JPH0139620B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0139620B2 JPH0139620B2 JP12631080A JP12631080A JPH0139620B2 JP H0139620 B2 JPH0139620 B2 JP H0139620B2 JP 12631080 A JP12631080 A JP 12631080A JP 12631080 A JP12631080 A JP 12631080A JP H0139620 B2 JPH0139620 B2 JP H0139620B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- input
- photocathode
- ray image
- phosphor screen
- image intensifier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 7
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- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 2
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- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 claims 2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
- H01J9/12—Manufacture of electrodes or electrode systems of photo-emissive cathodes; of secondary-emission electrodes
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
- Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明はＸ線像増倍管の製造方法に関する。
一般にＸ線像増倍管例えばＸ線蛍光増倍管は、
医療用を主に工業用非破壊検査などＸ線工業テレ
ビを併用して広範囲に応用されている。この種の
Ｘ線蛍光増倍管は第１図に示すように構成され、
真空容器である主としてガラスよりなる外囲器１
の入力側内部に入力面２が配設されている。一
方、外囲器１の出力側内部には、陽極３が配設さ
れると共に出力面４が形成され、更に外囲器１内
部の側壁に沿つて集束電極５が配設されている。
前記入力面２は球面状のアルミニウム基板６の出
力側（凹面側）にCsI入力蛍光面７が形成され、
この入力蛍光面７の上に更に光電面８が形成され
ている。又、出力面４は基板９に出力蛍光膜１０
を形成してなつており、この出力蛍光膜１０の内
側にはアルカリシヤツタ１１が設けられている。
そして動作時には、Ｘ線入力を入力面２を形成す
る入力蛍光面７で一旦光学像に変換したのち、そ
の光により光電面８から光電子を放出させ、この
光電面８から放出される光電子流を陽極３、集束
電極５により加速、集束して出力蛍光膜１０に輝
度増強された光出力像を再現させている。
医療用を主に工業用非破壊検査などＸ線工業テレ
ビを併用して広範囲に応用されている。この種の
Ｘ線蛍光増倍管は第１図に示すように構成され、
真空容器である主としてガラスよりなる外囲器１
の入力側内部に入力面２が配設されている。一
方、外囲器１の出力側内部には、陽極３が配設さ
れると共に出力面４が形成され、更に外囲器１内
部の側壁に沿つて集束電極５が配設されている。
前記入力面２は球面状のアルミニウム基板６の出
力側（凹面側）にCsI入力蛍光面７が形成され、
この入力蛍光面７の上に更に光電面８が形成され
ている。又、出力面４は基板９に出力蛍光膜１０
を形成してなつており、この出力蛍光膜１０の内
側にはアルカリシヤツタ１１が設けられている。
そして動作時には、Ｘ線入力を入力面２を形成す
る入力蛍光面７で一旦光学像に変換したのち、そ
の光により光電面８から光電子を放出させ、この
光電面８から放出される光電子流を陽極３、集束
電極５により加速、集束して出力蛍光膜１０に輝
度増強された光出力像を再現させている。
ところで上記のようなＸ線蛍光増倍管におい
て、入力面２附近を拡大して示すと、従来、第２
図に示すように構成され、断面逆Ｌ字形の内側支
持リング１２と外側支持リング１３により基板６
周縁部を挾持して支持している。そして、外囲器
１に貫通植設した電極リード１４が光電面８に蒸
着した電極コンタクト（省略）と接触している。
尚、外側支持リング１３と内側支持リング１２と
は溶接により固着されている。
て、入力面２附近を拡大して示すと、従来、第２
図に示すように構成され、断面逆Ｌ字形の内側支
持リング１２と外側支持リング１３により基板６
