JP5984419B2 - ニッケルスズ合金粉末の製造方法 - Google Patents
ニッケルスズ合金粉末の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5984419B2 JP5984419B2 JP2012035884A JP2012035884A JP5984419B2 JP 5984419 B2 JP5984419 B2 JP 5984419B2 JP 2012035884 A JP2012035884 A JP 2012035884A JP 2012035884 A JP2012035884 A JP 2012035884A JP 5984419 B2 JP5984419 B2 JP 5984419B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- alloy powder
- particles
- nickel
- tin alloy
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000843 powder Substances 0.000 title claims description 39
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 13
- 229910001128 Sn alloy Inorganic materials 0.000 title claims 9
- CLDVQCMGOSGNIW-UHFFFAOYSA-N nickel tin Chemical compound [Ni].[Sn] CLDVQCMGOSGNIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims 9
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 47
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 33
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 14
- 239000012071 phase Substances 0.000 claims description 8
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 claims description 4
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 33
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 22
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 19
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 18
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 10
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 7
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 6
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 6
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 6
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 5
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 5
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 5
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 3
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004438 BET method Methods 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- -1 and for example Substances 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910002110 ceramic alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003985 ceramic capacitor Substances 0.000 description 1
- 239000011362 coarse particle Substances 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000002003 electrode paste Substances 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000009776 industrial production Methods 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000011859 microparticle Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- B22F1/0003—
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F1/00—Metallic powder; Treatment of metallic powder, e.g. to facilitate working or to improve properties
- B22F1/05—Metallic powder characterised by the size or surface area of the particles
- B22F1/054—Nanosized particles
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
Description
ニッケルなどの金属粒子をペースト化して塗布して電極層を作製しているが、電極層の薄層化に伴い、より細かい金属粒子が所望されている。
金属粒子の細粒化に伴い、金属粒子の焼結温度が低下していくと誘電体層の焼結温度と大きな差が生じてしまう。そのため、可能な限り金属粒子の焼結温度を高める必要があり、結晶性が悪いために焼結温度が下がってしまう液相で粒子を作製する湿式法を用いるのは好ましくない。
そうすると、PVD(Physical Vapor Deposition)法やCVD(Chemical Vapor Deposition)法などの気相法(例えば、特許文献1)で作製するのがよいということになる。
連結粒子は粒径が細かくなるほど増加する。連結粒子の数を低減する試みは粒子の冷却速度を速くするなど取られているが十分とはいえない。また、粉末の作製量を減らせば粒子同士の衝突確率を減らせるので連結粒子の数を低減し得るが、工業的な生産の観点から現実的ではない。
すなわち、本発明は、以下の(1)〜(3)を提供する。
ところで、試料支持台5として水冷銅るつぼを用いた場合には、試料4を蒸発させて得られる粒子(合金粉末)に銅(Cu)が不可避不純物として含まれる場合がある。
しかしながら、本発明で得られる粒子(合金粉末)においては、上述した銅に代表される不可避不純物の含有量が0.1質量%未満であるのが好ましい。
