JP6043648B2 - 切削装置 - Google Patents

Description

本発明は、切削装置に関する。

携帯電話、パソコン等の電子機器は、より小型・軽量化が求められており、ＩＣ，ＬＳＩ等の回路が形成された半導体チップのパッケージも、ＣＳＰ（Chip Size Package）やＱＦＮ（Quad Flat Non-leaded Package）と称する小型化できるパッケージ技術が開発されている。このようなＣＳＰ基板やＱＦＮ基板の切断は、ダイシング装置とよばれる切削装置によって加工が行われている。

切削装置は、被加工物を保持しつつ移動するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物に純水等の加工液を供給しながら切削する切削手段と、加工液を受けてドレインへ導くウォーターケース（樋部）と、チャックテーブルを移動させる加工送り手段に加工液が付着しないようにカバーする蛇腹カバーを備えている（特許文献１参照）。

蛇腹カバー及びウォーターケースには加工液のみならず、被加工物の切れ端である切削屑も落下する。切削屑は鋭利な形状の場合も多く、蛇腹カバーが延びている状態で谷部に落下した後、蛇腹カバーが収縮すると蛇腹の谷部に挟まれ、鋭利な切削屑によって蛇腹カバーに穴が開いてしまう可能性がある。そのため、蛇腹カバーには上面に保護プレートを装着することがある。保護プレートは、幅方向でウォーターケースに張り出し、確実に蛇腹カバーを保護している。

ウォーターケースには、ドレインに通じる排水孔が設けられ、ドレインへ切削屑が流入しないよう、排水孔の開口する範囲でウォーターケースを覆うようにストレーナーが設置されている。ストレーナーは捕捉した切削屑を廃棄できるよう着脱可能に構成されている。

特開２０００−２７１８３４号公報 特開２００４−１８６３６１号公報

蛇腹カバー（特に蛇腹カバーの一部である蛇腹カバー保護プレート）がウォーターケースに張り出しているため、少なくとも保護プレートを取り外さなければストレーナーを取り外すことができなくなり、容易に切削屑の廃棄ができなくなる場合があった。

本発明の目的は、ストレーナーを容易に着脱することができる切削装置を提供することである。

本発明の切削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、加工液を供給しながらスピンドルの先端に装着された切削ブレードで該チャックテーブルに保持された被加工物を切削加工する切削手段と、該スピンドルの軸心方向（Ｙ軸方向）と直交する加工送り方向（Ｘ軸方向）に該チャックテーブルを移動させる加工送り手段と、を備えた切削装置であって、一端が該チャックテーブルが固定される基台部に取り付けられ、他端が静止部材に取り付けられ該加工送り手段の上部を覆う蛇腹カバーと、該Ｘ軸方向に沿って該加工送り手段の両側に配設され、該蛇腹カバーから落下した該加工液及び被加工物の切削屑を受け止める樋部と、を備え、該樋部は、該Ｘ軸方向に傾斜した底部と、該底部を介して対面する該Ｘ軸方向に延伸する側壁と、傾斜した該底部の最下領域で、該底部が一段下がって形成された窪み部と、該窪み部の底面又は該側壁に形成された排水孔と、該窪み部を覆い、該窪み部から着脱可能な、該切削屑を捕捉する有底状のストレーナーと、を備え、該ストレーナーは、該加工送り手段側の第一のストレーナーと、該第一のストレーナーとＹ軸方向に並列する第二のストレーナーとに分割され、該第一のストレーナー及び該第二のストレーナーは、該窪み部の上方に該Ｙ軸方向で張り出した該蛇腹カバーと該樋部の外側の側壁との隙間を通過可能な幅であることを特徴とする。

上記切削装置において、前記樋部の前記窪み部の上方に張り出した前記蛇腹カバーの張り出した部分と前記樋部に装着した前記第二のストレーナーの上端との距離が、前記第一のストレーナーの高さより長く、該第二のストレーナーが装着された状態で該第一のストレーナーを着脱可能なことが好ましい。

