JP4943440B2 - 発光素子及び表示装置 - Google Patents
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Description
前記第1電極と対向して配置された第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極との間に挟持された発光層であって、p型半導体の媒体の中にn型半導体粒子が分散して構成されている発光層と
を備えたことを特徴とする。
前記第1電極と対向して配置された第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極との間に挟持された発光層であって、n型半導体粒子の集合体で構成され、該粒子間にp型半導体が偏析している発光層と
を備えたことを特徴とする。
前記第1電極又は前記第2電極のうち、少なくとも一方の電極は、亜鉛を含む材料からなることが好ましい。この場合、前記一方の電極を構成する前記亜鉛を含む材料は、酸化亜鉛を主体とし、アルミニウム、ガリウム、チタン、ニオブ、タンタル、タングステン、銅、銀、ホウ素からなる群から選ばれる少なくとも一種を含むものであってもよい。
前記基板上に第1方向に互いに平行に延在している複数の走査電極と、
前記第1方向に対して垂直な第2方向に互いに平行に延在している複数のデータ電極と、
前記走査電極と前記データ電極間に挟まれて設けられた少なくとも1層の発光層と
を備え、
前記走査電極と前記データ電極の少なくとも一方が透明又は半透明であって、前記発光層が、p型半導体の媒体の中にn型半導体粒子が分散して構成されていることを特徴とする。
前記基板上に第1方向に互いに平行に延在している複数の走査電極と、
前記第1方向に対して垂直な第2方向に互いに平行に延在している複数のデータ電極と、
前記走査電極と前記データ電極間に挟まれて設けられた少なくとも1層の発光層と
を備え、
前記走査電極と前記データ電極の少なくとも一方が透明又は半透明であって、前記発光層が、n型半導体粒子の集合体で構成され、該粒子間にp型半導体が偏析していることを特徴とする。
<EL素子の概略構成>
図1は、本発明の実施の形態1に係る発光素子10の発光面に垂直な方向から見た概略構成図である。この発光素子10は、基板1と、基板1上に設けられた透明電極2と、透明電極2上に設けられた発光層3と、発光層3の上に設けられた背面電極4とを備える。この発光層3は、透明電極2と背面電極4との間に挟持されている。また、発光素子10の全体を支えるものとして、基板1が透明電極2に隣接して設けられている。この場合、基板1の側から光を取り出すので、基板1には透明な材料からなるものを用いる。さらに、透明電極2と背面電極4とは、電源5を介して電気的に接続されている。この発光素子10では、電源5から電力が供給されると、透明電極2および背面電極4の間に電位差が生じ、電圧が印加される。そして、透明電極2および背面電極4間に配置されている発光層3の発光層が発光し、その光が透明電極2および基板1を透過して発光素子10の外部に取り出される。なお、本実施の形態においては、電源5として直流電源を用いている。
基板1は、その上に形成する各層を支持できるものを用いる。また、基板1側から光を取り出す場合、発光体から発せられる光の波長に対し光透過性を有する材料であることが求められる。このような材料としては、例えば、コーニング1737等のガラス、石英、セラミック等を用いることができる。通常のガラスに含まれるアルカリイオン等が発光素子へ影響しないように、無アルカリガラスや、ガラス表面にイオンバリア層としてアルミナ等をコートしたソーダライムガラスであってもよい。また、ポリエステル、ポリエチレンテレフタレート系、ポリクロロトリフルオロエチレン系とナイロン6の組み合わせやフッ素樹脂系材料、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリイミド、ポリアミドなどの樹脂フィルム等を用いることもできる。樹脂フィルムを用いる場合には、耐久性、柔軟性、透明性、電気絶縁性、防湿性の優れた材料を用いることが好ましい。なお、上記材料の記載は例示であって、基板1の材料は特にこれらに限定されるものではない。
電極として、光を取り出す側の透明電極2と、他方の背面電極4とがある。なお、ここでは、図1に示すように、基板1の上に透明電極2を設ける場合について説明するが、これに限られず、例えば、図2の別例の発光素子10aに示すように、基板1の上に背面電極4を設け、その上に発光層3、透明電極2を順に積層する構成としてもよい。あるいは、透明電極2及び背面電極4の両方を透明電極としてもよい。
この発光層3は、透明電極2と背面電極4との間に挟持され、次の2つのうち、いずれかの構造を有する。
(i)n型半導体粒子の集合体であって、該粒子間にp型半導体23が偏析した構造(図1)。なお、上記n型半導体粒子21の集合体は、それ自体で層を構成している。
(ii)p型半導体23の媒体中にn型半導体粒子21が分散した構造(図5)。
更に、発光層3を構成する各n型半導体粒子21が、p型半導体23を介して電極2、4と電気的に接合されていることが好ましい。
n型半導体粒子21の材料は、多数キャリアが電子でありn型伝導を示すn型半導体材料である。材料としては、第12族−第16族間化合物半導体であってもよい。また、第13族−第15族間化合物半導体であってもよい。具体的には、光学バンドギャップが可視光の大きさを有する材料であって、例えば、ZnS,ZnSe、GaN、InGaN、AlN、GaAlN、GaP、CdSe、CdTe、SrS、CaSを母体とし、母体のまま使用するか、あるいは添加剤として、Ag、Al、Ga、In、Cu、Mn、Clから一種以上選択される元素を添加して用いる。
(a)薄膜の発光層の場合には、スパッタリング法、電子ビーム(EB)蒸着法、抵抗加熱蒸着法、CVD法等の真空成膜プロセスを用い、必要に応じて所定雰囲気下での熱処理を行うことによって、n型半導体粒子の粒子間にp型半導体が偏析した構造を有する発光層3(上記(i)の構成)を得ることができる。
(b)また、発光層23は、p型半導体材料を真空中あるいは不活性ガス中で熔融させておき、溶融しているp型半導体中にそれより融点の高いn型半導体粒子を分散させ、その後冷却することによって、p型半導体23の媒体中にn型半導体粒子21が分散した構造を有する発光層3(上記(ii)の構成)を得ることができる。
(c)また、p型半導体材料とn型半導体材料とをあらかじめ混合し、真空中で溶融させて、その後、冷却してp型半導体23の媒体中にn型半導体の結晶粒子21を析出させて、p型半導体23の媒体中にn型半導体の結晶粒子21が析出した構造を有する発光層3(上記(ii)の別例の構成)を得ることができる。
(d)さらに、上記(b)によりp型半導体23の媒体中にn型半導体粒子24を分散させ、あるいは上記(c)によりp型半導体の媒体中にn型半導体を析出させた後、粉砕して、p型半導体の媒体中にn型半導体が分散又は析出した複合体粒子粉末を得る。その後、該複合体粒子粉末を任意の有機溶媒等に分散させた後、インクジェット法、ディッピング法、スピンコート法、スクリーン印刷法、バーコート法、その他公知の溶剤キャスト法を使用して成膜し、その後、有機溶媒を揮発させて、n型半導体粒子の集合体で構成され、該粒子間にp型半導体が偏析している発光層3(上記(i)の構成)を得ることができる。
本発明の実施例として、図2に示す別例の発光素子10aの製造方法を説明する。この別例の発光素子10aは、基板1の上に背面電極4が形成され、さらにその上に発光層3、透明電極2が順に積層されている。また、この発光層3は、n型半導体粒子の集合体で構成され、該粒子間にp型半導体が偏析した構造を有する(上記(i)の構成)。この実施例1では、EB蒸着法によって発光層3を形成した。
(1)シリコン基板上にPt膜を形成した基板1(4)を用意した。この場合、シリコン基板が基板1に対応し、Pt膜が背面電極4に対応する。
(2)次に、シリコン基板1のPt膜4上にEB蒸着法によって発光層3を以下の2段階の工程によって形成した。
a)EB蒸着装置には、蒸発源が3元のEB蒸着機を用いた。各蒸発源にZnS、Cu2Sの粉末を入れ、10−6Torr台の真空中で各材料に電子ビームを照射し、材料を蒸発させて成膜を行った。この場合の基板温度は200℃とした。
b)上記の膜形成後、窒素ガス雰囲気中で、800℃、1時間の熱処理を行った。得られた膜について、X線回折法や断面のSEM観察を行って、膜の構造を調べた。その結果、膜は、微小なZnS粒子と粒子間に偏析するCu2Sとの混在物であった。なお、ZnS粒子は、n型半導体粒子であって、その粒子間に偏析するCu2Sはp型半導体である。
(3)次に、発光層3上にスパッタリング法によって、1mm角サイズのパターンで透明電極2を形成した。
以上の工程によって、別例の発光素子10aを得た。この発光素子10aについて、電極4と透明電極2との間に電源5を接続し評価を行った。なお、ここでは電源5として直流電源を用いたが、交流電源も使用することができる。電極2と電極4との間に電圧を印加していくと、印加電圧約10Vで発光が観測され、約30Vで約1000cd/m2の輝度が得られた。
本実施の形態に係る発光素子は、低い印加電圧において従来の発光素子よりも高い輝度を得ることができた。また、本実施の形態に係る発光素子は、従来のエレクトロルミネセンス素子よりも高い輝度および長い半減期を得ることができた。
比較例として、実施例1と同様な製造方法により発光素子をEB蒸着法によって作製した。
(1)ガラス基板上に透明導電膜を形成した基板を用意した。この場合、ガラス基板が基板に対応し、透明導電膜が透明電極に対応する。