試料4の蒸気は、ガス気流に搬送されて、熱交換器6を経由して、捕集器12に導かれる。この過程において、蒸気は冷却され、原子どうしが互いに凝集し、微粒子が得られる。
ここで、粒子の「短径」とは、その視野で測定される最小長さである。また、粒子の「長径」とは、その視野で測定される最大長さであり、例えば、連結粒子が屈曲している場合には、その屈曲に沿った長さを意味するものとする。
また、通信用途においてはGHz帯の利用も拡大しているために電子回路の設計においても高周波でのインピーダンスの低減が求められているという背景があるが、本発明のニッケル合金粉末を用いて作製した電極においては、透磁率の低下によって高周波領域でもインピーダンスが低減するというメリットが得られる。さらに磁気凝集の影響も低減することができるため、電極ペーストの作製が容易というメリットも得られる。
本発明のニッケル合金粉末は、例えば、積層コンデンサ、積層インダクタ、積層アクチュエーターなどの積層セラミック電子部品の内部電極を形成するのに好適に用いることができる。
そこで、本発明の原料においては、スズ(Sn)の量が6質量%未満であるのが好ましく、5質量%未満であるのがより好ましい。スズ量がこの範囲であれば、本発明のニッケル合金粉末の融点を降下させずに1300℃以上に保つことができ、また、電気抵抗の上昇も抑制できる。
そのため、本発明の原料も、実質的にニッケルおよびスズのみからなるのが好ましい。
もっとも、本発明の原料としては合金化したものに限定されることはなく、例えば、ニッケルとスズとを別々に蒸発させるようにしてもよい。この場合、ニッケルとスズとの合計量におけるスズの量を上記範囲内とすればよい。
また、電極2と試料4との角度は、50±20゜程度の範囲とするのが望ましい。このような範囲の角度になるように電極2を配置することより、試料4から発生した蒸気がアーク放電による反応領域に戻ることが回避でき、微粒子の凝集、再溶融化を防止できる。
各例においては、いずれも、図1に基いて説明した微粒子製造装置を用い、40gの試料を蒸発させて、捕集用フィルタで微粒子を回収した。
このとき、
・循環させた混合ガス(体積比):アルゴン/水素(50/50)
・チャンバ用流量計で測定されるガス流量:50NL/min
・電極間距離:10mm
・電極の直径:5mm
・アーク雰囲気の圧力条件(点火する前):0.7気圧
・実験時間:30分間
・アーク電流値:100A
とした。
各実施例においては、純度99.99質量%のニッケル試料と純度99.99質量%のスズ試料とを溶かし合わせて合金化したものを試料として用い、スズ量(単位:質量%)については、下記第1表に示すように各例で異ならせた。
なお、比較例1のみ、純度99.99質量%のニッケル試料のみを用いた。
まず、試料粉末に10質量%PVA水溶液を、試料粉末質量に対して5質量%添加した粉末を作製し、作製した粉末0.5gを量り取りφ5mmの錠剤成型器を用いて50kNの荷重をかけてペレット化し、ベースガスを窒素とした水素1300ppmの雰囲気で5℃/minで昇温させた。ペレットの体積は徐々に縮んでいくため、温度とペレットの体積変化とをグラフに取り、体積変化が起こる前後の温度領域の接線を取り、2つの直線が交わる点を焼結温度とした。
捕集用フィルタで回収された微粒子の比表面積径(単位:nm)を求めた。結果を下記第1表に示す。なお、測定した比表面積径は、BET径であり、BET法で測定した粒子の比表面積(単位:m2/g)をもとに粒子が球状であるとして求めた平均粒径である。
捕集用フィルタで回収された微粒子について、電子顕微鏡(HITACHI S−4300)を用いて、倍率2万倍でSEM像の観察を行なった。なお、比較例1ならびに実施例1および2のSEM像を図2〜図4に示す。
各例においてSEM像の観察を行ない、2万倍1視野辺りの粒子総数、および、連結粒子の個数を数え、粒子総数に対する連結粒子の個数の割合(単位:%)を求めた。結果を下記第1表に示す。
実験室規模の気相化学反応装置内に、純度99.5質量%のNiCl2と純度99.5質量%のSnCl2との混合物を、Sn量が5質量%となるように調製して装入した。温度1100℃に加熱した状態において、窒素ガスをキャリアガスとして、上記混合物の蒸気を反応容器(石英管)内で反応させ、反応容器の出側において、水素ガスとを接触、混合させ、還元反応を起こさせて、ニッケル合金粉末を得た。
得られたニッケル合金粉末について、上記と同様に評価したところ、比表面積径が75nm、連結粒子の割合が0.2%であった。
2 電極
3 アーク
4 試料
5 試料支持台
6 熱交換器
7 捕集用フィルタ
8 循環ポンプ
9 トーチ用流量計
10 チャンバ用流量計
11 チャンバ
12 捕集器
13 トーチ
14 ライン
14a 分岐ライン
15 ライン
Claims (1)
- 気相にした原料から粒子を得る気相法を用いてニッケルスズ合金粉末を得る、ニッケルスズ合金粉末の製造方法であって、
前記原料がニッケルとスズとを含み、前記原料における前記スズの量が0.5〜60質量%であり、
前記ニッケルスズ合金粉末の比表面積径が10〜200nmであり、
前記ニッケルスズ合金粉末が、ニッケルスズ合金粉末bと、複数の前記ニッケルスズ合金粉末bが連結した連結粒子とを含み、
前記連結粒子の数が、個数割合で、前記ニッケルスズ合金粉末bと前記連結粒子との合計に対して1%以下である、ニッケルスズ合金粉末の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012035884A JP5984419B2 (ja) | 2012-02-22 | 2012-02-22 | ニッケルスズ合金粉末の製造方法 |
KR1020130010912A KR20130096651A (ko) | 2012-02-22 | 2013-01-31 | 니켈합금분말 및 그 제조방법 |
TW102105514A TWI599659B (zh) | 2012-02-22 | 2013-02-18 | 鎳合金粉末及其製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012035884A JP5984419B2 (ja) | 2012-02-22 | 2012-02-22 | ニッケルスズ合金粉末の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013170303A JP2013170303A (ja) | 2013-09-02 |
JP5984419B2 true JP5984419B2 (ja) | 2016-09-06 |
Family
ID=49219469
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012035884A Active JP5984419B2 (ja) | 2012-02-22 | 2012-02-22 | ニッケルスズ合金粉末の製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5984419B2 (ja) |
KR (1) | KR20130096651A (ja) |
TW (1) | TWI599659B (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20170239730A1 (en) * | 2014-08-13 | 2017-08-24 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Processing device for metal materials |
KR102140622B1 (ko) * | 2018-08-23 | 2020-08-03 | 삼성전기주식회사 | 적층 세라믹 전자부품 및 그 제조방법 |
