-21 | 1986-01-21 | 黒鉛と金属からなる複合材 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62167041A JPS62167041A (ja) | 1987-07-23 |
| JPH069905B2 true JPH069905B2 (ja) | 1994-02-09 |
Family
ID=11749055
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1039986A Expired - Lifetime JPH069905B2 (ja) | 1986-01-21 | 1986-01-21 | 黒鉛と金属からなる複合材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH069905B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007059546A3 (de) * | 2005-11-23 | 2007-11-01 | Plansee Metall Gmbh | Verfahren zur herstellung eines rohrtargets |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5857611A (en) | 1995-08-16 | 1999-01-12 | Sony Corporation | Sputter target/backing plate assembly and method of making same |
| DE102004005663A1 (de) * | 2004-02-05 | 2005-09-01 | Zentrum für Material- und Umwelttechnik GmbH | Verfahren zum Herstellen einer Targetanordnung |
| JP5387118B2 (ja) * | 2008-06-10 | 2014-01-15 | 東ソー株式会社 | 円筒形スパッタリングターゲット及びその製造方法 |
| JP2011252237A (ja) * | 2011-09-16 | 2011-12-15 | Tosoh Corp | 円筒形スパッタリングターゲットの製造方法 |
| JP6089983B2 (ja) * | 2012-07-18 | 2017-03-08 | 三菱マテリアル株式会社 | 円筒形スパッタリングターゲットおよびその製造方法 |
| JP6552289B2 (ja) * | 2014-07-18 | 2019-07-31 | キヤノン株式会社 | Ｘ線発生管、ｘ線発生装置、ｘ線撮影システム |
| JP2021055120A (ja) * | 2019-09-27 | 2021-04-08 | 三菱マテリアル株式会社 | 円筒形スパッタリングターゲット及びその製造方法 |
-
1986
- 1986-01-21 JP JP1039986A patent/JPH069905B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007059546A3 (de) * | 2005-11-23 | 2007-11-01 | Plansee Metall Gmbh | Verfahren zur herstellung eines rohrtargets |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62167041A (ja) | 1987-07-23 |
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