JP6069906B2 - 水蒸気透過率評価用構造体および水蒸気透過率評価方法 - Google Patents
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Description
水分により劣化する装置のうち、極めて敏感であるのが薄型ディスプレイとして着目される有機EL表示装置である。
このダークスポットを抑制するために、かねてから様々な手法が確立されている。一つは、有機EL装置を作製する際、特に電極および有機発光層を成膜する工程をN2や希ガスなどの不活性雰囲気中で行うことである。
更には有機EL装置と封止キャップとの間に封じられる雰囲気は不活性ガスとなるようにする。
つまり、成膜から封止までの工程をすべて不活性雰囲気下で行うのが一般的である。
こうして作製された有機EL表示装置においては、許容される外部からの水蒸気透過率が10−5g/m2/day以下であるとされている。
フレキシブル型有機EL表示装置はフレキシブル性を維持するため、従来のように缶材やガラス材では封止することが出来ない。そのため、ガラスや缶と同等の水蒸気透過率を持つフレキシブル素材、つまりはハイバリアフィルムが嘱望されている。
代表的な例は、リチウムやカリウムなどのアルカリ金属、またはカルシウムやバリウムなどのアルカリ土類金属における高い水との反応性を利用した手法である。代表的な手法にはカルシウム腐食観察法がある。この手法は、ハイバリアフィルムに、カルシウムに代表される水と反応して腐食する金属膜を真空蒸着し、さらに水と反応する金属膜を封止するように水と無反応の金属膜を真空蒸着し、さらに水と無反応の金属膜上を蜜蝋などの水分を透過しにくい有機物で覆った評価構造体を使用する。評価構造体を所定環境下に放置した後、顕微鏡などで腐食したカルシウム(水酸化カルシウム)の観察を行い、その面積から透過水分量を計算するものである(特許文献1参照)。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、10−4g/m2/day以下のハイバリアフィルムの水蒸気透過率を正確に測定することができ、かつ取り扱いが容易な水蒸気透過率評価用構造体と水蒸気透過率評価方法とを提供することを目的とする。
また、本発明の一態様に係る水蒸気透過率評価用構造体では、前記基板がガラス板もしくは金属板もしくは樹脂板からなる平板であることを特徴とする。
また、本発明の一態様に係る水蒸気透過率評価用構造体では、前記アルミニウム薄膜の配線幅方向の側壁には、塩化アルミニウムが形成されていることを特徴とする。
また、本発明の一態様に係る水蒸気透過率評価用構造体では、前記フレームに前記バリアフィルムを貼付する際、あるいは前記バリアフィルム付きフレームを前記基板に貼付する際には、エポキシ系接着剤が用いられていることを特徴とする。
また、本発明の一態様に係る水蒸気透過率評価方法は、前記水酸化アルミニウムの生成によって起こる、前記アルミニウム薄膜の配線幅の増加量から水蒸気透過率を換算することを特徴とする。
図1は、本発明に係る水蒸気透過率評価用構造体1の一例を側面から示した図である。図1に示すように、水蒸気透過率評価用構造体1は、基板2上に、成膜されたアルミニウム薄膜をパターニングしたアルミニウム配線3があり、そのアルミニウム配線3上を覆うように、ハイバリアフィルム4およびフレーム5をエポキシ系接着剤6aおよび6bを用いて貼付させた構成となっている。
ここで、基板2の材質はガラスもしくは金属もしくは樹脂などが挙げられるが、アルミニウム薄膜の成膜およびドライエッチングを考慮すると、ガラス板であることが好ましい。また、ミクロンオーダーの微細なアルミニウム配線3を観察することを考慮すると平坦度は高いことが望ましい。
アルミニウム配線3のパターン化は、半導体プロセスで一般的に行われるレジストを用いたフォトリソプロセスおよびドライエッチングにて行う。アルミニウム配線3の配線幅は0.5μm以上10.0μm以下の範囲内であり、ラインまたはスペース形状に形成される。レジストへの転写プロセスはi線ステッパーまたはレーザー描画にてパターン化するのが好ましい。すなわちアルミニウム薄膜が成膜された基板2にレジストを塗布し、フォトマスクを用いてi線露光を行うか、もしくはレーザー描画機を用いてi線レジストに直接パターンを書き込めばよい。その後現像液により不要部のレジストを溶解し、アルミニウム薄膜上にレジストパターンを作製する。
フレーム5の形状と同じ形状に切り出されたハイバリアフィルム4はエポキシ系接着剤6aを用いてフレーム5に貼付される。その後、フレーム5のもう一方の面は、エポキシ系接着剤6bを用いて基板2上に形成されたアルミニウム配線3を覆うように基板2に貼付される。このようにして水蒸気透過率評価用構造体1は作製される。
本発明に係る水蒸気透過率評価は、水蒸気透過率評価用構造体1を用い、ハイバリアフィルム4を透過してきた水蒸気によりアルミニウム配線3に生成される水酸化アルミニウムを観察することにより実現される。本発明の水蒸気透過率評価方法について、図3に示されるフローチャートを用いて説明する。
2Al+3Cl2 → 2AlCl3 ・・・・(式1)
続いて、アルミニウム配線3は測長SEMにて任意の場所が観察され、アルミニウム配線3の線幅が計測される。
2AlCl3+6H2O → 2Al(OH)3+3H2+3Cl2 ・・・・(式2)
このようにして、エッチング残渣ポリマー中に含まれる少量の塩素を利用して、アルミニウム配線3は供給される水蒸気量に応じて水酸化アルミニウムへ変化していく。
配線増加量からの水蒸気透過度の換算は、検量線により求める。すなわち水蒸気透過率の異なる、かつ既知透過量を示すフィルム等を上記と同様に測定し、予め検量線を作成しておく。
《実施例1》
まず、水蒸気透過率評価用構造体を作成した。このとき、基板には10cm角のガラス板を用い、ガラス板にスパッタリング法にてアルミニウムを0.5μmの膜厚となるように成膜した。
次に、ガラス板上にネガ型レジストをスピンコートし、レーザー描画機にて配線パターンを描画した。このとき、パターン描画エリアは1cm角とし、そのパターンエリアの内部に配線幅が2.0μm、線長を1cmとするラインパターンを100本描画した。描画後は、現像液にて未描画部のレジストを溶解し、レジストパターンを作成した。
続いて、アルミニウム配線パターンが作成された基板上にハイバリアフィルムを被覆した。ハイバリアフィルムは、予めカルシウム腐食法にて、1.12×10−4g/m2/dayと確認したものを使用した。また、このとき用いたフレームは、樹脂コート付きのアルミニウムで、上面から見た際に5cm角になるよう形成されており、高さは6mmとした。
具体的には、フレームの片面にエポキシ系接着剤を塗布し、その上に5cm角に切り出したハイバリアフィルムを貼付し、さらに、フレームの別の一方に同様にエポキシ系接着剤を塗布した後アルミニウム配線パターンを完全に覆うように基板に貼付した。
96時間後に、水蒸気透過率評価用構造体を恒温恒湿環境から取り出し、剥離ナイフを用いてフレームと基板の間に挟まれるエポキシ系接着剤を剥がしたのち、測長SEMにて初期に計測した位置と同じ箇所のアルミニウム配線幅を計測した。このとき配線幅は平均で2.115μmであり、増加量は0.080μmであった。
以上のように、本発明の実施形態によれば10−4g/m2/day以下の水蒸気透過率を正確に測定できることが確認された。
本発明に係る構造体の実施形態について図面を参照して詳述してきたが、本発明の具体的な構成は上述した実施形態の内容に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても、それらは本発明に含まれる。
2 基板
3 アルミニウム配線
4 ハイバリア膜
5 フレーム
6a、6b エポキシ系接着剤
Claims (9)
- 基板上に配線状にパターン化されたアルミニウム薄膜と、前記アルミニウム薄膜に付着した塩素系成分とを有し、測定対象となるハイバリアフィルムで前記アルミニウム薄膜と前記塩素系成分とを覆うように封止したことを特徴とする水蒸気透過率評価用構造体。
- 請求項1に記載の水蒸気透過率評価用構造体であって、
前記基板が、ガラス板もしくは金属板もしくは樹脂板からなる平板であることを特徴とする水蒸気透過率評価用構造体。 - 請求項1または請求項2に記載の水蒸気透過率評価用構造体であって、
前記塩素系成分は、前記アルミニウム薄膜の配線幅方向の側壁に付着していることを特徴とする水蒸気透過率評価用構造体。 - 請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の水蒸気透過率評価用構造体であって、
前記アルミニウム薄膜の配線幅方向の側壁には、塩化アルミニウムが形成されていることを特徴とする水蒸気透過率評価用構造体。 - 請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の水蒸気透過率評価用構造体であって、
前記アルミニウム薄膜の配線幅は、0.5μm以上10.0μm以下の範囲内であることを特徴とする水蒸気透過率評価用構造体。 - 請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の水蒸気透過率評価用構造体であって、
ガラス製あるいは金属製あるいは樹脂製あるいは樹脂コーティングした金属製のフレームに前記バリアフィルムを貼付したバリアフィルム付きフレームが、前記アルミニウム薄膜上を完全に覆うように前記基板に貼付されていることを特徴とする水蒸気透過率評価用構造体。 - 請求項6に記載の水蒸気透過率評価用構造体であって、
前記フレームに前記バリアフィルムを貼付する際、あるいは前記バリアフィルム付きフレームを前記基板に貼付する際には、エポキシ系接着剤が用いられていることを特徴とする水蒸気透過率評価用構造体。 - 基板上に配線状にパターン化されたアルミニウム薄膜と、前記アルミニウム薄膜に付着した塩素系成分とを有し、測定対象となるハイバリアフィルムで前記アルミニウム薄膜と前記塩素系成分とを覆うように封止した水蒸気透過率評価用構造体を用いて、前記パターン化された前記アルミニウム薄膜と、前記塩素系成分と、前記ハイバリアフィルムを透過してきた水蒸気との反応により生成する水酸化アルミニウムを観察することにより水蒸気透過率を評価することを特徴とする水蒸気透過率評価方法。
- 請求項8に記載の水蒸気透過率評価方法であって、
前記水酸化アルミニウムの生成によって起こる、前記アルミニウム薄膜の配線幅の増加量から水蒸気透過率を換算することを特徴とする水蒸気透過率評価方法。
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