JP5955675B2 - 紫外線照射手段を備えた加工装置 - Google Patents
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Description
図1は、実施形態に係る切削装置の構成例の概略を示す斜視図である。図2は、実施形態に係る切削装置の構成例の要部の概略を示す斜視図である。図3は、実施形態に係る切削装置の紫外線照射手段の断面図である。図4は、実施形態に係る切削装置の紫外線照射手段の紫外線蛍光ランプの周囲温度と寿命の関係を示す図である。
10 チャックテーブル
20 切削手段(加工手段)
60 紫外線照射手段
61 ハウジング
61a 開口
62 紫外線蛍光ランプ
63 カバー部材
63a 紫外線透過領域
64 冷却用ファン
W 被加工物
T ダイシングテープ
F 環状フレーム
A 気流
I 間隔
Claims (1)
- 紫外線硬化型のダイシングテープを介して環状フレームの開口に貼着された板状の被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された該被加工物を加工する加工手段と、を少なくとも含み、紫外線硬化型の該ダイシングテープに紫外線を照射する紫外線照射手段を備える加工装置であって、
該紫外線照射手段は、
上方が開口されたハウジングと、該ハウジング内に配設され紫外線を照射する紫外線蛍光ランプと、該ハウジングの開口を覆い該紫外線蛍光ランプによって照射される紫外線を透過する紫外線透過領域を備えたカバー部材と、該ハウジング内に気流を発生させ点灯によって発熱する該紫外線蛍光ランプを冷却する冷却用ファンと、を具備し、
該紫外線蛍光ランプは直径が14mm以上でかつ18mm以下であり、該ハウジング内で互いに10mm以上でかつ15mm以下の間隔を設けて略平行に複数敷設され、該紫外線蛍光ランプ間を流れる気流が該紫外線蛍光ランプの冷却を促すことを特徴とする加工装置。
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