JP5956497B2 - 機械の熱変位補正装置 - Google Patents

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Description

本発明は、工作機械の熱変位補正装置に関し、特に主軸部熱変位の補正量の算出方法に関する。
工作機械において、送りねじや主軸はモータによって駆動されることからモータの発熱、軸受の回転による摩擦熱、送りねじのボールネジとボールナットの結合部の摩擦熱によって、主軸や送りねじは膨張し機械位置が変位する。すなわち、位置決めすべきワークと工具の相対位置関係にずれが生じる。この熱による機械位置の変動は、精度の高い加工を行う場合に問題となる。
この変位を除去するために、さまざまな要素から変位量を推定する方法が従来公知である。特許文献1では、機械の三次元モデルを想定し、機械の動作および温度から熱変位補正量を推定する方法が開示されている。この方法は微小区間の温度変化量を推定し、推定した温度変化量から熱変位補正量を推定するため、高精度の補正が可能である。また、特許文献2では、コラムの複数個所の温度の計測結果を基に、温度分布関数を算出し主軸部の熱変位を算出する方法が開示されている。
特許第3887197号公報 特開2006−281420号公報
背景技術で説明した特許文献1の方法では計算量が多いため、計算負荷が大きく、刻一刻と変化する熱変位補正量を推定するのには向いていない。また、特許文献2の方法では、温度センサを用いることで、工作機械のコストがアップし、さらに、温度センサが故障した場合、正確な補正ができなくなる。
そこで本発明の目的は、主軸部を二次元モデルとして捉えることで、計算にかかる負荷が減少し、刻一刻と変化する補正量をより細かいスパンで計算できる機械の熱変位補正装置を提供することである。
本願の請求項1に係る発明は、主軸を含む主軸部の熱変位を補正する工作機械の熱変位補正装置において、前記主軸部を熱的に対称とする平面における二次元モデルとして捉え、二次元モデルを分割し区間を設定し、それぞれの区間に対応する線膨張係数と発熱係数と放熱係数と隣接する各区間との間の熱伝導係数を保存するメモリと、前記メモリに保存されたそれぞれの区間に対応する発熱係数と放熱係数と隣接する各区間との間の熱伝導係数とから、各区間の温度を推定する温度推定手段と、前記温度推定手段により推定した温度と、前記メモリに保存されたそれぞれの区間に対応する線膨張係数から補正量を推定する補正量推定手段と、送り軸の指令位置への移動において、送り軸の位置指令値に対して該補正量を加算することによって補正を行う熱変位補正手段とを有することを特徴とする工作機械の熱変位補正装置である
請求項2に係る発明は、主軸を含む主軸部の熱変位を補正する工作機械の熱変位補正装置において、前記主軸部を熱的に対称とする平面における二次元モデルとして捉え、二次元モデルを分割し区間を設定し、それぞれの区間に対応する線膨張係数と発熱係数と放熱係数と隣接する各区間との間の熱伝導係数を保存するメモリと、主軸の回転数を計測する主軸回転数計測手段を持ち、前記メモリに保存されたそれぞれの区間に対応する発熱係数と放熱係数と隣接する各区間との間の熱伝導係数と、前記主軸回転数計測手段によって得られる主軸回転数とから各区間の温度を推定する温度推定手段と、前記温度推定手段により推定した温度と、前記メモリに保存されたそれぞれの区間に対応する線膨張係数から補正量を推定する補正量推定手段と、送り軸の指令位置への移動において、送り軸の位置指令値に対して該補正量を加算することによって補正を行う熱変位補正手段と、を有することを特徴とする工作機械の熱変位補正装置である。
請求項3に係る発明は、主軸を含む主軸部の熱変位を補正する工作機械の熱変位補正装置において、前記主軸部を熱的に対称とする平面における二次元モデルとして捉え、二次元モデルを分割し区間を設定し、それぞれの区間に対応する線膨張係数と発熱係数と放熱係数と隣接する各区間との間の熱伝導係数を保存するメモリと、前記主軸部の各区間の内、少なくとも一箇所の温度を測定する温度測定手段を持ち、前記メモリに保存されたそれぞれの区間に対応する発熱係数と放熱係数と隣接する各区間との間の熱伝導係数と、前記温度測定手段によって得られる主軸部の温度とから、各区間の温度を推定する温度推定手段と、前記温度推定手段により推定した温度と、前記メモリに保存されたそれぞれの区間に対応する線膨張係数から補正量を推定する補正量推定手段と、送り軸の指令位置への移動において、送り軸の位置指令値に対して該補正量を加算することによって補正を行う熱変位補正手段と、を有することを特徴とする工作機械の熱変位補正装置である。
請求項4に係る発明は、主軸を含む主軸部の熱変位を補正する工作機械の熱変位補正装置において、前記主軸部を熱的に対称とする平面における二次元モデルとして捉え、二次元モデルを分割し区間を設定し、それぞれの区間に対応する線膨張係数と発熱係数と放熱係数と隣接する各区間との間の熱伝導係数を保存するメモリと、主軸の回転数を計測する主軸回転数計測手段と、前記主軸部の各区間の内、少なくとも一箇所の温度を測定する温度測定手段とを持ち、前記メモリに保存されたそれぞれの区間に対応する発熱係数と放熱係数と隣接する各区間との間の熱伝導係数と、前記主軸回転数計測手段によって得られる主軸回転数と、前記温度測定手段によって得られる各区間の温度とから、各区間の温度を推定する温度推定手段と、前記温度推定手段により推定した温度と、前記メモリに保存されたそれぞれの区間に対応する線膨張係数から補正量を推定する補正量推定手段と、送り軸の指令位置への移動において、送り軸の位置指令値に対して該補正量を加算することによって補正を行う熱変位補正手段と、を有することを特徴とする工作機械の熱変位補正装置である。
本発明により、主軸部を二次元モデルとして捉えることで、計算にかかる負荷が減少し、刻一刻と変化する補正量をより細かいスパンで計算できる機械の熱変位補正装置を提供できる。
工作機械の要部を示す図である。 主軸部を複数の区分に分割することを示す図である。 熱変位補正方法を実行する処理のフローチャートである。 熱伝導のイメージを示す図である。 時刻Nにおける区間Iの温度推定方法を実行する処理のフローチャートである。 主軸部の熱変形を模式的に示す図である。 コラム部の熱変形を模式的に示す図である。 区間Iを模式的に示す図である。 時刻NにおけるY軸方向およびZ軸方向の熱変位量推定方法を実行する処理のフローチャートである。 工作機械を制御する数値制御装置の要部を示すブロック図である。
以下、本発明の実施形態を図面と共に説明する。
図1は工作機械の要部を示す図である。工作機械は図示しないベッド上に、コラム80とサドル87が固定されている。図示しないベッドに立設したコラム80の側方には主軸取付台81が取り付けられている。主軸取付台81にはスピンドルモータ82を備えた主軸83が取り付けられている。主軸83の工具装着部には工具84が保持される。サドル87上のテーブル86にはワーク85が固定されている。主軸83に保持された工具84によってワーク85が加工される。
背景技術で説明したように、工作機械において、可動部の送りねじや主軸はモータによって駆動されることからモータの発熱、軸受の回転による摩擦熱、送りねじのボールネジとボールナットの結合部の摩擦熱によって、主軸や送りねじは膨張し機械位置が変位する。
ここで、本発明の熱変位の補正方法を説明する。
主軸83の回転軸と主軸83の回転軸と直交する軸を含む面に対して、構造的かつ熱的に対称となる主軸83を持つ工作機械について考える。この場合、対称面に対して直交する軸の方向に均等に熱が伝わるため、熱変位も対称面に対して対称となる。そのため、主軸83の回転軸に着目すると、対称面に対して垂直な軸方向においては、互いに打ち消しあい、熱変位がないものとして考えることができる。
そこで、主軸部を対称面に対して垂直な軸を排除した二次元のモデルとして扱うことで、主軸部の補正量の計算をより単純化することができる。また、各区間の温度変化はスピンドルモータの温度、放熱と、機械の加減速に起因する発熱と、隣接する区間との間の熱伝導を考慮して算出する。これらの厳選した要素から補正量を推定することができる。
以下では、Z軸に平行な主軸の回転軸とY軸を含む面を対称面とし、対称面に対して対称な構造をとる主軸部を持つ縦型マシニングセンタの場合について説明する。
1.主軸部のモデルの設定
主軸を含む主軸部を、図2に示すようなY−Z平面上の二次元のモデルとして考える。このモデルを12箇所の区間に分割し、各区間の温度を記憶する領域を制御装置(図10参照)のメモリ上に確保する(時刻Nにおける区間Iの温度をTINとする)。なお、この例では、図2に示すように、区間1〜区間12の12箇所の区間に分割しているが、区間の数や大きさは問わない。また、図2には主軸部の構成として、主軸83、スピンドルモータ82、主軸取付台81、コラム80を示したが、この構成に限らない。ここで、設定した区間の数や形や大きさに従って適切な放熱係数と、発熱係数と、隣接する区間との間の熱伝導係数を設定する。これらの係数を、制御装置のメモリに保存する。コールドスタート時の各区間の温度TI0をメモリに保存する。
図3は熱変位補正方法を実行する処理のフローチャートである。
(ステップsa01)
主軸部の二次元モデルを幾つかに分割する。
(ステップsa02)
各区間の初期温度を設定する。
(ステップsa03)
時刻Nにおける温度を推定する。
(ステップsa04)
主軸部の補正量を推定する。
(ステップsa05)
主軸部の補正量を更新する。
(ステップsa06)
変位を推定した時刻を保存する。
(ステップsa07)
処理の終了か否かを判断する。
(ステップsa08)
一致期間時間が経過したか否か判断し、一定時間が経過するとステップsa03へ移行する。
2.各区間の温度の初期値を保存
各区間の温度の初期値を算出し、制御装置のメモリに保存する。
・最後に温度分布を算出した時の時刻と、そのときの各区間の温度を制御装置のメモリから読込む。
・現在の時刻を読み込む。
・3.に記載する内容の温度分布推定方法を用いて、最後に温度分布を算出した時刻から一定間隔ごとに温度分布を推定し、現在の時刻における温度分布を推定する。
・計算結果を制御装置のメモリに保存する。
3.各区間の温度を推定
図4は、分割したそれぞれの区間における発熱と放熱及び熱伝導について模式的に表している。この図で示した3つの要素(各区間の放熱と、各区間の発熱と、隣接する区間との間の熱伝導に起因する温度変化量)をそれぞれ推定し、現在の時刻における温度を推定する。
次に、図5に示されるフローチャートに従って、時刻Nにおける区間Iの温度TINを推定する方法を説明する。
(ステップsb01)
時刻N−1に推定した区間Iの温度TI(N−1)と、区間Iに隣接する区間iの温度Ti(N−1)を、制御装置のメモリから呼び出す。
(ステップsb02)
以下の式に従って、時刻Nにおける隣接区間iとの熱伝導に起因する温度変化量ΔT(i−I)Nを推定する。
ΔT(i−I)N=Ci−I×(Ti(N−1)−TI(N−1)
i−I:区間iと区間Iの熱伝導係数
(ステップsb03)
次に機械動作に起因する区間Iの温度変化量を推定するために、時刻Nにおける機械動作状態の主軸回転数Sとスピンドルモータの負荷Lmと、主軸部の移動速度vを取得する。
(ステップsb04)
時刻Nにおける機械動作に起因する温度変化量ΔTMNを推定する。以下では、温度変化量ΔTとして、ΔTSPとΔTLMとΔTが機械動作に起因する温度変化量として計算されている。
・主軸回転数Sから、時刻Nにおける主軸回転に起因する温度変化量ΔTSPNを、以下の式に従って推定する。
ΔTSPN=ASPI×S+B2I×S×TI(N−1)
SPI:区間Iにおける主軸回転に起因する発熱係数
2I:区間Iにおける主軸回転に起因する放熱係数
・スピンドルモータの負荷Lmから、スピンドルモータの動作に起因する温度変化量ΔTLMNは、以下の式にしたがって推定する。
ΔTLMN=ALMI×Lm
LMI:区間Iにおけるスピンドルモータの動作に起因する発熱係数
・軸移動速度vから、主軸部の移動に起因する温度変化量ΔTVNを推定する。
ΔTVN=AV×v+BV×v×TI(N−1)
V:軸移動に起因する主軸部の発熱係数
V:軸移動に起因する主軸部の放熱係数
・時刻Nにおける機械動作に起因する温度変化量ΔTMNを、以下の式にしたがって推定する。
ΔTMN=ΔTSPN+ΔTLMN+ΔTvN
・ここでは、主軸部の温度変化に影響を与える機械動作の例として、主軸回転と、スピンドルモータの動作と、主軸部の移動を挙げたが、機械の構成によってこれらの項目は増減する。
・また、これらの式は軸受の種類や主軸の形状によって、変わる場合がある。
(ステップsb05)
以下の式に従って、時刻Nにおける放熱に起因する温度変化量ΔTRNを推定する。
ΔTRN=B1I×TI(N−1)
1I:区間Iにおける放熱係数
(ステップsb06)
上記で算出した温度変化量から、時刻Nにおける区間Iの温度TINを推定する。
IN=TI(N−1)+ΔTMN+ΔTRN+ΣΔT(i−I)N
(ステップsb07)
算出した温度TINを、制御装置のメモリに保存し、処理を終了する。
4.温度からY軸方向及びZ軸方向の補正量を推定
図6はY−Z平面における主軸部のモデルであり、機械動作時における、主軸部のY軸方向とZ軸方向の熱変位について模式的に表している。また、図7は、機械動作時におけるコラム部の熱変形について模式的に表している。加えて、図8は、区間Iを模式的に表している。
上述した3.で推定した各区間の温度を用いて、主軸取付台上部のY軸方向の熱変位量δと、主軸取付台下部のY軸方向の熱変位量δと、主軸のZ軸方向の熱変位量δSPと、コラムの主軸取付台に近い箇所の熱変位量δCOL1と、コラムの主軸取付台から離れた箇所の熱変位量δCOL2と、主軸部の傾きθSPと、コラムの傾きθCOLと、Y軸方向の補正量δと、Z軸方向の補正量δを推定する。
図9は時刻NにおけるY軸方向およびZ軸方向の補正量推定方法を実行する処理のフローチャートである。以下、各ステップに従って説明する。
(ステップsc01)
時刻Nに推定した温度を制御装置のメモリから読み込む。つまり、上述した3.で推定した各区間の主軸部の温度を、制御装置のメモリから読み込む。
(ステップsc02)
読込んだ温度をもとに、主軸取付台とコラムの熱変位量を推定する。
・主軸取付台上部のY軸方向の熱変位量δと、主軸取付台下部のY軸方向の熱変位量δと、主軸のZ軸方向の熱変位量δSPと、コラムの主軸取付台に近い箇所の熱変位量δCOL1と、コラムの主軸取付台から離れた箇所の熱変位量δCOL2と、一般的な熱膨張の計算式に従ってそれぞれ推定する。
主軸取付台上部のY軸方向の熱変位量δ(区間I:4,6)
δ=Σ(α×LIY×(TIN−TI0))
α:線膨張係数
IY:区間IのY軸方向の長さ
IN:時刻Nにおける区間Iの温度
I0:コールドスタート時の区間Iの温度
主軸取付台下部のY軸方向の熱変位量δ(区間I:5,7)
δ=Σ(α×LIY×(TIN−TI0))
α:線膨張係数
IY:区間IのY軸方向の長さ
IN:時刻Nにおける区間Iの温度
I0:コールドスタート時の区間Iの温度
主軸のZ軸方向の熱変位量δSP(区間I:2,3,12)
δSP=Σ(α×LIZ×(TIN−TI0))
α:線膨張係数
IZ:区間IのZ軸方向の長さ
IN:時刻Nにおける区間Iの温度
I0:コールドスタート時の区間Iの温度
コラム熱源側の熱変位量δCOL1(区間I:8,9)
δCOL1=Σ(α×LIZ×(TIN−TI0))
α:線膨張係数
IZ:区間IのZ軸方向の長さ
IN:時刻Nにおける区間Iの温度
I0:コールドスタート時の区間Iの温度
コラムの熱変位量δCOL2(区間I:10,11)
δCOL2=Σ(α×LIZ×(TIN−TI0))
α:線膨張係数
IZ:区間IのZ軸方向の長さ
IN:時刻Nにおける区間Iの温度
I0:コールドスタート時の区間Iの温度
(ステップsc03)
主軸取付台の傾きθSP(=主軸部の傾きθSP)は、上記で算出した熱変位量から、以下の式に従って推定する。
θSP=tan−1((δ−δ) / L
(ステップsc04)
コラムの傾きθCOLは、上記で算出した熱変位量から、以下の式に従って推定する。
θCOL=tan−1((δCOL1−δCOL2)/LCOL
(ステップsc05)
主軸部の最下部と工具先端の距離をLとすると、Y軸方向の補正量δを、以下の式に従って推定する。
δ=δ+L×sin(θSP+θCOL
また、以下の式に従ってZ軸方向の補正量δを推定する。
δ=δCOL1+δSP+L×sinθCOL
5.補正量の更新
前記4.で推定した補正量を適用して、補正を行う。
6.推定した時刻の保存
補正量を推定した時刻Nを制御装置のメモリに保存する。
7.一定の時間間隔で、3.〜6.を繰り返す。
図10は工作機械の数値制御装置の要部を示す機能ブロック図である。上述した工作機械の熱変位補正装置は数値制御装置20によって構成できる。工作機械を制御する数値制御装置20のプロセッサ(CPU)21は、数値制御装置20を全体的に制御するプロセッサである。プロセッサ21は、ROM22に格納されたシステムプログラムをバス31を介して読み出し、このシステムプログラムに従って数値制御装置20を全体的に制御する。RAM23には一時的な計算データや表示データ及びLCD/MDIユニット70を介してオペレータが入力した各種データ等が格納される。
SRAM24は図示しないバッテリでバックアップされ、数値制御装置20の電源がオフされても記憶状態が保持される不揮発性メモリとして構成され、初期位置を測定するプログラムや工作機械の熱変位補正を行うプログラム、インタフェース28を介して読み込まれた後述する加工プログラム、LCD/MDIユニット70を介して入力された加工プログラム等が記憶されるようになっている。また、ROM22には、加工プログラムの作成及び編集のために必要とされる編集モードの処理や自動運転のための処理を実施するための各種のシステムプログラムがあらかじめ書き込まれている。
インタフェース25は数値制御装置20に接続可能な外部機器のためのインタフェースであり、外部記憶装置などの外部機器72が接続される。外部記憶装置からは加工プログラム、熱変位測定プログラムなどが読み込まれる。PMC(プログラマブル・マシン・コントローラ)26は、数値制御装置20に内蔵されたシーケンスプログラムで工作機械側の補助装置等を制御する。すなわち、加工プログラムで指令されたM機能、S機能及びT機能に従って、これらシーケンスプログラムにより補助装置側で必要な信号を変換し、I/Oユニット27から補助装置側に出力する。この出力信号により各種アクチュエータ等の補助装置が作動する。また、工作機械の本体に配備された操作盤の各種スイッチ等の信号を受け、必要な処理をしてプロセッサ21に渡す。
工作機械の各軸の現在位置、アラーム、パラメータ、画像データ等の画像信号はLCD/MDIユニット70に送られ、そのディスプレイに表示される。LCD/MDIユニット70はディスプレイやキーボード等を備えた手動データ入力装置であり、インタフェース28はLCD/MDIユニット70のキーボードからデータを受けてプロセッサ21に渡す。
インタフェース29は手動パルス発生器71に接続され、手動パルス発生器71は工作機械の操作盤に実装され、手動操作に基づく分配パルスによる各軸制御で工作機械の可動部を精密に位置決めするために使用される。工作機械のテーブルTを移動させるX,Y軸の軸制御回路及びZ軸の制御回路33,34,36はプロセッサ21からの各軸の移動指令を受けて、各軸の指令をサーボアンプ33,35,37に出力する。サーボアンプ33,35,37はこの指令を受けて工作機械の各軸のサーボモータ50〜52を駆動する。各軸のサーボモータ50〜52には位置検出用のパルスコーダが内蔵されており、このパルスコーダからの位置信号がパルス列としてフィードバックされる。
スピンドル制御回路60は、工作機械への主軸回転指令を受け、スピンドルアンプ61にスピンドル速度信号を出力する。スピンドルアンプ61はこのスピンドル速度信号を受けて、工作機械のスピンドルモータ(主軸モータ)62を指令された回転速度で回転させ、工具を駆動する。スピンドルモータ(主軸モータ)62には歯車あるいはベルト等でポジションコーダ63が結合され、ポジションコーダ63が主軸の回転に同期して帰還パルスを出力し、その帰還パルスはインタフェース30を経由してプロセッサ21によって読み取られる。65は現在時刻に同期するように調整された時計回路である。
上述したように本発明は、刻一刻と変動する熱変位をリアルタイムに補正するために、推定に必要な計算時間を減少するとともに、又、機械のコストダウン、信頼性向上のため、少ないセンサで熱変位を補正することが可能な機械の熱変位補正装置を提供できる。
80 コラム
81 主軸取付台
82 スピンドルモータ
83 主軸
84 工具
85 ワーク
86 テーブル
87 サドル
88 ベッド

20 数値制御装置
21 プロセッサ
22 ROM
23 RAM
24 SRAM
25 インタフェース
26 PMC
27 I/Oユニット
28,29,30 インタフェース
31 バス
32,34,36 軸制御回路

40,41,42 サーボアンプ
50,51,52 サーボモータ
60 スピンドル制御回路
61 スピンドルアンプ