本発明に係る切削装置は、蛇腹カバーと、Ｘ軸方向に沿って加工送り手段の両側に配設され、蛇腹カバーから落下した加工液及び被加工物の切削屑を受け止める樋部と、を備える。樋部は、Ｘ軸方向に傾斜した底部と、底部を介して対面するＸ軸方向に延伸する側壁と、傾斜した底部の最下領域で、底部が一段下がって形成された窪み部と、窪み部の底面又は側壁に形成された排水孔と、窪み部を覆い、窪み部から着脱可能な、切削屑を捕捉する有底状のストレーナーと、を備える。ストレーナーは、加工送り手段側の第一のストレーナーと、第一のストレーナーとＹ軸方向に並列する第二のストレーナーとに分割され、第一のストレーナー及び第二のストレーナーは、窪み部の上方にＹ軸方向で張り出した蛇腹カバーと樋部の外側の側壁との隙間を通過可能な幅である。本発明に係る切削装置によれば、ストレーナーを容易に着脱することができるという効果を奏する。

図１は、実施形態に係る切削装置の概略構成図である。 図２は、実施形態に係る蛇腹カバーおよびウォーターケースを示す斜視図である。 図３は、ウォーターケースの要部を示すＸ軸と直交する断面図である。 図４は、ウォーターケースの要部を示すＹ軸と直交する断面図である。 図５は、ストレーナーの着脱に係る説明図である。 図６は、着脱が容易なストレーナーの他の例を示す図である。

以下に、本発明の実施形態に係る切削装置につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この実施形態によりこの発明が限定されるものではない。また、下記の実施形態における構成要素には、当業者が容易に想定できるものあるいは実質的に同一のものが含まれる。

［実施形態］
図１から図６を参照して、実施形態について説明する。本実施形態は、切削装置に関する。図１は、本発明の実施形態に係る切削装置の概略構成図、図２は、実施形態に係る蛇腹カバーおよびウォーターケースを示す斜視図、図３は、ウォーターケースの要部を示すＸ軸と直交する断面図、図４は、ウォーターケースの要部を示すＹ軸と直交する断面図、図５は、ストレーナーの着脱に係る説明図である。図２は、図１のＡ方向から見た斜視図である。

図１および図２に示すように、実施形態に係る切削装置１は、チャックテーブル１０と、切削手段２０と、加工送り手段３０と、蛇腹カバー１２と、第一樋部６１と、第二樋部６２とを含んで構成されている。

チャックテーブル１０は、被加工物Ｗを保持するものである。被加工物Ｗは、切削装置１により加工される加工対象であり、半導体ウェーハや、ＣＳＰ基板、ＱＦＮ基板、ガラス、樹脂等からなる板状部材である。被加工物Ｗは、例えば、デバイスが複数形成されているデバイス側の表面と反対側の裏面が粘着テープＴに貼着され、被加工物Ｗに貼着された粘着テープＴが磁性体の環状フレームＦに貼着されることで、環状フレームＦに固定される。被加工物Ｗは、粘着テープＴが貼着された側の面がチャックテーブル１０に載置され、吸引保持される。

切削手段２０は、加工液を供給しながらスピンドルの先端に装着された切削ブレード２１でチャックテーブル１０に保持された被加工物Ｗを切削加工する。図２に示す加工送り手段３０は、チャックテーブル１０を加工送り方向であるＸ軸方向に移動させる。Ｘ軸方向は、切削手段２０のスピンドルの軸心方向であるＹ軸方向と直交する方向である。加工送り手段３０は、パルスモータ３１と、ボールねじ３２と、一対のガイドレール３３，３３とを含んで構成されている。加工送り手段３０は、パルスモータ３１により発生した回転力によりボールねじ３２を回転駆動させることで、テーブル移動基台３４をガイドレール３３，３３によりガイドしつつ装置本体２に対してＸ軸方向に相対移動させる。チャックテーブル１０は、テーブル移動基台３４と接続されており、テーブル移動基台３４と共にＸ軸方向に移動する。

図１に戻り、Ｙ軸送り手段４０は、装置本体２に対して切削手段２０をＹ軸方向に相対移動させる。Ｚ軸送り手段５０は、装置本体２に対して切削手段２０をＺ軸方向に相対移動させる。Ｚ軸方向は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向とそれぞれ直交する方向であり、本実施形態では鉛直方向である。

装置本体２には、チャックテーブル１０の移動範囲に応じてウォーターケース６０が形成されている。ウォーターケース６０は、装置本体２の上面に形成された開口部に設けられている。ウォーターケース６０は、基台部１１と、基台部１１に取り付けられた蛇腹カバー１２とによって覆われている。基台部１１は、チャックテーブル１０が固定されるものであり、チャックテーブル１０と共にＸ軸方向に移動可能である。

図２に示すように、ウォーターケース６０は、平面視において矩形であり、第一樋部６１、第二樋部６２、第三樋部６３、および静止部材６４を含んで構成されている。第一樋部６１と第二樋部６２との間には、開口部６０Ａが設けられている。開口部６０Ａは、回転手段１６のＸ軸方向の移動範囲に対応して設けられている。回転手段１６は、Ｚ軸方向に延在する円筒形状のものであり、下端がテーブル移動基台３４と接続され、上端がチャックテーブル１０と接続されている。回転手段１６は、チャックテーブル１０をＺ軸周りに回転させる。

第一樋部６１および第二樋部６２は、Ｘ軸方向に沿って加工送り手段３０の両側に配設され、蛇腹カバー１２から落下した加工液および被加工物Ｗの切削屑を受け止める樋部である。第一樋部６１は、Ｘ軸方向に傾斜した底部６１ａと、底部６１ａを介して対面するＸ軸方向に延伸する一対の側壁６１ｂ，６１ｃと、窪み部６５と、ストレーナー６６と、排水孔７０（図３参照）とを有する。外側側壁６１ｂは、ウォーターケース６０の外壁をなしている。内側側壁６１ｃは、底部６１ａを間に挟んでＹ軸方向において外側側壁６１ｂと対向している。内側側壁６１ｃは、開口部６０Ａを囲む壁部である。

第二樋部６２は、Ｘ軸方向に傾斜した底部６２ａと、底部６２ａを介して対面するＸ軸方向に延伸する一対の側壁６２ｂ，６２ｃとを有する。外側側壁６２ｂは、ウォーターケース６０の外壁をなしている。内側側壁６２ｃは、底部６１ａを間に挟んでＹ軸方向において外側側壁６２ｂと対向している。内側側壁６２ｃは、開口部６０Ａの囲む壁部である。第一樋部６１の底部６１ａと、第二樋部６２の底部６２ａは、Ｘ軸方向に沿って同じ傾斜方向に傾斜している。以下の説明において、底部６１ａ，６２ａの傾斜に沿った加工液の流れ方向の上流側を単に「上流側」と称し、加工液の流れ方向の下流側を単に「下流側」と称する。第一樋部６１の下流側の端部と第二樋部６２の下流側の端部とは、第三樋部６３を介して接続されている。第三樋部６３は、Ｙ軸方向に延在しており、第二樋部６２から第一樋部６１へ向かうに従い下方に向かう傾斜を有している。第二樋部６２に沿って流れた加工液は、第三樋部６３を介して第一樋部６１に送られる。

第一樋部６１の下流側の端部には、底部６１ａが一段下がって形成された窪み部６５が設けられている。つまり、窪み部６５は、底部６１ａの最下領域に配置されている。第三樋部６３は、窪み部６５に連通している。

