JP3172818B2 - 洗浄装置及び洗浄方法 - Google Patents
洗浄装置及び洗浄方法Info
- Publication number
- JP3172818B2 JP3172818B2 JP33463292A JP33463292A JP3172818B2 JP 3172818 B2 JP3172818 B2 JP 3172818B2 JP 33463292 A JP33463292 A JP 33463292A JP 33463292 A JP33463292 A JP 33463292A JP 3172818 B2 JP3172818 B2 JP 3172818B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning
- work
- immersion tank
- cleaning liquid
- bubbles
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、熱処理後のワーク等を
洗浄液を満たした浸漬槽内に浸漬して洗浄を行う洗浄装
置及び洗浄方法に関する。
洗浄液を満たした浸漬槽内に浸漬して洗浄を行う洗浄装
置及び洗浄方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば熱処理を施した後のワークの表面
にはごみや熱処理工程で用いる油分等が付着しており、
そのため熱処理後のワークの表面を洗浄する必要があ
る。このような場合、ワーク表面に洗浄液を吹き付けて
洗浄する他、洗浄液を満たした浸漬槽内にワークを浸漬
して洗浄を行う場合がある。このようにワークを浸漬槽
内に浸漬して洗浄を行う場合にはワーク表面に接する洗
浄液を常に交換させ洗浄効果を上げるために洗浄液を攪
拌する必要がある。そこで、浸漬槽の内底部にノズルを
設け、該ノズルから気泡を発生させてこの気泡の上昇に
より洗浄液を攪拌することが従来より行われている。
にはごみや熱処理工程で用いる油分等が付着しており、
そのため熱処理後のワークの表面を洗浄する必要があ
る。このような場合、ワーク表面に洗浄液を吹き付けて
洗浄する他、洗浄液を満たした浸漬槽内にワークを浸漬
して洗浄を行う場合がある。このようにワークを浸漬槽
内に浸漬して洗浄を行う場合にはワーク表面に接する洗
浄液を常に交換させ洗浄効果を上げるために洗浄液を攪
拌する必要がある。そこで、浸漬槽の内底部にノズルを
設け、該ノズルから気泡を発生させてこの気泡の上昇に
より洗浄液を攪拌することが従来より行われている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のものでは、
ワークに凹入部等の気泡が届きにくい部分があると、こ
の部分の洗浄液は気泡による攪拌では十分に交換させ
ず、そのため洗浄効果を上げることができないという問
題がある。
ワークに凹入部等の気泡が届きにくい部分があると、こ
の部分の洗浄液は気泡による攪拌では十分に交換させ
ず、そのため洗浄効果を上げることができないという問
題がある。
【０００４】尚、特開平２−２９３０７８号公報に記載
のように、微細気泡を洗浄液中に発生させればこの微細
気泡を凹入部内の奥深くまで到達させて汚れを該微細気
泡に吸着させることができるが、微細気泡は浮力が小さ
いため汚れを吸着した微細気泡がワーク表面近傍に滞留
し、新たな微細気泡がワーク表面に接近することを阻害
したり、一旦吸着した汚れをワーク表面に再付着させる
おそれがある。
のように、微細気泡を洗浄液中に発生させればこの微細
気泡を凹入部内の奥深くまで到達させて汚れを該微細気
泡に吸着させることができるが、微細気泡は浮力が小さ
いため汚れを吸着した微細気泡がワーク表面近傍に滞留
し、新たな微細気泡がワーク表面に接近することを阻害
したり、一旦吸着した汚れをワーク表面に再付着させる
おそれがある。
【０００５】そこで本発明は、上記不具合を解決すべ
く、浸漬槽を用いてワークの洗浄を行う際に、ワークの
細部に至るまで十分に洗浄することのできる洗浄装置及
び洗浄方法を提供することを目的とする。
く、浸漬槽を用いてワークの洗浄を行う際に、ワークの
細部に至るまで十分に洗浄することのできる洗浄装置及
び洗浄方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１の発明は、洗浄液を満たした浸漬槽内にワ
ークを浸漬して洗浄を行う装置において、上記浸漬槽の
内底部に微細気泡を発生させる送気パイプと洗浄液を撹
拌し得る大きさの気泡を発生させる送気パイプとを並設
すると共に、両送気パイプに対して個々に空気を圧送す
る送気手段を設けたことを特徴とする。
に、請求項１の発明は、洗浄液を満たした浸漬槽内にワ
ークを浸漬して洗浄を行う装置において、上記浸漬槽の
内底部に微細気泡を発生させる送気パイプと洗浄液を撹
拌し得る大きさの気泡を発生させる送気パイプとを並設
すると共に、両送気パイプに対して個々に空気を圧送す
る送気手段を設けたことを特徴とする。
【０００７】また、請求項２の発明は、洗浄液を満たし
た浸漬槽内にワークを浸漬して洗浄を行う方法におい
て、上記浸漬槽の内底部から微細気泡と洗浄液を攪拌し
得る大きさの気泡とを交互に発生させることを特徴とす
る。
た浸漬槽内にワークを浸漬して洗浄を行う方法におい
て、上記浸漬槽の内底部から微細気泡と洗浄液を攪拌し
得る大きさの気泡とを交互に発生させることを特徴とす
る。
【０００８】
【作用】ワークが浸漬槽内に浸漬されると、まず微細気
泡を発生させ、該微細気泡をワークの細部まで到達させ
て汚れを吸着させる。次に、洗浄液を攪拌し得る大きさ
の気泡を発生させ、洗浄液全体を攪拌することにより汚
れを吸着した微細気泡をワーク表面から引き離し、更
に、微細気泡同士を衝突合体させて成長させたり、洗浄
液攪拌用の気泡に微細気泡を取り込んで、微細気泡が吸
着していた汚れを洗浄液表面に移動させる。
泡を発生させ、該微細気泡をワークの細部まで到達させ
て汚れを吸着させる。次に、洗浄液を攪拌し得る大きさ
の気泡を発生させ、洗浄液全体を攪拌することにより汚
れを吸着した微細気泡をワーク表面から引き離し、更
に、微細気泡同士を衝突合体させて成長させたり、洗浄
液攪拌用の気泡に微細気泡を取り込んで、微細気泡が吸
着していた汚れを洗浄液表面に移動させる。
【０００９】
【実施例】図１及び図２を参照して、１は洗浄装置であ
って、該洗浄装置１内にはガイドレール１３に沿い昇降
シリンダ１１によって昇降される昇降枠１２が設けられ
ており、該昇降枠１２の底部に設けられたガイドレール
１４上にワークＷを多数搭載したパレットＰが搬送され
ると昇降枠１２を下降させ、該昇降枠１２を浸漬槽２内
に浸漬し洗浄した後、昇降枠１２と共にパレットＰを引
き上げ、昇降枠１２に対して垂直軸線回りに回動自在に
取り付けられたパイプ１５の噴射ノズルとパレットＰの
下方を往復する移動パイプ１６の噴射ノズルとから洗浄
液をワークＷに吹き付けてワークのすすぎを行い、洗浄
装置１からパレットＰを払い出すようにした。
って、該洗浄装置１内にはガイドレール１３に沿い昇降
シリンダ１１によって昇降される昇降枠１２が設けられ
ており、該昇降枠１２の底部に設けられたガイドレール
１４上にワークＷを多数搭載したパレットＰが搬送され
ると昇降枠１２を下降させ、該昇降枠１２を浸漬槽２内
に浸漬し洗浄した後、昇降枠１２と共にパレットＰを引
き上げ、昇降枠１２に対して垂直軸線回りに回動自在に
取り付けられたパイプ１５の噴射ノズルとパレットＰの
下方を往復する移動パイプ１６の噴射ノズルとから洗浄
液をワークＷに吹き付けてワークのすすぎを行い、洗浄
装置１からパレットＰを払い出すようにした。
【００１０】ところで、上記ワークＷは本実施例の場
合、自動変速機に使用されるカウンタシャフトであり、
またパレットＰは載置するワークＷの個数と同数の開口
部ＰＨを有するベース板ＰＬと井桁状のガイド枠ＰＵと
を各々の４隅及び中央の５か所で連結棒ＰＢを介して上
下に連結したものである。また開口部ＰＨの周縁部上面
には互いに等間隔を存して少なくとも３個の支持突起Ｐ
Ｓが立設され、ワークＷの一側周面に設けられたギヤ部
ＷＧの側面を該支持突起ＰＳにて支持し、有底の深穴部
ＷＨが下方に向って開口するようにした。
合、自動変速機に使用されるカウンタシャフトであり、
またパレットＰは載置するワークＷの個数と同数の開口
部ＰＨを有するベース板ＰＬと井桁状のガイド枠ＰＵと
を各々の４隅及び中央の５か所で連結棒ＰＢを介して上
下に連結したものである。また開口部ＰＨの周縁部上面
には互いに等間隔を存して少なくとも３個の支持突起Ｐ
Ｓが立設され、ワークＷの一側周面に設けられたギヤ部
ＷＧの側面を該支持突起ＰＳにて支持し、有底の深穴部
ＷＨが下方に向って開口するようにした。
【００１１】上記浸漬槽２の底部には２系統の送気パイ
プ２２・２３が配置されており、一方の送気パイプ２２
には浸漬槽２内の洗浄液を攪拌し得る比較的大きな気泡
を発生させるノズルが複数並設されている。また、他方
の送気パイプ２３は微細気泡（例えば気泡径が０．１μ
ｍ〜３μｍ）を発生し得るよう焼結パイプで形成した。
そして、コンプレッサに接続されている元管４を、送気
パイプ２２には切替バルブ４１を介して連結し、送気パ
イプ２３には切替バルブ４２及び増圧ポンプ４３を介し
て連結した。
プ２２・２３が配置されており、一方の送気パイプ２２
には浸漬槽２内の洗浄液を攪拌し得る比較的大きな気泡
を発生させるノズルが複数並設されている。また、他方
の送気パイプ２３は微細気泡（例えば気泡径が０．１μ
ｍ〜３μｍ）を発生し得るよう焼結パイプで形成した。
そして、コンプレッサに接続されている元管４を、送気
パイプ２２には切替バルブ４１を介して連結し、送気パ
イプ２３には切替バルブ４２及び増圧ポンプ４３を介し
て連結した。
【００１２】上記構成によれば、ワークＷを搭載したパ
レットＰが昇降枠１２と共に下降し浸漬槽２内に浸漬さ
れると、まず送気パイプ２３に空気を圧送し該送気パイ
プ２３から微細気泡を発生させる。これにより、浸漬槽
２内全体に微細気泡が充満しワークＷのあらゆる部分、
例えば深穴部ＷＨの内部やギヤ部ＷＧの歯底等に微細気
泡が到達してワークＷの表面の汚れ等を吸着する。所定
時間微細気泡を発生させると、次に送気パイプ２２から
ノズルを介して上記比較的大きな気泡を発生させ洗浄液
を撹拌し、ワークＷの表面に滞留している微細気泡をワ
ークＷから引き離し、微細気泡を成長させながら微細気
泡に吸着された汚れを洗浄液表面に移動させ、浸漬槽２
の周囲に設けた樋２１に洗浄液と共にオーバーフローさ
せる。尚、送気パイプ２２のノズルから比較的大きな気
泡を発生させる際には送気パイプ２３からの微細気泡の
発生は停止させても継続させていても構わない。そし
て、所定時間浸漬洗浄を行った後は上記のように昇降枠
１２と共にワークＷを引き上げ、すすぎを行いワークＷ
に対する洗浄を終了する。
レットＰが昇降枠１２と共に下降し浸漬槽２内に浸漬さ
れると、まず送気パイプ２３に空気を圧送し該送気パイ
プ２３から微細気泡を発生させる。これにより、浸漬槽
２内全体に微細気泡が充満しワークＷのあらゆる部分、
例えば深穴部ＷＨの内部やギヤ部ＷＧの歯底等に微細気
泡が到達してワークＷの表面の汚れ等を吸着する。所定
時間微細気泡を発生させると、次に送気パイプ２２から
ノズルを介して上記比較的大きな気泡を発生させ洗浄液
を撹拌し、ワークＷの表面に滞留している微細気泡をワ
ークＷから引き離し、微細気泡を成長させながら微細気
泡に吸着された汚れを洗浄液表面に移動させ、浸漬槽２
の周囲に設けた樋２１に洗浄液と共にオーバーフローさ
せる。尚、送気パイプ２２のノズルから比較的大きな気
泡を発生させる際には送気パイプ２３からの微細気泡の
発生は停止させても継続させていても構わない。そし
て、所定時間浸漬洗浄を行った後は上記のように昇降枠
１２と共にワークＷを引き上げ、すすぎを行いワークＷ
に対する洗浄を終了する。
【００１３】ところで、上記実施例では上記送気パイプ
２２・２３への送気の切替は１回であったが、これを数
回繰り返し行うようにしてもよい。
２２・２３への送気の切替は１回であったが、これを数
回繰り返し行うようにしてもよい。
【００１４】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、浸漬槽にワークを浸漬して洗浄を行う際に、
該ワークに洗浄しにくい凹入部等があっても、該凹入部
内の細部に至るまで十分に洗浄することができる。
によれば、浸漬槽にワークを浸漬して洗浄を行う際に、
該ワークに洗浄しにくい凹入部等があっても、該凹入部
内の細部に至るまで十分に洗浄することができる。
【図１】 本発明が適用される洗浄装置の構成を示す正
面図
面図
【図２】 II−II断面図
１ 洗浄装置 ２ 浸漬槽 ４ 元管 １１ 昇降シリンダ １２ 昇降枠 ２２ 送気パイプ ２３ 送気パイプ ４３ 増圧ポンプ Ｐ パレット Ｗ ワーク
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 実開 昭57−51636（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C23G 3/00,5/04 B08B 3/10
Claims (2)
- 【請求項１】 洗浄液を満たした浸漬槽内にワークを浸
漬して洗浄を行う装置において、上記浸漬槽の内底部に
微細気泡を発生させる送気パイプと洗浄液を撹拌し得る
大きさの気泡を発生させる送気パイプとを並設すると共
に、両送気パイプに対して個々に空気を圧送する送気手
段を設けたことを特徴とする洗浄装置。 - 【請求項２】 洗浄液を満たした浸漬槽内にワークを浸
漬して洗浄を行う方法において、上記浸漬槽の内底部か
ら微細気泡と洗浄液を攪拌し得る大きさの気泡とを交互
に発生させることを特徴とする洗浄方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33463292A JP3172818B2 (ja) | 1992-12-15 | 1992-12-15 | 洗浄装置及び洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33463292A JP3172818B2 (ja) | 1992-12-15 | 1992-12-15 | 洗浄装置及び洗浄方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06179991A JPH06179991A (ja) | 1994-06-28 |
| JP3172818B2 true JP3172818B2 (ja) | 2001-06-04 |
Family
ID=18279553
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33463292A Expired - Fee Related JP3172818B2 (ja) | 1992-12-15 | 1992-12-15 | 洗浄装置及び洗浄方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3172818B2 (ja) |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08112574A (ja) * | 1994-10-17 | 1996-05-07 | Kyoei Seisakusho:Kk | 機能水と微細気泡を併用する洗浄方式 |
| US7981286B2 (en) | 2004-09-15 | 2011-07-19 | Dainippon Screen Mfg Co., Ltd. | Substrate processing apparatus and method of removing particles |
| JP2006147617A (ja) * | 2004-11-16 | 2006-06-08 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置およびパーティクル除去方法 |
| JP5015717B2 (ja) * | 2007-10-15 | 2012-08-29 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板洗浄装置 |
| US10099264B2 (en) | 2008-02-11 | 2018-10-16 | Ecolab Usa Inc. | Bubble enhanced cleaning method and chemistry |
| JP2009061454A (ja) * | 2008-12-19 | 2009-03-26 | Mitsubishi Electric Corp | 洗浄方法および被洗浄物 |
| JP5781015B2 (ja) * | 2012-05-31 | 2015-09-16 | 三菱電機株式会社 | ウェハ洗浄装置及び洗浄槽の洗浄方法 |
| KR101647542B1 (ko) * | 2012-06-29 | 2016-08-23 | 타이완 우에무라 컴퍼니 리미티드 | 미세 기포식 처리장치 |
| US9206380B2 (en) | 2013-03-14 | 2015-12-08 | Ecolab Usa Inc. | Method of generating carbonate in situ in a use solution and of buffered alkaline cleaning under an enriched CO2 atmosphere |
| KR101853412B1 (ko) * | 2017-12-12 | 2018-04-30 | 임태균 | 강관 산세처리시스템 및 그 방법 |
-
1992
- 1992-12-15 JP JP33463292A patent/JP3172818B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06179991A (ja) | 1994-06-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3172818B2 (ja) | 洗浄装置及び洗浄方法 | |
| CN102380489B (zh) | 一种钢网超声波清洗方法及其装置 | |
| RU2367527C2 (ru) | Способ очистки полой детали вращения и устройство для его осуществления | |
| CN106391566A (zh) | 一种金属件自动清洗设备 | |
| US6112355A (en) | Overflow scrub-washing method and apparatus | |
| CN213645147U (zh) | 一种电路板浸洗装置 | |
| CN2463261Y (zh) | 铁路专用轴承及配件全自动超声波清洗机 | |
| JP3166048B2 (ja) | 洗浄装置 | |
| JP2009167496A (ja) | 電着塗装の前処理水洗装置 | |
| JP3002413B2 (ja) | 金属材料の表面清浄化方法と装置 | |
| CN218691943U (zh) | 一种泡罩塔塔板清洗装置 | |
| JP3474668B2 (ja) | 塗装装置 | |
| JPH06212494A (ja) | 前処理及び電着塗装装置 | |
| CN214046195U (zh) | 一种pcb生产用酸洗装置 | |
| JPH06178969A (ja) | 洗浄装置 | |
| CN220092300U (zh) | 阀门多效清洗装置 | |
| CN218081945U (zh) | 一种密封垫生产用打磨清洗装置 | |
| CN218621112U (zh) | 用于ic载板电镀的漂洗装置 | |
| JP2009167495A (ja) | 電着塗装の水洗装置 | |
| CN220372978U (zh) | 一种研磨设备的升降挡圈 | |
| CN215856351U (zh) | 一种钣金件表面处理设备及系统 | |
| CN215089232U (zh) | 一种喷嘴加工用清洗装置 | |
| CN213615949U (zh) | 一种抛光设备喷淋冲洗装置 | |
| CN213051890U (zh) | 一种汽车油管清洗装置 | |
| CN215198599U (zh) | 一种钢球清洗机 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080330 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090330 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100330 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |