JP2012189784A - 回折格子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】Y方向に平行に延びる複数の格子溝17を有する回折格子10を製造する方法は、バイト22と被加工物WをY方向に相対移動することによってバイト22の切刃23によって被加工物にカウンタ面15を切削加工する第1の切削加工ステップ(S120)と、第1の切削加工ステップの後でXZ断面において切刃23が第1の切削加工ステップで形成されたカウンタ面に接触しないようにバイトと被加工物を相対移動させる第1の移動ステップ(S130)と、第1の移動ステップの後でバイトと被加工物をY方向に相対移動することによってバイトの切刃24によって被加工物にブレーズ面を切削加工する第2の切削加工ステップ(S140)と、を有する。
【選択図】図4
Description
10 回折格子
15 カウンタ面(第1の面)
16 ブレーズ面(第2の面)
17 格子溝
22 ダイヤモンドバイト
Claims (13)
- 第1の方向に平行に延びる複数の格子溝を有する回折格子を製造する方法であって、
第1の切刃と第2の切刃を有するバイトと被加工物を前記第1の方向に相対移動することによって前記バイトの前記第1の切刃によって被加工物に第1の面を切削加工する第1の切削加工ステップと、
前記第1の切削加工ステップの後で、前記第1の方向に垂直な断面において、前記第1の切刃が前記第1の切削加工ステップで形成された前記第1の面に接触しないように前記バイトと前記被加工物を相対移動させる第1の移動ステップと、
前記第1の移動ステップの後で前記バイトと前記被加工物を前記第1の方向に相対移動することによって前記バイトの前記第2の切刃によって前記被加工物に第2の面を切削加工する第2の切削加工ステップと、
を有することを特徴とする方法。 - 前記断面において前記第2の面は前記第1の面よりも短い辺を有することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記第2の切削加工ステップの後で、前記バイトと前記被加工物を相対移動することによって前記断面において前記バイトを前記第1の切削加工ステップにおける前記バイトの位置から前記格子溝の繰り返し幅だけ格子パターン方向に移動させる第2の移動ステップを更に有し、
前記第1の切削加工ステップ、前記第1の移動ステップ、前記第2の切削加工ステップ、前記第2の移動ステップが所定回数繰り返されることを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 前記被加工物は前記回折格子の材料から構成されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記被加工物は金型の材料から構成され、
前記方法は、前記金型に反射膜を被覆して前記回折格子を形成するステップを更に有することを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 前記回折格子が使用されるときに前記第2の面に光が入射し、前記第1の面と前記第2の面の間に形成される段差部に前記光が到達しないように、前記バイトを移動して前記第2の面を切削加工することを特徴とする請求項4または5に記載の方法。
- 前記被加工物は金型の材料から構成され、
前記方法は、前記金型を利用して前記回折格子を成形するステップを更に有することを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 複数の平行に延びる格子溝を有する回折格子であって、
入射光を最も多く受光する面であるブレーズ面と、
前記ブレーズ面の前記入射光が入射する側に隣接する段差部と、
を有し、
前記段差部の前記ブレーズ面に隣接する平面を前記入射光が入射する側に延長させた平面は格子を形成する全ての材質と交差しないことを特徴とする回折格子。 - 前記回折格子はエシェル型回折格子であることを特徴とする請求項8に記載の回折格子。
- レーザ放射光に対して特定の高次伝播回折次数の光が各波長でブレーズされ、前記ブレーズされる次数は50より大きいことを特徴とする請求項8または9に記載の回折格子。
- 前記レーザ放射光はアルゴン−フッ素エキシマレーザによって放射され、前記次数は90より大きいことを特徴とする請求項10に記載の回折格子。
- 前記レーザ放射光はクリプトン−フッ素エキシマレーザによって放射され、前記次数は60より大きいことを特徴とする請求項10記載の回折格子。
- 複数の平行に延びる格子溝を有する金型であって、
入射光を最も多く受光する面であるブレーズ面と、
前記ブレーズ面の前記入射光が入射する側に隣接する段差部と、
を有し、
前記段差部の前記ブレーズ面に隣接する平面を前記入射光が入射する側に延長させた平面は格子を形成する全ての材質と交差しないことを特徴とする金型。
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