図３は、図１のＢ方向から見た断面図であり、第三樋部６３および窪み部６５を通る断面である。また、図４は、図１のＣ方向から見た断面図であり、第一樋部６１および窪み部６５を通る断面である。図３および図４に示すように、窪み部６５は、第三樋部６３の底部６３ａより下方に向けて窪んでおり、窪み部６５の底面６５ａは、第三樋部６３の底部６３ａよりも下方に位置している。図３に示すように、窪み部６５のＹ軸方向の幅は、第一樋部６１のＹ軸方向の幅Ｌ２と等しい。図４に示すように、窪み部６５のＸ軸方向の長さは、第三樋部６３のＸ軸方向の幅Ｌ５よりも大きく、窪み部６５は、第三樋部６３よりも上流側まで形成されている。第一樋部６１の外側側壁６１ｂには、排水孔７０が形成されている。排水孔７０は、窪み部６５の加工液を排出する。排水孔７０を介して排出された加工液（排水）は、ドレイン接続口７１からドレインに排出される。

窪み部６５には、ストレーナー６６が配置されている。ストレーナー６６は、窪み部６５を覆い、かつ窪み部６５から着脱可能なものである。ストレーナー６６は、上端が開口したかご状の部材であり、本実施形態では直方体の形状を有する。ストレーナー６６は、第一樋部６１および第三樋部６３から流入する加工液中の切削屑を捕捉する有底状のものである。ストレーナー６６は、例えば、網状のものであり、加工液中の切削屑を捕捉し、加工液を排出する。ユーザーは、ストレーナー６６を窪み部６５に対して着脱することで捕捉した切削屑を廃棄することができる。ここで、以下に説明するように、蛇腹カバー１２がウォーターケース６０に張り出していると、ストレーナー６６の着脱が容易にできないという問題がある。

図２に示すように、蛇腹カバー１２は、カバー本体１３，１４と、保護プレート１５とを有する。カバー本体１３，１４は、それぞれ複数の山部と谷部が交互に形成され、伸縮自在なものである。第一のカバー本体１３は、一端が基台部１１に取り付けられ、他端が静止部材６４に取り付けられ、加工送り手段３０の上部を覆う。静止部材６４は、第三樋部６３の内側側壁をなすものである。静止部材６４は、内側側壁６１ｃと内側側壁６２ｃとを接続している。静止部材６４は、開口部６０Ａを囲む壁部である。

第二のカバー本体１４は、一端が基台部１１に取り付けられ、他端が静止部材６９に取り付けられ、加工送り手段３０の上部を覆う。静止部材６９は、ウォーターケース６０の外壁をなすものであり、外側側壁６１ｂと外側側壁６２ｂとを接続する壁部である。基台部１１は、内側側壁６１ｃ，６２ｃによって案内されてＸ軸方向に移動する。また、カバー本体１３，１４は、内側側壁６１ｃ，６２ｃによって案内されてＸ軸方向に伸縮する。基台部１１が下流側に向けて移動する場合、第一のカバー本体１３が収縮し、第二のカバー本体１４が伸張する。一方、基台部１１が上流側に向けて移動する場合、第一のカバー本体１３が伸張し、第二のカバー本体１４が収縮する。これにより、基台部１１と、カバー本体１３，１４とによって加工送り手段３０の上部が覆われ、加工液や切削屑が加工送り手段３０に掛かることが抑制される。

また、本実施形態の蛇腹カバー１２は、第一のカバー本体１３に保護プレート１５が装着されている。保護プレート１５は、複数のプレート１５ａを有する。各プレート１５ａは、第一のカバー本体１３の山部にそれぞれ取り付けられている。各プレート１５ａのＸ軸方向の幅は、第一のカバー本体１３が伸張した状態における隣接する山部の間隔よりも大きい。隣接するプレート１５ａは、互いに重ね合わされており、第一のカバー本体１３の伸縮に応じて摺動する。これにより、保護プレート１５は、第一のカバー本体１３を覆った状態を維持しつつ、第一のカバー本体１３の伸縮と連動して全体が伸縮する。

プレート１５ａのＹ軸方向の長さは、第一のカバー本体１３のＹ軸方向の長さよりも大きい。プレート１５ａの両端は、第一のカバー本体１３に対してそれぞれＹ軸方向に張り出している。これにより、保護プレート１５は、落下してくる加工液を受けて樋部６１，６２，６３に導くことができ、第一のカバー本体１３に加工液がかかることを抑制することができる。

