KR20200133837A

KR20200133837A - 원통형 스퍼터링 타깃 및 그 제조 방법

Info

Publication number: KR20200133837A
Application number: KR1020207033610A
Authority: KR
Inventors: 마사노리 요스케
Original assignee: 미쓰비시 마테리알 가부시키가이샤
Priority date: 2012-07-18
Filing date: 2013-07-11
Publication date: 2020-11-30
Also published as: KR20150035518A; TWI588281B; JP6089983B2; JP2014037619A; TW201413022A; CN104246003B; CN104246003A; WO2014013925A1; KR102256426B1; CN104246003B9

Abstract

원통형의 타깃재와 배킹 튜브를 용이하고 확실하게 접합하여, 원통형 스퍼터링 타깃의 파손을 방지함과 함께 사용 효율을 향상시킨다. 배킹 튜브 (40) 의 일방의 단부를 더미 마개 (60) 에 의해 폐색하여 봉지 단부 (42) 로 해 두고, 접합재 충전 지그 (70) 에 형성된 배킹 튜브를 삽입 가능한 횡단면이 대략 원형인 오목상의 접합재 유지부 (72) 에 용융 상태의 접합재 (30) 를 저류시켜 두고, 봉지 단부 (42) 를 하방을 향하게 한 배킹 튜브 (40) 를, 접합재 충전 지그 (72) 에 올린 타깃재 (20) 의 내부에 간극 (g) 을 두고 삽입하고, 그 타깃재 (20) 를 통해 접합재 유지부 (72) 에 삽입함으로써, 용융 상태의 접합재 (30) 를 접합재 유지부 (72) 로부터 압출하여 타깃재 (20) 의 내주면과 배킹 튜브 (40) 의 외주면의 간극 (g) 에 충전한 후에 고화시키고, 접합재 충전 지그 (70) 로부터 떼어내어, 더미 마개 (60) 를 제거한다.

Description

원통형 스퍼터링 타깃 및 그 제조 방법{CYLINDRICAL SPUTTERING TARGET AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR}

본 발명은 마그네트론 스퍼터링 장치에 사용되는 원통형 스퍼터링 타깃 및 그 제조 방법에 관한 것이다.

본원은 2012년 7월 18일에 일본에 출원된 일본 특허출원 2012-159966호 및 2013년 6월 11일에 일본에 출원된 일본 특허출원 2013-122295호에 기초하여 우선권을 주장하고, 그 내용을 여기에 원용한다.

마그네트론 스퍼터링 장치로서, 타깃을 회전시키면서 스퍼터를 실시하는 원통형 스퍼터링 타깃을 구비한 마그네트론 스퍼터링 장치가 있다. 이 마그네트론 스퍼터링 장치에 있어서는, 원통형 타깃의 내측에 자석을 배치함과 함께 타깃의 내측에 냉각수를 흘림으로써 타깃을 냉각시키면서, 타깃을 회전시키면서 스퍼터를 실시한다.

이와 같은 원통형 스퍼터링 타깃을 사용하는 스퍼터링 장치는, 대면적의 성막에 적합하고, 타깃의 사용 효율이 매우 높다는 특징이 있다. 원통형 타깃은 내부에 냉각수를 유통시킬 수 있으므로 냉각 효율이 높고, 따라서 타깃에 높은 전력을 인가할 수 있어, 고속으로 성막하는 것이 가능하다. 또, 일반적으로 평판 타깃은 십수 ％ ∼ 30 ％ 정도의 사용 효율인 데에 반하여, 원통형 타깃에서는 타깃재의 전체면이 이로젼 영역이 되기 때문에, 약 80 ％ 의 매우 높은 사용 효율이 얻어진다.

이와 같은 원통형 타깃은, 종래에는 주로 건재 유리의 표면 코팅용 성막 장치에 사용되고 있고, 엄밀한 성막 분위기의 관리가 요구되는 전자 부품의 제조에 적용되는 경우는 거의 없었지만, 최근, 태양 전지나 플랫 패널 디스플레이 등 대형 전자 부품 제조용의 회전 캐소드형 스퍼터링 장치가 개발되고 있다. 이 때문에, 고품질의 원통형 타깃을 저비용으로 제조하는 것이 요구되고 있다.