KR102351181B1 (ko) * | 2018-08-23 | 2022-01-14 | 삼성전기주식회사 | 적층 세라믹 전자부품 및 그 제조방법 |
KR20190121210A (ko) | 2018-10-17 | 2019-10-25 | 삼성전기주식회사 | 적층 세라믹 전자부품 및 그 제조방법 |
EP4081150A4 (en) * | 2019-12-24 | 2024-01-31 | Battelle Energy Alliance Llc | LASER ABLATION PROCESSES AND SYSTEMS FOR PRODUCING STARTING POWDER SUITABLE FOR LASER-BASED GENERATIVE MANUFACTURING |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001332254A (ja) * | 2000-03-13 | 2001-11-30 | Canon Inc | リチウム二次電池用電極材の製造方法、リチウム二次電池用電極構造体及びリチウム二次電池及びそれらの製造方法 |
JP4107898B2 (ja) * | 2002-07-18 | 2008-06-25 | 石原薬品株式会社 | 純金属・合金超微粉末の製造方法 |
JP2004186630A (ja) * | 2002-12-06 | 2004-07-02 | Tamura Kaken Co Ltd | 導電性塗布組成物、電子回路用導電体、その形成方法及び電子回路用品 |
JP3929985B2 (ja) * | 2004-03-12 | 2007-06-13 | 株式会社フジクラ | 金属粉製造装置 |
JP2006083461A (ja) * | 2004-09-17 | 2006-03-30 | Fujikura Ltd | 金属粉の製造装置及び金属粉の製造方法 |
-
2012
- 2012-02-22 JP JP2012035884A patent/JP5984419B2/ja active Active
-
2013
- 2013-01-31 KR KR1020130010912A patent/KR20130096651A/ko not_active Application Discontinuation
- 2013-02-18 TW TW102105514A patent/TWI599659B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013170303A (ja) | 2013-09-02 |
KR20130096651A (ko) | 2013-08-30 |
TW201343926A (zh) | 2013-11-01 |
TWI599659B (zh) | 2017-09-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6141318B2 (ja) | Ta粉末の製造方法およびTa造粒粉の製造方法 | |
JP5984419B2 (ja) | ニッケルスズ合金粉末の製造方法 | |
US9061353B2 (en) | Production method for high purity copper powder using a thermal plasma | |
JP5768322B2 (ja) | ニッケル微粉及びその製造方法 | |
KR101408238B1 (ko) | 금속분말 제조용 플라즈마 장치 | |
KR101143890B1 (ko) | 이송식 또는 비이송식 플라즈마 장치를 이용한 벌크 구리로부터 구리 나노분말의 제조방법 | |
JP2011195888A5 (ja) | ||
KR101689491B1 (ko) | 니켈 분말, 도전 페이스트 및 적층 세라믹 전자 부품 | |
JP4731347B2 (ja) | 複合銅微粉の製造方法 | |
US20220051849A1 (en) | Metallic powders for use as electrode material in multilayer ceramic capacitors and method of manufacturing and of using same | |
JP2019183268A (ja) | 銀粉およびその製造方法 | |
JPH04365806A (ja) | 球状ニッケル超微粉の製造方法 | |
Ranjan et al. | Synthesis, characterisation and formation mechanism of Sn-0.75 Cu solder nanoparticles by pulsed wire discharge | |
US20070209477A1 (en) | Method for manufacturing alloy nano powders | |
Livan et al. | Carbon encapsulation of elemental nanoparticles by spark discharge | |
CN107983963A (zh) | 一种纯净纳米W-Cu复合粉末的低温制备方法 | |
JP5382293B2 (ja) | 高周波プラズマ法による無機材料及び金属材料の製造方法 | |
JP2016204700A (ja) | 銅粉末 | |
JP5274603B2 (ja) | 複合銅微粉 | |
KR101679725B1 (ko) | 비이송식 열플라즈마 방법을 이용하여 은(Ag) 코팅된 마이크로 크기의 니켈(Ni) 입자의 제조 방법 | |
JP7194544B2 (ja) | 粒子の製造方法 | |
JP2006169559A (ja) | 銅合金微粒子とその製造方法 | |
JP2020180329A (ja) | 銅粉体の製造方法 | |
JP2024018487A (ja) | ニッケル合金粉末及び、ニッケル合金粉末の製造方法 | |
JP2024018489A (ja) | ニッケル合金粉末及び、ニッケル合金粉末の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140811 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150325 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150512 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150713 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150929 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151125 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20160308 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160523 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20160530 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160726 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160802 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5984419 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |