JP6061484B2 - 基板洗浄装置およびそれを備えた基板処理装置 - Google Patents
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Description
また、空気経路は、フィルタから回転部材の開口へ漸次減少する断面積を有するように構成されている。
この場合、空気経路の断面積がフィルタから回転部材の開口へ漸次減少するので、フィルタを通過する空気の流速に比べて回転部材の開口を通過する空気の流速を大きくすることができる。それにより、基板と回転部材との間に十分な量の空気が供給されるので、基板の上面上で基板の中心から基板の外周端部に向かう清浄な空気の流れが確実に形成される。
図1は、本発明の一実施の形態に係る基板処理装置の平面図である。本実施の形態に係る基板処理装置500は、例えばクリーンルーム内に設置される。なお、図1ならびに後述する図2〜図4には、位置関係を明確にするために互いに直交するX方向、Y方向およびZ方向を示す矢印を付している。X方向およびY方向は水平面内で互いに直交し、Z方向は鉛直方向に相当する。
次に、本実施の形態に係る基板処理装置500の動作について図1〜図4を参照しながら説明する。
まず、インデクサブロック9から現像処理ブロック12までの動作について簡単に説明する。
次に、インターフェースブロック15の動作について詳細に説明する。
次に、裏面洗浄処理ユニットBCについて図面を用いて詳細に説明する。図5は、裏面洗浄処理ユニットBCの構成を示す側面図である。裏面洗浄処理ユニットBCは、略直方体形状を有する筐体900を備え、その筐体900の内部に以下の構成要素が設けられる。
図5のスピンプレート520の開口520hに空気を供給するための構成要素の詳細について説明する。図8は、主として図5の回転軸210、台座220、接続部材240、ダクト820、フィルタ収容部材840および流路形成部材850の構造を示す縦断面図である。図9(a)は図8のフィルタ収容部材840および流路形成部材850の側面図であり、図9(b)は図8のフィルタ収容部材840および流路形成部材850をスピンチャック600の位置から見た場合の平面図である。
スピンチャック600による基板Wの保持動作について説明する。図10および図11は、スピンチャック600による基板Wの保持動作を説明するための図である。
図12および図13は、基板Wの裏面洗浄処理について説明するための側面図である。
(7−1)本実施の形態に係る裏面洗浄処理ユニットBCにおいては、ファン810が動作することにより、基板処理装置500の外部の空気がダクト820を通してULPAフィルタFに供給される。ULPAフィルタFを通過した清浄な空気が、流路形成部材850、接続部材240、台座220、モータ支持部材200sおよびスピンモータ200の回転軸210を通してスピンプレート520の開口520hに導かれる。
(8−1)裏面洗浄処理ユニットBCには、モータ支持部材200sの貫通孔200h、スピンモータ200の回転軸210の内部およびプレート支持部材510の内部を通るように、流体供給管が設けられてもよい。また、スピンプレート520の下面に円板状の遮断板が取り付けられてもよい。
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各要素との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。
(10)参考形態
(10−1)第1の参考形態に係る基板洗浄装置は、基板の下面を洗浄する基板洗浄装置であって、鉛直方向に沿う回転軸線の周りで回転可能に設けられかつ中央部に開口を有する回転部材と、回転部材の上側に設けられ、回転部材を回転させる回転駆動装置と、回転部材の下側に設けられ、基板の上面が回転部材に対向する状態で基板を保持する保持部材と、保持部材により保持される基板と回転部材との間に、回転部材の開口を通して空気を供給する空気供給機構と、保持部材により保持される基板の下面を洗浄する洗浄機構とを備え、空気供給機構は、フィルタと、フィルタに空気を供給する空気供給部と、フィルタを通過した空気を回転部材の開口に導くように構成される空気経路とを含むものである。
その基板洗浄装置においては、空気供給部によりフィルタに空気が供給される。フィルタを通過した清浄な空気が、空気経路により回転部材の中央部に形成された開口に導かれる。
保持部材により基板が保持されることにより、基板の上面が回転部材に対向する。それにより、回転部材の開口に導かれた清浄な空気が、保持部材により保持される基板の中心に向かって供給される。この状態で、回転駆動装置により鉛直方向に沿う回転軸線の周りで回転部材が回転し、回転する基板の下面が洗浄機構により洗浄される。
この場合、基板の上面上では基板の中心から基板の外周端部に向かう清浄な空気の流れが形成される。それにより、保持部材により保持される基板と回転部材との間に処理液の液滴またはパーティクル等を含む雰囲気が流入することが防止される。その結果、基板の上面を清浄に保ちつつ基板の下面を洗浄することが可能となる。
(10−2)基板洗浄装置は、空気供給機構の少なくとも一部、回転部材、回転駆動装置、保持部材および洗浄機構を収容する筐体をさらに備え、フィルタは、空気供給部により供給される空気を上方から下方に通過させるように筐体内の上部に配置され、空気経路は、フィルタを通過した一部の空気を回転部材の開口に導くように構成され、フィルタを通過した残りの空気は、筐体内に供給されてもよい。
この場合、筐体内の上部に配置されたフィルタを通過した一部の空気が、保持部材により保持される基板と回転部材との間に供給される。また、フィルタを通過した残りの空気が、筐体内の上部から筐体内に供給される。
それにより、基板の上面上で基板の中心から基板の外周端部に向かう清浄な空気の流れが形成されるとともに、筐体内に上部から下部に向かう清浄な空気の流れが形成される。したがって、基板の上面を清浄に保ちつつ筐体内で処理液の液滴またはパーティクル等が飛散することを抑制することが可能となる。
(10−3)空気供給部は、フィルタの上側に設けられ、筐体の外部から供給される空気をフィルタに導くダクトを含んでもよい。
この場合、筐体の外部から供給される空気を、ダクトを通してフィルタの上方から下方に容易に通過させることができる。それにより、フィルタを通過した残りの空気を用いて、筐体内で上部から下部に向かう清浄な空気の流れを容易に形成することができる。
(10−4)空気経路は、フィルタから回転部材の開口へ漸次減少する断面積を有するように構成されてもよい。
この場合、空気経路の断面積がフィルタから回転部材の開口へ漸次減少するので、フィルタを通過する空気の流速に比べて回転部材の開口を通過する空気の流速を大きくすることができる。それにより、基板と回転部材との間に十分な量の空気が供給されるので、基板の上面上で基板の中心から基板の外周端部に向かう清浄な空気の流れが確実に形成される。
(10−5)回転駆動装置は、空気経路の一部を構成しかつ鉛直方向に延びる中空の回転軸を有し、回転部材は、回転軸の内部空間が開口を通して回転部材の下方の空間に連通するように、回転軸の下端部に取り付けられてもよい。
この場合、保持部材により基板が保持された状態で、フィルタを通過した清浄な空気が、回転軸の内部空間を通して基板と回転部材との間に供給される。このように、回転駆動装置の回転軸が空気経路の一部を構成することにより、複雑な構成を用いることなく回転部材の開口に清浄な空気を導くことができる。
(10−6)洗浄機構は、保持部材により保持される基板の下面を洗浄するための洗浄具と、保持部材により保持される基板の下面に洗浄液を供給する洗浄液供給部とを備えてもよい。
この場合、保持部材により保持される基板の下面に洗浄液が供給されるとともに、その基板の下面が洗浄具により確実に洗浄される。
基板の下面の洗浄時には、基板に供給された洗浄液の液滴が基板周辺の空間で飛散する。このような場合でも、基板の上面上で基板の中心から基板の外周端部に向かう清浄な空気の流れが形成されるので、基板の上面に洗浄液の液滴が付着することが確実に防止される。
(10−7)第2の参考形態に係る基板処理装置は、露光装置に隣接するように配置され、基板に処理を行う基板処理装置であって、基板に処理を行うための処理部と、処理部と露光装置との間で基板の受け渡しを行うための受け渡し部とを備え、処理部および受け渡し部の少なくとも一方は、基板の下面を洗浄する上記の基板洗浄装置とを含むものである。
その基板処理装置においては、処理部により基板に所定の処理が行われ、受け渡し部により処理部と露光装置との間で基板の受け渡しが行われる。処理部および受け渡し部の少なくとも一方には、上記の基板洗浄装置が含まれる。
その基板洗浄装置においては、基板の上面を清浄に保ちつつ基板の下面を洗浄することが可能である。それにより、基板の上面および下面が汚染されることに起因する基板の処理不良の発生を防止することができる。
(10−8)処理部は、基板の上面に感光性材料からなる感光性膜を形成するように構成された感光性膜形成ユニットを含み、基板洗浄装置は、感光性膜形成ユニットによる感光性膜の形成後かつ露光装置による露光処理前または露光処理後の基板の下面を洗浄するように構成されてもよい。
この場合、感光性膜形成ユニットによる感光性膜の形成後かつ露光装置による露光処理前または露光処理後の基板の下面が基板洗浄装置により洗浄される。基板洗浄装置による基板の洗浄時には基板の上面が清浄に保たれる。それにより、基板の上面に形成される感光性膜の汚染が防止される。
10 反射防止膜用処理ブロック
11 レジスト膜用処理ブロック
12 現像処理ブロック
15 インターフェースブロック
16 露光装置
16a 基板搬入部
16b 基板搬出部
30 メインコントローラ
40 キャリア載置台
50 反射防止膜用塗布処理部
60 レジスト膜用塗布処理部
70 現像処理部
100,101 反射防止膜用熱処理部
110,111 レジスト膜用熱処理部
120 現像用熱処理部
121 露光後ベーク用熱処理部
200 スピンモータ
200h,842 貫通孔
200s モータ支持部材
210 回転軸
220 台座
240 接続部材
241 空気流入口
242 空気流出口
250 パッキン
290 モータ固定部
420 流体供給管
430 ガイド管
430f フランジ
500 基板処理装置
510 プレート支持部材
510F フランジ
510h 内周面
511 ねじ受け部
512 パッド固定片
520 スピンプレート
520h,821,843 開口
600 スピンチャック
614a,614b マグネットプレート
617a,617b マグネット昇降機構
618 ガード
618a ガード昇降機構
620 基板受け渡し機構
621 昇降回転駆動部
622 回転軸
623 アーム
624 保持ピン
630 洗浄ブラシ
631 ブラシ保持部材
632 ブラシ移動機構
633 洗浄ノズル
635 支持軸
700 基板保持機構
710 保持ピン
720 支持部
730 軸部
790 マグネット
810 ファン
820 ダクト
840 フィルタ収容部材
840a〜840d 側壁
841 枠部
850 流路形成部材
851 流路制限部
852 流路部
853 空気流出口
900 筐体
900b 底面
900t 天井
990 排気装置
BARC,RES 塗布ユニット
BC 裏面洗浄処理ユニット
C キャリア
CP 冷却ユニット
CR1 第1のセンターロボット
CR2 第2のセンターロボット
CR3 第3のセンターロボット
CR4 第4のセンターロボット
CRH1〜CRH8 ハンド
DEV 現像処理ユニット
EEW エッジ露光部
F ULPAフィルタ
H1 ハンド
HP 加熱ユニット
IFR インターフェース用搬送機構
IR インデクサロボット
IRH ハンド
P−CP 載置兼冷却ユニット
