以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。本実施の形態に係る加工方法は、切削装置による溝形成工程、貼り替え装置による保護テープ貼着工程、研削装置による研削工程、貼り替え装置によるによる接着フィルム貼着工程(貼着工程)及び保護テープ剥離工程、レーザー加工装置によるレーザー光線照射工程、及び拡張装置による接着フィルム破断工程を含む。
溝形成工程では、ストリート(分割予定ライン)に沿ってウェーハの表面側にチップの仕上げ厚みよりも深い溝を形成する。保護テープ貼着工程では、ウェーハ表面に保護テープを貼着する。研削工程では、溝形成工程で形成された溝が表出されるようにウェーハの裏面側を研削し、ウェーハを各チップに分離する。接着フィルム貼着工程では、各チップに分離されたウェーハの裏面に接着フィルム及びエキスパンドテープを貼着する。保護テープ剥離工程では、ウェーハ表面に貼着された保護テープを剥離する。レーザー光線照射工程では、接着フィルムの底面近傍に集光点を位置付けるようにレーザー光線を照射して、接着フィルムをアブレーション加工する。ここで、レーザー光線の照射によるアブレーションとは、照射されたレーザー光線の持つエネルギーにより原子、分子、クラスターなどが昇華されて固体が削り取られる現象をいう。接着フィルム破断工程では、エキスパンドテープを拡張し、アブレーション加工された領域を起点に接着フィルムを破断する。
本実施の形態に係る加工方法では、レーザー光線照射工程において照射されるレーザー光線のパワー密度を、底面近傍の集光点で接着フィルムがアブレーション加工され、接着フィルムの表面でアブレーションを抑えられるように制御する。これにより、表面でのアブレーションを抑制してデブリの飛散を防止しつつ、接着フィルムを各チップのサイズに分断できる。以下、本実施の形態に係る加工方法の詳細について説明する。
図1から図4を参照して、本実施の形態の加工方法に用いられる装置等の概略について説明する。図1は、本実施の形態の加工方法に用いられる切削装置1の構成を示す斜視図である。図2は、本実施の形態の加工方法に用いられる研削装置2の構成を示す斜視図である。図3は、本実施の形態の加工方法に用いられるレーザー加工装置3の構成を示す斜視図である。図4は、本実施の形態の加工方法に用いられる拡張装置4の構成を示す斜視図である。図1から図4においては、本実施の形態の加工方法の対象となるウェーハWを併せて示している。なお、本実施の形態の加工方法に用いられる装置は、図1から図4に示す構成に限定されない。
図1から図4に示すように、本実施の形態の加工方法の対象となるウェーハWは、略円盤状の外形を有しており、表面に形成された格子状のストリート(分割予定ライン)で複数の領域に区画されている。区画された各領域にはデバイスが形成されている。このウェーハWは、裏面に貼着されるダイシングテープT1を介して環状のフレームFに支持されて切削装置1に搬入される(図1参照)。なお、ウェーハWの材質等は特に限定されない。
図1に示すように、溝形成工程に用いられる切削装置1は、切削ブレード161を有する一対のブレードユニット16とウェーハWを保持する保持テーブル13とを相対移動させてウェーハWを切削可能に構成されている。切削装置1は、基台11を有しており、基台11上には保持テーブル13をX軸方向に移動させる保持テーブル移動機構14が設けられている。また、基台11上には、保持テーブル移動機構14を跨ぐように立設された柱部12が設けられ、柱部12には、保持テーブル13の上方において一対のブレードユニット16をY軸方向に移動させるブレードユニット移動機構17が設けられている。
保持テーブル移動機構14は、基台11上に配置されX軸方向に延在する一対のガイドレール141と、一対のガイドレール141にスライド可能に設置されたX軸テーブル142とを有している。X軸テーブル142の上部には保持テーブル13が設けられている。X軸テーブル142の下面側には不図示のナット部が設けられ、このナット部にボールネジ143が螺合されている。ボールネジ143の一端部には駆動モータ144が連結されており、駆動モータ144によりボールネジ143は回転駆動される。