周縁部を挾持して支持している。そして、外囲器
１に貫通植設した電極リード１４が光電面８に蒸
着した電極コンタクト（省略）と接触している。
尚、外側支持リング１３と内側支持リング１２と
は溶接により固着されている。
ところが、周知のように光電面８は、入力蛍光
面７を形成した基板６を外囲器１内に収容固定し
た後、外囲器１内に設けたSb蒸発源により蒸着
形成される。このとき、蒸発源から蒸着が入力蛍
光面７上のみならず、両支持リング７，８にも行
なわれる（図中の１５）。この結果、製造中の光
電電流が有効光電面部のみではないため、感度の
ピークをずれるという欠点がある。即ち、入力蛍
光面７上のSb蒸着膜８と両支持リング１２，１
３上のSb蒸着膜１５との両方の光電感度がモニ
ターされることにより、入力蛍光面７上の光電感
度のピークで光電面８を形成することが困難であ
る。と同時に内側支持リング１２内側の光電感度
により主に形成されることが、しばしばある。
面７を形成した基板６を外囲器１内に収容固定し
た後、外囲器１内に設けたSb蒸発源により蒸着
形成される。このとき、蒸発源から蒸着が入力蛍
光面７上のみならず、両支持リング７，８にも行
なわれる（図中の１５）。この結果、製造中の光
電電流が有効光電面部のみではないため、感度の
ピークをずれるという欠点がある。即ち、入力蛍
光面７上のSb蒸着膜８と両支持リング１２，１
３上のSb蒸着膜１５との両方の光電感度がモニ
ターされることにより、入力蛍光面７上の光電感
度のピークで光電面８を形成することが困難であ
る。と同時に内側支持リング１２内側の光電感度
により主に形成されることが、しばしばある。
この発明は、上記従来の欠点を除去したＸ線像
増倍管の製造方法を提供することを目的とする。
増倍管の製造方法を提供することを目的とする。
以下、図面を参照してこの発明の一実施例を詳
細に説明する。この発明に係るＸ線像増倍管例え
ばＸ線蛍光増倍管の要部を示すと第３図のように
構成され、従来例と同一箇所は同一符号を付すこ
とにする。即ち、内面に入力蛍光面７、Sb蒸着
膜よりなる光電面１６を形成したAlからなる基
板６が、内側支持リング１２と外側支持リング１
３とにより挾持されて支持されている。この場
合、両支持リング１２，１３に形成されたSb蒸
着膜１７の厚さが、光電面１６つまり入力蛍光面
７上に形成されたSb蒸着膜の厚さより厚く、こ
の発明の特徴となつている。
細に説明する。この発明に係るＸ線像増倍管例え
ばＸ線蛍光増倍管の要部を示すと第３図のように
構成され、従来例と同一箇所は同一符号を付すこ
とにする。即ち、内面に入力蛍光面７、Sb蒸着
膜よりなる光電面１６を形成したAlからなる基
板６が、内側支持リング１２と外側支持リング１
３とにより挾持されて支持されている。この場
合、両支持リング１２，１３に形成されたSb蒸
着膜１７の厚さが、光電面１６つまり入力蛍光面
７上に形成されたSb蒸着膜の厚さより厚く、こ
の発明の特徴となつている。
尚、この発明のＸ線蛍光増倍管は、上記以外は
第１図と同様構成ゆえ、詳細な説明は省略する。
第１図と同様構成ゆえ、詳細な説明は省略する。
さて、上記のようなＸ線蛍光増倍管を製造する
には、両支持リング１２，１３により支持した基
板６に入力蛍光面７を形成したものに、予めSb
蒸着を行なつて前記両支持リング１２，１３のみ
に厚さ50〜1000ÅのSb蒸着膜を形成する。その
後、大気中に出し、あらためて管内に組み込む。
そして更に通常のSb蒸着を行なう。つまり、入
力蛍光面７上及び両支持リング１２，１３に形成
されたSb蒸着膜上にSb蒸着を行なうと、光電面
１６とSb蒸着膜１７が形成される訳けで、両支
持リング１２，１３上のSb蒸着膜１７は２度の
Sb蒸着によるため、当然、厚くなつている。
には、両支持リング１２，１３により支持した基
板６に入力蛍光面７を形成したものに、予めSb
蒸着を行なつて前記両支持リング１２，１３のみ
に厚さ50〜1000ÅのSb蒸着膜を形成する。その
後、大気中に出し、あらためて管内に組み込む。
そして更に通常のSb蒸着を行なう。つまり、入
力蛍光面７上及び両支持リング１２，１３に形成
されたSb蒸着膜上にSb蒸着を行なうと、光電面
１６とSb蒸着膜１７が形成される訳けで、両支
持リング１２，１３上のSb蒸着膜１７は２度の
Sb蒸着によるため、当然、厚くなつている。
この発明のＸ線蛍光増倍管は上記説明及び図示
のように構成され、予め両支持リング１２，１３
上にSb蒸着を行なうことにより、Sb蒸着膜１７
の厚さを入力蛍光面７上のSb蒸着膜つまり光電
面１６の厚さより厚くしている。従つて両支持リ
ング１２，１３上のSb蒸着膜１７の光電感度は
有効面の1/10程度と非常に小さくなり、有効面の
光電感度をピークに正確に合わせることができ
る。従つて優れた光電面１６を形成することがで
きる。
のように構成され、予め両支持リング１２，１３
上にSb蒸着を行なうことにより、Sb蒸着膜１７
の厚さを入力蛍光面７上のSb蒸着膜つまり光電