PASS1〜PASS9 基板載置部
RBF 戻りバッファ部
SBF 送りバッファ部
W 基板
Claims (7)
- 基板の下面を洗浄する基板洗浄装置であって、
鉛直方向に沿う回転軸線の周りで回転可能に設けられかつ中央部に開口を有する回転部材と、
前記回転部材の上側に設けられ、前記回転部材を回転させる回転駆動装置と、
前記回転部材の下側に設けられ、基板の上面が前記回転部材に対向する状態で基板を保持する保持部材と、
前記保持部材により保持される基板と前記回転部材との間に、前記回転部材の開口を通して空気を供給する空気供給機構と、
前記保持部材により保持される基板の下面を洗浄する洗浄機構と、
前記空気供給機構の少なくとも一部、前記回転部材、前記回転駆動装置、前記保持部材および前記洗浄機構を収容する筐体とを備え、
前記空気供給機構は、
フィルタと、
前記フィルタを収容するフィルタ収容部材と、
前記フィルタ収容部材に空気を供給することにより前記フィルタに空気を通過させる空気供給部と、
前記フィルタを通過した空気を前記回転部材の開口に導くようにかつ前記フィルタから前記回転部材の開口へ漸次減少する断面積を有するように複数の部材で構成される空気経路とを含み、
前記複数の部材は、
前記フィルタ収容部材に取り付けられ、第1の断面積を有する第1の流路を形成する第1の部材と、
前記第1の部材に対して取り外し可能に接続され、前記第1の断面積よりも小さい第2の断面積を有する第2の流路を形成する第2の部材とを含み、
前記フィルタ収容部材は、前記筐体内の上部に配置され、前記回転駆動装置の上方に形成された収容部開口と、前記収容部開口を取り囲むように形成された複数の貫通孔とを有し、
前記フィルタは、前記空気供給部により供給される空気を上方から下方に通過させるように前記フィルタ収容部材内に配置され、
前記空気経路は、前記フィルタを通過するとともに前記フィルタ収容部材の前記収容部開口を通過した一部の空気を前記回転部材の開口から該回転部材の下方空間に導くように構成され、
前記フィルタを通過した残りの空気は、前記フィルタ収容部材の前記複数の貫通孔を通して前記筐体の底部に向かうように前記筐体内に供給される、基板洗浄装置。 - 前記空気供給部は、前記フィルタの上側に設けられ、前記筐体の外部から供給される空気を前記フィルタに導くダクトを含む、請求項1記載の基板洗浄装置。
- 前記第2の部材は、前記第1の部材に対して水平方向に取り外し可能に構成された、請求項1または2記載の基板洗浄装置。
- 前記回転駆動装置は、前記複数の部材のうちの1つとして前記空気経路の一部を構成しかつ鉛直方向に延びる中空の回転軸を有し、
前記回転部材は、前記回転軸の内部空間が前記回転部材の開口を通して前記回転部材の下方の空間に連通するように、前記回転軸の下端部に取り付けられた、請求項1〜3のいずれか一項に記載の基板洗浄装置。 - 前記洗浄機構は、
前記保持部材により保持される基板の下面を洗浄するための洗浄具と、
前記保持部材により保持される基板の下面に洗浄液を供給する洗浄液供給部とを備える、請求項1〜4のいずれか一項に記載の基板洗浄装置。 - 露光装置に隣接するように配置され、基板に処理を行う基板処理装置であって、
基板に処理を行うための処理部と、
前記処理部と前記露光装置との間で基板の受け渡しを行うための受け渡し部とを備え、
前記処理部および前記受け渡し部の少なくとも一方は、前記露光装置による露光処理前の基板の下面を洗浄する請求項1〜5のいずれか一項に記載の基板洗浄装置とを含む、基板処理装置。 - 前記処理部は、基板の上面に感光性材料からなる感光性膜を形成するように構成された感光性膜形成ユニットを含み、
前記基板洗浄装置は、前記感光性膜形成ユニットによる感光性膜の形成後かつ前記露光装置による露光処理前または露光処理後の基板の下面を洗浄するように構成された、請求項6記載の基板処理装置。
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