JP6032869B2 - ブレーズ型回折格子 - Google Patents
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Description
10 回折格子
15 カウンタ面(第1の面)
16 ブレーズ面(第2の面)
17 格子溝
22 ダイヤモンドバイト
Claims (5)
- 互いに平行に延びる複数の格子溝を有し、所定の入射角度の入射光を回折させることにより所定の次数の回折光を生成するブレーズ型回折格子であって、
前記格子溝は、
第1切削平面と、
断面において前記第1切削平面より短い第2切削平面と、
前記第1切削平面と前記第2切削平面との間に形成されている段差部と、を有し、
前記段差部は前記第2切削平面に隣接する切削面を有し、前記第2切削平面に隣接する切削面は、前記断面において前記第2切削平面より短く、前記第2切削平面に隣接する切削面の延長面は前記第1切削平面と交差せず、
前記段差部は前記第1切削平面に隣接する切削面を有し、前記第1切削平面に隣接する切削面は、前記断面において前記第2切削平面より短く、
前記段差部は、前記所定の入射角度を有する入射光が前記段差部に到達せず、前記回折光を生じさせないように形成されていることを特徴とするブレーズ型回折格子。 - 前記ブレーズ型回折格子はエシェル型回折格子であることを特徴とする請求項1に記載のブレーズ型回折格子。
- レーザ放射光に対して特定の高次伝播回折次数の光が各波長でブレーズされ、前記ブレーズされる次数は50より大きいことを特徴とする請求項1または2に記載のブレーズ型回折格子。
- 前記レーザ放射光はアルゴン−フッ素エキシマレーザによって放射され、前記次数は90より大きいことを特徴とする請求項3に記載のブレーズ型回折格子。
- 前記レーザ放射光はクリプトン−フッ素エキシマレーザによって放射され、前記次数は60より大きいことを特徴とする請求項3記載のブレーズ型回折格子。
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