保持テーブル13は、X軸テーブル142の上面においてZ軸回りに回転可能なθテーブル131と、θテーブル131の上面のテーブル支持部132とを備えている。また、テーブル支持部132の上方には、ウェーハWを吸着保持するチャックテーブル133が支持されている。チャックテーブル133は、所定厚みの円盤形状を有しており、上面中央部分にはポーラスセラミック材による吸着面が形成されている。チャックテーブル133は、吸着面でウェーハWを吸着できるようにテーブル支持部132の内部に設けられた配管を介して吸引源に接続されている。チャックテーブル133の周囲には、径方向外側に延びる支持アームを介して4つのクランプ部134が設けられている。このクランプ部134により、ウェーハWの周囲のフレームFは挟持固定される。
ブレードユニット移動機構17は、柱部12の前面に配置され、Y軸方向に延在する一対のガイドレール171と、ガイドレール171にスライド可能に設置された一対のY軸テーブル172とを有している。また、ブレードユニット移動機構17は、各Y軸テーブル172の前面のそれぞれに配置され、Z軸方向に延在する一対のガイドレール175と、各一対のガイドレール175のそれぞれにスライド可能に配置されたZ軸テーブル176とを有している。各Z軸テーブル176には、それぞれブレードユニット16が設けられている。
また、各Y軸テーブル172、各Z軸テーブル176の背面側には、それぞれ不図示のナット部が設けられ、これらナット部にボールネジ173,177が螺合されている。Y軸テーブル172用のボールネジ173及びZ軸テーブル176用のボールネジ177の一端部には、それぞれ駆動モータ174,178が連結され、これら駆動モータ174,178によりボールネジ173,177が回転駆動される。
このように構成された切削装置1のチャックテーブル133にダイシングテープT1を介してウェーハWの裏面を吸着させ、回転させた状態の切削ブレード161をウェーハWの表面側に切り込ませれば、ウェーハWの表面側に溝が形成される。溝を形成されたウェーハWは、その後の保護テープ貼着工程で表面に保護テープT2を貼着されて研削装置2に搬送される(図2参照)。ウェーハWの裏面に貼着されているダイシングテープT1は剥離される。溝形成工程、及び保護テープ剥離工程の詳細については後述する。
図2に示すように、研削工程に用いられる研削装置2は、ウェーハWの保持されるチャックテーブル232と研削ユニット24の研削ホイール244とを相対回転させることで、ウェーハWを研削できるように構成されている。研削装置2は、略直方体状の基台21を有している。基台21の上面には、複数のチャックテーブル232(1つのみ図示)が配置されたターンテーブル23が設けられている。ターンテーブル23の後方には、研削ユニット24を支持する壁部22が立設されている。
ターンテーブル23は大径の円盤状に形成されており、上面には複数のチャックテーブル232が配置されている。また、ターンテーブル23は、不図示の回転駆動機構によって矢印D1の方向に所定角度間隔で間欠回転される。このため、複数のチャックテーブル232は、ウェーハWが搬入搬出される載せ換え位置と研削ユニット24に対峙する研削位置との間で移動される。
チャックテーブル232は、小径の円盤状に形成されており、ターンテーブル23の上面において回転可能に設けられている。チャックテーブル232の上面には、ポーラスセラミック材による吸着面が形成されている。チャックテーブル232の周囲には、環状のマグネット231が設けられている。ウェーハWを支持するフレームFは磁性体で形成されており、環状のマグネット231で吸着固定される。
基台21の上面において、ターンテーブル23の研削位置の近傍にはハイトゲージ211が設けられている。ハイトゲージ211は、ウェーハWの上面に接触して厚みを測定する1本の接触子212を有している。ウェーハWの厚みは、接触子212によりあらかじめ測定されるチャックテーブル232の表面位置を基準に測定される。ハイトゲージ211による測定値は、伝送路を介して不図示の制御部に入力される。
壁部22には、研削ユニット24を上下動させる研削ユニット移動機構25が設けられている。研削ユニット移動機構25は、壁部22の前面に配置されたZ軸方向に平行な一対のガイドレール251と、一対のガイドレール251にスライド可能に設置されたZ軸テーブル252とを有している。Z軸テーブル252の前面には、研削ユニット24が支持されている。Z軸テーブル252の背面には、壁部22の開口221を介して後方に突出されたナット部が設けられている。Z軸テーブル252のナット部には、壁部22の裏面に設けられた不図示のボールネジが螺合されている。ボールネジの一端部には駆動モータ253が連結されており、ボールネジが回転駆動されることで研削ユニット24はガイドレール251に沿ってZ軸方向に移動される。
研削ユニット24は、円筒状のスピンドル241の下端にマウント242が設けられている。マウント242には、複数の研削砥石243の固定された研削ホイール244が装着されている。研削砥石243は、スピンドル241の駆動に伴ってZ軸回りに高速回転される。回転された研削ホイール244とウェーハWとが平行に接触されることで、ウェーハWは研削される。
このように構成された研削装置2のチャックテーブル232に、保護テープT2を介してウェーハWの表面を吸着させ、ウェーハWの裏面側を研削させる。溝形成工程において形成された溝が表出されるように裏面側を研削させれば、ウェーハWは各チップに分離される。各チップに分離されたウェーハWは、接着フィルム貼着工程で裏面に接着フィルムDAF及びエキスパンドテープT3を貼着され、保護テープ剥離工程で表面の保護テープT2を剥離された後にレーザー加工装置3に搬送される(図3参照)。研削工程、接着フィルム貼着工程、及び保護テープ剥離工程の詳細については後述する。
図3に示すように、レーザー光線照射工程に用いられるレーザー加工装置3は、レーザー光線を照射するレーザー加工ユニット34とウェーハWを保持するチャックテーブル35とを相対移動させ、ウェーハWに貼着される接着フィルムDAFをアブレーション加工できるように構成されている。
レーザー加工装置3は、略直方体状の基台31を有している。基台31の上面には、チャックテーブル35をX軸方向に加工送りすると共に、Y軸方向に割出送りするテーブル移動機構33が設けられている。テーブル移動機構33の後方には、壁部32が立設されている。壁部32は、前方に突出するアーム部321を備えており、アーム部321にはチャックテーブル35に対向するようにレーザー加工ユニット34が支持されている。
チャックテーブル移動機構33は、基台31の上面に設けられたX軸方向に平行な一対のガイドレール331と、ガイドレール331にスライド可能に設置されたX軸テーブル332とを有している。また、チャックテーブル移動機構33は、X軸テーブル332上面に設けられたY軸方向に平行な一対のガイドレール335と、ガイドレール335にスライド可能に設置されたY軸テーブル336とを有している。
Y軸テーブル336の上部には、チャックテーブル35が設けられている。X軸テーブル332及びY軸テーブル336の下面側には、それぞれ不図示のナット部が設けられており、これらナット部にはボールネジ333,337が螺合されている。ボールネジ333,337の一端部には、それぞれ駆動モータ334,338が連結されている。駆動モータ334,338によりボールネジ333,337が回転駆動されることで、チャックテーブル33はガイドレール331,335に沿ってX軸方向及びY軸方向に移動される。
チャックテーブル35は、略円盤状に形成されており、Z軸回りに回転可能なθテーブル351を介してY軸テーブル336の上面に設けられている。チャックテーブル35の上面には、ポーラスセラミックス材による吸着面が形成されている。チャックテーブル35の周囲には、支持アームを介して4つのクランプ部352が設けられている。このクランプ部352により、ウェーハWの周囲のフレームFは挟持固定される。
レーザー加工ユニット34は、アーム部321の先端に設けられた加工ヘッド341を有している。アーム部321及び加工ヘッド341内には、レーザー加工ユニット34の光学系が設けられている。加工ヘッド341は、発振器342から発振されたレーザー光線を集光レンズによって集光し、接着フィルムDAFをレーザー加工する。
このように構成されたレーザー加工装置3のチャックテーブル35に、接着フィルムDAF及びエキスパンドテープT3を介してウェーハWの裏面を吸着させ、接着フィルムDAFにレーザー光線を照射してアブレーション加工する。その後、接着フィルムDAFが貼着された状態のウェーハWは拡張装置4に搬送される(図4参照)。レーザー照射工程の詳細については後述する。
図4に示すように、接着フィルム破断工程に用いられる拡張装置4は、フレームFの支持される環状テーブル43を拡張ドラム42に対して上下に相対移動させることで、接着フィルムDAF及びエキスパンドテープT3を拡張できるように構成されている。拡張装置4は略円盤状の基台41を備えており、基台41の上面中央には円筒状の拡張ドラム42が設けられている。基台41の上面には、拡張ドラム42の外周を囲うように4つの昇降機構411が設けられている。
各昇降機構411は、シリンダケース412及びピストンロッド413で構成されており、ピストンロッド413の上端部には環状テーブル43が連結されている。環状テーブル43は、フレームFの載置される載置面431を有しており、この載置面431にフレームFが載置されると、ウェーハWは拡張ドラム42の上方に位置付けられる。環状テーブル43の周囲には、フレームFを四方から挟持固定する4つのクランプ部432が設けられている。また、拡張ドラム42の上方には、各チップを吸着可能なピックアップコレット44が配置されている。
拡張ドラム42の外径はフレームFの内径より小さくなっており、また、拡張ドラム42の内径はウェーハWの外径より大きくなっている。このため、環状テーブル43にフレームFを載置させると、拡張ドラム42の上端部は、ウェーハWの外縁部とフレームFの内縁部との間に位置付けられる。ウェーハWの裏面には接着フィルムDAF及びエキスパンドテープT3が貼着されているので、拡張ドラム42の上端部は、ウェーハWの外縁部とフレームFの内縁部との間でエキスパンドテープT3に当接される。
このように構成された拡張装置4の環状テーブル43にウェーハWの保持されるフレームFを載置し、昇降機構411で環状テーブル43を下降させる。そうすると、拡張ドラム42は環状テーブル43に対して相対的に上昇され、エキスパンドテープT3は上方に押し上げられて拡張される。エキスパンドテープT3が拡張されると、接着フィルムDAFは、レーザー照射工程でアブレーション加工された加工領域を起点に破断される。接着フィルムDAFが貼着された状態の各チップは、ピックアップコレット44で吸着されてエキスパンドテープT3から剥離される。接着フィルム破断工程の詳細については後述する。
次に、図5から図9を参照して、本実施の形態の加工方法の詳細を説明する。図5は、本実施の形態の加工方法を示すフローチャートである。本実施の形態の加工方法では、まず、切削装置1を用いて溝形成工程(ステップST1)を行う。溝形成工程では、ウェーハWの表面のストリートに沿ってチップの仕上げ厚みよりも深い溝を形成する。
図6は、本実施の形態の溝形成工程においてウェーハWの表面W1側にチップの仕上げ厚みよりも深い溝D1が形成される様子を示す断面模式図である。まず、ダイシングテープT1を介してウェーハWの裏面W2をチャックテーブル133に吸着させ、表面W1のストリートに切削ブレード161を位置合わせする。この位置合わせは、保持テーブル移動機構14、ブレードユニット移動機構17、θテーブル131により行われる(図1参照)。位置合わせ後には、図6Aに示すようにブレードユニット16を下降させ、回転された切削ブレード161をウェーハWの表面W1から切り込ませる。ここで、切削ブレード161の切り込み深さは、形成される溝D1が分割後のチップの仕上げ厚みtより深くなるように調整される。
切削ブレード161をウェーハWに切り込ませた後には、保持テーブル移動機構14でチャックテーブル133をX軸方向に加工送りさせる。これにより、ストリートに沿って第1の方向に延びる溝D1が形成される。続いて、切削ブレード161はY軸方向に割出送りされ、隣接するストリートに沿って溝D1が形成される。この動作が繰り返されることで、図6Bに示すように、第1の方向に延びる全てのストリートに溝D1が形成される。その後、θテーブル131でチャックテーブル133を90度回転させ、第1の方向と直交する第2の方向のストリートに溝D1を形成する。全てのストリートに溝D1が形成されると、溝形成工程は終了する。
溝形成工程の次に、保護テープ貼着工程(ステップST2)を行う。保護テープ貼着工程では、既知の貼り替え装置(不図示)を用いてウェーハWの表面W1に保護テープT2を貼着させる(図7参照)。この保護テープT2により表面W1側は保護されるので、研削工程において表面W1側のデバイスの破損を抑制できる。なお、保護テープT2の貼着工程に前後して、ウェーハWの裏面W2に貼着されたダイシングテープT1は剥離される。ウェーハWの表面W1に保護テープT2が貼着されると、保護テープ貼着工程は終了する。
保護テープ貼着工程に続いて、研削装置2を用いて研削工程(ステップST3)を行う。研削工程では、溝D1が表出されるようにウェーハWの裏面W2側を研削し、ウェーハWを各チップに分離する。図7は、本実施の形態の研削工程においてウェーハWの裏面W2側が研削される様子を示す断面模式図である。
まず、保護テープT2を介してウェーハWの表面W1をチャックテーブル232に吸着させ、チャックテーブル232を研削位置に移動させる。研削位置では、ウェーハWの裏面W2の一部にハイトゲージ211の接触子212が接触され、ウェーハWの厚みが測定される。図7Aに示すように、研削ホイール244を高速回転させてウェーハWの裏面W2に研削砥石243を押し当てれば、ウェーハWの裏面W2側は研削される。
研削工程において、ウェーハWの厚みはハイトゲージ211によりリアルタイムにモニタされる。図7Bに示すように、ウェーハWがチップの仕上げ厚みtまで研削されると、研削ユニット24による研削は停止されてウェーハ研削工程は終了する。ウェーハWは、溝形成工程においてチップの仕上げ厚みtより深い溝D1を形成されているので、チップの仕上げ厚みtまで研削されると溝D1が表出されて各チップに分離される。ウェーハWの研削工程は、砥粒径が粗い研削砥石を用いる粗研削と、砥粒径が細かい研削砥石を用いる仕上げ研削とを組み合わせて行うのが望ましい。
研削工程の後に、接着フィルム貼着工程(ステップST4)及び保護テープ剥離工程(ステップST5)を行う。接着フィルム貼着工程及び保護テープ剥離工程は、例えば、既知の貼り替え装置(不図示)を用いて行うことができる。接着フィルム貼着工程では、研削後のウェーハWの裏面W3に接着フィルムDAFを押圧、加熱して貼着させた後に、接着フィルムDAFの底面DAF2にエキスパンドテープT3を貼着させる(図8参照)。接着フィルムDAFとしては、例えば、アクリル系の接着フィルムや、ポリイミド系の接着フィルムを用いることができる。接着フィルムDAFとエキスパンドテープT3とは、あらかじめ積層された状態でウェーハWに貼着させても良い。ウェーハWの裏面W3側に接着フィルムDAF及びエキスパンドテープT3が貼着されると、接着フィルム貼着工程は終了する。保護テープ剥離工程では、ウェーハWの表面W1に貼着された保護テープT2を剥離する。保護テープT2が剥離されると、保護テープ剥離工程は終了する。
保護テープ剥離工程の次に、レーザー加工装置3を用いてレーザー光線照射工程(ステップST6)を行う。レーザー光線照射工程では、接着フィルムDAFの底面DAF2の近傍に集光点を位置付けるようにレーザー光線を照射して、接着フィルムDAFをアブレーション加工する。図8は、本実施の形態のレーザー光線照射工程において接着フィルムDAFがアブレーション加工される様子を示す断面模式図である。図8Bは、図8Aの一部を拡大して示しており、図8C及び図8Dは、図8Bをさらに拡大して示している。
