JP5974219B2 - 無機エレクトロルミネッセンス素子及びその製造方法並びに発光装置 - Google Patents
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Description
本実施例について、図1を参照して説明する。本実施例の無機EL素子は、図1に示すように、基板5、蛍光体層11、透明導電体層21、蛍光体層12、透明導電体層22、蛍光体層13、電極3からなる。
金属イオンのモル比が、(Ca0.6Sr0.4)0.998Pr0.002TiO3となるよう、Tiの重量モル濃度が0.20mmol/g、アセチルアセトンがTiと等モル、溶媒が酢酸−水混合溶液(溶液全量に対して水10〜15wt.%)、全量が約20〜30gの溶液を以下の手順で作製した。
SnとSbのモル比が95:5、Snの重量モル濃度が0.15mmol/g、溶媒が酢酸の溶液を以下の手順で作製した。
10mm×10mmの1mol%NbドープSrTiO3単結晶基板5(フルウチ化学、表面(100)面、抵抗率0.02Ωcm)上に、蛍光体層11、透明導電体層21、蛍光体層12、透明導電体層22、蛍光体層13の順で次のように成膜した。成膜は、スピンコート法(回転数2500rpm、回転時間15s)で行った。蛍光体層は4回コート、その上の透明導電体層は1回コート、さらにその上の蛍光体層は4回コート、その上に透明導電体層は1回コート、さらにその上の蛍光体層は4回コートした。図1では、4回コートした層であることを模式的に点線の層で示す。
作製された蛍光体積層構造の一番上の表面を酸化セリウムの研磨剤で軽く研磨した。研磨後、研磨剤は水と中性洗剤で洗い流した。NbドープSrTiO3は焼成により表面の導電性が失われたので、素子の角をヤスリで削った。蛍光体積層構造の一番上の表面に、2mm×5mm、厚さ数nm程度のPt電極を、2カ所スパッタリングにより室温で30秒間成膜し、上部電極3とした。Pt上部電極とNbドープSrTiO3下部電極(ヤスリで削った角)に銅線を銀ペーストで接続し、EL素子とした。
本実施例のEL素子を構成する各層の透過率及び抵抗率について調べた。透過率を調査するため、(Ca0.6Sr0.4)0.998Pr0.002TiO3薄膜を石英ガラス板上に成膜(2回コート)した試料を作製した。透過率と電気抵抗率を調査するため、Sn0.95Sb0.05O2薄膜を石英ガラス板上へ成膜(2回コート)した試料を作製した。Pt薄膜の透過率と電気抵抗率を測定するため、石英ガラス板上にPt薄膜を室温で30秒間スパッタリングにより成膜した試料を作製した。
実施例1の構造の透明導電体層を除いて、その他は実施例1と同様の組成の及び製造方法により、比較例を作製した。図3に、比較例のEL素子の構造を示す。10mm×10mmの1mol%NbドープSrTiO3単結晶基板5(フルウチ化学、表面(100)面、抵抗率0.02Ωcm)上に、蛍光体層10を成膜した。成膜は、実施例1と同様のスピンコート法で行った。蛍光体層は12回コートで作製した。図では、12回コートした層であることを模式的に点線の層で示す。実施例1と同様、Pt電極を上部電極3として作製した。
図4に、実施例1及び比較例の積層構造のX線回折パターンを示す。実線は実施例1の素子を示し、点線は比較例の素子を示す。いずれの場合においても、46〜47°付近にNbドープSrTiO3の200回折ピークが観測され、その高角側に(Ca0.6Sr0.4)0.998Pr0.002TiO3の200(擬立方晶で指数付け)回折ピークが観測された。また、32.8°付近に(Ca0.6Sr0.4)0.998Pr0.002TiO3の110回折ピークが観測された。粉末試料では110回折ピークの強度は200回折ピークの強度よりも大きいが、実施例1及び比較例の場合では200回折ピークのほうが圧倒的に大きい。このことから、実施例1及び比較例の場合は、ともにNbドープSrTiO3単結晶と同じ方向に配向して成長している(Ca0.6Sr0.4)0.998Pr0.002TiO3結晶粒子の割合が大きいことがわかる。110回折ピークと200回折ピークの強度比は、実施例1と比較例とであまり差がない。なお、結晶構造は粉末X線回折装置(CuKα線)で調査した。フォトルミネッセンス(PL)特性は分光蛍光光度計により調べた。
図6に、実施例1の素子の断面のTEM像を示す。この試料の表面はCeO2で研磨せず、Pt電極も成膜しなかった状態で調べた。(Ca0.6Sr0.4)0.998Pr0.002TiO3層とSn0.95Sb0.05O2層の界面が明瞭に観察された。3つある(Ca0.6Sr0.4)0.998Pr0.002TiO3層はそれぞれ4回コートで作製されているが、最上面の(Ca0.6Sr0.4)0.998Pr0.002TiO3層ではコート間の界面は明瞭には観察されなかった。一方、基板に近い2つの(Ca0.6Sr0.4)0.998Pr0.002TiO3層内にはそれぞれ3つの界面が観察され、その界面の所々に空洞(白い箇所)が観察された。(Ca0.6Sr0.4)0.998Pr0.002TiO3層は直径50nm程度の粒子から形成され、Sn0.95Sb0.05O2層は直径数nm程度の粒子から形成されている。この結果はX線回折の結果によく対応している。
暗所で実施例1のEL素子に波長340nmの紫外線を照射すると、全面で赤色発光が確認できた。また、周辺より弱いものの、2カ所のPt電極上でも赤色発光が確認された。このことは紫外線、赤色光ともにPt電極を透過していることを示し、透過率の測定結果と矛盾しないことがわかる。
実施例1の片方のPt電極に、5kHz、40Vの交流電圧を印加しているときの発光の様子を調べた。電圧を印加したPt電極全体が赤色発光していることが確認された。図8に、この発光スペクトルを示す。図8のELスペクトルは、波長612nm付近にピークを示し、図7のフォトルミネッセンスのスペクトルとほぼ同じ形状の発光スペクトルが観測された。
本実施例について、図13を参照して説明する。本実施例の無機EL素子は、実施例1の構造に、さらに基板と蛍光体層の間に導電膜を設けた例である。図13に示すように、基板5、金属導電膜4、蛍光体層11、透明導電体層21、蛍光体層12、透明導電体層22、蛍光体層13、電極3からなる。本実施例は、金属導電膜4以外は、実施例1と同様の組成の及び製造方法により作製した。10mm×10mmの1mol%NbドープSrTiO3単結晶基板5上に600℃で10分間白金(金属導電膜4)をスパッタし(膜厚100〜200nm)、その上に、実施例1と同様に、蛍光体層11、透明導電体層21、蛍光体層12、透明導電体層22、蛍光体層13の順で成膜して無機EL素子を作製した。成膜は実施例1と同様にスピンコート法で行った。各層の成膜において、冷却・スピンコート・焼成を実施例1と同様に行った。積層された構造の表面に実施例1と同様に電極を形成して無機EL素子を作製した。
実施例1の構造において、透明導電体層21、22として、ITO(インジウムスズ酸化物)を用い、他の材料及び製法は、実施例1と同様に作製した。ITOはスピンコート法で成膜した。実施例1と同様の特性が得られた。
実施例2の構造において、透明導電体層21、22として、ITO(インジウムスズ酸化物)を用い、他の材料及び製法は、実施例2と同様に作製した。ITOはスピンコート法で成膜した。実施例2と同様の特性が得られた。
4 金属導電膜
5 基板(下部電極)
10、11、12、13 蛍光体層
21、22 透明導電体層
Claims (5)
- 第1の電極と、蛍光体積層構造と、第2の電極とを備える無機エレクトロルミネッセンス素子であって、
前記蛍光体積層構造は、複数の無機蛍光体層が、少なくとも1層の透明導電体からなる中間層を介して積層されてなり、前記透明導電体がインジウムスズ酸化物又はスズアンチモン系酸化物であることを特徴とする無機エレクトロルミネッセンス素子。 - 前記無機蛍光体層がペロブスカイト型酸化物であることを特徴とする請求項1記載の無機エレクトロルミネッセンス素子。
- 前記蛍光体積層構造と前記第1の電極との間に、導電層を備えることを特徴とする請求項1記載の無機エレクトロルミネッセンス素子。
- 請求項1乃至3のいずれか1項記載の無機エレクトロルミネッセンス素子を複数有することを特徴とする発光装置。
- 前記蛍光体積層構造は、溶液塗布法により各層を成膜することを特徴とする請求項1記載の無機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
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