특허문헌 1 에는, 동심상으로 배치한 원통형 타깃재와 원통형 기재 (배킹 튜브) 사이에 형성되는 공간 내에, 압력차를 이용하여 접합재 (땜납재) 를 빈틈없이 충전함으로써, 접합재가 공기를 끌어들이는 것을 방지하는 것이 기재되어 있다.

특허문헌 2 에는, 원통형 타깃재와 원통형 배킹 튜브 사이에 접합재를 주입할 때에 어댑터를 사용함으로써, 접합재가 공기를 끌어들이는 것을 방지하는 것이 기재되어 있다.

특허문헌 3 에는, 상하 방향을 따라 배치한 원통형 타깃재의 하단부에 상단부를 폐색시킨 배킹 튜브를 삽입함으로써 원통형 타깃재의 하단부를 폐색하고, 이 원통형 타깃재 중에 용융 상태의 접합제를 저류시키고, 이 상태에서 배킹 튜브를 원통형 타깃재의 상단부를 향하여 밀어넣음으로써 원통형 타깃재와 배킹 튜브 사이에 접합제를 충전하는 것이 기재되어 있다.

특허문헌 4 에는, 하단부를 폐쇄한 원통형 타깃재에 용융 상태의 접합재를 넣고, 그곳에 하단부를 폐쇄한 원통형 기체를 밀어넣음으로써 원통형 타깃재와 원통형 기체 사이에 접합재를 충만시키는 것이 기재되어 있다.

일본 공개특허공보 2010-70842호 일본 공개특허공보 2011-84795호 일본 공개특허공보 2011-127138호 일본 공개특허공보 평8-60351호

용융 상태의 접합재를 원통형 타깃재와 원통형 배킹 튜브 사이에 주입하는 경우, 용융 상태의 접합재가 기포를 끌어들이면, 기포 부분에서 열 전달이 불균일해져, 냉각 효율이 저하되거나 접합 후의 스퍼터링 타깃에 균열이나 박리 등의 파손이 발생하거나 할 우려가 있다. 이와 같은 사태를 방지하기 위해서, 접합재를 압력으로 밀어넣거나 진동을 가해 기포를 밀어내거나 하는 등의 방법이 제안되어 있다. 한편, 회전 상태에서 사용되는 원통형 스퍼터링 타깃을 확실하게 유지하는 것이 가능한 구조가 요구되고 있지만, 제조 방법에 따라서는 그러한 구조가 얻어지지 않는 경우가 있다.

본 발명은, 이와 같은 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 원통형 타깃재와 원통형 배킹 튜브를 용이하고 확실하게 접합하여, 사용시에 확실한 유지가 가능한 타깃을 형성하고, 제조시 및 사용시에 있어서의 원통형 스퍼터링 타깃의 파손을 방지함과 함께, 원통형 스퍼터링 타깃에 있어서의 사용 효율을 향상시키는 것을 목적으로 한다.

본 발명은, 원통형 배킹 튜브의 외주면과 원통형 타깃재의 내주면을 접합재에 의해 접합하여 원통형 스퍼터링 타깃을 제조하는 방법으로서, 상기 원통형 배킹 튜브의 일방의 단부를 더미 마개에 의해 폐색하여 봉지 단부로 해 두고, 접합재 충전 지그에 형성된 상기 원통형 배킹 튜브를 삽입 가능한 횡단면이 대략 원형인 오목상의 접합재 유지부에 용융 상태의 접합재를 저류시켜 두고, 상기 봉지 단부를 하방을 향하게 한 상기 원통형 배킹 튜브를, 상기 접합재 충전 지그에 올린 상기 원통형 타깃재의 내부에 간극을 두고 삽입하고, 그 원통형 타깃재를 통해 상기 접합재 유지부에 삽입함으로써, 용융 상태의 상기 접합재를 상기 접합재 유지부로부터 압출하여 상기 원통형 타깃재의 상기 내주면과 상기 원통형 배킹 튜브의 상기 외주면의 상기 간극에 충전한 후에 고화시키고, 상기 접합재 충전 지그로부터 떼어내어, 상기 더미 마개를 제거하는 원통형 스퍼터링 타깃의 제조 방법이다.

이 제조 방법에 의하면, 용융 상태의 접합재로 채운 접합재 유지부에 더미 마개로 봉지한 원통형 배킹 튜브의 봉지 단부가 삽입됨으로써, 접합재가 원통형 타깃재의 내주면과 원통형 배킹 튜브의 외주면의 간극으로 압출되어 충전된다. 그리고, 접합재가 고화된 후에 접합재 충전 지그로부터 꺼내 더미 마개나 접합재가 비어져 나온 부분 등의 불요 부분을 제거하는 것만으로, 원통형 타깃재와 원통형 배킹 튜브가 접합되어 이루어지는 원통형 스퍼터링 타깃을 용이하게 얻을 수 있다. 이 경우, 접합재는 원통형 타깃재와 원통형 배킹 튜브의 간극에 하방으로부터 상승하도록 충전되므로, 기포의 잔존에 의한 공극의 발생을 방지하여, 원통형 타깃재와 원통형 배킹 튜브를 강고하게 접합함과 함께, 이들의 열 전달성을 향상시켜 냉각성을 양호하게 할 수 있다.

또, 접합재 충전 지그에 있어서 접합재를 충전할 때에, 접합재 유지부에 삽입하는 원통형 배킹 튜브를 원통형 타깃재의 일단부로부터 돌출시키므로, 원통형 타깃재의 양단으로부터 원통재 배킹 튜브가 돌출된 원통형 스퍼터링 타깃을 용이하게 제조할 수 있다. 이 때, 접합재 유지부의 용량, 더미 마개의 크기 등을 적절히 조정함으로써, 각 부재 사이로 압출되어 충전되는 접합재의 양을 조정할 수 있다.

이 제조 방법에 있어서, 상기 원통형 배킹 튜브의 상기 외주면의 적어도 일부에, 상기 원통형 타깃재의 상기 내주면에 대한 일정한 간격을 형성하는 스페이서를 형성해 두는 것이 바람직하다. 이 경우, 원통형 배킹 튜브에 대해 원통형 타깃재를 동심상으로 배치하여, 편심이 없는 원통형 스퍼터링 타깃을 얻을 수 있다. 또, 원통형 배킹 튜브와 원통형 타깃재의 간극이 스페이서에 의해 전체 둘레에 걸쳐서 균일해짐으로써, 열 전달이 균일해져, 제조시 및 사용시에 있어서의 열 팽창에 의한 원통형 스퍼터링 타깃의 파손을 방지할 수 있다.

또, 이 제조 방법에 있어서, 상기 스페이서는 구리제 또는 SUS 제인 것이 바람직하다. 구리는, 열 전도성이 높기 때문에, 원통형 배킹 튜브와 원통형 타깃재의 열 전달성이 향상된다. 한편, SUS 는 강도가 우수하므로 절곡 등이 발생하기 어려워, 원통형 타깃재에 원통형 배킹 튜브를 삽입할 때의 작업성을 향상시킨다. 또, 열 전달성을 저해하는 경우도 없다.

또한, 이 제조 방법에 있어서, 상기 접합재는 금속계이고, 상기 원통형 배킹 튜브의 상기 외주면 및 상기 원통형 타깃재의 상기 내주면을 미리 메탈라이즈해 두는 것이 바람직하다. 접합재로서 In 계 저융점 땜납재 등의 금속재를 사용하는 경우, 미리 원통형 배킹 튜브의 외주면과 원통형 타깃재의 내주면을 메탈라이즈해 둠으로써, 각 둘레면에 접합재가 원활히 흘러 부착되기 쉬워지므로, 원통형 배킹 튜브와 원통형 타깃재 사이에 기포 등을 형성하지 않고, 균일한 열 전달이 가능한 원통형 스퍼터링 타깃을 제조할 수 있다.

또 본 발명은, 원통형 타깃재와, 이 원통형 타깃재의 양단으로부터 돌출되어 상기 원통형 타깃재의 내주면에 접합재에 의해 접합된 원통형 배킹 튜브와, 상기 원통형 타깃재의 내주면과 상기 원통형 배킹 튜브의 상기 외주면 사이의 적어도 양 단부에 배치된 스페이서를 구비하는 원통형 스퍼터링 타깃이다.

이 원통형 스퍼터링 타깃에 의하면, 배킹 튜브가 타깃재의 양단으로부터 돌출되어 있으므로, 스퍼터링 장치에 있어서 확실하게 유지되기 쉽고, 타깃재의 전체면을 효율적으로 사용할 수 있다. 또, 스페이서에 의해 원통형 타깃재와 원통형 배킹 튜브 사이에 접합재가 간극 없이 충전되어 열 전달성이 양호해지므로, 열 수축에 의한 파손이 발생하기 어렵다.

본 발명의 원통형 스퍼터링 타깃 및 그 제조 방법에 의하면, 원통형 타깃재와 원통형 배킹 튜브를 용이하고 확실하게 접합하여, 사용시에 확실한 유지가 가능한 타깃을 형성하고, 제조시 및 사용시에 있어서의 원통형 스퍼터링 타깃의 파손을 방지함과 함께, 원통형 스퍼터링 타깃에 있어서의 사용 효율을 향상시킬 수 있다.

도 1 은 본 발명에 관련된 원통형 스퍼터링 타깃의 제조 방법에 있어서의 일 공정을 나타내는 단면도이다.
도 2 는 본 발명에 관련된 원통형 스퍼터링 타깃의 제조 방법에 있어서, 도 1 에 나타내는 공정에 이어지는 공정을 나타내는 단면도이다.
도 3 은 본 발명에 관련된 원통형 스퍼터링 타깃을 나타내는 단면도이다.

이하, 본 발명에 관련된 원통형 스퍼터링 타깃 및 그 제조 방법의 실시형태에 대해 설명한다. 원통형 스퍼터링 타깃 (10) 은, 원통형 타깃재 (이하, 「타깃재」) (20) 와, 이 타깃재 (20) 의 양단으로부터 돌출되어 타깃재 (20) 의 내주면 (21) 에 접합재 (30) 에 의해 접합된 원통형 배킹 튜브 (이하, 「배킹 튜브」) (40) 와, 타깃재 (20) 의 내주면 (21) 과 배킹 튜브 (40) 의 외주면 (41) 사이의 적어도 양 단부에 배치된 금속제의 스페이서 (50) 를 구비한다 (도 3).

도 1 ∼ 도 3 에 배킹 튜브 (40) 의 외주면 (41) 과 타깃재 (20) 의 내주면 (21) 을 접합재 (30) 에 의해 접합하여 원통형 스퍼터링 타깃 (10) 을 제조하는 각 공정을 나타낸다. 먼저, 이들의 공정 전에, 배킹 튜브 (40) 의 일방의 단부를 더미 마개 (60) 에 의해 폐색하여 봉지 단부 (42) 로 해 둠과 함께, 배킹 튜브 (40) 의 외주면 (41) 의 적어도 일부에, 타깃재 (20) 의 내주면 (21) 에 대한 일정한 간격을 형성하는 스페이서 (50) 를 형성해 둔다 (도 1).

스페이서 (50) 는, 구리제 또는 SUS 제가 바람직하고, 예를 들어 직경 0.8 ㎜ 의 와이어 형상으로 하는 것이 바람직하다. 또, 이 스페이서 (50) 는, 내열 테이프에 의해 배킹 튜브 (40) 에 첩부 (貼付) 함으로써 설치할 수 있지만, 배킹 튜브 (40) 에 대해 타깃재 (20) 를 동심상으로 배치시킬 수 있음과 함께, 이후에 충전되는 용융 상태의 접합재 (30) 의 흐름을 저해하지 않도록 형성하는 것이 바람직하다. 즉, 적어도 배킹 튜브 (40) 의 양 단부 근방에, 둘레 방향에 복수 지점, 길이 방향으로 연장되도록 형성하는 것이 바람직하다.

타깃재 (20) 및 배킹 튜브 (40) 의 재료나 치수는 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어, 타깃재 (20) 는 Cu, Ag, Ti 등의 금속이나 세라믹스 등으로 이루어지는 내경 135 ㎜, 길이 1 ∼ 3 m 의 통상 부재, 배킹 튜브 (40) 는 Ti 또는 SUS 제의 외경 133 ㎜, 길이 1 ∼ 3 m 의 통상 부재를 사용할 수 있다. 접합재 (30) 는, 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 In 계 저융점 땜납재와 같은 금속계 재료를 사용할 수 있다. 타깃재 (20) 가 내경 135 ㎜, 배킹 튜브 (40) 가 외경 133 ㎜ 인 경우, 이들의 간극 (g) 은 반경으로 1 ㎜ 가 되지만, 타깃재 (20) 의 내경으로는 134 ㎜ ∼ 137 ㎜ 인 것을 적용할 수 있고, 그 경우, 간극 (g) 은 0.5 ㎜ ∼ 2 ㎜ 가 바람직하다. 간극 (g) 이 0.5 ㎜ 미만에서는, 접합재 (30) 가 적어 쿠션성이 없어짐으로써 충격에 대해 약해질 가능성이 있고, 2 ㎜ 를 초과하는 경우에는, 사용시의 냉각 효과가 얻어지기 어려워져, 접합재 (30) 가 낭비되어 버린다.

또한, 이들 타깃재 (20) 의 내주면 (21) 및 배킹 튜브 (40) 의 외주면 (41) 을 미리 메탈라이즈해 둔다. 메탈라이즈는, 예를 들어, 가열 상태의 각 표면에 용융 상태의 접합재 (30) 를 배치하고, 히터를 탑재한 초음파 아이론 등에 의해 초음파 진동을 가하면서 접합재 (30) 를 바름으로써 행해진다. 메탈라이즈에 의해 각 표면에 있어서의 오염의 제거, 산화막의 환원, 기포의 제거 등이 촉진되어, 각 표면에 접합재 (30) 를 잘 융합되게 할 수 있다.

그리고, 도 1 내지 도 3 에 나타내는 바와 같이, 접합재 충전 지그 (70) 를 이용하여, 타깃재 (20) 와 배킹 튜브 (40) 를 접합한다. 접합재 충전 지그 (70) 는, 상하 방향을 따라 배치된 타깃재 (20) 의 하단면이 밀접해지는 타깃재 유지부 (71) 와, 이 타깃재 유지부 (71) 의 내측에 형성되고 배킹 튜브 (40) 를 삽입 가능한 횡단면이 대략 원형인 오목상의 접합재 유지부 (72) 를 갖는다. 이 접합재 유지부 (72) 의 내경은, 배킹 튜브 (40) 의 외경보다 크고, 타깃재 (20) 의 내경과 거의 동일하게 설정되어 있다. 타깃재 유지부 (71) 에는, 타깃재 (20) 의 하단면과 접합재 충전 지그 (70) 를 밀접하게 하여, 용융 상태의 접합재 (30) 의 누출을 방지하는 링 판상의 패킹 (P) 이 배치되어 있다.

먼저, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 접합재 충전 지그 (70) 의 접합재 유지부 (72) 에 용융 상태의 접합재 (30) 를 저류시킴과 함께, 타깃재 유지부 (71) 에 타깃재 (20) 를 유지시켜 상하 방향을 따라 배치한다. 그리고, 외주면 (41) 에 스페이서 (50) 를 구비하는 배킹 튜브 (40) 를, 더미 마개 (60) 에 의해 봉지된 봉지 단부 (42) 를 하방을 향하게 하여 이 타깃재 (20) 의 내부에 삽입하고, 이 타깃재 (20) 를 통해 접합재 유지부 (72) 에 삽입한다.

도 2 에 나타내는 바와 같이, 타깃재 (20) 의 내주면과 배킹 튜브 (40) 의 외주면 사이에는 간극 (g) 이 형성되어 있으므로, 접합재 유지부 (72) 에 배킹 튜브 (40) 가 삽입되면, 용융 상태의 접합재 (30) 가 접합재 유지부 (72) 로부터 압출되어 타깃재 (20) 의 내주면 (21) 과 배킹 튜브 (40) 의 외주면 (41) 의 간극 (g) 에 충전된다. 이 간극 (g) 에 충전된 접합재 (30) 가 고화된 후, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 이 접합재 (30) 에 의해 서로 접합된 배킹 튜브 (40) 와 타깃재 (20) 를 접합재 충전 지그 (70) 로부터 떼어내어, 불필요한 더미 마개 (60) 나 비어져 나온 접합재 (30) 등을 제거함으로써, 원통형 스퍼터링 타깃 (10) 이 얻어진다.

또한, 접합재 유지부 (72) 전체의 용적은, 배킹 튜브 (40) 의 하단부가 삽입되어 더미 마개 (60) 의 하단면이 접합재 유지부 (72) 의 바닥면에 이르렀을 때에, 배킹 튜브 (40) 의 외주면과 접합재 유지부 (72) 의 내주면 및 타깃재 (20) 의 내주면 사이에 형성되는 간극의 전체 용적 이상이면 되고, 도 2 에 나타내는 바와 같이 타깃재 (20) 의 상단에 접합재 (30) 가 약간 비어져 나온 정도가 좋다.

이상 설명한 본 발명의 일 실시형태에 관련된 제조 방법에 의해, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 원통형 타깃재 (20) 와, 이 원통형 타깃재 (20) 의 양단으로부터 돌출되어 원통형 타깃재 (20) 의 내주면 (21) 에 접합재 (30) 에 의해 접합된 원통형 배킹 튜브 (40) 와, 원통형 타깃재 (20) 의 내주면 (21) 과 원통형 배킹 튜브 (40) 의 외주면 (41) 사이의 적어도 양 단부에 배치된 금속제의 스페이서 (50) 를 구비하는 본 발명에 관련된 원통형 스퍼터링 타깃 (10) 이 얻어진다.

이상 설명한 바와 같이 본 발명에 관련된 제조 방법에 의하면, 접합재 유지부 (72) 의 깊이와 더미 마개 (60) 의 길이를 조정함으로써, 임의의 길이의 타깃재 (20) 와 배킹 튜브 (40) 를 접합할 수 있음과 함께, 타깃재 (20) 의 단부로부터 돌출되는 배킹 튜브 (40) 의 길이를 조정할 수 있다. 따라서, 타깃재 (20) 의 양단으로부터 배킹 튜브 (40) 의 양 단부를 임의의 길이로 돌출시킴으로써, 사용시에 확실하게 유지 가능한 부분을 갖는 원통형 스퍼터링 타깃 (10) 을 용이하게 제조할 수 있다.

또, 이 원통형 스퍼터링 타깃 (10) 에 있어서는, 접합재 (30) 가 타깃재 (20) 와 배킹 튜브 (40) 의 간극 (g) 에 하단에서부터 상승하면서 충전되므로, 기포의 잔존에 의한 공극의 발생이 방지되어 간극 없이 충전된다. 따라서, 타깃재 (20) 와 배킹 튜브 (40) 를 강고하게 접합함과 함께, 이들 사이의 열 전달성을 향상시켜 타깃재 (20) 를 효율적으로 냉각시킬 수 있으므로, 열 팽창에 의한 파손도 발생하기 어렵고, 스퍼터링 장치에서의 사용시에는 원통형 스퍼터링 타깃 (10) 에 고전압을 가할 수 있어 고속의 성막이 가능해진다. 또, 타깃재 (20) 로부터 돌출되는 배킹 튜브 (40) 를 유지할 수 있으므로, 타깃재 (20) 전체를 사용할 수 있어, 사용 효율을 향상시킬 수 있다.

또한, 본 발명은 상기 실시형태의 구성인 것에 한정되는 것이 아니라, 세부 구성에 있어서는, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에 있어서 여러 가지 변경을 가하는 것이 가능하다.

예를 들어, 실시형태에서는 타깃재의 내주면과 배킹 튜브의 외주면 사이의 간극 (g) 을 전체 둘레에 걸쳐서 형성했지만, 이들 타깃재와 배킹 튜브를 접합할 수 있는 양의 접합재를 충전할 수 있으면, 반드시 전체 둘레에 간극을 형성하지 않아도, 타깃재의 길이 방향을 따른 홈상이나 나선상의 간극으로 하는 등, 간극을 부분적으로 형성하는 것을 금지하는 것은 아니다.

10 : 원통형 스퍼터링 타깃
20 : 원통형 타깃재
21 : 내주면
30 : 접합재
40 : 원통형 배킹 튜브
41 : 외주면
42 : 봉지 단부
50 : 스페이서
60 : 더미 마개
70 : 접합재 충전 지그
71 : 타깃재 유지부
72 : 접합재 유지부
P : 패킹
g : 간극

Claims

원통형 배킹 튜브의 외주면과 원통형 타깃재의 내주면을 접합재에 의해 접합하여 원통형 스퍼터링 타깃을 제조하는 방법으로서,
상기 원통형 배킹 튜브의 일방의 단부를 더미 마개에 의해 폐색하여 봉지 단부로 해 두고,
접합재 충전 지그에 형성된 상기 원통형 배킹 튜브를 삽입 가능한 횡단면이 원형인 오목상의 접합재 유지부에 용융 상태의 접합재를 저류시켜 두고,
상기 봉지 단부를 하방을 향하게 한 상기 원통형 배킹 튜브를, 상기 접합재 충전 지그에 올린 상기 원통형 타깃재의 내부에 간극을 두고 삽입하고, 그 원통형 타깃재를 통해 상기 접합재 유지부에 삽입함으로써, 용융 상태의 상기 접합재를 상기 접합재 유지부로부터 압출하여 상기 원통형 타깃재의 상기 내주면과 상기 원통형 배킹 튜브의 상기 외주면 사이의 상기 간극에 충전한 후에 고화시키고, 상기 접합재 충전 지그로부터 떼어내어, 상기 더미 마개를 제거하는 것을 특징으로 하는 원통형 스퍼터링 타깃의 제조 방법.
제 1 항에 있어서,
상기 원통형 배킹 튜브의 상기 외주면의 적어도 일부에, 상기 원통형 타깃재의 상기 내주면에 대한 일정한 간격을 형성하는 스페이서를 형성해 두는 것을 특징으로 하는 원통형 스퍼터링 타깃의 제조 방법.
제 2 항에 있어서,
상기 스페이서는 구리제 또는 SUS 제인 것을 특징으로 하는 원통형 스퍼터링 타깃의 제조 방법.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 접합재는 금속계이고, 상기 원통형 배킹 튜브의 상기 외주면 및 상기 원통형 타깃재의 상기 내주면을 미리 메탈라이즈해 두는 것을 특징으로 하는 원통형 스퍼터링 타깃의 제조 방법.
원통형 타깃재와,
이 원통형 타깃재의 양단으로부터 돌출되어 상기 원통형 타깃재의 내주면에 접합재에 의해 접합된 원통형 배킹 튜브와,
상기 원통형 타깃재의 내주면과 상기 원통형 배킹 튜브의 외주면 사이의 양 단부에만 배치된 금속제의 스페이서를 구비하는 것을 특징으로 하는 원통형 스퍼터링 타깃.
제 5 항에 있어서,
상기 스페이서는, 와이어로 이루어진 것을 특징으로 하는 원통형 스퍼터링 타깃.
제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,
상기 스페이서는, 상기 원통형 배킹 튜브의 길이 방향으로 연장되도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 원통형 스퍼터링 타깃.