JP5981820B2 - マイクロチャンネルプレート、マイクロチャンネルプレートの製造方法、及びイメージインテンシファイア - Google Patents
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Claims (15)
- 表面及び裏面を有する基体と、
前記基体の表面から裏面にかけて貫通する複数のチャンネルと、
前記チャンネルの内壁面に形成された電子放出膜と、
前記チャンネルにおける前記基体の表面側の開口部を覆うように形成されたイオンバリア膜と、を備え、
前記電子放出膜と前記イオンバリア膜とが一体的に連続した膜となっていることを特徴とするマイクロチャンネルプレート。 - 前記電子放出膜及び前記イオンバリア膜は、金属酸化物を含むことを特徴とする請求項1記載のマイクロチャンネルプレート。
- 前記イオンバリア膜上には、前記基体の表面を覆う金属膜が設けられていることを特徴とする請求項1又は2記載のマイクロチャンネルプレート。
- 前記チャンネルの内壁面には、前記電子放出膜よりも内側に抵抗膜が設けられていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載のマイクロチャンネルプレート。
- 前記抵抗膜は、前記電子放出膜及び前記イオンバリア膜と一体的に連続した膜となっていることを特徴とする請求項4記載のマイクロチャンネルプレート。
- 前記チャンネルにおける前記基体の表面側の端部には、入力電極が設けられ、前記チャンネルにおける前記基体の裏面側の端部には、出力電極が設けられていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項記載のマイクロチャンネルプレート。
- 前記出力電極は、前記チャンネルの内壁面側から見て前記電子放出膜よりも内側に設けられていることを特徴とする請求項6記載のマイクロチャンネルプレート。
- 前記出力電極は、前記チャンネルの内壁面側から見て前記電子放出膜よりも外側に設けられていることを特徴とする請求項6記載のマイクロチャンネルプレート。
- 表面から裏面にかけて貫通する複数のチャンネルが形成された基体を準備する基体準備工程と、
前記基体の表面を覆うように有機膜を形成する有機膜形成工程と、
原子層堆積法を用いることにより、前記チャンネルの内壁面に電子放出膜を形成すると同時に、前記有機膜に重なるように前記チャンネルにおける前記基体の表面側の開口部を覆うイオンバリア膜を前記電子放出膜と一体的に形成する機能膜形成工程と、
前記電子放出膜及び前記イオンバリア膜の形成の後、前記有機膜を前記基体の表面から除去する有機膜除去工程と、を備えたことを特徴とするマイクロチャンネルプレートの製造方法。 - 前記有機膜除去工程の後、前記イオンバリア膜における前記基体と反対側の面を覆うように金属膜を形成する金属膜形成工程を更に備えたことを特徴とする請求項9記載のマイクロチャンネルプレートの製造方法。
- 表面から裏面にかけて貫通する複数のチャンネルが形成された基体を準備する基体準備工程と、
前記基体の表面を覆うように有機膜を形成する有機膜形成工程と、
前記有機膜における前記基体と反対側の面を覆うように金属膜を形成する金属膜形成工程と、
前記金属膜の形成後に、前記有機膜を前記基体の表面から除去する有機膜除去工程と、
前記有機膜除去工程の後に、原子層堆積法を用いることにより、前記チャンネルの内壁面に電子放出膜を形成すると同時に、前記金属膜に重なるように前記チャンネルにおける前記基体の表面側の開口部を覆うイオンバリア膜を前記電子放出膜と一体的に形成する機能膜形成工程と、を備えたことを特徴とするマイクロチャンネルプレートの製造方法。 - 前記有機膜形成工程に先立ち、前記チャンネルの内壁面に抵抗膜を形成する抵抗膜形成工程を更に備えたことを特徴とする請求項9〜11のいずれか一項記載のマイクロチャンネルプレートの製造方法。
- 前記機能膜形成工程において、前記チャンネルの内壁面と電子放出膜との間に、前記電子放出膜及び前記イオンバリア膜と一体的に抵抗膜を形成することを特徴とする請求項9〜11のいずれか一項記載のマイクロチャンネルプレートの製造方法。
- 前記機能膜形成工程の後、前記チャンネルにおける前記基体の裏面側の端部に出力電極を形成する出力電極形成工程を更に備えたことを特徴とする請求項9〜13のいずれか一項記載のマイクロチャンネルプレートの製造方法。
- 入射光を光電子に変換する光電陰極と、
前記光電陰極から放出された光電子を増倍する請求項1〜8のいずれか一項記載のマイクロチャンネルプレートと、
前記マイクロチャンネルプレートによって増倍された電子を受ける電子入射面と、を備えたことを特徴とするイメージインテンシファイア。
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