JP6019432B2 - ガス流量調節装置 - Google Patents
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Description
2 開閉弁部
3 流量調節部
3a 流入口
3b 弁口
4 ニードル弁
5 弁体
13a ガス流量調節装置
31 ステッピングモータ
31a 回転軸
32 ネジ部材
33 摺動子
34 ダイヤフラム
41 弁部材
42 第1のバネ
43 オリフィス
44 円錐凹部
44 窓穴
45 円錐凹部
50 第2のバネ
52 係合片
106 ロータリエンコーダ
Claims (5)
- ガスの通路である弁口に対して進退自在に保持されたニードル弁を有し、推進部によってこのニードル弁を前後に推進することにより弁口とニードル弁との間を通過するガスの流量を調節すると共に、ニードル弁を弁体に着座させ、ニードル弁と弁口との間のガス通路を閉鎖した状態で最小流量のガスを通過させるオリフィスをニードル弁に形成したガス流量調節装置において、
上記推進部とニードル弁との間に、推進部に係合して、推進部によって前後に推進されて上記オリフィスを開閉する弁体を設け、この弁体をニードル弁から離間する方向に付勢する付勢手段を弁体とニードル弁との間に介在させるとともに、弁体が付勢手段による付勢力によってオリフィスを開放する方向に所定距離移動した状態で弁体がニードル弁に係合して付勢手段による付勢力が上記推進部に作用しないようにするストッパ部を設け、弁体がニードル弁に係合している状態では上記推進部によって弁体と共にニードル弁を弁口に向かって推進して弁口をニードル弁で閉弁し、その状態から上記付勢手段の付勢力に抗して更に弁体を推進することによって上記ストッパ部での係合を解除し、さらに弁体で上記オリフィスを閉鎖することを特徴とするガス流量調節装置。 - ガスの通路である弁口に対して進退自在に保持されたニードル弁を有し、推進部によってこのニードル弁を前後に推進することにより弁口とニードル弁との間を通過するガスの流量を調節すると共に、ニードル弁を弁体に着座させ、ニードル弁と弁口との間のガス通路を閉鎖した状態で最小流量のガスを通過させるオリフィスをニードル弁に形成したガス流量調節装置において、
上記推進部とニードル弁との間に、推進部によって前後に推進されて上記オリフィスを開閉する弁体を設け、ニードル弁を開弁方向に付勢するとともに弁体を推進部に押接させる第1の付勢手段と、第1の付勢手段の付勢力より大きな付勢力でこの弁体をニードル弁から離間する方向に付勢する第2の付勢手段を設け、弁体とニードル弁とが相互に係合している状態では上記推進部によって弁体と共に第1の付勢手段の付勢力に抗してニードル弁を弁口に向かって推進して弁口をニードル弁で閉弁し、その状態から上記第2の付勢手段の付勢力に抗して更に弁体を推進することによって弁体で上記オリフィスを閉鎖することを特徴とするガス流量調節装置。 - 上記弁体が上記第2の付勢手段による付勢力によってオリフィスを開放する方向に所定距離移動した状態で弁体がニードル弁に係合して第2の付勢手段による付勢力が上記推進部に作用しないようにするストッパ部を設けたことを特徴とする請求項2に記載のガス流量調節装置。
- 上記ニードル弁は、弁口の周縁に押接され、弁口とニードル弁との間の隙間を通るガスを遮断する弁部材を備えたことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載のガス流量調節装置。
- 上記ニードル弁と上記弁体との接触部分の一方を円錐凹部とし、他方をこの円錐凹部内に嵌まる球面形状としたことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載のガス流量調節装置。
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