JP5967955B2 - 光電変換装置および撮像システム - Google Patents

光電変換装置および撮像システム Download PDF

Info

Publication number
JP5967955B2
JP5967955B2 JP2012018413A JP2012018413A JP5967955B2 JP 5967955 B2 JP5967955 B2 JP 5967955B2 JP 2012018413 A JP2012018413 A JP 2012018413A JP 2012018413 A JP2012018413 A JP 2012018413A JP 5967955 B2 JP5967955 B2 JP 5967955B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
capacitor
signal
photoelectric conversion
conversion device
pixel
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2012018413A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2013157889A (ja
JP2013157889A5 (ja
Inventor
達也 領木
達也 領木
和樹 大下内
和樹 大下内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP2012018413A priority Critical patent/JP5967955B2/ja
Priority to US13/753,182 priority patent/US9305946B2/en
Priority to CN201310043409.7A priority patent/CN103227906B/zh
Publication of JP2013157889A publication Critical patent/JP2013157889A/ja
Publication of JP2013157889A5 publication Critical patent/JP2013157889A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5967955B2 publication Critical patent/JP5967955B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/14Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
    • H01L27/144Devices controlled by radiation
    • H01L27/146Imager structures
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/40Extracting pixel data from image sensors by controlling scanning circuits, e.g. by modifying the number of pixels sampled or to be sampled
    • H04N25/46Extracting pixel data from image sensors by controlling scanning circuits, e.g. by modifying the number of pixels sampled or to be sampled by combining or binning pixels
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/70SSIS architectures; Circuits associated therewith
    • H04N25/76Addressed sensors, e.g. MOS or CMOS sensors
    • H04N25/767Horizontal readout lines, multiplexers or registers
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/40Extracting pixel data from image sensors by controlling scanning circuits, e.g. by modifying the number of pixels sampled or to be sampled
    • H04N25/44Extracting pixel data from image sensors by controlling scanning circuits, e.g. by modifying the number of pixels sampled or to be sampled by partially reading an SSIS array
    • H04N25/447Extracting pixel data from image sensors by controlling scanning circuits, e.g. by modifying the number of pixels sampled or to be sampled by partially reading an SSIS array by preserving the colour pattern with or without loss of information
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/70SSIS architectures; Circuits associated therewith
    • H04N25/71Charge-coupled device [CCD] sensors; Charge-transfer registers specially adapted for CCD sensors
    • H04N25/75Circuitry for providing, modifying or processing image signals from the pixel array
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/70SSIS architectures; Circuits associated therewith
    • H04N25/76Addressed sensors, e.g. MOS or CMOS sensors

Description

本発明は光電変換装置に関し、特に、信号を加算する機能を備える光電変換装置および撮像システムに関する。
光電変換装置は、デジタルスチルカメラやデジタルカムコーダのような撮像システムに用いられる。光電変換装置に対しては様々な要求があり、その中には出力レートの向上がある。
高出力レートを実現するために、光電変換装置内で複数の画素に基づく信号を加算することで、光電変換装置から出力される信号の数を減らす技術が知られている。信号を加算することによって、解像度の低下による画質の低下を抑制しながら、高出力レートを得ることができる。
特許文献1には、行列状に配列された画素に対して、行に沿った方向ならびに列に沿った方向に信号を加算する撮像装置が記載されている。特許文献1には、水平方向、すなわち行に沿った方向に重み付け加算を行うことが記載されている。
特開2010−68123号公報
しかしながら、特許文献1に記載された構成では、画素の各列に対して設けられた2つの保持容量間で、接続されているスイッチの個数が異なるため、2つの保持容量間の容量値に差が生じる可能性がある。その結果、各保持容量で保持する電荷量に差が生じ、生成される画像の画質が劣化する可能性がある。
本発明は、上記画質の劣化を低減することを目的とする。
本発明の一つの側面である光電変換装置は、複数の列に設けられた複数の画素と、各々が、前記列に対応して設けられた複数の信号処理部と、信号線と、を有する光電変換装置であって、前記信号処理部は、対応する前記列の画素に基づく信号を保持する第1の容量と第2の容量と、前記第1の容量と前記信号線との間に設けられたスイッチと、前記第2の容量と電気的に接続された容量調整部を有し、一の前記信号処理部が有する前記第1の容量および別の一の前記信号処理部が有する第2の容量を接続可能な接続部と、を備え、前記容量調整部は、一方の主電極が前記第2の容量と電気的に接続され、他方の主電極が電源または前記一方の主電極に電気的に接続されたMOSトランジスタを有すること、を特徴とする。
本発明によれば、信号加算時における画質の劣化を低減することができる。
実施例に係る光電変換装置の構成例を示す図 実施例1に係る信号処理部の構成例を示す図 実施例1に係る全画素読み出しモードの動作例を示す図 水平方向の加算の概念を示す図 実施例1に係る重み付け加算モードの動作例を示す図 実施例1に係る信号処理部の別の構成例を示す図 実施例1に係る信号処理部の構成例を示す図 実施例2に係る全画素読み出しモードの動作例を示す図 実施例2に係る重み付け加算モードの動作例を示す図 実施例3に係る信号処理部の構成例を示す図 実施例3に係る全画素読み出しモードの動作例を示す図 実施例3に係る重み付け加算モードの動作例を示す図 実施例に係る撮像システムの構成例を示す図
一般に、信号の平均化と信号の加算とは同義に扱うことができる。以下の実施形態においても、平均化と加算とを総称して加算として説明する。
(実施例1)
本発明に係る第1の実施形態では、第1の動作モードである全画素読み出しモードに加え、第2の動作モードである水平方向の重み付け加算モードで動作する光電変換装置を例にとって説明する。水平方向とは、行列状に配列された画素アレイにおいて、行に沿った方向のことである。
まず、図1を参照しながら本実施例にかかる光電変換装置の構成例を説明する。画素アレイ110には画素100が行列状に配列される。ここでは3行×4列分の画素アレイを示している。制御部である行選択回路120は、信号Read、Reset、およびSelectを画素アレイに供給することで画素100の動作を制御する。画素100から出力されて信号が第1の垂直信号線130に伝達される。第1の垂直信号線130に出力された信号は、読み出し部である信号処理部150aおよび150bで処理される。信号処理部150a、150bで処理された信号は、水平信号線170a、170bを介して、対応する出力アンプ180a、180bに伝達され、出力端子OUT1、OUT2から出力される。信号処理部150a、150bは、それぞれ画素の列に対応して回路を備える。列線選択回路160a、160bは、信号処理部150a、150bに含まれる回路のうちの列を選択するための信号を出力する。負荷トランジスタ部140a、140b、信号処理部150a、150b、ならびに列選択回路160a、160bは、画素アレイ110を挟むように設けられている。画素アレイの左から奇数番目の列(以下、奇数列)の画素からの信号は信号処理部150bを経て出力端子OUT2から出力され、画素アレイの左から偶数番目の列(以下、偶数列)の画素からの信号は信号処理部110aを経て出力端子OUT1から出力される。単板式のカラー光電変換装置を考えると、ベイヤ配列においては、同色のフィルタが1画素おきに設けられているので、ある行に着目すると、各出力端子OUT1とOUT2の各々に着目すると、同一の色の画素に基づく信号のみが出力される。行選択回路120および列選択回路160は、ともに制御部と呼ぶ。また、例えば信号処理部150a、150bのように複数のものを指す場合、信号処理部150として表記するものとする。
次に、画素100の構成を説明する。画素配列110に含まれる各画素100はフォトダイオード101、転送トランジスタ102、リセットトランジスタ104、FD(Floating Diffusion)部106、増幅トランジスタ103、および選択トランジスタ105を含む。光電変換部であるフォトダイオード101は、入射する光量に応じて電荷を生成および蓄積する。転送部である転送トランジスタ102は、フォトダイオード101とFD部106との間の導通または非導通を切り替える。画素出力部である増幅トランジスタ103のゲート電極はFD部106と接続される。リセット部であるリセットトランジスタ104は、電源VDDと増幅トランジスタ103のゲート端子との導通、または非導通を切り替える。転送トランジスタ102とリセットトランジスタ104が同時に導通しているときには、フォトダイオード101が電源VDDによってリセットされる。増幅トランジスタ103は画素選択部である選択トランジスタ105が導通している期間には、負荷トランジスタ部140に含まれる定電流源とともに、ソースフォロワ回路を形成する。これにより、第1の信号線である第1の垂直出力線130には、その時の増幅トランジスタ103のゲート電位、言い換えるとFD部106の電位、に応じた出力が第1垂直信号線に現れる。転送トランジスタ102を制御するための信号aRead、リセットトランジスタ104を制御するための信号Reset、選択トランジスタ105を制御するために信号Selectは同一の行に含まれる画素に対して行選択回路120から共通に与えられる。
図2は、読み出し部である信号処理部150a、bをより具体的に示した構成例である。ここでは画素のm列目、m+5列目までに対応する部分を抜き出している。画素アレイ110を挟んで150a、150bが配置されているが、接続される画素の列が異なるのみで、構成は信号処理部150aと同一なので説明を省略する。画素の各列に対してサンプルホールドスイッチ200、サンプリング容量260−265、クランプ容量210、クランプスイッチ240、信号書き込みスイッチ230、加算制御スイッチ270−276、および列選択スイッチ250、およびダミースイッチ251を含む。第1の垂直信号線130はサンプルホールドスイッチ200とクランプ容量210とを介して第2の垂直信号線220と接続されている。第2の垂直信号線220には、サンプリング容量260−265がそれぞれスイッチ230を介して接続されている。サンプリング容量260−265にはさらに加算制御スイッチ270−276が接続される。また、サンプリング容量260、262、264は列選択スイッチ250を介してそれぞれ水平信号線280へと接続される。水平信号線容量290は水平信号線280がもつ容量である。水平信号線容量290は、水平信号線280の配線に付随する寄生容量および、スイッチ250が接続されることにより生じるMOSトランジスタの接合容量を含む。一方、サンプリング容量261、263、265にはダミースイッチ251が接続されている。ダミースイッチ251を設けることで、サンプリング容量260−265に接続するスイッチの数をそろえて、サンプリング容量260−265から見える、容量成分の差を低減している。また、ダミースイッチ251のソース−ドレイン間はショートされている。ダミースイッチ251は、列選択スイッチ250とは違い、水平信号線280に接続しないことで、水平信号線容量290を増加させず、後述の回路ゲインの低下を抑制している。ここで、サンプリング容量260、262、264を第1の容量、サンプリング容量261、263、265を第2の容量とする。また、スイッチ272、274のように、別の列の第1の容量と第2の容量とを接続するスイッチを接続部と呼ぶ。
次に図1および2に示した構成の光電変換装置において信号を読み出す動作を記載する。
(全画素読み出しモード)
まず、加算動作を行わない動作モードについて図3を参照しながら説明する。ここでは全画素読み出しモードと称するが、画素アレイの全ての画素を読み出さなければならないわけではなく、画素間での加算処理を行わないことを意味するものとする。
時刻t1に、信号Select(n)がハイレベルになる。これによってn行目の画素に含まれる選択トランジスタ105がオンしてソースフォロワ動作を行うので、増幅トランジスタ103のゲート電極の電位、すなわちFD106の電位に対応したレベルが第1の垂直信号線130に現れる。すなわち、時刻t1に、n行目の画素が選択された状態が開始する。同じく時刻t1には、信号SPおよびCLPがハイレベルになるので、クランプ容量210には第1の垂直信号線に現れたレベルと電圧とCPDCとの電位差が与えられた状態となる。
時刻t2から信号Reset(n)がパルス状にハイレベルになると、FD106の電位が電源電圧VDDに応じてリセットされる。これにより第1に垂直信号線130およびクランプ容量210の端子AにはFD部106をリセットしたことに対応するレベルが現れる。
時刻t3に信号CLPがローレベルになると、クランプスイッチ240が非導通状態になるので、第2の垂直信号線220が電気的に浮遊状態となる。これにより、クランプ容量210には、FD部106をリセットしたことに対応するレベルと電圧CPDCの電位差が保持される。
時刻t4に信号aRead(n)がハイレベルになると、フォトダイオード101に蓄積された電荷がFD部106へと転送される。転送された電荷量に応じてFD部106の電位が変化し、これに対応したレベルが第1の垂直信号線130に現れる。クランプ容量210には、FD部106をリセットしたことに対応するレベルと電圧CPDCとの電位差が保持されたままである。したがって、第2の垂直信号線220の電位は、FD部106をリセットしたことに対応するレベルと、フォトダイオード101からFD部106へと電荷を転送したことに対応するレベルとの差分ΔVinに容量で決まるゲインのかかった分だけ変動する。クランプ容量210の容量値をCcpとすると、第2の垂直信号線220に生じる電圧変化ΔVは、
ΔV = (Ccp・2・Csp)×ΔVin ・・・(1)
となる。
FD部106をリセットしたことに対応するレベルには、リセットトランジスタ104をスイッチングしたことによるノイズ成分や、画素を構成するトランジスタに固有のノイズ成分を含む。また、フォトダイオード101からFD部106に電荷を転送したことによるレベルにも、このノイズ成分が重畳されているので、クランプ容量210を用いて上述の動作を行うことでノイズを低減することができる。
時刻t5に信号SPがローレベルになるとサンプルホールドスイッチ200が非導通になり、クランプ容量210と第1の垂直信号線130とは非導通状態になる。これによってΔVがサンプリング容量260−265に保持される。
時刻t6に信号Select(n)がローレベルになり、n行目の画素100に含まれる増幅トランジスタ103第1の垂直信号線130が非導通状態となることで、ソースフォロワ動作が終了する。つまり、n行目の画素が選択された状態が終了する。
時刻t8に、ADDH1a、ADDH2a、およびADDH1bがハイレベルになる。このとき、図2の(a)、(b)より、各列に設けたサンプリング容量つまり、サンプリング容量260と261、サンプリング容量262と263、およびサンプリング容量264と265がそれぞれ並列で接続された状態で読み出される。
時刻t9から信号CSEL(m)、CSEL(m+1)、・・・、CSEL(m+5)が順次供給されると、各列のサンプリング容量260−265に保持された信号が水平信号線280に出力される。サンプリング容量260−265に保持された信号を水平信号線280に出力するときには、容量の比で決まるゲインがかかる。水平線容量290の容量値をCcom、出力アンプ180のゲインをGampとすると、出力端子OUTに現れる出力Voutは、
Vout= ΔV x {Csp/(Csp+Ccom)} × Gamp
・・・(2)
となる。
ダミースイッチを設けることで、サンプリング容量260−265の容量値が同一とみなせるため、上述の通りサンプリング容量の容量値をすべてCspとした。
期間「n+1行」、「n+2行」以降も同様の動作が繰り返される。
(重み付け加算モード)
次に、水平方向に重み付けをして加算をする動作モードについて説明する。
重み付け加算動作の説明に先立ち、重み付けをしない加算動作を説明する。図4(c)は、カラー光電変換装置において一般的に用いられる、ベイヤ配列のカラーフィルタの配列を示している。R、G、Bはそれぞれ赤、緑、青の色の光を透過させるフィルタである。このうち、n行目の配列を抜き出したものが図4(a)である。添え字は図の左側から数えた画素の位置を示し、( )で囲った数字は加算時の比率を示す。一般に、カラーフィルタを備えた光電変換装置において、行に沿った方向の加算を行う場合、同色の画素のうち隣接する画素からの信号を加算する。したがって、図4(a)においてG1とG3、R2とR4、G5とG7、R6とR8、・・・のような組み合わせで加算される。
仮に、2つの画素の信号を1:1の比率で加算すると、G1とG3とを加算した後の信号の空間的な重心の位置はG1とG3の中間であるG2で示す位置となる。同様に、R2とR4はR3に、G5とG7はG6に、R6とR8はR7に、それぞれ加算後の信号の空間的な重心位置が現れる。したがって、光電変換装置の外部の映像信号処理回路等によって合成した画像のn行目の信号は、図4(a)の右側に示すような配置となる。つまり、加算後のGとRの空間的な位置は等ピッチにはならず、GとRとが近寄った偏心配置となる。このような色重心の偏心は、空間周波数の高い被写体を撮影した際に偽信号の原因となりうる。
このような偏心を改善するための手法が重み付け加算である。図4(b)を用いて重み付け加算の概念を説明する。重み付け加算においては、隣り合って設けられた3個のR画素を1:2:1の比率で加算する。すなわち、R2、R4、R6の画素であれば、1:2:1の比率で加算する。これにより、加算後のR画素の空間的な重心位置はR4で示す位置になる。同様にして、R6、R8、R10の画素を1:2:1の比率で加算する。一方、G画素については従来と同様に1:1の比率で加算する。したがって、出力端子OUTの後段に設けられた映像信号処理回路によって得られるn行目の信号は、図4(b)の右側に示すような配置になり、G画素とR画素とが互いに等ピッチに配列される。これにより、重み付けを行わない加算動作の場合に生じる偽信号が発生しにくくなるという利点がある。
図5は、図1および2に示した光電変換装置における、重み付け加算モードの動作タイミングの例を示した図である。ここでは、図3で示した全画素読み出しモードにおける動作と異なる点を中心に説明する。全画素読み出しモードでは各列の備えたサンプリング容量のうち、260−261、262−263、および264−265を1組の容量として扱い、1画素からの信号を保持していた。これに対して、重み付け加算モードでは、サンプリング容量を二つに分割して利用する点で異なっている。 図2をもとに、信号処理部150a、150bの動作をそれぞれ説明する。図5に示したタイミング図において、信号ADDH2、ADDH3のタイミングが、全画素読み出しモードとは異なる。
まず、信号処理部150aにおいては、隣接する2列の加算平均信号を出力する。時刻t8にADDH1、ADDH3がハイレベルとなり、加算スイッチ271、272、273、275、276が導通状態になる。サンプリング容量260、261、262、263が並列に接続されるため、信号が加算される。
その後、時刻t9にADDH3はローレベルになり、サンプリング容量260、261、262、263で保持された信号の平均値が保持される。つまり、(m)列と(m+2)列は1:1の割合で加算される。その後、時刻t10においてCSEL(m)がハイレベルになると、式(2)で示した回路ゲインにより、水平信号線280へと伝達される。
次に信号処理部150bの動作を説明する。時刻t8でADDHb1、ADDHb3がハイレベルとなり、加算スイッチ270、272、273、274、276が導通状態になる。サンプリング容量261、262、263、264が並列に接続されるため、信号が加算される。
その後、時刻t9にADDH3はローレベルになり、サンプリング容量261、262、263、264で保持された信号の平均値が保持される。つまり、m+1列、(m+3)列、および(m+5)列の信号が1:2:1の割合で加算される。本例ではダミースイッチ251を設けることにより、サンプリング容量261、262、263、264の容量値が略同一になるよう調整をしているため、上述の1:2:1の割合での平均が精度よく実現できる。例えば、ダミースイッチ251がない場合には、スイッチの分寄生容量にずれが生じるため、スイッチ250の接合容量をΔCpとした場合、上述の加算において加算されるサンプリング容量の比は(C+ΔCp):(2xC+ΔCp):Cとなり、重み付けのバランスが1:2:1からくずれ、得られる画像の画質が低下する可能性がある。特に、素子の微細化などの理由からサンプリング容量260−265の値を大きく設定できない場合には、スイッチの接合容量を含めた寄生容量の影響が無視できなくなる。
その後、時刻t10においてCSEL(m+2)がハイレベルになると、式(2)で示した回路ゲインにより、水平信号線280へと伝達される。以後、同様の動作により順次読み出される。
以上の動作により、G画素とR画素と加算後の重心が互いに等ピッチに配列され、色重心のずれによる偽信号が発生しにくくなる。
上述の列選択スイッチ250とダミースイッチ251とは、ともにMOSトランジスタで構成することができる。このとき、両者のサイズを等しくすることで、第1および第2の容量に付随する容量値を一致させやすくなる。
なお、本実施例においては各列のサンプリング容量260−265の容量値の差を抑制する手段として、ダミースイッチを設けたが、ダミースイッチである必要はない。例えば、サンプリング262と263で容量値を(サンプリング容量262の容量値)<(サンプリング容量263の容量値)とすることで、読み出しスイッチ250の接合容量に相当する差分を抑制することもできる。すなわち、2つのサンプリング容量の容量値の差を低減するための容量調整部を設けることにより、重み付け加算を精度よく行うことができ、得られる画像から偽信号を低減することができる。容量調整部は、容量素子であってもよく、これ以降の実施例についても同様である。
また、本実施例では水平信号容量290を増加させないために、ダミースイッチのソース端子とドレイン端子という主電極間をショートさせたが、例えば図6に示すよう1列分の等価回路の通り、ソースを固定電位に接続するなど、水平信号容量290を増加させない構成になっていればよい。
(実施例2)
第1の実施例においては、画素に起因するノイズ成分を、信号処理部に含まれるクランプ容量を用いて低減するものを例示した。本発明に係る第2の実施例では画素に起因するノイズ成分を低減することに加えて、信号を増幅することができる構成を説明する。本実施例においても、第1の動作モードである全画素読み出しモードに加えて、第2の動作モードである重みつけ加算モードと、で動作できる光電変換装置を例にとって説明する。
図7は、本実施例に係る信号処理部のうち1列分の回路を抜き出したものである。列増幅部Ampは、クランプ容量710、演算増幅部760、短絡スイッチ740およびフィードバック容量750を含む。クランプ容量710の一方の端子Aは第1の垂直信号線130に接続されており、他方の端子Bは演算増幅部760の反転入力端子に接続されるとともに、フィードバック容量780の一方の端子、および短絡スイッチ740の一方と接続されている。フィードバック容量750の他方の端子は、短絡スイッチ740の他方の電極および演算増幅器760の出力端子と接続される。演算増幅器760の非反転入力端子には基準電圧VC0Rが供給される。また、短絡スイッチは信号PC0Rによって制御される。信号PC0Rは、例えば不図示のタイミング制御回路部から供給される。列増幅部Ampのフィードバック容量を複数設けて、その接続を切り替えることで列増幅部Ampの増幅率を可変とすることができる。また、後述するが、クランプ容量710は、ノイズ低減部としても作用する。
演算増幅器760の出力端子、すなわち列増幅部Ampの出力端子は、スイッチ700、701を介してそれぞれサンプリング容量260s、261sおよびサンプリング容量260n、261nが接続されている。サンプリング容量にはさらにそれぞれ、加算制御スイッチ270s、270s、272sおよび270n、271n、272nが接続されており、列選択スイッチ250を介してそれぞれ水平信号線280s、nに接続される。水平信号線280s、280nは容量値Ccomを持つ。水平信号線容量は第1の水平信号線が持つ容量を模式的に表している。水平信号線280sは、出力部で差動増幅器790の非反転転端子、水平信号線280nは差動増幅器790反転入力端子に接続される。
サンプリング容量260s、261sは、それぞれ実施例1で説明した第1と第2の容量に対応する。同様に、サンプリング容量260n、261nは、それぞれ実施例1で説明した第1と第2の容量に対応する。これらのサンプリング容量は、スイッチ272を介して他の列のサンプリング容量のうち、第2または第1の容量に接続される。
図1における信号処理部150aと150bの両者が実質的に同じ構成であるため、両者を説明する図面として、図7がある。図7においては、信号ADDH1、ADDH2、ADDH3と示している。以下で説明するタイミング図では、信号処理部150aであればADDH1a、ADDH2a、ADDH3aが与えられ、信号処理部150bであればADDH1b、ADDH2b、ADDH3bが与えられるものとする。これは、本実施例以降の実施例についても同様である。
(全画素読み出しモード)
次に図8を参照にしながら全画素読み出しモードの動作を説明する。なお、第1の垂直信号線130に接続される画素領域は、図1に示したものと同様であるとする。
時刻t1に信号SSelect(n)がハイレベルになると、n行目の画素に含まれる選択トランジスタが導通状態となり、増幅トランジスタがソースフォロワ動作を行うので、増幅トランジスタのゲート電極の電位、すなわちFD部106の電位に対応したレベルが第1の垂直信号線に現れる。
時刻t2から信号RESET(n)がパルス状にハイレベルになると、FD部106の電位が電源電圧VDDに応じてリセットされる。これによって第1の垂直信号線およびクランプ容量の端子Aには、FD部106をリセットしたことに対応するレベルが現れる。時刻t3から信号PC0Rがパルス状にハイレベルになると、短絡スイッチ740によって、演算増幅器760の反転入力端子と出力端子とが短絡される。このとき、演算増幅器760の反転入力端子は、演算増幅器760の仮想接地によりVC0Rの電位になる。つまり、フィードバック容量750の両端がVC0Rにリセットされ、クランプ容量710の端子BもVC0Rになる。
時刻t3には信号SHSおよびSHNもハイレベルとなるので、このときの演算増幅器の出力によってサンプリング容量がリセットされる。そして、信号PC0Rがローレベルになるとクランプ容量の端子Bは電気的浮遊状態となるので、クランプ容量には、FD部106をリセットしたことに対応するレベルと電圧VC0Rとの電圧差が保持される。
時刻t4から信号SHNがパルス状にハイレベルになると、このときの列増幅部Ampの出力がサンプリング容量260n、261nに保持される。サンプリング容量260n、261nに保持される信号には、列増幅部Ampに起因するオフセット成分が含まれる。
時刻t5から信号READ(n)がパルス状にハイレベルになると、フォトダイオード101に蓄積された電荷がFD部106へと転送される。転送された電荷量に応じてFD部106の電位が変化し、これに対応したレベルが第1の垂直信号線130に現れる。クランプ容量には、FD部106をリセットしたことに対応するレベルと電圧PC0Rとの電位差が保持されたままであるので、クランプ容量の端子Bの電位は、FD部106をリセットしたことに対応したレベルと、フォトダイオード101からFD部106へと電荷を転送したことに対応するレベルとの差分ΔVinだけ変化する。第1の実施形態と異なるのは、ΔVinに対してクランプ容量とフィードバック容量Cfの容量値の比で決まるゲインがかかることである。つまり、クランプ容量の容量値をC0、フィードバック容量Cfの容量値をCfとすると、列信号部Ampの出力AmpOUTは
AmpOUT = (C0/Cf)x ΔVin ・・・(3)
となる。FDをリセットしたことに対応するレベルには、リセットトランジスタ104をスイッチングしたことによるノイズ成分や、画素を構成するトランジスタに固有のノイズ成分を含む。したがって、クランプ容量を用いて上述の動作を行うことで画素に起因するノイズ成分を低減することができる。さらに、本実施形態によれば電圧変化ΔVinをC0/Cfのゲインで増幅することができる。
時刻t6から信号SHSがハイレベルになり、その後ローレベルになると式(3)で表される電圧をサンプリング容量に保持する。サンプリング容量に保持される信号には、列信号部Ampの出力オフセットが含まれる。
時刻t7に信号SSelect(n)がローレベルとなり、n行目の画素100に含まれる増幅トランジスタ103と第1の垂直信号線130とが非導通状態となることで、ソースフォロワ動作が終了する。言い換えると、n行目の画素が選択された状態が終了する。
時刻t7に加算制御スイッチがハイレベルとなり、各列のサンプリング容量が接続される。時刻t8から信号CSEL(m)、CSEL(m+1)が順次供給されると、サンプリング容量に保持された信号が水平信号線に出力される。サンプリング容量に保持される信号を水平信号線に出力するには、容量の比で決まるゲインがかかる。水平信号線の容量値をCComとすると、水平信号線に現れる電圧Vs1は
Vs1 = { Csp/(Csp+CCom)}x(C0/Cf)x ΔVin
・・・(4)
となる。同様に、サンプリングに保持された信号を水平信号線に出力されるとともに容量の比できまるゲインがかかる。水平信号線の容量値をCComとすると、水平信号線に現れる電圧Vn1は、
Vn1 = {Csp/(Csp+CCom)}x(C0/Cf)x VC0R
・・・(5)
となる。差動増幅器に入力されるVs1とVn1の差分が出力端子OUTから出力される。Vs1とVn1の両者には列増幅部Ampの出力オフセットが含まれるので、出力端子OUTからは列増幅部Ampの出力オフセットが低減された信号として出力される。
(重み付け加算モード)
次に重みつけ加算モードについて説明する。図9に重み付け加算モードの駆動パターンを示す。サンプリング容量への信号書き込みの動作は全画素読みモードと同様のため、省略する。ここでは、図8に示した全画素読み出しモードと異なる点を中心に説明する。全画素読み出しモードでは各列のサンプリング容量を二つを一つ容量として扱っていた。これに対して、重み付け加算モードでは、サンプリング容量をそれぞれ分割して利用する点で異なる。実施例1と同様に、全画素読みモードとの違いは加算平均期間の信号制御にある。サンプリング容量260s、261sより構成される信号経路、およびサンプリング容量260n、261nより構成される信号経路それぞれにおいて、実施例1の図5で示した動作と同様に加算平均動作、および信号出力を行う。
以上の本発明の構成によれば、読み出し回路でゲインをかけて出力することが可能になり、よりS/N比を向上させつつ、精度よく重み付け加算を実施することができる。
本実施例においても、ダミースイッチ251を設けることにより、サンプリング容量260s、261s、260n、261nの容量値が略同一になるよう調整をしている。尚、本実施例においても、サンプリング262と263で容量値を(サンプリング容量262の容量値)<(サンプリング容量263の容量値)とすることで、読み出しスイッチ250の接合容量に相当する差分を抑制することもできる。すなわち、2つのサンプリング容量の容量値の差を低減するための容量調整部を設けることにより、重み付け加算を精度よく行うことができ、得られる画像から偽信号を低減することができる。
また、本実施例では水平信号容量290を増加させないために、ダミースイッチのソース−ドレインをショートさせたが、例えば図6に示すよう1列分の等価回路の通り、ソースを固定電位に接続するなど、水平信号容量290を増加させない構成になっていればよい。
(第3実施例)
次に、本発明に係る第3実施例を説明する。第2の実施例と大きく異なるのは、信号処理部の構成である。本実施例に係る信号処理部は、第1及び第2の容量に加えて、第3の容量を有する。そして、第1の垂直信号線から供給された信号を前記第3の容量に信号を保持させる第1の工程と、第1の容量が保持した信号を信号線に出力する第2の工程が少なくとも一部を時間的に並行して行うことを特徴とする。本実施例によれば、垂直加算動作および、水平加算平均動作が可能となる。
図10に本実施例における信号処理部の1列分の構成を示す。実施例2と異なる点は第1の保持部である第3の容量1010s、1011s、1012s、および1010n、1011n、1012nはそれぞれ互いに並列に設けられている。第3の保持容量と第1および第2の容量との間にはバッファ部である差動増幅器1040を備えている。
第3の容量1010s、1011s、1012s、および1010n、1011n、1012nの組はそれぞれ、一方の端子が互いに短絡されるとともに差動増幅器1040の反転入力端子に接続される。第3の容量の他方の端子は、それぞれスイッチ1051s、1052s、1053sおよび1051n、1052n、1053nを介して、共通のノード1060s、1060nに接続されている。さらに、1070s、1070nを介して、差動増幅器1040の出力端子に接続されている。
サンプリング容量260s、261sは、それぞれ実施例1で説明した第1と第2の容量に対応する。同様に、サンプリング容量260n、261nは、それぞれ実施例1で説明した第1と第2の容量に対応する。これらのサンプリング容量は、スイッチ272を介して他の列のサンプリング容量のうち、第2または第1の容量に接続される。
前述の式(2)に示したように、第1および第2の容量は、信号線260に伝達される信号に対するゲインを低減させないために、小さくすることが困難であるが、第3の容量はこの限りではない。したがって、第3の容量の容量値を、第1の容量の容量値よりも小さくすることができる。
(全画素読み出しモード)
図11に、全画素読み出しモード時の動作を説明するためのタイミング図を示す。第1の垂直信号線130と接続される画素領域は、図1に示したものと同様であるとする。
時刻t1に信号SSelect(n)がハイレベルになると、n行目の画素に含まれる選択トランジスタが導通状態となり、ソースフォロワ動作を行うので、増幅トランジスタのゲート電極の電位すなわちFD部106の電位に対応したレベルが第1の垂直信号線に現れる。
時刻t2から信号RESET(n)がパルス状にハイレベルになると、FD部106の電位が電源電圧VDDに応じてリセットされる。これによって第1の垂直信号線およびクランプ容量の端子Aには、FD部106をリセットしたことに対応するレベルが現れる。
時刻t3から信号PC0Rがパルス上にハイレベルになると、短絡スイッチ740によって、演算増幅器760の反転入力端子と出力端子とが短絡される。このとき、演算増幅器760の反転入力端子は、演算増幅器760の仮想接地によりVC0Rの電位になる。つまり、フィードバック容量750の両端がVC0Rにリセットされ、クランプ容量710の端子BもVC0Rになる。時刻t3には信号SHS1、SHS2、SHS3およびSHN1、SHN2、SHN3もハイレベルとなるので、このときの演算増幅器の出力によってサンプリング容量はリセットされる。そして、信号PC0Rがローレベルになるとクランプ容量の端子Bは電気的浮遊状態となるので、クランプ容量には、FD部106をリセットしたことに対応するレベルと電圧VC0Rとの電圧差が保持される。
時刻t4から信号SHN1がパルス状にハイレベルになると、このときの列増幅部Ampの出力が第1の保持容量1010n、1011n、1012nに保持される。第1の保持容量1010n、1011n、1012nに保持される信号には、列増幅部Ampの出力オフセットが含まれる。時刻t5から信号READ(n)がパルス状にハイレベルになると、フォトダイオード101に蓄積された電荷がFD部106へと転送される。転送された電荷量に応じてFD部106の電位が変化し、これに対応したレベルが第1の垂直信号線130に現れる。クランプ容量には、FD部106をリセットしたことに対応するレベルと電圧PC0Rとの電位差が保持されたままであるので、クランプ容量の端子Bの電位は、FD部106をリセットしたことに対応したレベルと、フォトダイオード101からFD部106へと電荷を転送したことに対応するレベルとの差分ΔVinだけ変化する。実施例2で説明したとおり、
式(3)で表すことができる。
時刻t6から信号SHS1がハイレベルになり、その後ローレベルになると式(3)で表される電圧を第1の保持容量1010sに保持する。第1の保持容量1010sに保持される信号には、列信号部Ampの出力オフセットが含まれる。
時刻t7に信号SSelect(n)がローレベルとなり、n行目の画素100に含まれる増幅トランジスタ103と第1の垂直信号線130とが非導通状態となることで、ソースフォロワ動作が終了する。
一方、時刻t1において信号FBがハイレベルになり、スイッチ1060s、1060nが導通状態になる。これにより、差動増幅器1040の反転入力端子と接続された第1の保持容量の電極の電位はVClAmpは差動増幅器1040の出力オフセットが重畳されたレベルとなる。
時刻t8において信号FBがローレベルになり、信号FBOがハイレベルになる。その後時刻t9にて信号VADD1が、時刻t10にて信号SW2がハイレベルになる、差動増幅器1040の出力端子と第2の保持容量が電気的に接続された状態となる。この動作によって、差動増幅器1040の出力オフセットが除去された信号が差動増幅器1040の出力端子に現れる。時刻t12以降は実施例2と同様に、第2の保持容量から水平信号線へ信号が読み出される。
一方で、時刻t15からは「n+1」行目の読出しが開始する。時刻t1から時刻t7で示した「n行」を行うことにより、「n行」目の信号を第2の保持容量から水平信号線へ読みだす動作の一部を、「n+1行」目の信号を第1の保持容量に保持する動作が並行して行われる。
本実施例によれば、画素からの信号を第1の保持容量に保持させる第1の工程、および第2の保持容量に保持された信号を水平出力線に出力する第2の工程の少なくとも一部が重複して行われることで、信号出力ない期間が時刻t8から時刻t13までとなり、画素信号の読出し速度を向上させることができる。
(重み付け加算モード)
次に図12のタイミング図を参照しながら、垂直3行加算モード、および重み付け加算モードについて説明する。
時刻t1に信号Selectがハイレベルになると、n行目の画素に含まれる選択トランジスタが導通状態となり、増幅トランジスタがソースフォロワ動作を行うので、増幅トランジスタのゲート電極の電位すなわちFD部106の電位に対応したレベルが第1の垂直信号線に現れる。
時刻t2から信号RESETがパルス状にハイレベルになると、FD部106の電位が電源電圧VDDに応じてリセットされる。これによって第1の垂直信号線およびクランプ容量の端子Aには、FD部106をリセットしたことに対応するレベルが現れる。
時刻t3から信号PC0Rがパルス上にハイレベルになると、短絡スイッチ740によって、演算増幅器760の反転入力端子と出力端子とが短絡される。このとき、演算増幅器760の反転入力端子は、演算増幅器760の仮想接地によりVC0Rの電位になる。つまり、フィードバック容量750の両端がVC0Rにリセットされ、クランプ容量710の端子BもVC0Rになる。時刻t3には信号SHS1、SHS2、SHS3およびSHN1、SHN2、SHN3もハイレベルとなるので、このときの演算増幅器の出力によってサンプリング容量はリセットされる。そして、信号PC0Rがローレベルになるとクランプ容量の端子Bは電気的浮遊状態となるので、クランプ容量には、FD106をリセットしたことに対応するレベルと電圧VC0Rとの電圧差が保持される。
時刻t4から信号SHN1がパルス状にハイレベルになると、全画素読み出しモードで記載の通り、このときの列増幅部Ampの出力が第1の保持容量1010nに保持される。時刻t5から信号READ(n)がパルス状にハイレベルになると、フォトダイオード101に蓄積された電荷がFD106へと転送される。転送された電荷量に応じてFD106の電位が変化し、これに対応したレベルが第1の垂直信号線130に現れる。クランプ容量には、FD106をリセットしたことに対応するレベルと電圧PC0Rとの電位差が保持されたままであるので、クランプ容量の端子Bの電位は、FD106をリセットしたことに対応したレベルと、フォトダイオード101からFD106へと電荷を転送したことに対応するレベルとの差分ΔVinだけ変化する。実施例2で述べたとおり、列増幅部の出力は式(3)で表される。
時刻t6から信号SHS1がハイレベルになり、その後ローレベルになると式(3)で表される電圧をサンプリング容量1010sに保持する。
時刻t7にSSelectがパルス状にハイレベルになり、上述の動作を繰り返すことにより、サンプリング容量1011n、1011sにはそれぞれ、n+1行目の画素のリセット信号および光信号が保持される。
時刻t8からは同様にn+2行目のリセット信号および、光信号が第1の保持容量1012n、1012sに保持される。
時刻t9において、信号FBがローレベルになり、信号FB0がハイレベルになる。
その後、時刻t10にて信号VADD1、VADD2、VADD3がハイレベルになると第1の保持容量の電極が電気的に保持されるので、第1の保持容量1010s、1011s、1012sおよび、1010n、1011n、1012nで保持されている3行分の信号がそれぞれ平均化される。また時刻t11にて、SW2がハイレベルになることで、第2の保持容量、260s、261sにはそれぞれ第1の保持容量1010s、1011s、1012sの平均化された信号が、260n、261nにはそれぞれ第1の保持容量1010n、1011n、1012nの平均化された信号が保持される。
また、時刻t12では水平方向の画素信号の加算平均、時刻t13からは水平出力線への信号の読出しをそれぞれ実施例1で述べたものと同様の動作で実施する。一方、全画読出しモードと同様に、時刻t14では画素からの信号を第一の保持容量に保持させる第1の工程、および第2の保持容量に保持された信号を水平出力線に出力する第2の工程の少なくとも一部を時間的に並行して実施している。
本実施例においても、ダミースイッチ251を設けることにより、サンプリング容量260s、261s、260n、261nの容量値が略同一になるよう調整をしている。尚、本実施例においても、サンプリング262と263で容量値を(サンプリング容量262の容量値)<(サンプリング容量263の容量値)とすることで、読み出しスイッチ250の接合容量に相当する差分を抑制することもできる。すなわち、2つのサンプリング容量の容量値の差を低減するための容量調整部を設けることにより、重み付け加算を精度よく行うことができ、得られる画像から偽信号を低減することができる。
また、本実施例では水平信号容量290を増加させないために、ダミースイッチのソース−ドレインをショートさせたが、例えば図6に示すよう1列分の等価回路の通り、ソースを固定電位に接続するなど、水平信号容量290を増加させない構成になっていればよい。
本実施例によれば、垂直方向の平均化を第1の保持容量で行っており、ジャギーを抑制することができる。画素からの信号を第1の保持容量に保持させる第一の工程および、第2の保持容量に保持された信号を水平出力線に出力する第3の工程の少なくとも一部を並行して行う。これにより、同一列の複数の画素からの信号を加算しつつ信号を高速に読み出すことができるので、ジャギーを抑制しつつフレームレートを向上させることが可能となる。
(実施例4)
次に、本実施形態に係る撮像システムの概略を、図13を用いて説明する。
撮像システム800は、例えば、光学部810、撮像装置1000、映像信号処理回路部830、記録・通信部840、タイミング制御回路部850、システムコントロール回路部860、および再生・表示部870を含む。撮像装置1000は、先述の各実施例で説明した光電変換装置が用いられる。ここでは、図1に示したタイミングジェネレータ106が、撮像装置ではなく、タイミング制御回路部850に含まれる場合を例示している。
レンズなどの光学系である光学部は810、被写体からの光を撮像装置1000の、複数の画素が2次元状に配列された画素アレイに結像させ、被写体の像を形成する。撮像装置1000は、タイミング制御回路部850からの信号に基づくタイミングで、画素部に結像された光に応じた信号を出力する。
撮像装置1000から出力された信号は、映像信号処理部である映像信号処理回路部830に入力され、映像信号処理回路部830が、プログラムなどによって定められた方法に従って、入力された電気信号に対してAD変換などの処理を行う。映像信号処理回路部での処理によって得られた信号は画像データとして記録・通信部840に送られる。記録・通信部840は、画像を形成するための信号を再生・表示部870に送り、再生・表示部870に動画や静止画像が再生・表示させる。記録通信部は、また、映像信号処理回路部830からの信号を受けて、システムコントロール回路部860とも通信を行うほか、不図示の記録媒体に、画像を形成するための信号を記録する動作も行う。
システムコントロール回路部860は、撮像システムの動作を統括的に制御するものであり、光学部810、タイミング制御回路部850、記録・通信部840、および再生・表示部870の駆動を制御する。また、システムコントロール回路部860は、例えば記録媒体である不図示の記憶装置を備え、ここに撮像システムの動作を制御するのに必要なプログラムなどが記録される。また、システムコントロール回路部860は、例えばユーザの操作に応じて駆動モードを切り替える信号を撮像システム内で供給する。具体的な例としては、読み出す行やリセットする行の変更、電子ズームに伴う画角の変更や、電子防振に伴う画角のずらしなどである。
タイミング制御回路部850は、制御部であるシステムコントロール回路部860による制御に基づいて撮像装置1000および映像信号処理回路部830の駆動タイミングを制御する。
映像信号処理回路部830は、先述の各実施例で説明した補正係数を保持し、撮像装置1000から出力された信号に対して補正処理を行う。
以上で説明した各実施例は、本発明を説明するための例示的なものであって、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲で様々に変更あるいは組み合わせることが可能である。
110 画素領域
150a、150b 信号処理部
251 ダミースイッチ

Claims (14)

  1. 行列状に設けられた複数の画素と、
    各々が、前記行列の列に対応して設けられた複数の信号処理部と、
    信号線と、
    を有する光電変換装置であって、
    前記複数の信号処理部の各々は、
    対応する前記列の画素に基づく信号を保持する第1の容量と第2の容量と、
    前記第1の容量と前記信号線とを電気的に接続するスイッチと、
    前記第2の容量と電気的に接続された容量調整部を有し、
    一の前記信号処理部が有する前記第1の容量および別の一の前記信号処理部が有する第2の容量を互いに並列に電気的に接続可能な接続部と、を備え、
    前記容量調整部は、一方の主電極が前記第2の容量と電気的に接続され、他方の主電極が電源または前記一方の主電極に電気的に接続されたMOSトランジスタを有することを特徴とする光電変換装置。
  2. 前記スイッチはMOSトランジスタであって、当該MOSトランジスタは、前記容量調整部が有する前記MOSトランジスタと等しいサイズであることを特徴とする請求項に記載の光電変換装置。
  3. 前記容量調整部が有する容量値は、前記スイッチに付随する容量値と等しいことを特徴とする請求項1または2に記載の光電変換装置。
  4. 前記第1の容量と前記第2の容量とは、互いに等しい容量値を有することを特徴とする請求項1からのいずれかに記載の光電変換装置。
  5. 前記信号処理部は、前記画素に基づく信号を増幅する増幅器をさらに有することを特徴とする請求項1からのいずれかに記載の光電変換装置。
  6. 前記増幅器は、増幅率が可変であることを特徴とする請求項に記載の光電変換装置。
  7. 前記信号処理部は、前記画素に基づく信号からノイズを低減するノイズ低減部をさらに有することを特徴とする請求項1からのいずれかに記載の光電変換装置。
  8. 前記信号処理部は、
    前記画素に基づく信号を保持する第3の容量と、
    前記第3の容量が保持した信号を前記第1または第2の容量に伝達するバッファ部と、をさらに有することを特徴とする請求項1からのいずれかに記載の光電変換装置。
  9. 前記第3の容量の容量値は前記第1の容量の容量値よりも小さい
    ことを特徴とする請求項に記載の光電変換装置。
  10. 前記複数の列の各々は複数の前記画素を含み、
    一の前記画素に基づく信号を、前記第1の容量から前記信号線に伝達する動作と、
    別の前記画素に基づく信号を、前記第3の容量に保持させる動作と、の少なくとも一部を並行して行う
    ことを特徴とする請求項またはに記載の光電変換装置。
  11. 前記接続部により、異なる列の複数の前記画素に基づく信号を加算する第1の動作モードと、
    前記接続部により、異なる列の複数の前記画素に基づく信号を加算しない第2の動作モードと、で動作すること
    を特徴とする請求項1から10のいずれかに記載の光電変換装置。
  12. 前記第1の動作モードにおいて、前記信号処理部は、対応する前記列の複数の前記画素に基づく画素信号をさらに加算することを特徴とする請求項11に記載の光電変換装置。
  13. 行列状に設けられた複数の画素と、
    各々が、前記行列の列に対応して設けられた複数の信号処理部と、
    信号線と、
    を有する光電変換装置であって、
    前記複数の信号処理部の各々は、
    対応する前記列の画素に基づく信号を保持する第1の容量と第2の容量と、
    前記第1の容量と前記信号線とを電気的に接続するスイッチと、
    前記第2の容量と電気的に接続されたMOSトランジスタと、
    一の前記信号処理部が有する前記第1の容量および別の一の前記信号処理部が有する第2の容量を互いに並列に電気的に接続可能な接続部と、を備え、
    前記MOSトランジスタのソース端子およびドレイン端子が短絡されていること、
    を特徴とする光電変換装置。
  14. 請求項1から13のいずれかに記載の光電変換装置と、
    前記複数の画素に像を形成する光学系と、
    前記光電変換装置から出力された信号を処理して画像データを生成する映像信号処理部と、
    をさらに備えたこと
    を特徴とする撮像システム。
JP2012018413A 2012-01-31 2012-01-31 光電変換装置および撮像システム Expired - Fee Related JP5967955B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012018413A JP5967955B2 (ja) 2012-01-31 2012-01-31 光電変換装置および撮像システム
US13/753,182 US9305946B2 (en) 2012-01-31 2013-01-29 Photoelectric conversion apparatus that maintains image quality and image pickup system
CN201310043409.7A CN103227906B (zh) 2012-01-31 2013-01-31 光电转换装置和图像拾取系统

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012018413A JP5967955B2 (ja) 2012-01-31 2012-01-31 光電変換装置および撮像システム

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2013157889A JP2013157889A (ja) 2013-08-15
JP2013157889A5 JP2013157889A5 (ja) 2015-02-26
JP5967955B2 true JP5967955B2 (ja) 2016-08-10

Family

ID=48838146

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012018413A Expired - Fee Related JP5967955B2 (ja) 2012-01-31 2012-01-31 光電変換装置および撮像システム

Country Status (3)

Country Link
US (1) US9305946B2 (ja)
JP (1) JP5967955B2 (ja)
CN (1) CN103227906B (ja)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6239975B2 (ja) * 2013-12-27 2017-11-29 キヤノン株式会社 固体撮像装置及びそれを用いた撮像システム
JP6368128B2 (ja) * 2014-04-10 2018-08-01 キヤノン株式会社 撮像素子及び撮像装置
JP6562675B2 (ja) * 2015-03-26 2019-08-21 キヤノン株式会社 光電変換装置、撮像システム、光電変換装置の駆動方法
JP6527035B2 (ja) * 2015-06-30 2019-06-05 浜松ホトニクス株式会社 固体撮像装置
CN107277396B (zh) * 2016-03-30 2021-02-26 松下知识产权经营株式会社 摄像装置
JP7353752B2 (ja) * 2018-12-06 2023-10-02 キヤノン株式会社 光電変換装置及び撮像システム
US11082643B2 (en) * 2019-11-20 2021-08-03 Waymo Llc Systems and methods for binning light detectors
JP2022138501A (ja) * 2021-03-10 2022-09-26 キヤノン株式会社 光電変換装置及び光電変換装置の制御方法

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3437208B2 (ja) * 1993-03-15 2003-08-18 キヤノン株式会社 信号処理装置
US20050224842A1 (en) 2002-06-12 2005-10-13 Takayuki Toyama Solid-state imaging device, method for driving dolid-state imaging device, imaging method, and imager
JP2005277709A (ja) * 2004-03-24 2005-10-06 Renesas Technology Corp 固体撮像装置
JP4290066B2 (ja) * 2004-05-20 2009-07-01 キヤノン株式会社 固体撮像装置および撮像システム
JP4349310B2 (ja) * 2004-12-27 2009-10-21 ソニー株式会社 固体撮像素子の駆動方法、固体撮像素子および撮像装置
JP4416668B2 (ja) 2005-01-14 2010-02-17 キヤノン株式会社 固体撮像装置、その制御方法及びカメラ
JP4921911B2 (ja) * 2006-09-29 2012-04-25 オリンパス株式会社 固体撮像装置
JP2009141631A (ja) * 2007-12-05 2009-06-25 Canon Inc 光電変換装置及び撮像装置
JP5151507B2 (ja) * 2008-01-29 2013-02-27 ソニー株式会社 固体撮像素子、固体撮像素子の信号読み出し方法および撮像装置
JP5173503B2 (ja) 2008-03-14 2013-04-03 キヤノン株式会社 撮像装置及び撮像システム
JP5161676B2 (ja) 2008-07-07 2013-03-13 キヤノン株式会社 撮像装置及び撮像システム
JP5288955B2 (ja) * 2008-09-09 2013-09-11 キヤノン株式会社 固体撮像装置、撮像システム、および固体撮像装置の駆動方法
JP4891308B2 (ja) 2008-12-17 2012-03-07 キヤノン株式会社 固体撮像装置及び固体撮像装置を用いた撮像システム

Also Published As

Publication number Publication date
CN103227906A (zh) 2013-07-31
JP2013157889A (ja) 2013-08-15
US20130193310A1 (en) 2013-08-01
US9305946B2 (en) 2016-04-05
CN103227906B (zh) 2016-04-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5967955B2 (ja) 光電変換装置および撮像システム
JP5288955B2 (ja) 固体撮像装置、撮像システム、および固体撮像装置の駆動方法
US8913166B2 (en) Solid-state imaging apparatus
JP6253272B2 (ja) 撮像装置、撮像システム、信号処理方法、プログラム、および、記憶媒体
US8289431B2 (en) Image sensing device and image sensing system
JP6011546B2 (ja) 撮像素子および撮像装置
US9313433B2 (en) Solid-state imaging device and electronic camera
JP4659868B2 (ja) 固体撮像装置および撮像システム
JP7116599B2 (ja) 撮像装置、半導体装置及びカメラ
JP2009141631A (ja) 光電変換装置及び撮像装置
JP6445866B2 (ja) 撮像装置、撮像システム、および撮像装置の駆動方法
CN102843526A (zh) 摄像设备及其控制方法
JP5744543B2 (ja) 撮像装置、撮像システム、および撮像装置の駆動方法
JP6634035B2 (ja) 撮像素子及び撮像装置
US9001247B2 (en) Imaging system and method for driving imaging system
JP2017011346A (ja) 撮像装置及び撮像システム
JP2009225301A (ja) 光電変換装置の駆動方法
JP5284521B2 (ja) 光電変換装置、撮像システム、および、光電変換装置の駆動方法
JP6060500B2 (ja) 撮像素子
JP5188641B2 (ja) 光電変換装置及び撮像装置
JP2014217012A (ja) 固体撮像素子及び撮像装置

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20150108

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20150108

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20160122

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160202

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160309

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20160607

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20160705

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 5967955

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees