JP6076043B2 - チャックテーブル - Google Patents

Description

本発明は、ウェーハなどの被加工物を保持するチャックテーブルに関する。

表面にデバイスの形成されたウェーハなどの被加工物は、切削装置やレーザー加工装置などの加工装置で加工される。これらの加工装置は、被加工物を加工するための加工ユニットと、加工の際に被加工物を保持するチャックテーブルとを備えている（例えば、特許文献１参照）。チャックテーブルは、ポーラスセラミック材による保持部を有しており、被加工物は、保持部において吸着保持される。被加工物の保持されたチャックテーブルを加工ユニットに対して相対移動させることで、加工ユニットの加工位置を変化させて被加工物を加工できる。

特開２０１１−１６５９３２号公報

上述の加工装置において、チャックテーブルは、破損や経年劣化などの不具合に応じて交換できるようになっている。ところが、チャックテーブルは、被加工物の保持に必要な剛性を保つためにある程度の厚みを有しているので、例えば、４５０ｍｍ径（口径）の被加工物を保持可能な大径のチャックテーブルなどでは重量が大きくなり、交換作業に係る負担も大きくなっていた。

本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、交換作業に係る負担を軽減可能なチャックテーブルを提供することを目的とする。

本発明のチャックテーブルは、加工装置内に配設されたチャックテーブルベースに支持され、被加工物を上面に保持するチャックテーブルであって、該チャックテーブルは、被加工物の外形に合わせた薄板状に形成され、該チャックテーブルの総重量を分けるように厚み方向に第一のテーブルと第二のテーブルに分割されており、該第一のテーブルは、被加工物を保持する保持部と、該保持部を上側に配設した基台部と該保持部と反対側の該基台部下面であり該第二のテーブルと当接する第一の当接面と、該基台部に形成された該第一の当接面から該保持部に貫通する第一の吸引孔と、を備え、該第二のテーブルは、該第一の当接面と当接する第二の当接面と、該第二の当接面の反対の面であり該チャックテーブルベースの所定の位置に支持される支持面と、該支持面から該第二の当接面へ貫通する第二の吸引孔と、該当接面の該第二の吸引孔が形成された箇所以外の箇所に形成された溝と、該溝から該支持面に貫通する第三の吸引孔と、を備え、該第一の当接面及び該第二の当接面には、該第一の吸引孔と該第二の吸引孔が連結するように該第一のテーブルと該第二のテーブル同士を位置決めするための第一の位置決め部を備え、該第二のテーブルの該支持面と該チャックテーブルベースには、該第二のテーブルと該チャックテーブル同士を位置決めするための第二の位置決め部を備え、該チャックテーブルベースには、該第二のテーブルが該第二の位置決め部により位置決めされて支持されると該第二の吸引孔及び該第三の吸引孔に接続される負圧生成源からの供給口が形成されており、該第一のテーブル及び該第二のテーブルが各々着脱自在であること、を特徴とする。

この構成によれば、チャックテーブルは、取り扱いに適した重量となるように厚み方向において第一のテーブルと第二のテーブルとに分割されているので、チャックテーブルの交換作業に係る負担を軽減できる。

本発明のチャックテーブルにおいて、該第二のテーブルには、該第二のテーブル上から該第一のテーブルを剥離する際に該第一のテーブルの第一の面を保持するための切り欠けを外周に２以上備えていることが好ましい。この構成によれば、第二のテーブルの外周に切り欠けを有するので、第一のテーブルと第二のテーブルとが当接された状態においても、第一のテーブルを容易に把持して第二のテーブルから分離できる。

本発明のチャックテーブルにおいて、該チャックテーブルベースの外径は、該チャックテーブルの外径よりも小さくて良い。この構成によれば、チャックテーブルは、取り扱いに適した重量となるように厚み方向において第一のテーブルと第二のテーブルとに分割されているので、チャックテーブルベースの外径がチャックテーブルの外径より小さい場合でも、交換作業に係る負担を増大させずにチャックテーブルの剛性を保つことができる。

本発明によれば、交換作業に係る負担を軽減可能なチャックテーブルを提供できる。

本実施の形態に係る切削装置の構成例を示す斜視図である。 本実施の形態に係るチャックテーブルの構成例を示す斜視図である。 本実施の形態に係るチャックテーブルの構成例を示す平面模式図である。 本実施の形態に係るチャックテーブルがチャックテーブルベースに装着された状態を示す断面模式図である。

以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。図１は、本実施の形態に係るチャックテーブル４を備える切削装置（加工装置）１の構成例を示す斜視図である。本実施の形態の切削装置１は、チャックテーブル４に保持される円板状のウェーハ（被加工物、不図示）を切削加工できるように構成されている。

図１に示すように、切削装置１は、内部に空間の形成された直方体状の筐体２を備えている。筐体２の内部には、切削ブレードを備える切削ユニット（不図示）が収容されている。筐体２の下部には、筐体２の内部と外部との間を移動可能な移動テーブル３が配置されている。移動テーブル３の上方には、チャックテーブル４が設けられている。なお、図１では、移動テーブル３及びチャックテーブル４が筐体２の外部に位置付けられた状態を示している。

筐体２の前方には、移動テーブル３及びチャックテーブル４に隣接するように、ウェーハを搬入又は搬出する搬入搬出部５が設けられている。筐体２の前面２ａには、搬入搬出部５とチャックテーブル４との間でウェーハの受け渡しを行うプッシュプルアーム６及びピックアップアーム７が設けられている。チャックテーブル４より僅かに高い位置には、ウェーハを仮置きするための仮置き機構８が設けられている。さらに、筐体２の側面２ｂには、切削装置１に各種の加工条件を設定するためのタッチパネル式のモニター９が設けられている。

搬入搬出部５は、ウェーハを収容するカセット（不図示）の載置されるカセットエレベータ５１を備えている。カセットエレベータ５１は、昇降可能に構成されており、カセットに収容されるウェーハの位置を高さ方向（Ｚ軸方向）において調整する。プッシュプルアーム６は、カセットエレベータ５１の昇降により高さの調節されたウェーハをカセットから引き出し、仮置き機構８に載置する。また、仮置き機構８に載置されたウェーハをカセットに押し込んで収容させる。

仮置き機構８は、一対のガイドレール８１，８２を備えている。ガイドレール８１，８２は、Ｌ字型の断面形状を有しており、相互に離間接近可能に構成されている。ガイドレール８１，８２は、プッシュプルアーム６によりカセットからウェーハが引き出される際に、相互に接近された接近位置に移動してウェーハを支持する。ウェーハは、ガイドレール８１，８２に沿って、チャックテーブル４の上方に位置合わせされる。ガイドレール８１，８２からウェーハが移動されると、ガイドレール８１，８２は、相互に離間された離間位置に移動する。

ピックアップアーム７は、ガイドレール８１，８２に載置されたウェーハをピックアップする。ウェーハがピックアップされると、ガイドレール８１，８２は、上述のように相互に離間された離間位置に移動する。離間位置に移動されてガイドレール８１とガイドレール８２との間にウェーハの通る隙間ができた状態で、ピックアップアーム７は、ウェーハをチャックテーブル４に載置する。

また、ピックアップアーム７は、チャックテーブル４に載置された加工後のウェーハをピックアップする。ウェーハがピックアップされると、ガイドレール８１，８２は相互に接近された接近位置に移動する。接近位置に移動されたガイドレール８１，８２でウェーハを保持できる状態になると、ピックアップアーム７は、ウェーハをガイドレール８１，８２に載置する。

移動テーブル３は、下部に設けられた移動機構（不図示）で前後方向（Ｘ軸方向）に移動される。移動テーブル３の上部には、円筒状のチャックテーブルベース３１が設けられている（図１において不図示、図４参照）。チャックテーブルベース３１は、回転機構（不図示）を備えており、鉛直軸（Ｚ軸）の周りに回転する。チャックテーブルベース３１の上部には、ウェーハを吸着保持するチャックテーブル４が着脱可能に取り付けられている。チャックテーブル４に保持されるウェーハは、移動テーブル３の移動及びチャックテーブルベース３１の回転により筐体２内の切削ユニットに対して相対移動及び相対回転される。

次に、図２〜図４を参照して、切削装置１が備えるチャックテーブル４の詳細を説明する。図２は、本実施の形態に係るチャックテーブル４の構成例を示す斜視図であり、図３は、本実施の形態に係るチャックテーブル４の構成例を示す平面模式図であり、図４は、本実施の形態に係るチャックテーブル４がチャックテーブルベース３１に装着された状態を示す断面模式図である。なお、図４では、図３のＩＶ−ＩＶ矢視断面に相当する断面を模式的に示している。