62 スピンドルモータ
63 ポジションコーダ
65 時計回路

Claims (4)

  1. 主軸を含む主軸部の熱変位を補正する工作機械の熱変位補正装置において、
    前記主軸部を熱的に対称とする平面における二次元モデルとして捉え、二次元モデルを分割し区間を設定し、それぞれの区間に対応する線膨張係数と発熱係数と放熱係数と隣接する各区間との間の熱伝導係数を保存するメモリと、
    前記メモリに保存されたそれぞれの区間に対応する発熱係数と放熱係数と隣接する各区間との間の熱伝導係数とから、各区間の温度を推定する温度推定手段と、
    前記温度推定手段により推定した温度と、前記メモリに保存されたそれぞれの区間に対応する線膨張係数から補正量を推定する補正量推定手段と、
    送り軸の指令位置への移動において、送り軸の位置指令値に対して該補正量を加算することによって補正を行う熱変位補正手段と
    を有することを特徴とする工作機械の熱変位補正装置。
  2. 主軸を含む主軸部の熱変位を補正する工作機械の熱変位補正装置において、
    前記主軸部を熱的に対称とする平面における二次元モデルとして捉え、二次元モデルを分割し区間を設定し、それぞれの区間に対応する線膨張係数と発熱係数と放熱係数と隣接する各区間との間の熱伝導係数を保存するメモリと、
    主軸の回転数を計測する主軸回転数計測手段を持ち、前記メモリに保存されたそれぞれの区間に対応する発熱係数と放熱係数と隣接する各区間との間の熱伝導係数と、前記主軸回転数計測手段によって得られる主軸回転数とから各区間の温度を推定する温度推定手段と、
    前記温度推定手段により推定した温度と、前記メモリに保存されたそれぞれの区間に対応する線膨張係数から補正量を推定する補正量推定手段と、
    送り軸の指令位置への移動において、送り軸の位置指令値に対して該補正量を加算することによって補正を行う熱変位補正手段と、
    を有することを特徴とする工作機械の熱変位補正装置。
  3. 主軸を含む主軸部の熱変位を補正する工作機械の熱変位補正装置において、
    前記主軸部を熱的に対称とする平面における二次元モデルとして捉え、二次元モデルを分割し区間を設定し、それぞれの区間に対応する線膨張係数と発熱係数と放熱係数と隣接する各区間との間の熱伝導係数を保存するメモリと、
    前記主軸部の各区間の内、少なくとも一箇所の温度を測定する温度測定手段を持ち、前記メモリに保存されたそれぞれの区間に対応する発熱係数と放熱係数と隣接する各区間との間の熱伝導係数と、前記温度測定手段によって得られる主軸部の温度とから、各区間の温度を推定する温度推定手段と、
    前記温度推定手段により推定した温度と、前記メモリに保存されたそれぞれの区間に対応する線膨張係数から補正量を推定する補正量推定手段と、
    送り軸の指令位置への移動において、送り軸の位置指令値に対して該補正量を加算することによって補正を行う熱変位補正手段と、
    を有することを特徴とする工作機械の熱変位補正装置。
  4. 主軸を含む主軸部の熱変位を補正する工作機械の熱変位補正装置において、
    前記主軸部を熱的に対称とする平面における二次元モデルとして捉え、二次元モデルを分割し区間を設定し、それぞれの区間に対応する線膨張係数と発熱係数と放熱係数と隣接する各区間との間の熱伝導係数を保存するメモリと、
    主軸の回転数を計測する主軸回転数計測手段と、前記主軸部の各区間の内、少なくとも一箇所の温度を測定する温度測定手段とを持ち、前記メモリに保存されたそれぞれの区間に対応する発熱係数と放熱係数と隣接する各区間との間の熱伝導係数と、前記主軸回転数計測手段によって得られる主軸回転数と、前記温度測定手段によって得られる各区間の温度とから、各区間の温度を推定する温度推定手段と、
    前記温度推定手段により推定した温度と、前記メモリに保存されたそれぞれの区間に対応する線膨張係数から補正量を推定する補正量推定手段と、
    送り軸の指令位置への移動において、送り軸の位置指令値に対して該補正量を加算することによって補正を行う熱変位補正手段と、
    を有することを特徴とする工作機械の熱変位補正装置。
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