(2)ガラス基板の上の透明導電膜の上に、EB蒸着法を用いて発光層を形成した。EB蒸着装置には、実施例1と同様に蒸発源が3元のエレクトロンビーム(EB)蒸着機を用いた。各蒸発源にZnS、酸化インジウム錫の粉末を入れ、10−6Torr台の真空中で各材料に電子ビームを照射し、材料を蒸発させて透明導電膜2上に成膜を行った。成膜の際に、酸素の導入、酸素分圧の変化など種々の条件を変えて作製した。また、基板温度は200℃とした。得られた膜は、X線回折法や断面のSEM観察を行って、膜の構造を調べた。その結果、膜は微小なZnS粒子と酸化インジウム錫との混在物であった(図13)。
(3)次に、発光層上にスパッタリング法によって、1mm角サイズのパターンでPt電極4を形成した。
以上の工程によって比較例の発光素子を作製した。この比較例の発光素子について、電極間に電圧を印加し評価を行った。その結果、直流電圧20Vを印加しても発光を確認できず、更に電圧を大きくしていくと発光素子の破壊が発生した。
<表示装置の概略構成>
図6は、本発明の実施の形態1に係るパッシブマトリクス型表示装置100の概略的な構成を示すブロック図である。このパッシブマトリクス型表示装置100は、表示部101と、前記EL素子を選択的に駆動する駆動部102と、駆動部102を制御し、電力を供給する制御部103から構成される。なお、本実施の形態においては、供給する電源としては、例えば、図9に示すように直流電源を用いている。また、駆動部102は、データ電極Xiを駆動するデータ電極駆動回路121と走査電極Yjを駆動する走査電極駆動回路122とを備える。
走査電極2とデータ電極4により選択された画素Cijにおいて、発光層3に発光開始電圧以上の電圧を印加すると、発光層3内を電流が流れ、発光に至る。
(a)まず、制御手段103に画像データS1が入力される。
(b)次に、制御手段103は、それぞれの画素について発光させるか否か等の情報に基づき、データ電極駆動回路121と走査電極駆動回路122を駆動する。
(c)走査電極駆動回路122は、発光させる画素Cijに対応した走査電極に電圧を印加する。
(d)データ電極駆動回路121は、発光させる画素Cijに対応したデータ電極に電圧を印加する。
(e)電圧が印加された走査電極とデータ電極の交わる画素Cijにおいて発光層3に発光開始電圧以上の電圧が印加されると、発光層3内を電流が流れ、発光に至る。
(1)基板1としてコーニング1737を準備する。
(2)基板1上に、データ電極Xi(背面電極4)を形成する。例えばAlを使用し、フォトリソグラフィ法によって、所定の間隔を隔てて、略平行にパターン形成する。膜厚は200nmとする。
(3)基板1上に、発光層3を形成する。複数の蒸発源にZnSとCu2Sの粉体をそれぞれ投入し、真空中(10−6Torr台)にて、各材料にエレクトロンビームを照射し、基板1上に発光層3として成膜する。このとき、基板温度は200℃とし、ZnSとCu2Sを共蒸着する。
(4)発光層3の成膜後、硫黄雰囲気中、700℃で約1時間焼成する。この膜をX線回折やSEMによって調べることによって、微小なZnS結晶粒の多結晶構造とCuXSの偏析部とが観察される。詳細は明らかではないが、ZnSとCuxSとの相分離が生じ、前記偏析構造が形成されたものと考えられる。
(5)続いて、走査電極Yj(透明電極2)を、例えばITOを使用し、パターン形成する。データ電極114は、所定の間隔を隔てて略平行に、且つデータ電極Xiに対して略直交するように形成する。膜厚は200nmとする。
(6)続いて、発光層3及び走査電極Yj上に、保護層(図では省略)として、例えば窒化シリコン等の透明絶縁体層を形成する。
以上の工程によって、本実施例の表示装置を得られる。
本実施の形態に係る表示装置は、従来の表示装置のように交流高電圧の必要がなく、直流低電圧で必要十分な発光輝度を得ることができる。
Claims (24)
- 第1電極と、
前記第1電極と対向して配置された第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極との間に挟持された発光層であって、p型半導体の媒体の中にn型半導体粒子が分散して構成されている発光層と
を備えた発光素子。 - 第1電極と、
前記第1電極と対向して配置された第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極との間に挟持された発光層であって、n型半導体粒子の集合体で構成され、該粒子間にp型半導体が偏析している発光層と
を備えた発光素子。 - 前記n型半導体粒子は、前記p型半導体を介して前記第1及び第2電極と電気的に接合されていることを特徴とする請求項2に記載の発光素子。
- 前記n型半導体粒子及び前記p型半導体は、それぞれ化合物半導体であることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の発光素子。
- 前記n型半導体粒子は、第12族−第16族間化合物半導体であることを特徴とする請求項4に記載の発光素子。
- 前記n型半導体粒子は、第13族−第15族間化合物半導体であることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の発光素子。
- 前記n型半導体粒子は、カルコパイライト型化合物半導体であることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の発光素子。
- 前記第2半導体物質は、Cu2S、ZnS、ZnSe、ZnSSe、ZnSeTe、ZnTe、GaN、InGaNのいずれかであることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の発光素子。
- 前記n型半導体粒子が亜鉛を含む亜鉛系材料であって、
前記第1電極又は前記第2電極のうち、少なくとも一方の電極は、亜鉛を含む材料からなる、請求項1から8のいずれか一項に記載の発光素子。 - 前記一方の電極を構成する前記亜鉛を含む材料は、酸化亜鉛を主体とし、アルミニウム、ガリウム、チタン、ニオブ、タンタル、タングステン、銅、銀、ホウ素からなる群から選ばれる少なくとも一種を含むことを特徴とする請求項9に記載の発光素子。
- 前記第1電極又は前記第2電極の少なくとも一方の電極に面して支持する支持体基板をさらに備えることを特徴とする請求項1から10のいずれか一項に記載の発光素子。
- 前記第1電極及び前記第2電極のそれぞれに対向し、且つ、前記発光層からの発光の取出し方向の前方に色変換層をさらに備えることを特徴とする請求項1から11のいずれか一項に記載の発光素子。
- 基板と、
前記基板上に第1方向に互いに平行に延在している複数の走査電極と、
前記第1方向に対して垂直な第2方向に互いに平行に延在している複数のデータ電極と、
前記走査電極と前記データ電極間に挟まれて設けられた少なくとも1層の発光層と
を備え、
前記走査電極と前記データ電極の少なくとも一方が透明又は半透明であって、前記発光層が、p型半導体の媒体の中にn型半導体粒子が分散して構成されていることを特徴とする表示装置。 - 基板と、
前記基板上に第1方向に互いに平行に延在している複数の走査電極と、
前記第1方向に対して垂直な第2方向に互いに平行に延在している複数のデータ電極と、
前記走査電極と前記データ電極間に挟まれて設けられた少なくとも1層の発光層と
を備え、
前記走査電極と前記データ電極の少なくとも一方が透明又は半透明であって、前記発光層が、n型半導体粒子の集合体で構成され、該粒子間にp型半導体が偏析していることを特徴とする表示装置。 - 前記n型半導体粒子は、前記p型半導体を介して前記第1及び第2電極と電気的に接合されていることを特徴とする請求項14に記載の表示装置。
- 前記n型半導体粒子及び前記p型半導体は、それぞれ化合物半導体であることを特徴とする請求項13から15のいずれか一項に記載の表示装置。
- 前記n型半導体粒子は、第12族−第16族間化合物半導体であることを特徴とする請求項16に記載の表示装置。
- 前記n型半導体粒子は、第13族−第15族間化合物半導体であることを特徴とする請求項13から16のいずれか一項に記載の表示装置。
- 前記n型半導体粒子は、カルコパイライト型化合物半導体であることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の表示装置。
- 前記第2半導体物質は、Cu2S、ZnS、ZnSe、ZnSSe、ZnSeTe、ZnTe、GaN、InGaNのいずれかであることを特徴とする請求項13から15のいずれか一項に記載の表示装置。
- 前記n型半導体粒子が亜鉛を含む亜鉛系材料であって、
前記第1電極又は前記第2電極のうち、少なくとも一方の電極は、亜鉛を含む材料からなる、請求項13から20のいずれか一項に記載の表示装置。 - 前記一方の電極を構成する前記亜鉛を含む材料は、酸化亜鉛を主体とし、アルミニウム、ガリウム、チタン、ニオブ、タンタル、タングステン、銅、銀、ホウ素からなる群から選ばれる少なくとも一種を含むことを特徴とする請求項21に記載の表示装置。
- 前記第1電極又は前記第2電極の少なくとも一方の電極に面して支持する支持体基板をさらに備えることを特徴とする請求項13から22のいずれか一項に記載の表示装置。
- 前記第1電極及び前記第2電極のそれぞれに対向し、且つ、前記発光層からの発光の取出し方向の前方に色変換層をさらに備えることを特徴とする請求項13から23のいずれか一項に記載の表示装置。
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