図２〜図４に示すように、チャックテーブル４は、ウェーハの形状に対応する円板状の第一のテーブル４１及び第二のテーブル４２を含む。第一のテーブル４１と第二のテーブル４２とは、第二のテーブル４２の上方に第一のテーブル４１を重ねた状態で、第二のテーブル４２側をチャックテーブルベース３１に固定される。第一のテーブル４１及び第二のテーブル４２は、それぞれ、ステンレスなどの金属材料で形成された円板状の基台部４１１，４２１を備えている。

第一のテーブル４１を構成する基台部４１１の上面Ａ１には、円形の開口部Ｏ１が形成されている。この開口部Ｏ１には、ウェーハの当接される円板状の保持部４１２が配置されている。保持部４１２は、ポーラスセラミック材料で形成されており、保持部４１２の表面４１２ａには、後述のように負圧生成源（不図示）からの負圧に応じて吸引力が発生する。保持部４１２の表面４１２ａにウェーハを当接させた状態で吸引力を発生させることで、ウェーハは保持部４１２に吸着保持される。

また、図３Ａ及び図４に示すように、基台部４１１の下面（第一の当接面）Ｂ１には、溝Ｄ１が設けられている。この溝Ｄ１は、同心円状に形成された円形溝Ｄ２ａ及び２個の環状溝Ｄ２ｂ，Ｄ２ｃを、放射状に伸びる４個の線状溝Ｄ３ａ，Ｄ３ｂ，Ｄ３ｃ，Ｄ３ｄで連結した形状を有している。円形溝Ｄ２ａ、環状溝Ｄ２ｂ、線状溝Ｄ３ａ，Ｄ３ｂで囲まれた領域には、下面Ｂ１から上面Ａ１（開口部Ｏ１の底部）に向かって基台部４１１を貫通する吸引孔（第一の吸引孔）Ｈ１が形成されている。

図３Ｂ及び図４に示すように、基台部４１１の下面Ｂ１に当接する基台部４２１の上面（第二の当接面）Ａ２には、溝Ｄ４が設けられている。溝Ｄ４は、基台部４１１の下面Ｂ１に形成された溝Ｄ１と対応する位置に形成されている。具体的には、溝Ｄ４は、同心円状に形成された円形溝Ｄ５ａ及び２個の環状溝Ｄ５ｂ，Ｄ５ｃを、放射状に伸びる４個の線状溝Ｄ６ａ，Ｄ６ｂ，Ｄ６ｃ，Ｄ６ｄで連結した形状を有している。

基台部４２１において、円形溝Ｄ５ａ、環状溝Ｄ５ｂ、線状溝Ｄ６ａ，Ｄ６ｂで囲まれた領域には、上面Ａ２からチャックテーブルベース３１と当接される下面（支持面）Ｂ２側に向かって基台部４２１を貫通する吸引孔（第二の吸引孔）Ｈ２が形成されている。また、円形溝Ｄ５ａ内には、円形溝Ｄ５ａの底部から下面Ｂ２側に向かって基台部４２１を貫通する吸引孔（第三の吸引孔）Ｈ３が形成されている。

基台部４２１の下面Ｂ２には、溝Ｄ７（図４参照）が設けられている。また、チャックテーブルベース３１の上面Ａ３には、溝Ｄ８が設けられている。基台部４２１の溝Ｄ７は、チャックテーブルベース３１の溝Ｄ８と対応する位置に形成されている。溝Ｄ７，Ｄ８は、例えば、溝Ｄ１，Ｄ４などと同様に、円形溝と線状溝とを組み合わせた形状に形成されている。

チャックテーブルベース３１には、吸引孔Ｈ２，Ｈ３に対応する位置に、吸引孔（供給口）Ｈ４，Ｈ５が設けられている。チャックテーブルベース３１の溝Ｄ８の底には、吸引孔Ｈ６が形成されている。吸引孔Ｈ４，Ｈ５，Ｈ６は、それぞれ、真空ポンプなどの負圧生成源と接続されている。なお、吸引孔Ｈ４，Ｈ５，Ｈ６は、共通の負圧生成源に接続されていても良いし、異なる負圧生成源に接続されていても良い。

チャックテーブルベース３１の外径は、チャックテーブル４の外径より小さくなっている。つまり、チャックテーブルベース３１の外径は、第一のテーブル４１及び第二のテーブル４２の外径より小さくなっている。例えば、３００ｍｍ径（口径）のウェーハ用に設計されたチャックテーブルベース３１に、４５０ｍｍ径（口径）のウェーハ用に設計されたチャックテーブル４を載置させることが出来る。ただし、チャックテーブルベース３１の外径は、チャックテーブル４の外径と同程度でも良い。

図２及び図３に示すように、基台部４２１の外周には、基台部４２１の側面Ｓ２の一部を窪ませるように２個の切り欠けＣが形成されている。これに対し、基台部４１１の外周には、切り欠けが形成されておらず、基台部４２１の切り欠けＣと対応する位置において基台部４１１の側面Ｓ１は窪んでいない。このため、作業者の手又は指を切り欠けＣに挿入すれば、第一のテーブル４１と第二のテーブル４２とが重なった状態においても、第一のテーブル４１を容易に把持して分離できる（図２Ｂ参照）。なお、基台部４２１の外周には、２個以上の切り欠けＣを形成するのが望ましいが、チャックテーブル４の構成はこれに限られない。切り欠けの大きさ、数、形状等は任意である。例えば、切り欠けＣを１個だけ形成しても良いし、切り欠けＣを形成しなくても良い。また、大型の切り欠けＣを形成し、又は切り欠けＣを多数形成して、第二のテーブル４２の重量を低減させても良い。

図４に示すように、基台部４１１の下面Ｂ１と基台部４２１の上面Ａ２には、第一のテーブル４１と第二のテーブル４２とを位置合わせするための第一の位置決め部Ｐ１が設けられている。第一の位置決め部Ｐ１は、基台部４１１側の凹部Ｐ１ａと基台部４２１側の凸部Ｐ１ｂとで構成されており、凹部Ｐ１ａと凸部Ｐ１ｂとは互いに係合される。第一の位置決め部Ｐ１は、基台部４１１の吸引孔Ｈ１と基台部４２１の吸引孔Ｈ２とを位置合わせすると共に、基台部４１１の溝Ｄ１と基台部４２１の溝Ｄ４とを位置合わせするように形成されている。

また、基台部４２１の下面Ｂ２とチャックテーブルベース３１の上面Ａ３には、第二のテーブル４２とチャックテーブルベース３１とを位置合わせするための第二の位置決め部Ｐ２が設けられている。第二の位置決め部Ｐ２は、基台部４２１側の凹部Ｐ２ａとチャックテーブルベース３１側の凸部Ｐ２ｂとで構成されており、凹部Ｐ２ａと凸部Ｐ２ｂとは互いに係合される。第二の位置決め部Ｐ２は、基台部４２１の吸引孔Ｈ２，Ｈ３とチャックテーブルベース３１の吸引孔Ｈ４，Ｈ５とをそれぞれ位置合わせすると共に、基台部４２１の溝Ｄ７とチャックテーブルベース３１の溝Ｄ８とを位置合わせするように形成されている。

第一の位置決め部Ｐ１を構成する凹部Ｐ１ａと凸部Ｐ１ｂとが互いに係合され、第二の位置決め部Ｐ２を構成する凹部Ｐ２ａと凸部Ｐ２ｂとが互いに係合されると、第一のテーブル４１、第二のテーブル４２、及びチャックテーブルベース３１は相互に位置合わせされる。その結果、吸引孔Ｈ１，Ｈ２，Ｈ４は互いに連結される。吸引孔Ｈ１の上部に位置する開口部Ｏ１には保持部４１２が配置され、吸引孔Ｈ４には負圧生成源が連結されている。このため、負圧生成源を動作させると、負圧生成源の負圧で保持部４１２の表面４１２ａに吸引力が発生する。

また、上述のように、第一のテーブル４１、第二のテーブル４２、及びチャックテーブルベース３１が位置合わせされると、吸引孔Ｈ３，Ｈ５は互いに連結され、溝Ｄ１，Ｄ４により空間が形成される。吸引孔Ｈ３は、溝Ｄ１，Ｄ４により形成される空間と繋がっており、吸引孔Ｈ５には負圧生成源が連結されている。このため、負圧生成源を動作させると、溝Ｄ１，Ｄ４で形成される空間は減圧されて、第一のテーブル４１は第二のテーブル４２に吸着される。

また、第二のテーブル４２及びチャックテーブルベース３１が位置合わせされると、溝Ｄ７，Ｄ８により空間が形成される。吸引孔Ｈ６は、溝Ｄ７，Ｄ８により形成される空間と繋がっており、吸引孔Ｈ６には負圧生成源が連結されている。このため、負圧生成源を動作させると、溝Ｄ７，Ｄ８で形成される空間は減圧されて、第二のテーブル４２はチャックテーブルベース３１に吸着される。

このように、第一の位置決め部Ｐ１と第二の位置決め部Ｐ２とで位置合わせした後に負圧生成源を動作させることで、チャックテーブル４は、チャックテーブルベース３１に装着される。また、この状態でチャックテーブル４上にウェーハを載置すれば、ウェーハをチャックテーブル４に吸着保持させることができる。負圧生成源による吸着を停止させれば、チャックテーブル４によるウェーハの吸着、及びチャックテーブルベース３１によるチャックテーブル４の吸着を解除できる。これにより、チャックテーブルベース３１からチャックテーブル４を取り外して交換できる。

以上のように、本実施の形態のチャックテーブル４は、取り扱いに適した重量となるように厚み方向において第一のテーブル４１と第二のテーブル４２とに分割されているので、チャックテーブル４の総重量を変えることなく、作業者のハンドリングに係る重量を小さくできる。これにより、チャックテーブル４の剛性を維持しつつ、交換作業に係る負担を軽減できる。

また、本実施の形態のチャックテーブル４において、第二のテーブル４２を構成する基台部４２１の外周には、基台部４２１の側面Ｓ２の一部を窪ませるように２個の切り欠けＣが形成されているので、第一のテーブル４１と第二のテーブル４２とが当接された状態においても、第一のテーブル４１を容易に把持して第二のテーブル４２から分離できる。これにより、交換作業に係る負担を軽減できる。

また、本実施の形態のチャックテーブル４は、取り扱いに適した重量となるように厚み方向において第一のテーブル４１と第二のテーブル４２とに分割されているので、例えば、４５０ｍｍ径（口径）対応のチャックテーブル４を３００ｍｍ径（口径）対応のチャックテーブルベース３１に載置させる場合のように、チャックテーブルベース３１の外径がチャックテーブル４の外径より小さい場合でも、交換作業に係る負担を増大させずにチャックテーブル４の剛性を保つことができる。

また、本実施の形態のチャックテーブル４は、第一のテーブル４１と第二のテーブル４２とが接触する下面Ｂ１及び上面Ａ２、並びに第二のテーブル４２とチャックテーブルベース３１とが接触する下面Ｂ２及び上面Ａ３に、溝Ｄ１，Ｄ４，Ｄ７，Ｄ８が形成されている。このため、第一のテーブル４１、第二のテーブル４２、及びチャックテーブルベース３１を相互に吸着固定できると共に、相互の接触面積を小さくしてゴミや塵などの付着を抑制できる。

なお、本発明は、上記実施の形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施の形態では、切削装置について説明しているが、本発明に係るチャックテーブルの適用される加工装置は、切削装置に限られない。例えば、本発明のチャックテーブルは、レーザー加工装置などに適用されても良い。

また、上記実施の形態では、第一のテーブルと第二のテーブルとに分割された構成のチャックテーブルについて示しているが、チャックテーブルは、３個以上のテーブルに分割されても良い。また、上記実施の形態では、チャックテーブルを構成する第一のテーブルと第二のテーブルとが、負圧生成源からの負圧によって吸着固定される構成について示しているが、各テーブルは、ねじ止めなどの方法で固定されても良い。

また、上記実施の形態の各吸引孔には、同等の大きさの負圧が供給されても良いし、異なる大きさの負圧が供給されても良い。例えば、チャックテーブルベースにチャックテーブルを装着させるための負圧と、チャックテーブル上にウェーハを吸着保持させるための負圧とを異ならせても良い。また、第一のテーブル、第二のテーブル及びチャックテーブルベースに形成される溝の形状、大きさなども任意に選択できる。

また、上記実施の形態では、凹部と凸部とを組み合わせた構成の第一の位置決め部及び第二の位置決め部を用いているが、第一の位置決め部及び第二の位置決め部の構成はこれに限られない。第一の位置決め部及び第二の位置決め部は、第一のテーブル、第二のテーブル及びチャックテーブルベースを相互に位置合わせできるように構成されていれば良い。

その他、上記実施の形態に係る構成、方法などは、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

本発明のチャックテーブルは、大径（大口径）ウェーハなどの被加工物を保持させる際に有用である。

１ 切削装置（加工装置）
３ 移動テーブル
４ チャックテーブル
３１ チャックテーブルベース
４１ 第一のテーブル
４２ 第二のテーブル
４１１，４２１ 基台部
４１２ 保持部
４１２ａ 表面
Ａ１，Ａ３ 上面
Ａ２ 上面（第二の当接面）
Ｂ１ 下面（第一の当接面）
Ｂ２ 下面（支持面）
Ｃ 切り欠け
Ｄ１，Ｄ４，Ｄ７，Ｄ８ 溝
Ｄ２ａ，Ｄ５ａ 円形溝
Ｄ２ｂ，Ｄ２ｃ，Ｄ５ｂ，Ｄ５ｃ 環状溝
Ｄ３ａ，Ｄ３ｂ，Ｄ３ｃ，Ｄ３ｄ，Ｄ６ａ，Ｄ６ｂ，Ｄ６ｃ，Ｄ６ｄ 線状溝
Ｈ１ 吸引孔（第一の吸引孔）
Ｈ２ 吸引孔（第二の吸引孔）
Ｈ３ 吸引孔（第三の吸引孔）
Ｈ４，Ｈ５ 吸引孔（供給口）
Ｈ６ 吸引孔
Ｏ１ 開口部
Ｐ１ 第一の位置決め部
Ｐ１ａ，Ｐ２ａ 凹部
Ｐ１ｂ，Ｐ２ｂ 凸部
Ｐ２ 第二の位置決め部
Ｓ１，Ｓ２ 側面

Claims (3)

1. 加工装置内に配設されたチャックテーブルベースに支持され、被加工物を上面に保持するチャックテーブルであって、
   該チャックテーブルは、被加工物の外形に合わせた薄板状に形成され、該チャックテーブルの総重量を分けるように厚み方向に第一のテーブルと第二のテーブルに分割されており、
   該第一のテーブルは、被加工物を保持する保持部と、該保持部を上側に配設した基台部と該保持部と反対側の該基台部下面であり該第二のテーブルと当接する第一の当接面と、該基台部に形成された該第一の当接面から該保持部に貫通する第一の吸引孔と、を備え、
   該第二のテーブルは、該第一の当接面と当接する第二の当接面と、該第二の当接面の反対の面であり該チャックテーブルベースの所定の位置に支持される支持面と、該支持面から該第二の当接面へ貫通する第二の吸引孔と、該当接面の該第二の吸引孔が形成された箇所以外の箇所に形成された溝と、該溝から該支持面に貫通する第三の吸引孔と、を備え、
   該第一の当接面及び該第二の当接面には、該第一の吸引孔と該第二の吸引孔が連結するように該第一のテーブルと該第二のテーブル同士を位置決めするための第一の位置決め部を備え、
   該第二のテーブルの該支持面と該チャックテーブルベースには、該第二のテーブルと該チャックテーブル同士を位置決めするための第二の位置決め部を備え、
   該チャックテーブルベースには、該第二のテーブルが該第二の位置決め部により位置決めされて支持されると該第二の吸引孔及び該第三の吸引孔に接続される負圧生成源からの供給口が形成されており、
   該第一のテーブル及び該第二のテーブルが各々着脱自在であること、を特徴とするチャックテーブル。
2. 該第二のテーブルには、該第二のテーブル上から該第一のテーブルを剥離する際に該第一のテーブルの第一の面を保持するための切り欠けを外周に２以上備えていることを特徴とする請求項１記載のチャックテーブル。
3. 該チャックテーブルベースの外径は、該チャックテーブルの外径よりも小さいことを特徴とする請求項１又は２に記載のチャックテーブル。

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