JP6053624B2 - 微細気泡式処理装置 - Google Patents
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Description
12 被処理部材
13 ホルダ
14 処理槽
16 溢流受け部
18 流体
20 可動式導流板
22 曝気素子
24 曝気槽
26 微細孔
28 収容槽
30 ダクト
32 送風機
34 空気槽
36 微細孔板
38 曝気管
51 駆動装置
52 固定部材
53 軸受作動部材
54 モータ
Claims (9)
- 少なくとも1つの被処理部材を処理する微細気泡式処理装置であって、
液体を溜め、前記少なくとも1つの被処理部材を前記液体に浸漬する、上端が開口された収容槽と、前記収容槽における上端開口を挟んで相対向する両側の側壁部にそれぞれ設けられた溢流受け部と、を含む処理槽と、
前記収容槽内に設けられた2つの可動式導流板であって、前記各溢流受け部と前記少なくとも1つの被処理部材との間に該可動式導流板が1つずつ設けられ、該2つの可動式導流板の間に前記少なくとも1つの被処理部材が配置されるように、前記収容槽内に配置された2つの可動式導流板と、
前記収容槽内に設けられかつ前記液体に浸漬され、前記少なくとも1つの被処理部材の下方に配置される曝気素子と、
を備え、
前記曝気素子は、前記液体中で直線的にかつ同じ速度で上昇して前記少なくとも1つの被処理部材の表面を処理する、同じ大きさの複数の微細気泡を生成するように構成され、
前記2つの可動式導流板は、前記処理後の前記表面から分離した不純物を伴って前記液体中を上向きに移動してきた前記微細気泡を、前記2つの溢流受け部に流れるように誘導するものであり、
前記各可動式導流板の溢流受け部側の端部が、水平方向に延びる回動軸に回動可能に支持されているとともに、前記収容槽における、前記溢流受け部が設けられた側壁部に近接配置され、
前記2つの可動式導流板を、前記回動軸の回りに回動駆動する駆動装置を更に備え、
前記駆動装置は、前記2つの可動式導流板が、前記収容槽内の液体の液面に対して上昇した上限位置と該液面に対して下降した下限位置との間で上下に揺動運動することによって、前記液体中を不純物と共に上向きに移動してきた前記微細気泡を掬いかつ該掬った微細気泡を、該可動式導流板の上面を滑らせて前記溢流受け部に流すように、該可動式導流板を前記回動軸の回りに回動駆動するよう構成されていることを特徴とする微細気泡式処理装置。 - 前記曝気素子は、曝気槽または曝気管であることを特徴とする、請求項1に記載の微細気泡式処理装置。
- 前記曝気素子は、複数の微細孔を有し、
前記微細気泡は、前記微細孔から生成されることを特徴とする、請求項1に記載の微細気泡式処理装置。 - 前記各微細孔の孔径は、30マイクロメートル〜100マイクロメートルであることを特徴とする、請求項3に記載の微細気泡式処理装置。
- 気流を生成する送風機と、
前記曝気素子に接続されかつ前記収容槽を通過して前記送風機に接続されて、前記気流を前記曝気素子に供給するダクトと、
をさらに備えることを特徴とする、請求項1に記載の微細気泡式処理装置。 - 前記少なくとも1つ被処理部材は、ホルダに設置されかつ前記液体中に浸漬されることを特徴とする、請求項1に記載の微細気泡式処理装置。
- 前記少なくとも1つ被処理部材は、金属板または半導体基板であることを特徴とする、請求項1に記載の微細気泡式処理装置。
- 前記駆動装置は、
前記収容槽に設けられ、前記可動式導流板に接続する軸受作動部材と、
前記収容槽に設けられ、前記軸受作動部材に接続するモータと、
を含むことを特徴とする、請求項1に記載の微細気泡式処理装置。 - 前記駆動装置は、前記収容槽における、前記溢流受け部が設けられていない側壁部の外側の面上に設けられていて、該溢流受け部が設けられていない側壁部を通して前記可動式導流板に接続することを特徴とする、請求項1に記載の微細気泡式処理装置。
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