面１６の厚さより厚くしている。従つて両支持リ
ング１２，１３上のSb蒸着膜１７の光電感度は
有効面の1/10程度と非常に小さくなり、有効面の
光電感度をピークに正確に合わせることができ
る。従つて優れた光電面１６を形成することがで
きる。
尚、上記実施例では、入力面２は基板６の出力
側に入力蛍光面７、光電面１６を積層形成したも
のであつたが、基板６の入力側に入力蛍光面７を
形成し、出力側に光電面１６を形成した入力面に
対しても、この発明は適用可能である。但し、こ
の場合は、基板６の透光性のもの例えばガラスで
ないといけない。
側に入力蛍光面７、光電面１６を積層形成したも
のであつたが、基板６の入力側に入力蛍光面７を
形成し、出力側に光電面１６を形成した入力面に
対しても、この発明は適用可能である。但し、こ
の場合は、基板６の透光性のもの例えばガラスで
ないといけない。
以上説明したようにこの発明によれば、工業的
価値大なるＸ線像増倍管の製造方法を提供するこ
とができる。
価値大なるＸ線像増倍管の製造方法を提供するこ
とができる。
第１図は従来及びこの発明を説明するために用
いるＸ線像増倍管（Ｘ線蛍光増倍管）を示す断面
図、第２図は従来のＸ線像増倍管における要部を
示す断面図、第３図はこの発明の一実施例に係る
Ｘ線像増倍管の要部を示す断面図である。 １……外囲器、６……基板、７……入力蛍光
面、１２……内側支持リング、１３……外側支持
リング、１６……光電面、１７……Sb蒸着膜。
いるＸ線像増倍管（Ｘ線蛍光増倍管）を示す断面
図、第２図は従来のＸ線像増倍管における要部を
示す断面図、第３図はこの発明の一実施例に係る
Ｘ線像増倍管の要部を示す断面図である。 １……外囲器、６……基板、７……入力蛍光
面、１２……内側支持リング、１３……外側支持
リング、１６……光電面、１７……Sb蒸着膜。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 入力蛍光面、光電面を形成した基板の周縁部
を、支持リングにより挾持して支持したＸ線像増
倍管の製造方法において、 前記支持リングの内表面上に予めアンチモンを
蒸着しておき、これをＸ線像増倍管内に組込んだ
後、更にアンチモン蒸着により前記光電面を形成
することを特徴としたＸ線像増倍管の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12631080A JPS5750754A (en) | 1980-09-11 | 1980-09-11 | X-ray image multiplier tube and its manufacture |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12631080A JPS5750754A (en) | 1980-09-11 | 1980-09-11 | X-ray image multiplier tube and its manufacture |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5750754A JPS5750754A (en) | 1982-03-25 |
| JPH0139620B2 true JPH0139620B2 (ja) | 1989-08-22 |
Family
ID=14932011
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12631080A Granted JPS5750754A (en) | 1980-09-11 | 1980-09-11 | X-ray image multiplier tube and its manufacture |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5750754A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62153185A (ja) * | 1985-12-25 | 1987-07-08 | Komatsu Denshi Kinzoku Kk | 浮遊帯域溶融法単結晶支持装置 |
| JPS63270383A (ja) * | 1987-04-27 | 1988-11-08 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 半導体結晶棒の支持装置 |
| JPH0316642U (ja) * | 1989-06-30 | 1991-02-19 |
-
1980
- 1980-09-11 JP JP12631080A patent/JPS5750754A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5750754A (en) | 1982-03-25 |
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