ここで、蛇腹カバー１２が樋部６１，６２，６３に張り出していることにより、ストレーナー６６の着脱に手間を要する。例えば、本実施形態では、図３に示すように、保護プレート１５の端部１５ａが第一樋部６１上に張り出している。これにより、保護プレート１５の先端と第一樋部６１の外側側壁６１ｂとの隙間７２の幅Ｌ１は、第一樋部６１のＹ軸方向の幅Ｌ２よりも小さくなる。一方、ストレーナー６６の幅は、第一樋部６１を流れてきた加工液が流入しやすいように、第一樋部６１の幅と同様の幅を有すること、例えば本実施形態のストレーナー６６のように第一樋部６１の幅と同じ幅であることが好ましい。

しかしながら、一つのストレーナーの幅が隙間７２の幅Ｌ１以上であると、ストレーナー６６を隙間７２に通すことができない。このため、ストレーナー６６を着脱する際に蛇腹カバー１２を取り外しておく必要があり、ストレーナー６６の着脱に多くの工数が掛かってしまう。例えば、本実施形態の切削装置１のように、保護プレート１５が第一樋部６１に張り出している場合、ストレーナー６６を着脱する際に少なくとも保護プレート１５を取り外しておく必要がある。

ここで、蛇腹カバー１２を取り外す必要がないように、蛇腹カバー１２が張り出している分、ウォーターケース６０を外側に張り出させ、上面視で蛇腹カバー１２とストレーナー６６とが重ならないようにすることが考えられる。しかしながら、この場合、装置面積の増大を招くという問題がある。また、ストレーナー６６を小型化し、ストレーナー６６のＹ軸方向の幅を狭くすることで上面視における蛇腹カバー１２とストレーナー６６との重複を解消することが考えられる。しかしながら、この場合、ストレーナー６６の容積が小さくなり、ストレーナー６６から切削屑があふれやすくなるという問題がある。

これに対して、本実施形態に係る切削装置１のストレーナー６６は、加工送り手段３０側の第一のストレーナー６７と、第一のストレーナー６７とＹ軸方向に並列する第二のストレーナー６８とに分割されている。第一のストレーナー６７および第二のストレーナー６８は、窪み部６５の上方にＹ軸方向で張り出した蛇腹カバー１２と第一樋部６１の外側の側壁（外側側壁６１ｂ）との隙間７２を通過可能な幅である。本実施形態では、第一のストレーナー６７の幅Ｌ３と第二のストレーナー６８の幅Ｌ４は、同じ幅である。また、第一のストレーナー６７の幅Ｌ３と第二のストレーナー６８の幅Ｌ４との和は、第一樋部６１のＹ軸方向の幅Ｌ２と等しい。

幅Ｌ３，Ｌ４は、それぞれ隙間７２のＹ軸方向の幅Ｌ１よりも小さい。従って、第一のストレーナー６７および第二のストレーナー６８は、幅７２をＺ軸方向に通過可能である。これにより、本実施形態の切削装置１によれば、ストレーナー６６を容易に着脱することが可能である。第一のストレーナー６７および第二のストレーナー６８には、それぞれ取手６７ａ、６８ａが取り付けられている。取手６７ａ，６８ａは、ストレーナー６７，６８の上流側の端部に取り付けられている。取手６７ａ，６８ａは、Ｌ字形状に屈曲した棒状の部材であり、一辺がストレーナー６７，６８の上流側の壁部に固定され、他辺が上流側に向けて延在している。

ストレーナー６６を窪み部６５から取り外す場合、第一のストレーナー６７あるいは第二のストレーナー６８の一方を先に窪み部６５から上方に持ち上げて隙間７２を通して第一樋部６１から外部に取り出し、次に他方のストレーナーを窪み部６５から上方に持ち上げて隙間７２を通して外部に取り出せばよい。ストレーナー６６を窪み部６５に取り付ける場合も同様であり、第一のストレーナー６７あるいは第二のストレーナー６８の一方を先に隙間７２を通して第一樋部６１に入れ、窪み部６５に取り付けてから、他方のストレーナーを隙間７２を通して第一樋部６１に入れて窪み部６５に取り付けるようにすればよい。

ストレーナー６６が分割されていることで、複数のストレーナー６７，６８のうち捕捉した切削屑の量が多いストレーナーのみを取り出して切削屑を処理することができる。第一のストレーナー６７には、第三樋部６３を流れてきた加工液が流入可能なように、切欠部６７ｂが形成されている。図３および図４に示すように、第一のストレーナー６７の上端６７ｔは、第三樋部６３の底部６３ａよりも上方にある。このため、第一のストレーナー６７の加工送り手段３０側の側壁には、切欠部６７ｂが設けられている。切欠部６７ｂの形状は、第三樋部６３の断面形状に対応している。よって、第一のストレーナー６７は、第三樋部６３を流れてくる加工液の流れを妨げることなく加工液を内部に受け入れることが可能である。

以上説明したように、本実施形態に係る切削装置１によれば、ストレーナー６６が分割（例えば２分割）されていることにより、個々のストレーナー６７，６８の幅が小さくなる。これにより、張り出した蛇腹カバー１２（保護プレート１５）とウォーターケース６０の壁面との隙間７２からストレーナー６７，６８を取り出すことができる。よって、切削屑の廃棄の際に保護プレート１５を取り外す必要が無くなり、容易な廃棄作業が可能となった。

また、本実施形態に係る切削装置１では、第二のストレーナー６８が装着された状態で第一のストレーナー６７を着脱可能なように、蛇腹カバー１２の高さ位置等が定められている。図５に示すように、第一樋部６１の窪み部６５の上方に張り出した蛇腹カバー１２の張り出した部分（保護プレート１５の端部１５ａ）と第一樋部６１に装着した第二のストレーナー６８の上端６８ｔとの距離Ｈ１が、第一のストレーナー６７の高さＨ２より長い。つまり、第二のストレーナー６８が窪み部６５に装着された状態で、第二のストレーナー６８の上端６８ｔと保護プレート１５との隙間のＺ軸方向の長さＨ１は、第一のストレーナー６７の高さＨ２よりも長い。従って、図５に矢印Ｙ１で示すように、第一のストレーナー６７を窪み部６５から上方に取り出してから第二のストレーナー６８の上方の空間に移動させることができる。よって、第一のストレーナー６７を隙間７２から容易に外部に取り出すことが可能となる。

なお、図６を参照して説明するように、取手６７ａを第一のストレーナー６７の一部とし、取手６８ａを第二のストレーナー６８の一部として上記のような関係を成立させるようにしてもよい。図６は、着脱が容易なストレーナーの他の例を示す図である。図６に示すように、取手６８ａの上端６８ｂと保護プレート１５とのＺ軸方向の距離Ｈ３が、取手６７ａを含む第一のストレーナー６７の高さＨ４よりも大きくされてもよい。

本実施形態に係るストレーナー６６は、既存の切削装置１に追加可能である。例えば、蛇腹カバー１２の保護プレート１５を後付けで設ける場合、既存の分割されていないストレーナーを、本実施形態のストレーナー６６と交換するだけでよく、第一樋部６１を改造することなく対応が可能である。

［実施形態の変形例］
上記実施形態では、排水孔７０が外側側壁６１ｂに形成されていたが、これに限定されるものではなく、例えばＸ軸方向と交差する側壁６３ｂ（図２，図４参照）に形成されてもよい。また、排水孔７０は、窪み部６５の底面６５ａに設けられてもよい。すなわち、排水孔７０は、窪み部６５から外部に排水可能に設けられていれば、その位置は任意である。

上記実施形態では、第一のストレーナー６７の幅Ｌ３と第二のストレーナー６８の幅Ｌ４とが同じであったが、これには限定されない。第一のストレーナー６７の幅Ｌ３と第二のストレーナー６８の幅Ｌ４とは異なっていてもよい。例えば、第三樋部６３を流れてきた加工液が流入する第一のストレーナー６７の幅Ｌ３を第二のストレーナー６８の幅Ｌ４よりも大きくしてもよい。

上記実施形態では、ストレーナー６６が２つに分割されていたが、これに限定されるものではなく、ストレーナー６６が３つ以上に分割されてもよい。

上記実施形態では、第一のカバー本体１３が保護プレート１５によって保護されていたが、保護プレート１５は省略されてもよい。保護プレート１５が第一樋部６１上に張り出しているものに限らず、第一のカバー本体１３が第一樋部６１の上方に張り出しているような蛇腹カバー１２を有する切削装置に対しても本実施形態は有利な効果を奏する。第一のカバー本体１３を保護する保護プレート１５に加えて、第二のカバー本体１４を保護する保護プレートが設けられてもよい。

上記の実施形態および変形例に開示された内容は、適宜組み合わせて実行することができる。

１ 切削装置
１０ チャックテーブル
１１ 基台部
１２ 蛇腹カバー
１３ 第一のカバー本体
１４ 第二のカバー本体
１５ 保護プレート
２０ 切削手段
２１ 切削ブレード
３０ 加工送り手段
６０ ウォーターケース
６１ 第一樋部
６１ａ 底部
６１ｂ 外側側壁
６１ｃ 内側側壁
６２ 第二樋部
６２ａ 底部
６２ｂ 外側側壁
６２ｃ 内側側壁
６４ 静止部材
６５ 窪み部
６５ａ 底面
６６ ストレーナー
６７ 第一のストレーナー
６８ 第二のストレーナー
６９ 静止部材
７０ 排水孔
７２ 隙間
Ｌ１ 隙間の幅
Ｌ２ 第一樋部の幅
Ｌ３ 第一のストレーナーの幅
Ｌ４ 第二のストレーナーの幅

Claims (2)

1. 被加工物を保持するチャックテーブルと、加工液を供給しながらスピンドルの先端に装着された切削ブレードで該チャックテーブルに保持された被加工物を切削加工する切削手段と、該スピンドルの軸心方向（Ｙ軸方向）と直交する加工送り方向（Ｘ軸方向）に該チャックテーブルを移動させる加工送り手段と、を備えた切削装置であって、
   一端が該チャックテーブルが固定される基台部に取り付けられ、他端が静止部材に取り付けられ該加工送り手段の上部を覆う蛇腹カバーと、
   該Ｘ軸方向に沿って該加工送り手段の両側に配設され、該蛇腹カバーから落下した該加工液及び被加工物の切削屑を受け止める樋部と、を備え、
   該樋部は、
   該Ｘ軸方向に傾斜した底部と、
   該底部を介して対面する該Ｘ軸方向に延伸する側壁と、
   傾斜した該底部の最下領域で、該底部が一段下がって形成された窪み部と、
   該窪み部の底面又は該側壁に形成された排水孔と、
   該窪み部を覆い、該窪み部から着脱可能な、該切削屑を捕捉する有底状のストレーナーと、を備え、
   該ストレーナーは、該加工送り手段側の第一のストレーナーと、該第一のストレーナーとＹ軸方向に並列する第二のストレーナーとに分割され、
   該第一のストレーナー及び該第二のストレーナーは、該窪み部の上方に該Ｙ軸方向で張り出した該蛇腹カバーと該樋部の外側の側壁との隙間を通過可能な幅であることを特徴とする切削装置。
2. 前記樋部の前記窪み部の上方に張り出した前記蛇腹カバーの張り出した部分と前記樋部に装着した前記第二のストレーナーの上端との距離が、前記第一のストレーナーの高さより長く、
   該第二のストレーナーが装着された状態で該第一のストレーナーを着脱可能な請求項１記載の切削装置。

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