図8A及び図8Bに示すように、ウェーハWの裏面W3には接着フィルムDAFが貼着されており、接着フィルムDAFの底面DAF2には、さらにエキスパンドテープT3が貼着されている。エキスパンドテープT3は、粘着層T3aとテープ基材T3bとの積層構造を有しており、粘着層T3aは、接着フィルムDAFの底面DAF2に接触されている。
レーザー光線照射工程においては、まず、接着フィルムDAF及びエキスパンドテープT3を介してウェーハWの裏面W3をチャックテーブル35に吸着させ、接着フィルムDAFの加工予定ラインにレーザー加工ユニット34の加工ヘッド341を位置合わせする。加工予定ラインは、各チップに合わせて接着フィルムを破断できるように、ウェーハWの溝D1(すなわち、ストリート)に対応して設定される。加工予定ラインへの位置合わせは、テーブル移動機構33、及びθテーブル351で行われる(図3参照)。位置合わせ後には、接着フィルムDAFに吸収される波長のレーザー光線Lを発振器342で発振させ、加工ヘッド341から接着フィルムDAFに向けて照射させる。
図8Aに示すように、レーザー光線Lは、加工ヘッド341の光学系で集光され、ウェーハWの溝D1の隙間から露出される接着フィルムDAFの上面DAF1に照射される。このとき、接着フィルムDAFの上面DAF1にレーザー光線Lを集光させると、上面DAF1のアブレーションでデブリが飛散され、デバイスの品質を低下させる恐れがある。そこで、本実施の形態の加工方法では、図8Bに示すように、接着フィルムDAFの底面DAF2の近傍にレーザー光線Lを集光させる。
具体的には、底面DAF2の近傍においてアブレーション加工可能なパワー密度を有するレーザー光線Lを照射させる。また、接着フィルムDAFの上面DAF1においてアブレーションの抑制される(アブレーションされにくい)パワー密度を有するレーザー光線Lを照射させる。レーザー光線Lのパワー密度の調整は、例えば、発振器342のパワーや加工ヘッド341の光学系を調整することで行われる。
このようなパワー密度のレーザー光線Lを照射すれば、底面DAF2の近傍で接着フィルムDAFはアブレーションされ、上面DAF1でのアブレーションは抑制されるので、デブリの発生を防止しつつ、破断の起点となる加工領域を形成できる。ここで、レーザー光線Lの集光点は、破断の起点となる加工領域を適切に形成できれば接着フィルムDAFの内部に位置付けられなくとも良い。例えば、レーザー光線Lの集光点を、エキスパンドテープT3の内部(接着層T3aなど)に位置付けるようにしても良い。つまり、レーザー光線Lの集光される底面DAF2の近傍には、接着フィルムDAFとエキスパンドテープT3との境界領域や、エキスパンドテープT3の接着層T3aなどが含まれる。
図8Cは、レーザー光線Lの集光点L1を接着フィルムDAFの内部に位置付けた状態を模式的に示しており、図8Dは、レーザー光線Lの集光点L1を接着フィルムDAFとエキスパンドテープT3との境界領域に位置付けた状態を模式的に示している。いずれの場合においても、レーザー光線Lは、集光点L1においてアブレーション加工可能なパワー密度を有し、接着フィルムDAFの上面のスポットL2においてアブレーションされにくいパワー密度を有する。
このようなレーザー光線Lの照射を開始させると共に、テーブル移動機構33によりチャックテーブル35をX軸方向に加工送りさせる。これにより、接着フィルムDAFは加工予定ラインに沿ってアブレーション加工され、第1の方向に延びる加工領域(領域)A1が形成される。続いて、チャックテーブル35はY軸方向に割出送りされ、隣接する加工予定ラインに加工領域A1が形成される。この動作が繰り返されることで、第1の方向に延びる全ての加工予定ラインに加工領域A1が形成される。その後、θテーブル351でチャックテーブル35を90度回転させ、第1の方向と直交する第2の方向に延びる加工予定ラインに沿って加工領域A1を形成する。全ての加工予定ラインに対応する加工領域A1が形成されると、レーザー光線照射工程は終了する。
レーザー光線照射工程の後に、拡張装置4を用いて接着フィルム破断工程(ステップST7)を行う。接着フィルム破断工程では、エキスパンドテープT3を拡張し、アブレーション加工された加工領域A1を起点に接着フィルムDAFを破断する。図9は、接着フィルム破断工程において接着フィルムDAFが破断される様子を示す断面模式図である。
まず、拡張装置4の環状テーブル43にフレームFを載置し、各クランプ部432でフレームFを挟持固定させる。そうすると、図9Aに示すように、拡張ドラム42の上端部はウェーハWの外縁部とフレームFの内縁部との間に位置付けられ、エキスパンドテープT3に当接される。その後、昇降機構411(図4参照)で環状テーブル43を下降させると、図9Bに示すように、拡張ドラム42は環状テーブル43に対して相対的に上昇され、エキスパンドテープT3は拡張ドラム42によって上方に押し上げられる。
エキスパンドテープT3が上方に押し上げられて拡張されると、アブレーション加工で形成された加工領域A1には左右の引張力が作用して、接着フィルムDAFは加工領域A1を起点に破断される。加工領域A1は各チップに対応するように形成されているので、加工領域A1を起点に接着フィルムDAFを破断させることで裏面W3に接着フィルムDAFが貼着されたチップCが完成される。接着フィルムDAFが貼着された状態の各チップCは、ピックアップコレット44で吸着されてエキスパンドテープT3から剥離される。以上により、接着フィルム破断工程は終了する。
以上のように、本実施の形態の加工方法では、レーザー光線照射工程において、接着フィルムDAFの底面DAF2の近傍の集光点で接着フィルムDAFをアブレーション加工可能なパワー密度を有し、接着フィルムDAFの上面DAF1において接着フィルムのアブレーションを抑えたパワー密度を有するレーザー光線Lを照射するので、上面DAF1でのアブレーションを抑制してデブリの発生を防ぎつつ、接着フィルムDAFの底面DAF2側をアブレーション加工して適切に分断できる。
(実施例)
本実施例では、上記実施の形態に示す加工方法の有効性を確認するために行った具体例を説明する。ただし、本発明の構成は、実施例の記載に限定されるものではない。
本実施例では、上記実施の形態のレーザー光線照射工程を想定し、接着フィルムとエキスパンドテープとの積層構造に対して接着フィルム側からレーザー光線を照射して、接着フィルムをアブレーション加工した。接着フィルムとして、厚さが60μmのアクリル系接着フィルムを用いた。レーザー光線は、接着フィルムの底面近傍においてアブレーション加工可能なパワー密度となり、接着フィルムの上面においてアブレーションが十分に抑制されるパワー密度となるように制御した。
具体的には、波長が355nm、平均出力が1.6W、繰り返し周波数が50kHz、パルスエネルギーが3.2×10−5Jのレーザー光線を、接着フィルムの底面近傍に集光させた。底面近傍の集光点でのビーム径を14μmとし、接着フィルム上面でのビーム径を24μmとした。集光点でのパワー密度は約20J/cm2であり、接着フィルム上面でのパワー密度は約7J/cm2であった。このようなレーザー光線で加工された接着フィルムは、上面において殆どアブレーションされておらず、デブリの発生は十分に抑制されていた。一方、接着フィルムの底面近傍では適切にアブレーション加工されており、エキスパンドテープを拡張させることでアブレーション加工された加工領域を起点に接着フィルムを分断することができた。
なお、本発明は上記実施の形態及び実施例の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施の形態では、工程毎に異なる装置を用いているが、複数の工程を行うことが可能な複数の機能を備える装置を用いるようにしても良い。
その他、上記実施の形態に係る構成、方法などは、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。